JPS6118128A - パタ−ンの重ね合せ誤差測定方法 - Google Patents
パタ−ンの重ね合せ誤差測定方法Info
- Publication number
- JPS6118128A JPS6118128A JP13870684A JP13870684A JPS6118128A JP S6118128 A JPS6118128 A JP S6118128A JP 13870684 A JP13870684 A JP 13870684A JP 13870684 A JP13870684 A JP 13870684A JP S6118128 A JPS6118128 A JP S6118128A
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- JP
- Japan
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- mark
- pattern
- group
- marks
- epsilon
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- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はパターンの重ね合せ誤差測定方法、特に半導体
装置のウェハ表面のりソゲラフイエ程におけるパターン
の重ね合せ誤差測定方法に開する。
装置のウェハ表面のりソゲラフイエ程におけるパターン
の重ね合せ誤差測定方法に開する。
半導体装置の製造工程において、ウェハ表面上に形成さ
れた第１のパターンに、以後の工程で用いる第２のパタ
ーンを重ね合せることが必要になることがある。この場
合、通常ウェハ表面上に試験的に第２のパタ−ンを感光
等の方法により形成させ、両パターンの重ね合せ誤差を
測定し、この誤差を補正するように第２のパターンの位
置を調整しなおすという方法がとられる。
れた第１のパターンに、以後の工程で用いる第２のパタ
ーンを重ね合せることが必要になることがある。この場
合、通常ウェハ表面上に試験的に第２のパタ−ンを感光
等の方法により形成させ、両パターンの重ね合せ誤差を
測定し、この誤差を補正するように第２のパターンの位
置を調整しなおすという方法がとられる。
パターンの重ね合せ誤差の測定は、通常バーニアと呼ば
れる位置合せ専用のパターンを両パターンの一部分に設
け、このバーニアのずれを測定することによって行なわ
れる。このバーニアを用いた従来の測定方法の一例を第
４図を用いて説明する。第１のパターン上に設けられた
バーニアとしてのマーク群ＷはマークＡを複数個特定方
向に一定のピッチＰＡで配列したものである。マークＡ
は一定の間隔ＤＡだけ離れた一対の指標ａおよびａ′か
ら成る。一方第２のパターン上に設【ノられたバーニア
としてのマーク群ＢはマークＢを複数個特定方向に一定
のピッチＰＢで配列したものである。マーク８は一定の
間隔ＤＢだけ離れた一対の指ｅｘｂおよびｂ′から成る
。マークへの中にマークＢが含まれるようにＤＡ＞ＤＢ
とし、対応するマークＡとマークＢとの位置関係が順次
ずれてゆくようにＰＡ＋ＰＢとする。また、マーク群Ｗ
のうちの１つのマークを第１の基準マークＡ。として識
別可能にし、マーク群■のうちの１つのマークを第２の
基準マークＢ。とじて識別可能にする。いま、第２の基
準マークＢ。が第１の基準マークＡＱのちょうど中央位
置にきたときに、第１のパターンと第２のパターンとが
誤差なく重なり合うように各パターン及びバーニアが形
成されているものとする。この場合第２の基準マークＢ
。
れる位置合せ専用のパターンを両パターンの一部分に設
け、このバーニアのずれを測定することによって行なわ
れる。このバーニアを用いた従来の測定方法の一例を第
４図を用いて説明する。第１のパターン上に設けられた
バーニアとしてのマーク群ＷはマークＡを複数個特定方
向に一定のピッチＰＡで配列したものである。マークＡ
は一定の間隔ＤＡだけ離れた一対の指標ａおよびａ′か
ら成る。一方第２のパターン上に設【ノられたバーニア
としてのマーク群ＢはマークＢを複数個特定方向に一定
のピッチＰＢで配列したものである。マーク８は一定の
間隔ＤＢだけ離れた一対の指ｅｘｂおよびｂ′から成る
