JPS61182008A - 光フアイバ結合器 - Google Patents
光フアイバ結合器Info
- Publication number
- JPS61182008A JPS61182008A JP2236485A JP2236485A JPS61182008A JP S61182008 A JPS61182008 A JP S61182008A JP 2236485 A JP2236485 A JP 2236485A JP 2236485 A JP2236485 A JP 2236485A JP S61182008 A JPS61182008 A JP S61182008A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- ball lens
- anisotropic etching
- fiber coupler
- quadrangular pyramid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/32—Optical coupling means having lens focusing means positioned between opposed fibre ends
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、光ファイバの結合に用いられる光フアイバ結
合器に関するものである。
合器に関するものである。
（従来の技術）
光ファイバを低損失で接続する方法として、ボールレン
ズを用いる方法が提案されている。
ズを用いる方法が提案されている。
これは、屈折率が２のガラス材料で形成されたボールレ
ンズの焦点が表面に位置していることを利用したもので
あって、光ファイバの中心軸とボールレンズの中心とが
一致するようにして接触させることにより簡単に焦点を
合わせることができるという利点がある。
ンズの焦点が表面に位置していることを利用したもので
あって、光ファイバの中心軸とボールレンズの中心とが
一致するようにして接触させることにより簡単に焦点を
合わせることができるという利点がある。
ところで、従来、このようにボールレンズを用いて光フ
ァイバを接続するのにあたっては、例えば金属ブロック
の表面にボールレンズをマウントするための取付穴と光
ファイバをマウントするための■溝とが微細加工により
形成された結合器が用いられていた。
ァイバを接続するのにあたっては、例えば金属ブロック
の表面にボールレンズをマウントするための取付穴と光
ファイバをマウントするための■溝とが微細加工により
形成された結合器が用いられていた。
（発明が解決しようとする問題点）
しかし、このような従来の結合器は、１個ずつ機械によ
る微細加工を行わなければならず、加工精度のバラツキ
が生じやすいとともに、コストが高くなるという欠点が
ある。
る微細加工を行わなければならず、加工精度のバラツキ
が生じやすいとともに、コストが高くなるという欠点が
ある。
本発明は、このような欠点を解決したものであって、そ
の目的は、比較的簡単な工程で大量に高精度の加工を行
うことができ、光損失の少ない特性の優れた低コストの
光フアイバ結合器を実現することに蕊る。
の目的は、比較的簡単な工程で大量に高精度の加工を行
うことができ、光損失の少ない特性の優れた低コストの
光フアイバ結合器を実現することに蕊る。
（問題点を解決するための手段）
このような目的を達成する本発明は、シリコン単結晶板
の表面に異方性エツチングにより形成されボールレンズ
がマウントされる四角錐穴と、端部がこの四角錐穴に開
口するように異方性エツチングにより形成され中心軸が
ボールレンズの中心と一致するようにして光ファイバが
マウントされるＶ溝とを有することを特徴とする。
の表面に異方性エツチングにより形成されボールレンズ
がマウントされる四角錐穴と、端部がこの四角錐穴に開
口するように異方性エツチングにより形成され中心軸が
ボールレンズの中心と一致するようにして光ファイバが
マウントされるＶ溝とを有することを特徴とする。
（実施例）
以下、図面を用いて詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は第１
図のＡ−Ａ断面図、第３図は第１図のＢ−８断面図であ
る。これら図面において、１はシリコン単結晶板であり
、その表面にはボールレンズ２をマウントするための開
口面が正方形の四角錐穴３が異方性エツチングにより形
成されるとともに、光ファイバ４をマウントするための
Ｖ溝５．６が端部が四角錐穴３に開口するようにして異
方性エツチングにより形成されている。
図のＡ−Ａ断面図、第３図は第１図のＢ−８断面図であ
る。これら図面において、１はシリコン単結晶板であり
、その表面にはボールレンズ２をマウントするための開
口面が正方形の四角錐穴３が異方性エツチングにより形
成されるとともに、光ファイバ４をマウントするための
Ｖ溝５．６が端部が四角錐穴３に開口するようにして異
方性エツチングにより形成されている。
ここで、シリコン単結晶板１として水平面が（１００）
面のものを用い、エッチャントとしてＫＯＨあるいはＡ
ＷＰを用いる。これにより、（１１１）面のエツチング
速度は第４図に示すように（１００）面のエツチング速
度よりも１／３５〜１／４００遅くなる。従って、第１
図に示すような四角錐穴３および■溝５．６の平面パタ
ーンよりも０．１％程度小さな開口部分を有するマスク
パターンをシリコン単結晶板１の表面に形成して異方性
エツチングを行うことにより、第２図および第３図に示
すように＜１１０＞軸方向に沿って四角錐穴３およびＶ
溝５．６が形成されることになる。なお、マスクパター
ンの開口部分の幅とエツチング速度とを実験により求め
られる所定の値に設定することにより、ボールレンズ２
の中心と光ファイバ５．６の中心軸を高精度で一致させ
ることができる。
面のものを用い、エッチャントとしてＫＯＨあるいはＡ
ＷＰを用いる。これにより、（１１１）面のエツチング
速度は第４図に示すように（１００）面のエツチング速
度よりも１／３５〜１／４００遅くなる。従って、第１
図に示すような四角錐穴３および■溝５．６の平面パタ
