JPS61182510A - ウエブ表面検査装置 - Google Patents
ウエブ表面検査装置Info
- Publication number
- JPS61182510A JPS61182510A JP2199285A JP2199285A JPS61182510A JP S61182510 A JPS61182510 A JP S61182510A JP 2199285 A JP2199285 A JP 2199285A JP 2199285 A JP2199285 A JP 2199285A JP S61182510 A JPS61182510 A JP S61182510A
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- JP
- Japan
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- web
- reflected
- receiving means
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ウェブ表面の状態を光学的に検査するための
装置に関するものである。
装置に関するものである。
ウェブは、その全長に亘って厚みが一定になるように作
られるが、表面に部分的な欠陥例えば凹凸ができたりす
ることがある。このような部分的欠陥を検査するために
、投光器と受光器とからなる光学的なウェブ表面検査装
置が知られている。
られるが、表面に部分的な欠陥例えば凹凸ができたりす
ることがある。このような部分的欠陥を検査するために
、投光器と受光器とからなる光学的なウェブ表面検査装
置が知られている。
このウェブ表面検査装置は、基本的に透過型と反射型と
に分類することができる。この透過型は、ウェブを挟ん
で投光器と受光器とを配置し、投光器からスポット光を
ウェブに向けて投光するとともに、ウェブの幅方向（ウ
ェブの移送方向と直交する方向）にスポット光を走査し
、そしてウェブを透過したスポット光を受光器で光電変
換するものである（例えば特開昭５８−１０９０５５号
）。
に分類することができる。この透過型は、ウェブを挟ん
で投光器と受光器とを配置し、投光器からスポット光を
ウェブに向けて投光するとともに、ウェブの幅方向（ウ
ェブの移送方向と直交する方向）にスポット光を走査し
、そしてウェブを透過したスポット光を受光器で光電変
換するものである（例えば特開昭５８−１０９０５５号
）。
前記反射型は、ウェブの同じ面側に投光器と受光器とを
配置したものであり、凹凸の欠陥を精度よく検出するこ
とができる（例えば特公昭５８−４９８１９号）。なお
、この受光器はウェブの表面に近接して配置され、投光
器は受光器よりも遠い位置に配置されている。
配置したものであり、凹凸の欠陥を精度よく検出するこ
とができる（例えば特公昭５８−４９８１９号）。なお
、この受光器はウェブの表面に近接して配置され、投光
器は受光器よりも遠い位置に配置されている。
ウェブの表面欠陥は、透過型で検出しやすいものと、反
射型で検出しやすいものとがあるため、透過型と反射型
とを組み合わせて用いるのが最も望ましいものであり、
このような組合せ型も既に知られている。この組合せ型
には、透過型と反射型とを異なった位置に別々に配置し
たものと、投光器を兼用するように２個の受光器を配置
したものとがある。後者の組合せ型は、投光器と同じ側
であってこれよりもウェブに近接し、かつ投光用のスポ
ット光を遮らないように斜めに反射光用受光器を配置し
、そしてウェブの反対面に透過用受光器を配置したもの
である。しかし、このウェブ表面検査装置では、受光器
は以前２個必要であり、また信号処理部も２個必要とな
り、そのために装置の構造が複雑になるとともに、コス
トがかかるという欠点があった。
射型で検出しやすいものとがあるため、透過型と反射型
とを組み合わせて用いるのが最も望ましいものであり、
このような組合せ型も既に知られている。この組合せ型
には、透過型と反射型とを異なった位置に別々に配置し
たものと、投光器を兼用するように２個の受光器を配置
したものとがある。後者の組合せ型は、投光器と同じ側
であってこれよりもウェブに近接し、かつ投光用のスポ
ット光を遮らないように斜めに反射光用受光器を配置し
、そしてウェブの反対面に透過用受光器を配置したもの
である。しかし、このウェブ表面検査装置では、受光器
は以前２個必要であり、また信号処理部も２個必要とな
り、そのために装置の構造が複雑になるとともに、コス
トがかかるという欠点があった。
本発明は、１個の投光器と１個の受光器とにより、ウェ
ブでの反射光と透過光とを同時に測定することができる
ようにしたウェブ表面検査装置を提供することを目的と
するものである。
ブでの反射光と透過光とを同時に測定することができる
ようにしたウェブ表面検査装置を提供することを目的と
するものである。
上記目的を達成するために、本発明は、スポット光を投