。マークへの中にマークＢが含まれるようにＤＡ＞ＤＢ
とし、対応するマークＡとマークＢとの位置関係が順次
ずれてゆくようにＰＡ＋ＰＢとする。また、マーク群Ｗ
のうちの１つのマークを第１の基準マークＡ。として識
別可能にし、マーク群■のうちの１つのマークを第２の
基準マークＢ。とじて識別可能にする。いま、第２の基
準マークＢ。が第１の基準マークＡＱのちょうど中央位
置にきたときに、第１のパターンと第２のパターンとが
誤差なく重なり合うように各パターン及びバーニアが形
成されているものとする。この場合第２の基準マークＢ
。
が第１の基準マークＡＱの中央位置からどれ程ずれてい
るかを測定すれば、その測定値が両パターンの重ね合せ
誤差となる。このずれの値を求めるためにマーク群にと
それに対応するマーク群百とを肉眼により観察し、マー
クＢが、対応するマークＡのちょうど中央位置にあるよ
うなマークＡおよびＢのペアを検索する。第４図の例で
はマーク八 とマークＢ３とのペアがこのペアに相当す
る（拡大図参照）。この検索されたペアの基準マークか
らの隔たりによって第１の基準マークＡ。と第２の基準
マークＢＱとの偏差が求められる。この原理はノギスの
副尺の読み等にも利用されているもので、第４図の場合
、ＰＢ−ＰＡ＝０．１μｍとした場合、マークＡ３は第
１の基準マークＡｏから数えて３番目であるから、求め
る偏差は０、ｌＸ３＝０．３μｍとなる。
るかを測定すれば、その測定値が両パターンの重ね合せ
誤差となる。このずれの値を求めるためにマーク群にと
それに対応するマーク群百とを肉眼により観察し、マー
クＢが、対応するマークＡのちょうど中央位置にあるよ
うなマークＡおよびＢのペアを検索する。第４図の例で
はマーク八 とマークＢ３とのペアがこのペアに相当す
る（拡大図参照）。この検索されたペアの基準マークか
らの隔たりによって第１の基準マークＡ。と第２の基準
マークＢＱとの偏差が求められる。この原理はノギスの
副尺の読み等にも利用されているもので、第４図の場合
、ＰＢ−ＰＡ＝０．１μｍとした場合、マークＡ３は第
１の基準マークＡｏから数えて３番目であるから、求め
る偏差は０、ｌＸ３＝０．３μｍとなる。
従来の別な重ね合せ誤差測定方法を第５図を用いて説明
する。この方法では、第１のパターン上にマークＡ１第
２のパターン上にマークＢを設けるが、各マークはそれ
ぞれ１つずつでよい。第５（ａ）図に示す方法は、Ｘ方
向に関してマークＡに属する指標ａおよびａ′、並びに
マークＢに属する指標をおよびｂ′の位置を微小線幅測
定機等を用いて測定し、同様にｙ方向に関してマークＡ
に属する指標ａ″およびａ′′、並びにマークＢに属す
る指標ｂ ”およびｂ の位置を測定する。これら測定
位置により重ね合せ誤差を求めることができる。即ち、
Ｘ方向に関してはδ＝ａ−ｂ。
する。この方法では、第１のパターン上にマークＡ１第
２のパターン上にマークＢを設けるが、各マークはそれ
ぞれ１つずつでよい。第５（ａ）図に示す方法は、Ｘ方
向に関してマークＡに属する指標ａおよびａ′、並びに
マークＢに属する指標をおよびｂ′の位置を微小線幅測
定機等を用いて測定し、同様にｙ方向に関してマークＡ
に属する指標ａ″およびａ′′、並びにマークＢに属す
る指標ｂ ”およびｂ の位置を測定する。これら測定
位置により重ね合せ誤差を求めることができる。即ち、
Ｘ方向に関してはδ＝ａ−ｂ。
δ′−ａ′−ｂ′として算出し、重ね合せ誤差Ｘ方向に
関してはδ″＝ａ″−ｂ″、 ６／／／ ＝ ａ／／
／、／ｆ として算出し、重ね合せ誤差δ９は各指標
位置の実際の測定は、光または電子ビームを用いてマー
クＡおよびマークＢを走査することによって行なわれる
。例えばＸ方向に関して光で走査した場合、第５（ａ）
図のように受光器で検出された反射光強度グラフＣ（反
射光強度の小さいもの程高い値を示す。）が得られる。
関してはδ″＝ａ″−ｂ″、 ６／／／ ＝ ａ／／
／、／ｆ として算出し、重ね合せ誤差δ９は各指標
位置の実際の測定は、光または電子ビームを用いてマー
クＡおよびマークＢを走査することによって行なわれる
。例えばＸ方向に関して光で走査した場合、第５（ａ）
図のように受光器で検出された反射光強度グラフＣ（反
射光強度の小さいもの程高い値を示す。）が得られる。