ーンよりも０．１％程度小さな開口部分を有するマスク
パターンをシリコン単結晶板１の表面に形成して異方性
エツチングを行うことにより、第２図および第３図に示
すように＜１１０＞軸方向に沿って四角錐穴３およびＶ
溝５．６が形成されることになる。なお、マスクパター
ンの開口部分の幅とエツチング速度とを実験により求め
られる所定の値に設定することにより、ボールレンズ２
の中心と光ファイバ５．６の中心軸を高精度で一致させ
ることができる。
このように構成することにより、従来に比べて簡単な工
程で犬山に高精度の加工を行うことができ、光損失の少
ない特性の優れた低コストの光フアイバ結合器が実現で
きる。
程で犬山に高精度の加工を行うことができ、光損失の少
ない特性の優れた低コストの光フアイバ結合器が実現で
きる。
なお、第１図〜第３図の実施例では、開口面が正方形の
四角錐穴３を形成して１個のボールレンズ２を用いる例
を説明したが、第５図〜第６図に示ずように長方形の開
口面を有する四角錐穴７を形成して２個のボールレンズ
２ａ、２ｂを用いるようにしてもよい。このように構成
することにより、一方のボールレンズで拡散された光信
号を他方のボールレンズで収束させて光ファイバに加え
ることができ、シングルモードの光ファイバの結合に有
効である。
四角錐穴３を形成して１個のボールレンズ２を用いる例
を説明したが、第５図〜第６図に示ずように長方形の開
口面を有する四角錐穴７を形成して２個のボールレンズ
２ａ、２ｂを用いるようにしてもよい。このように構成
することにより、一方のボールレンズで拡散された光信
号を他方のボールレンズで収束させて光ファイバに加え
ることができ、シングルモードの光ファイバの結合に有
効である。
〈発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、光損失の少ない
特性の優れた低コストの光フアイバ結合器を実現するこ
とができ、光ファイバを用いた各種のセンサや通信シス
テムなどにおける光信号の合成や分岐を行う光信号処理
要素として実用上の効果は大きい。
特性の優れた低コストの光フアイバ結合器を実現するこ
とができ、光ファイバを用いた各種のセンサや通信シス
テムなどにおける光信号の合成や分岐を行う光信号処理
要素として実用上の効果は大きい。
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は第１
図のＡ−Ａ断面図、第３図は第１図のＢ−８断面図、第
４図は異方性エツチングの説明図、第５図は本発明の他
の実施例を示す平面図、第６図は第５図のＡ−Ａ断面図
である。 １・・・シリコン単結晶板、２・・・ボールレンズ、３
・・・四角錐穴、４・・・Ｖ溝、５，６・・・光ファイ
バ。
図のＡ−Ａ断面図、第３図は第１図のＢ−８断面図、第
４図は異方性エツチングの説明図、第５図は本発明の他
の実施例を示す平面図、第６図は第５図のＡ−Ａ断面図
である。 １・・・シリコン単結晶板、２・・・ボールレンズ、３
・・・四角錐穴、４・・・Ｖ溝、５，６・・・光ファイ
バ。
Claims (1)
- シリコン単結晶板の表面に異方性エッチングにより形成
されボールレンズがマウントされる四角錐穴と、端部が
この四角錐穴に開口するように異方性エッチングにより
形成され中心軸がボールレンズの中心と一致するように
して光ファイバがマウントされるり溝とを有することを
特徴とする光ファイバ結合器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2236485A JPS61182008A (ja) | 1985-02-07 | 1985-02-07 | 光フアイバ結合器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2236485A JPS61182008A (ja) | 1985-02-07 | 1985-02-07 | 光フアイバ結合器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61182008A true JPS61182008A (ja) | 1986-08-14 |
Family
ID=12080569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2236485A Pending JPS61182008A (ja) | 1985-02-07 | 1985-02-07 | 光フアイバ結合器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61182008A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63228113A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-09-22 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 光結合素子及びその製造方法 |
| JPH0194305A (ja) * | 1987-10-07 | 1989-04-13 | Hitachi Ltd | 光回路装置 |
| EP1041409A2 (en) * | 1999-03-30 | 2000-10-04 | Lucent Technologies Inc. | Mode converter and method for converting modes |
| US20160306119A1 (en) * | 2015-04-14 | 2016-10-20 | Honeywell International Inc. | Optical bench |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54150993A (en) * | 1978-05-18 | 1979-11-27 | Thomson Csf | Semiconductor laser |
