JPS61179581A - Si発光ダイオ−ド - Google Patents
Si発光ダイオ−ドInfo
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- JPS61179581A JPS61179581A JP60019491A JP1949185A JPS61179581A JP S61179581 A JPS61179581 A JP S61179581A JP 60019491 A JP60019491 A JP 60019491A JP 1949185 A JP1949185 A JP 1949185A JP S61179581 A JPS61179581 A JP S61179581A
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- JP
- Japan
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- junction
- light
- substrate
- emitting diode
- film
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract 2
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 abstract 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005091 Si3N Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/0004—Devices characterised by their operation
- H01L33/0008—Devices characterised by their operation having p-n or hi-lo junctions
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は発光ダイオードの材料構成および構造に関する
。
。
°従来の発光ダイオードはGap、GaAs。
GaN 、SiO等の化合物半導体のP −n接合から
の発光を用いるのが通例であった。
の発光を用いるのが通例であった。
しかし、上記従来技術によると、化合物半導体・表面の
保護膜との界面での表面準位密度が1011−io13
/−と極めて高く、ひいては発光特性の変動、劣化が著
しいといつ間Mがあった。
保護膜との界面での表面準位密度が1011−io13
/−と極めて高く、ひいては発光特性の変動、劣化が著
しいといつ間Mがあった。
本発明は、かかる従来技術の問題点を解決するために、
発光ダイオードにおいて、Si基板にP−n接合を形成
し、該P −n接合の表面部にはS10!あるいはS
i、N、膜が保護膜として形成され、前記P−n接合に
電圧を2印加して電流を流し、前記P −n接合部から
発光せしめる事を特徴とする。
発光ダイオードにおいて、Si基板にP−n接合を形成
し、該P −n接合の表面部にはS10!あるいはS
i、N、膜が保護膜として形成され、前記P−n接合に
電圧を2印加して電流を流し、前記P −n接合部から
発光せしめる事を特徴とする。
Si″のP −n接合上のS10.膜あるいはSi3N
4 膜は熱生成されたり、あるいは適当なアニール処理
を施すことにより、表面準位密度が101・/−のオー
ダーに小さくでき、そのため表面に帰因する特性劣化が
著しく小さい発光ダイオードとなる作用がある。
4 膜は熱生成されたり、あるいは適当なアニール処理
を施すことにより、表面準位密度が101・/−のオー
ダーに小さくでき、そのため表面に帰因する特性劣化が
著しく小さい発光ダイオードとなる作用がある。
以下、実施例により本発明を詳述する。
第1図は本発明の一実施例を示すSi発光ダイオードの
断面図である。すなわち、S1基板1の表面には拡散層
2.酸化膜3が形成され、透明電極4と5に電圧、電流
が印加されてP −n接合部で発光することとなる。
断面図である。すなわち、S1基板1の表面には拡散層
2.酸化膜3が形成され、透明電極4と5に電圧、電流
が印加されてP −n接合部で発光することとなる。
本発明は単なるP −n接合のみならずCICD(Ch
arge Coupled Device )の如
く基板とチャンネルからなるP −n接合にも適用でき
る。
arge Coupled Device )の如
く基板とチャンネルからなるP −n接合にも適用でき
る。
更に本発明は単結晶S1のみならず多結晶S1やアモル
ファスS1にも適用できる。
ファスS1にも適用できる。
〔発明の効果〕 。
上記の如(Si発光ダイオードを実現することにより特
性変動のない発光ダイオードを実現できる効果がある。
性変動のない発光ダイオードを実現できる効果がある。
第1図は本発明の一実施例を示すSi発光ダイオードの
断面図である。 1・・・・・・・・・S1基板 2・・・・・・・・・拡散層 5・・・・・・・・・酸化膜 4.5・・・電極 以 上
断面図である。 1・・・・・・・・・S1基板 2・・・・・・・・・拡散層 5・・・・・・・・・酸化膜 4.5・・・電極 以 上
Claims (1)
- Si基板にP−n接合を形成し、該P−n接合の表面
部にはSiO_2あるいはSi_3N_4膜が保護膜と
して形成され、前記P−n接合に電圧を印加して電流を
流し、前記P−n接合部から発光せしめる事を特徴とす
るSi発光ダイオード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60019491A JPS61179581A (ja) | 1985-02-04 | 1985-02-04 | Si発光ダイオ−ド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60019491A JPS61179581A (ja) | 1985-02-04 | 1985-02-04 | Si発光ダイオ−ド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61179581A true JPS61179581A (ja) | 1986-08-12 |
Family
ID=12000827
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60019491A Pending JPS61179581A (ja) | 1985-02-04 | 1985-02-04 | Si発光ダイオ−ド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61179581A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5258628A (en) * | 1992-02-27 | 1993-11-02 | Eastman Kodak Company | Linearizing emitted light intensity from a light-emitting device |
US5458735A (en) * | 1991-08-14 | 1995-10-17 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Process for the production of electroluminescent silicon structures |
KR100446622B1 (ko) * | 2002-01-10 | 2004-09-04 | 삼성전자주식회사 | 실리콘 광소자 및 이를 적용한 발광 디바이스 장치 |
KR100455288B1 (ko) * | 2002-03-08 | 2004-11-06 | 삼성전자주식회사 | 실리콘 발광소자를 이용한 평판형 표시장치 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4210934Y1 (ja) * | 1964-07-25 | 1967-06-16 | ||
JPS604509U (ja) * | 1983-06-17 | 1985-01-14 | 古沢 チヱ子 | 婦人用着物 |
-
1985
- 1985-02-04 JP JP60019491A patent/JPS61179581A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4210934Y1 (ja) * | 1964-07-25 | 1967-06-16 | ||
JPS604509U (ja) * | 1983-06-17 | 1985-01-14 | 古沢 チヱ子 | 婦人用着物 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5458735A (en) * | 1991-08-14 | 1995-10-17 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Process for the production of electroluminescent silicon structures |
US5258628A (en) * | 1992-02-27 | 1993-11-02 | Eastman Kodak Company | Linearizing emitted light intensity from a light-emitting device |
KR100446622B1 (ko) * | 2002-01-10 | 2004-09-04 | 삼성전자주식회사 | 실리콘 광소자 및 이를 적용한 발광 디바이스 장치 |
KR100455288B1 (ko) * | 2002-03-08 | 2004-11-06 | 삼성전자주식회사 | 실리콘 발광소자를 이용한 평판형 표시장치 |
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