このピーク位置を読むことにより各指標位置が決定され
る。
る。
第５図（ｂ）図に示す方法は前述の方法とほぼ同様であ
るが、各指標位置は基準線ｄｘおよびｄｙからの距離と
して測定される。
るが、各指標位置は基準線ｄｘおよびｄｙからの距離と
して測定される。
前述した２つのマーク群からなるバーニアを肉眼により
読む方法（第４図）では、測定者による個人的誤差、読
取り誤差が生じ、また、一般に顕微鏡によって黙視する
ため測定者の疲労が大きく、測定にも時間がかかるとい
う欠点がある。
読む方法（第４図）では、測定者による個人的誤差、読
取り誤差が生じ、また、一般に顕微鏡によって黙視する
ため測定者の疲労が大きく、測定にも時間がかかるとい
う欠点がある。
一方微小線幅測定機等により指標位置を電気信号として
読取る方法（第５図）では、測定者が肉眼で読取ること
に起因する欠点はないが、指標位置を一度電気信号に変
換し、これから重ね合せ誤差の絶対値を算出するため、
誤差の入りこむ要素が多く、精度のよい測定値が得られ
ないという欠点がある。特に基板表面に凹凸があるよう
な場合にこの誤差は著しくなる。
読取る方法（第５図）では、測定者が肉眼で読取ること
に起因する欠点はないが、指標位置を一度電気信号に変
換し、これから重ね合せ誤差の絶対値を算出するため、
誤差の入りこむ要素が多く、精度のよい測定値が得られ
ないという欠点がある。特に基板表面に凹凸があるよう
な場合にこの誤差は著しくなる。
゛そこで本発明は、測定者の肉眼測定によることなく自
動的に測定が行なわれ、かつ、測定精度の良いパターン
の重ね合せ誤差測定方法を提供することを目的とする。
動的に測定が行なわれ、かつ、測定精度の良いパターン
の重ね合せ誤差測定方法を提供することを目的とする。
本発明の特徴は、第１のパターンと第２のパターンとの
特定方向における重ね合せ誤差の測定において、それぞ
れのパターンにバーニアとしてそれぞれマーク群を設け
、両マーク群を構成する各マークの位置を肉眼ではなく
電気信号として読取り、この読取ったデータの絶対値か
ら直接重ね合せ誤差を算出するのではなく、この読取っ
たデータから両マーク群の相対的位置関係を求め、この
位置関係から間接的に重ね合せ誤差を算出するようにし
、精度良い測定を自動的に行なえるようにした点にある
。
特定方向における重ね合せ誤差の測定において、それぞ
れのパターンにバーニアとしてそれぞれマーク群を設け
、両マーク群を構成する各マークの位置を肉眼ではなく
電気信号として読取り、この読取ったデータの絶対値か
ら直接重ね合せ誤差を算出するのではなく、この読取っ
たデータから両マーク群の相対的位置関係を求め、この
位置関係から間接的に重ね合せ誤差を算出するようにし
、精度良い測定を自動的に行なえるようにした点にある
。
以下本発明を図示する一実施例に基づいて説明する。第
１図は第４図に示したバーニアとほぼ同じ構成のバーニ
アを示す。即ち、第１のパターン上に設けられたマーク
群ＡはマークＡ （ＡＱ 。
１図は第４図に示したバーニアとほぼ同じ構成のバーニ
アを示す。即ち、第１のパターン上に設けられたマーク
群ＡはマークＡ （ＡＱ 。
ＡＩ 、Ａ２・・・）を複数個特定方向に一定のピッチ
ＰＡで配列したものであり、マークＡは一定間隔ＤＡだ
け離れた一対の指標ａおよびａ′から成る。
ＰＡで配列したものであり、マークＡは一定間隔ＤＡだ
け離れた一対の指標ａおよびａ′から成る。
一方第２のパターン上に設けられたマーク群■はマーク
Ｂ （Ｂｏ、、Ｂ１．Ｂ２・・・）を複数個特定方向に
一定のピッチＰＢで配列したものであり、マークＢは一
定間隔ＤＢだけ離れた一対の指標をおよびｂ′から成る
。マークＡの中にマークＢが含まれるようにＤＡ＞ＤＢ
となっており、また、ＰＡ≠ＰＢであるため対応するマ
ークＡとマークＢとの位置関係は順次ずれてゆく。従来
はこのように重ねられた２つのマーク群を肉眼により観
察し、マークＢが対応するマークＡのちょうど中央位置
にあるようなマークＡおよびＢのペアを検索したが、本
発明ではこれを自動的に行なう。即ち、第１図に示すバ
ーニアをマークの配列方向に光あるいは電子ビーム等に
より走査し、その反射光を受光器等で受けて電気信号に
変換する。この変換された電気信号の値を示すグラフ群
σ（Ｃｏ〜ｃ６ ＞を第２図に示す。各グラフＣでは反