| JPS5776509A (en) * | 1980-10-30 | 1982-05-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Optical fiber-lens coupler and its manufacture |
| JPS57172309A (en) * | 1981-04-16 | 1982-10-23 | Omron Tateisi Electronics Co | Coupling method of optical fiber and optical waveguide |
-
1985
- 1985-02-07 JP JP2236485A patent/JPS61182008A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54150993A (en) * | 1978-05-18 | 1979-11-27 | Thomson Csf | Semiconductor laser |
| JPS5776509A (en) * | 1980-10-30 | 1982-05-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Optical fiber-lens coupler and its manufacture |
| JPS57172309A (en) * | 1981-04-16 | 1982-10-23 | Omron Tateisi Electronics Co | Coupling method of optical fiber and optical waveguide |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63228113A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-09-22 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 光結合素子及びその製造方法 |
| JPH0194305A (ja) * | 1987-10-07 | 1989-04-13 | Hitachi Ltd | 光回路装置 |
| EP1041409A2 (en) * | 1999-03-30 | 2000-10-04 | Lucent Technologies Inc. | Mode converter and method for converting modes |
| EP1041409A3 (en) * | 1999-03-30 | 2002-01-30 | Lucent Technologies Inc. | Mode converter and method for converting modes |
| US20160306119A1 (en) * | 2015-04-14 | 2016-10-20 | Honeywell International Inc. | Optical bench |
| US9658404B2 (en) * | 2015-04-14 | 2017-05-23 | Honeywell International Inc. | Optical bench |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4431260A (en) | Method of fabrication of fiber optic coupler | |
| US4802727A (en) | Positioning optical components and waveguides | |
| US5257332A (en) | Optical fiber expanded beam coupler | |
| US6118917A (en) | Optical fiber passive alignment apparatus using alignment platform | |
| JPS5934886Y2 (ja) | 光学フアイバ用着脱自在結合装置 | |
| EP0115686B1 (en) | Optical alignment means | |
| KR970028626A (ko) | 볼렌즈를 이용한 광결합계 장치 및 광결합계 제작 방법 | |
| US4732449A (en) | Beam splitter | |
| JPS5926003B2 (ja) | 光フアイバ・プラグ・コネクタ | |
| JPS6193415A (ja) | 光フアイバ−用コネクタ−及びそれを用いて接続される物品 | |
| EP0370663A3 (en) | Optical coupling of optical fibres and optical devices | |
| JPS61182008A (ja) | 光フアイバ結合器 | |
| JPS63226607A (ja) | 光結合構造 | |
| JPS6014326B2 (ja) | 光フアイバの多心接続器 | |
| JPH11160569A (ja) | 光結合回路 | |
| JPH03189607A (ja) | ファイバ形光学結合器の製造法 | |
| JPS5735820A (en) | Multicore optical fiber connector | |
| JPS6068301A (ja) | 光デバイスの装着方法 | |
| JPH03168606A (ja) | 光半導体モジュールの光結合構造 | |
| JP3132855B2 (ja) | 光結合器およびその結合方法 | |
| JPS5570809A (en) | Single mode optical fiber matching device | |
| JPS6046683B2 (ja) | 光分岐結合器の製造方法 | |
| JPH0252243B2 (ja) | ||
| JPS57211289A (en) | Semicondutor laser coupler for single mode optical fiber | |
| JPH02132406A (ja) | 光ファイバガイド構造 |