光する投光手段と、ウェブを透過した光の一部を受光す
る受光手段とをウェブを挟んで反対側にそれぞれ配置し
、また前記投光部とウェブとの間にミラー手段を配置し
、ウェブからの反射光の一部を受光手段に向けて反射す
るとともに、投光部からのスポット光を通過させるため
のスリットをミラー手段に形成したものである。
光する投光手段と、ウェブを透過した光の一部を受光す
る受光手段とをウェブを挟んで反対側にそれぞれ配置し
、また前記投光部とウェブとの間にミラー手段を配置し
、ウェブからの反射光の一部を受光手段に向けて反射す
るとともに、投光部からのスポット光を通過させるため
のスリットをミラー手段に形成したものである。
投光部からのスポット光がウェブを走査している際に、
ウェブの表面に欠陥がある場合に、その度合に応じて透
過光と反射光とが進む方向が変化する。受光手段の中央
部に空間フィルタを設けられている場合には、正常な透
過光よりも屈折角度が大きい通過光が受光手段に入射し
て光電変換される。また、ウェブの表面で反射した光の
うち、スリットによる空間フィルタで選択された反射光
、すなわち正常な光の反射角度よりも大きな角度で反射
された反射光がミラー手段で反射され、そしてウェブを
透過して受光手段に入射する。
ウェブの表面に欠陥がある場合に、その度合に応じて透
過光と反射光とが進む方向が変化する。受光手段の中央
部に空間フィルタを設けられている場合には、正常な透
過光よりも屈折角度が大きい通過光が受光手段に入射し
て光電変換される。また、ウェブの表面で反射した光の
うち、スリットによる空間フィルタで選択された反射光
、すなわち正常な光の反射角度よりも大きな角度で反射
された反射光がミラー手段で反射され、そしてウェブを
透過して受光手段に入射する。
以下、図面を参照して本発明の実施例について詳細に説
明する。
明する。
第１図及び第２図において、レーザｌＯから放出された
レーザービーム１１は、走査部１２でその進行方向が連
続的に偏向される。この走査部１２は、例えば一定速度
で回転する回転多面鏡で構成されており、レーザービー
ム１１で走行中のウェブ１３を走査する。これにより、
ウェブ１３には、レーザービーム１１による走査線１４
がウェブの走行方向と直交する方向に形成される。
レーザービーム１１は、走査部１２でその進行方向が連
続的に偏向される。この走査部１２は、例えば一定速度
で回転する回転多面鏡で構成されており、レーザービー
ム１１で走行中のウェブ１３を走査する。これにより、
ウェブ１３には、レーザービーム１１による走査線１４
がウェブの走行方向と直交する方向に形成される。
前記ウェブ１３の前方に２枚のミラー１６，１７がスリ
ット１８を形成するように離して配置されており、レー
ザービーム■１を阻止することなくウェブ１３に向けて
通すとともに、走査線１４で反射した光の一部をウェブ
１３に向けて再び反射する。このスリット１８は、走査
線１４上で反射する反射光のうち、ウェブ１３に欠陥が
ない場合の反射光（正常反射光）Ａをカットし、そして
ウェブ１３の欠陥により大きな反射角度で反射する異常
反射光Ｂだけをウェブ１３に向けて反射する空間フィル
タとしての機能もある。したがって、正常反射光Ａの反
射角度と、ウェブ１３までの距離に応じて、スリット１
８の大きさが決められ、そしてミラー１６．１７の幅は
異常反射光Ｂの反射角度に応じて決められる。なお、ミ
ラー１６゜１７を一体に作り、これにスリット１８を形
成しても実質的に同じである。
ット１８を形成するように離して配置されており、レー
ザービーム■１を阻止することなくウェブ１３に向けて
通すとともに、走査線１４で反射した光の一部をウェブ
１３に向けて再び反射する。このスリット１８は、走査
線１４上で反射する反射光のうち、ウェブ１３に欠陥が
ない場合の反射光（正常反射光）Ａをカットし、そして
ウェブ１３の欠陥により大きな反射角度で反射する異常
反射光Ｂだけをウェブ１３に向けて反射する空間フィル
タとしての機能もある。したがって、正常反射光Ａの反
射角度と、ウェブ１３までの距離に応じて、スリット１
８の大きさが決められ、そしてミラー１６．１７の幅は
異常反射光Ｂの反射角度に応じて決められる。なお、ミ
ラー１６゜１７を一体に作り、これにスリット１８を形
成しても実質的に同じである。
前記ウェブ１３の裏面には、受光器２０が配置されてい
る。この受光器２０は、ウェブ１３に欠陥がない場合の
正常な透過光Ｃをカットするために、その前面に空間フ
ィルタ（遮光板）２１が配置されている。したがって、
ウェブ１３に欠陥があるため、大きな屈折角で射出した
異常透過光りを受光して光電変換する。これとともに、
ミラー１６．１７で反射され、かつウェブ１３を透過し
た異常反射光Ｂを入射して光電変換する。なお、受光器
２０は、入射した光を集める透明な導光部材と、光検出
器とから構成されているものである。
る。この受光器２０は、ウェブ１３に欠陥がない場合の
正常な透過光Ｃをカットするために、その前面に空間フ