射光強度の小さいもの程高い値を示し、Ｃｏ−Ｃ６はそ
れぞれ第１図のＡ 〜Ａ （Ｂ −８６）に対応す
る。第１図における各マークの各指標ａ、ａ’ 。
Ｂ （Ｂｏ、、Ｂ１．Ｂ２・・・）を複数個特定方向に
一定のピッチＰＢで配列したものであり、マークＢは一
定間隔ＤＢだけ離れた一対の指標をおよびｂ′から成る
。マークＡの中にマークＢが含まれるようにＤＡ＞ＤＢ
となっており、また、ＰＡ≠ＰＢであるため対応するマ
ークＡとマークＢとの位置関係は順次ずれてゆく。従来
はこのように重ねられた２つのマーク群を肉眼により観
察し、マークＢが対応するマークＡのちょうど中央位置
にあるようなマークＡおよびＢのペアを検索したが、本
発明ではこれを自動的に行なう。即ち、第１図に示すバ
ーニアをマークの配列方向に光あるいは電子ビーム等に
より走査し、その反射光を受光器等で受けて電気信号に
変換する。この変換された電気信号の値を示すグラフ群
σ（Ｃｏ〜ｃ６ ＞を第２図に示す。各グラフＣでは反
射光強度の小さいもの程高い値を示し、Ｃｏ−Ｃ６はそ
れぞれ第１図のＡ 〜Ａ （Ｂ −８６）に対応す
る。第１図における各マークの各指標ａ、ａ’ 。
ｂ、およびｂ′の位置は、グラフＣではそれぞれピーク
位置として現われる。従って指標ａとをとの距離δはピ
ーク間距離εに相当し、また、指標ａ′とｂ′との距離
δ′はピーク間距離ε′に相当する。いま、ＡＱを第１
の基準Ｙ−り、Ｂｏを第２の基準マークとして他のマー
クＡ、マークＢに対して識別可能にしたとする。これは
例えばＡＱ 、 Ｂ、Ｑを構成する指標ａ、ａ’ 、ｂ
、ｂ’を若干長くする等の方法によればよい。そして、
ＢｏがＡＱのちょうど中央位置にきたときに、第１のパ
ターンと第２のパターンとが誤差なく重なり合うように
各パターン及びバーニアが形成されているものとすると
、求める重ね合せ誤差の真の機等を用いる従来の方法で
は、第２図のグラフｃｏに示すピーク位置からεおよび
ε′を求め、誤差の測定値としたわけであるが、前述の
ようにεとε′の値はそれぞれδとδ′の値に一致せず
、精度よい測定値が得られなかったわけである。本発明
ではεおよびε′の絶対値は何ら意味をもたず、εおよ
びε′の相対値に着目すれば足りる。
位置として現われる。従って指標ａとをとの距離δはピ
ーク間距離εに相当し、また、指標ａ′とｂ′との距離
δ′はピーク間距離ε′に相当する。いま、ＡＱを第１
の基準Ｙ−り、Ｂｏを第２の基準マークとして他のマー
クＡ、マークＢに対して識別可能にしたとする。これは
例えばＡＱ 、 Ｂ、Ｑを構成する指標ａ、ａ’ 、ｂ
、ｂ’を若干長くする等の方法によればよい。そして、
ＢｏがＡＱのちょうど中央位置にきたときに、第１のパ
ターンと第２のパターンとが誤差なく重なり合うように
各パターン及びバーニアが形成されているものとすると
、求める重ね合せ誤差の真の機等を用いる従来の方法で
は、第２図のグラフｃｏに示すピーク位置からεおよび
ε′を求め、誤差の測定値としたわけであるが、前述の
ようにεとε′の値はそれぞれδとδ′の値に一致せず
、精度よい測定値が得られなかったわけである。本発明
ではεおよびε′の絶対値は何ら意味をもたず、εおよ
びε′の相対値に着目すれば足りる。
即ち、Ｃｏ−Ｃ６のそれぞれについてεおよびε′を比
較し、εとε′との差が最も小さくなるグラフを見つけ
出せばよい。第２図の例ではＣ３がこのグラフに相当す
る。これは第１図でマークＢ がマークＡ３の中央位置
にあることを意味する。マークＡ とマークＢ３とのペ
アは基準マーりＡ から３番目のペアであるから、例え
ばＰＢ−ＰＡ＝’０．１μｍとした場合、求める重ね合
せ誤差δ８は０．１ｘ３＝０．３μｍとして与えられる
。
較し、εとε′との差が最も小さくなるグラフを見つけ
出せばよい。第２図の例ではＣ３がこのグラフに相当す
る。これは第１図でマークＢ がマークＡ３の中央位置
にあることを意味する。マークＡ とマークＢ３とのペ
アは基準マーりＡ から３番目のペアであるから、例え
ばＰＢ−ＰＡ＝’０．１μｍとした場合、求める重ね合
せ誤差δ８は０．１ｘ３＝０．３μｍとして与えられる
。
このようにδとεとの間の偏差、δ′とε′との間の偏
差が生じていても、本発明による方法ではεおよびε′
の絶対値を用いないので、微小線幅測定機を用いたこと
