JPS61179751U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、粘着性シート上のウエハーを多数の
チツプに切断した状態を示す側面図、第２図は、
第１図のチツプ圧着シートのチツプ間隔を整然と
拡張して取扱い易い状態に固定する本考案による
固定装置を示す側面断面図、第３図は、第２図の
固定装置の使用状態を示す側面断面図、第４図お
よび第５図は、本考案の固定装置によりチツプ圧
着シートを固定した状態を示すそれぞれ側面断面
図および上面図、第６図ないし第８図は、それぞ
れ本考案の第３図ないし第５図に対応する従来抜
術を例示する参照図であつて、第６図は拡張治具
の使用状態を示す側面断面図、第７図および第８
図はゴムリングによりチツプ圧着シートを固定し
た状態を示すそれぞれ側面断面図および上面図で
ある。 １……粘着性シート、２……ウエハー、３……
チツプ、４，５……シート周囲を固定する治具、
６……支持台、７……拡張治具、８……Ｏリング
、９……クランプリング、１０……Ｏリング、１
１……拡張治具、１２……支持台、１３……凹溝
、１４……ゴムリング、１５……凹溝、１８……
拡張治具のフランジ、１９……拡張治具の上面部
（変形例）。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 粘着シートの上面に圧着されたウエハーを多数
   のチツプに切断した状態の前記粘着シートを、周
   囲方向に均整に拡張することによつて前記多数の
   チツプを整然と間隔配列させ、かつ前記チツプの
   均整配列状態を乱すことなく前記チツプ圧着シー
   トを固定するための装置であつて、前記固定装置
   は、前記シートに対して滑り易い上面を有する円
   筒形の本体と前記本体の下端から外周に張出すフ
   ランジと前記本体の外周に設けた凹溝とを有する
   拡張治具７と、前記拡張治具本体の外径より僅か
   に大きい内径を有するクランプリング９と、前記
   拡張治具の凹溝に嵌着するＯリング８とを有する
   ことを特徴とするウエハー圧着シートの固定装置
   。