ィルタ（遮光板）２１が配置されている。したがって、
ウェブ１３に欠陥があるため、大きな屈折角で射出した
異常透過光りを受光して光電変換する。これとともに、
ミラー１６．１７で反射され、かつウェブ１３を透過し
た異常反射光Ｂを入射して光電変換する。なお、受光器
２０は、入射した光を集める透明な導光部材と、光検出
器とから構成されているものである。
次に上記実施例の作用について説明する。ウェブ１３の
走行中にレーザービーム１１を幅方向に走査する。この
ウェブ１３に欠陥がない場合には、正常反射光Ａはミラ
ー１６．１７のスリット１８を通るために、受光器２０
に入射しない。また、ウェブ１３を透過した正常透過光
Ｃは空間フィルタ２１でカットされるために受光器２０
に入射しない。したがって、ウェブ１３に欠陥がない場
合には、受光器２０からは、波高値りが出力される（第
３図）。
走行中にレーザービーム１１を幅方向に走査する。この
ウェブ１３に欠陥がない場合には、正常反射光Ａはミラ
ー１６．１７のスリット１８を通るために、受光器２０
に入射しない。また、ウェブ１３を透過した正常透過光
Ｃは空間フィルタ２１でカットされるために受光器２０
に入射しない。したがって、ウェブ１３に欠陥がない場
合には、受光器２０からは、波高値りが出力される（第
３図）。
ウェブ１３に欠陥がある場合には、この欠陥によって反
射光と透過光が散乱する。この散乱により生じた異常反
射光Ｂはミラー１６．１７で反射され、そしてウェブ１
３を透過してから受光器２０に入射する。また、異常透
過光りは空間フィルタ２１でカットされることなく受光
器２０に入射する。このため、受光器２０には、異常反
射光Ｂと異常透過光りの両方が入射するから、受光器２
０の出力は一方だけが入射する場合に比べて例えば１．
３倍の波高値Ｈとなった信号が出力される。
射光と透過光が散乱する。この散乱により生じた異常反
射光Ｂはミラー１６．１７で反射され、そしてウェブ１
３を透過してから受光器２０に入射する。また、異常透
過光りは空間フィルタ２１でカットされることなく受光
器２０に入射する。このため、受光器２０には、異常反
射光Ｂと異常透過光りの両方が入射するから、受光器２
０の出力は一方だけが入射する場合に比べて例えば１．
３倍の波高値Ｈとなった信号が出力される。
この受光器２０の出力を調べることにより、どの部分に
欠陥があるかを知ることができる。また、ウェブ１３の
欠陥の種類によっては、反射に太き 倉な
変化が現れるものと、透過に大きな変化が現れるものと
があるから、このいずれの欠陥に対しても精度よく調べ
ることができる。
欠陥があるかを知ることができる。また、ウェブ１３の
欠陥の種類によっては、反射に太き 倉な
変化が現れるものと、透過に大きな変化が現れるものと
があるから、このいずれの欠陥に対しても精度よく調べ
ることができる。
第４図はミラーの別の実施例を示すものである。
この実施例では、ミラー２５の両端部が内側に折り曲げ
られている。この折曲げ部２５ａは、ウェブ１３の端部
で反射した光を受光器２ｏに入れることにより、ウェブ
１３の全幅位置でのゲインを同じようにすることができ
る。
られている。この折曲げ部２５ａは、ウェブ１３の端部
で反射した光を受光器２ｏに入れることにより、ウェブ
１３の全幅位置でのゲインを同じようにすることができ
る。
第４図はミラーの反射面を曲面にした実施例を示すもの
である。この実施例では、上下に離して配置したミラー
２７．２８は、内側に湾曲しており、それによりウェブ
１３での異常反射光を受光器２０に集光させて、受光器
２０から大きな出力を得ることができる。
である。この実施例では、上下に離して配置したミラー
２７．２８は、内側に湾曲しており、それによりウェブ
１３での異常反射光を受光器２０に集光させて、受光器
２０から大きな出力を得ることができる。
上記構成を有する本発明は、ウェブを挟んで投光手段と
受光手段とを配置し、ウェブと投光手段との間にスポッ
ト光を通すとともに、空間フィルタとしての機能するス
リットを持ったミラー手段を配置したから、１つの投光
手段と１つの受光手段でウェブの反射と透過による表面
検査を同時に行うことができる。したがって、従来の投
光手段を兼用したものに比べて装置が簡単になるととも
に、狭いスペースに設置することができる。また受光手
段には反射光と透過光の両方が同時に入射するから、反
射と透過の両方に影響を及ぼす欠陥に対しては、受光手
段の検出性能が向上する。
受光手段とを配置し、ウェブと投光手段との間にスポッ
ト光を通すとともに、空間フィルタとしての機能するス
リットを持ったミラー手段を配置したから、１つの投光
手段と１つの受光手段でウェブの反射と透過による表面
検査を同時に行うことができる。したがって、従来の投
光手段を兼用したものに比べて装置が簡単になるととも
に、狭いスペースに設置することができる。また受光手
段には反射光と透過光の両方が同時に入射するから、反
射と透過の両方に影響を及ぼす欠陥に対しては、受光手