による精度低下は生じない。
差が生じていても、本発明による方法ではεおよびε′
の絶対値を用いないので、微小線幅測定機を用いたこと
による精度低下は生じない。
第３図は本発明の別な実施例を示す図で、マーり群へと
マーク群■とは互いに配列領域が重なっていない。従っ
て第１図に示す実施例では走査は領域Ｓの間で行なえば
よかったが、本実施例では領域ＳＡおよびＳＢの両方に
ついて別々に行なう必要がある。しかしこのように領域
を分けることにより測定精度を更に向上させることがで
きる。
マーク群■とは互いに配列領域が重なっていない。従っ
て第１図に示す実施例では走査は領域Ｓの間で行なえば
よかったが、本実施例では領域ＳＡおよびＳＢの両方に
ついて別々に行なう必要がある。しかしこのように領域
を分けることにより測定精度を更に向上させることがで
きる。
即ち、第１図に示す実施例では、走査結果のグラフＣは
４つのピークをもつが、ピーク間の間隔が狭くなると互
いに干渉しあいピーク位置を精度よく求めることができ
なくなる場合がある。本実施例ではマークＡとマークＢ
との走査を別々に行なうため、このような干渉を避ける
ことができる。
４つのピークをもつが、ピーク間の間隔が狭くなると互
いに干渉しあいピーク位置を精度よく求めることができ
なくなる場合がある。本実施例ではマークＡとマークＢ
との走査を別々に行なうため、このような干渉を避ける
ことができる。
また、更に別な実施例として、第２図で、グラフＣ３に
おいてεとε′との差が最小となるが、厳密にはε≠ε
′であるので、これを補間して更に精度を向上させるこ
ともできる。即ち、この場合グラフＣ３の両隣りである
グラフＣ２およびＣ４のそれぞれのεおよびε′の値に
着目すると、Ｃ２→Ｃ３→Ｃ４の順にεの値は減少し、
ε′の値は増加する。従って第１図においてマークＢが
マークＡの中央位置にくるようなペアの基準マークから
の隔りを、前述の実施例では整数単位でしか求められな
かったが、本実施例によれば小数の単位まで求めること
ができ、測定精度は更に向上する。
おいてεとε′との差が最小となるが、厳密にはε≠ε
′であるので、これを補間して更に精度を向上させるこ
ともできる。即ち、この場合グラフＣ３の両隣りである
グラフＣ２およびＣ４のそれぞれのεおよびε′の値に
着目すると、Ｃ２→Ｃ３→Ｃ４の順にεの値は減少し、
ε′の値は増加する。従って第１図においてマークＢが
マークＡの中央位置にくるようなペアの基準マークから
の隔りを、前述の実施例では整数単位でしか求められな
かったが、本実施例によれば小数の単位まで求めること
ができ、測定精度は更に向上する。
以上のとおり本発明によれば、バーニアを用いるパター
ンの重ね合せ誤差測定方法において、バーニアを構成す
る各マークの位置を電気信号として読取り、各マークの
位置関係から間接的に重ね合せ誤差を算出するようにし
たため、測定者の肉眼測定によることなく自動的に測定
ができ、かつ、精度よい測定結果を得ることができる。
ンの重ね合せ誤差測定方法において、バーニアを構成す
る各マークの位置を電気信号として読取り、各マークの
位置関係から間接的に重ね合せ誤差を算出するようにし
たため、測定者の肉眼測定によることなく自動的に測定
ができ、かつ、精度よい測定結果を得ることができる。
第１図および第２図は本発明に係るパターンの重ね合せ
誤差測定方法の一実施例の説明図、第３図は本発明の別
な一実施例の説明図、第４図および第５図は従来のパタ
ーンの重ね合せ誤差測定方法の一例を示す説明図である
。 Ａ −Ａ ・・・第１のマーク、Ｂ 〜Ｂ６・・・
第２のマーク、ｃｏ−０６・・・走査結果のグラフ。 出願人代即人 猪 股 清第１図 第２図 第３図
誤差測定方法の一実施例の説明図、第３図は本発明の別
な一実施例の説明図、第４図および第５図は従来のパタ
ーンの重ね合せ誤差測定方法の一例を示す説明図である
。 Ａ −Ａ ・・・第１のマーク、Ｂ 〜Ｂ６・・・
第２のマーク、ｃｏ−０６・・・走査結果のグラフ。 出願人代即人 猪 股 清第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、第１のパターンと第２のパターンとの特定方向にお
ける重ね合せ誤差を測定する方法であって、前記第１の
パターン上に、一定の間隔Ｄ＿Ａだけ離れた一対の指標
ａおよびａ′、から成るマークＡを複数個一定のピッチ
Ｐ＿Ａで前記特定方向に配列してマーク群＠Ａ＠とし、
前記第２のパターン上に、一定の間隔Ｄ＿Ｂだけ離れた
一対の指標をおよびをｂ′、から成るマークＢを複数個
一定のピッチＰ＿Ｂ（Ｐ＿Ｂ≠Ｐ＿Ａ）で前記特定方向
に配列してマーク群Ｂとし、前記マーク群＠Ａ＠のうち
の１つのマークＡを第１の基準マークとして他のマーク
Ａに対して識別可能にし、前記マーク群＠Ｂ＠のうちの
１つのマークＢを第２の基準マークとして他のマークＢ
に対して識別可能にし、２、前記マーク群＠Ａ＠および
前記マーク群＠Ｂ＠を前記特定方向に走査して前記各指
標ａ、ａ′、ｂ、およびｂ′の前記特定方向における位
置を電気信号に変換し、これをデータとして記憶し、前
記マーク群＠Ａ＠のうちの１つのマークＡに属する指標
ａとａ′との間に、前記マーク群＠Ｂ＠のうちの１つの
マークＢに属する指標をおよびｂ′が位置し、かつ、前
記指標ａとをとの間隔と、前記指標ａ′とｂ′との間隔
と、の差が最小となる、という条件を満足するマークＡ
とマークＢとのペアを前記データを用いて検索し、前記
第１の基準マークと、前記検索されたペアとの隔りから
、前記第１の基準マークと前記第２の基準マークとの前
記特定方向における位置偏差を算出し、前記位置偏差を
前記特定方向における前記第１のパターンと前記第２の
パターンとの重ね合せ誤差とすることを特徴とするパタ
ーンの重ね合せ誤差測定方法。 ２、マーク群＠Ａ＠が配列された領域と、マーク群＠Ｂ
＠が配列された領域とが、重ならないことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のパターンの重ね合せ誤差測
定方法。 ３、第１の基準マークと第２の基準マークとの特定方向
における位置偏差を算出するのに、検索されたペアの両
隣りのペアに属する各指標ａ、ａ′、ｂおよびｂ′の位
置を更に用いることを特徴とする特許請求の範囲第１項
又は第２項記載のパターンの重ね合せ誤差測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13870684A JPS6118128A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | パタ−ンの重ね合せ誤差測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13870684A JPS6118128A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | パタ−ンの重ね合せ誤差測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6118128A true JPS6118128A (ja) | 1986-01-27 |
Family
ID=15228220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13870684A Pending JPS6118128A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | パタ−ンの重ね合せ誤差測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6118128A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05503171A (ja) * | 1990-02-14 | 1993-05-27 | イーストマン・コダック・カンパニー | ウェブの位置の決定 |
-
1984
- 1984-07-04 JP JP13870684A patent/JPS6118128A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05503171A (ja) * | 1990-02-14 | 1993-05-27 | イーストマン・コダック・カンパニー | ウェブの位置の決定 |
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