段の検出性能が向上する。
第１図は本発明の一実施例の要部を示す斜視図である。
第２図は本発明の概略を示す側面図である。
第３図は受光器の出力を示す波形図である。
第４図はミラーの別の実施例を示す本発明の要部の平面
図である。 第５図はミラーの更に別の実施例を示す本発明の要部の
側面図である。 １３・・ウェブ １６．１７ ・ ・ ミ ラ − １８・・スリット ２０・・受光器 ２１・・空間フィルタ ２’５，２７．２８・・ミラー。 第２図 手続補正書 １、事件の表示 昭和６０年 特許側 第２１９９２号 ２、発明の名称 ウェブ表面検査装置 ４、代理人 東京都豊島区北大塚２−１６−９ （１） 明細書の「発明の詳細な説明」の欄。 ６、補正の内容 （１） 明細書第３頁第１０行に記載の、「特開昭５
８−１０９０５５号」を、 「実開昭５８−１０９０５５号」と補正する。 （２）明細書第６頁第１６行に記載の、「カントし、」
を、 「通過させ、」と補正する。 以上
図である。 第５図はミラーの更に別の実施例を示す本発明の要部の
側面図である。 １３・・ウェブ １６．１７ ・ ・ ミ ラ − １８・・スリット ２０・・受光器 ２１・・空間フィルタ ２’５，２７．２８・・ミラー。 第２図 手続補正書 １、事件の表示 昭和６０年 特許側 第２１９９２号 ２、発明の名称 ウェブ表面検査装置 ４、代理人 東京都豊島区北大塚２−１６−９ （１） 明細書の「発明の詳細な説明」の欄。 ６、補正の内容 （１） 明細書第３頁第１０行に記載の、「特開昭５
８−１０９０５５号」を、 「実開昭５８−１０９０５５号」と補正する。 （２）明細書第６頁第１６行に記載の、「カントし、」
を、 「通過させ、」と補正する。 以上
Claims (5)
- （１）ウェブを走行させながらその表面の状態を光学的
に検査するウェブ表面検査装置において、前記ウェブの
走行方向と直交する方向にスポット光を走査する投光手
段と、ウェブを透過したスポット光の一部を受光するよ
うに配置されており、入射光を電気信号に変換する受光
手段と、前記投光部とウェブとの間に配置されており、
投光部からのスポット光を通過させるとともに、ウェブ
で反射された光に対して空間フィルタとして機能するス
リットを備え、ウェブ表面で反射した光の一部を前記受
光手段に向けて反射するミラー手段とからなることを特
徴とするウェブ表面検査装置。 - （２）前記受光手段は、ウェブを素通りしたスポット光
をカットするために、その前面に空間フィルタが配置さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
ウェブ表面検査装置。 - （３）前記ミラー手段は、スポット光を通すための隙間
を残して配置した複数のミラーから構成されていること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のウェブ表面検
査装置。 - （４）前記ミラー手段は、入射光を受光手段に向けて反
射するために、その反射面が湾曲していることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のウェブ表面検査装置。 - （５）前記ミラー手段は、ウェブの端面で反射した光を
受光手段に向けて反射させるように、その端面が内側に
折り曲げられていることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載のウェブ表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2199285A JPS61182510A (ja) | 1985-02-08 | 1985-02-08 | ウエブ表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2199285A JPS61182510A (ja) | 1985-02-08 | 1985-02-08 | ウエブ表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61182510A true JPS61182510A (ja) | 1986-08-15 |
Family
ID=12070517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2199285A Pending JPS61182510A (ja) | 1985-02-08 | 1985-02-08 | ウエブ表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61182510A (ja) |
-
1985
- 1985-02-08 JP JP2199285A patent/JPS61182510A/ja active Pending
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