JPS61179581A - Si発光ダイオ−ド - Google Patents

Si発光ダイオ−ド

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Publication number
JPS61179581A
JPS61179581A JP60019491A JP1949185A JPS61179581A JP S61179581 A JPS61179581 A JP S61179581A JP 60019491 A JP60019491 A JP 60019491A JP 1949185 A JP1949185 A JP 1949185A JP S61179581 A JPS61179581 A JP S61179581A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
junction
light
substrate
emitting diode
film
Prior art date
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Pending
Application number
JP60019491A
Other languages
English (en)
Inventor
Seiichi Iwamatsu
誠一 岩松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Publication of JPS61179581A publication Critical patent/JPS61179581A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/0004Devices characterised by their operation
    • H01L33/0008Devices characterised by their operation having p-n or hi-lo junctions

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Led Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は発光ダイオードの材料構成および構造に関する
〔従来の技術〕
°従来の発光ダイオードはGap、GaAs。
GaN 、SiO等の化合物半導体のP −n接合から
の発光を用いるのが通例であった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、上記従来技術によると、化合物半導体・表面の
保護膜との界面での表面準位密度が1011−io13
/−と極めて高く、ひいては発光特性の変動、劣化が著
しいといつ間Mがあった。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、かかる従来技術の問題点を解決するために、
発光ダイオードにおいて、Si基板にP−n接合を形成
し、該P −n接合の表面部にはS10!あるいはS 
i、N、膜が保護膜として形成され、前記P−n接合に
電圧を2印加して電流を流し、前記P −n接合部から
発光せしめる事を特徴とする。
〔作用〕
Si″のP −n接合上のS10.膜あるいはSi3N
4 膜は熱生成されたり、あるいは適当なアニール処理
を施すことにより、表面準位密度が101・/−のオー
ダーに小さくでき、そのため表面に帰因する特性劣化が
著しく小さい発光ダイオードとなる作用がある。
〔実施例〕
以下、実施例により本発明を詳述する。
第1図は本発明の一実施例を示すSi発光ダイオードの
断面図である。すなわち、S1基板1の表面には拡散層
2.酸化膜3が形成され、透明電極4と5に電圧、電流
が印加されてP −n接合部で発光することとなる。
本発明は単なるP −n接合のみならずCICD(Ch
arge  Coupled  Device )の如
く基板とチャンネルからなるP −n接合にも適用でき
る。
更に本発明は単結晶S1のみならず多結晶S1やアモル
ファスS1にも適用できる。
〔発明の効果〕 。
上記の如(Si発光ダイオードを実現することにより特
性変動のない発光ダイオードを実現できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示すSi発光ダイオードの
断面図である。 1・・・・・・・・・S1基板 2・・・・・・・・・拡散層 5・・・・・・・・・酸化膜 4.5・・・電極 以  上

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  Si基板にP−n接合を形成し、該P−n接合の表面
    部にはSiO_2あるいはSi_3N_4膜が保護膜と
    して形成され、前記P−n接合に電圧を印加して電流を
    流し、前記P−n接合部から発光せしめる事を特徴とす
    るSi発光ダイオード。
JP60019491A 1985-02-04 1985-02-04 Si発光ダイオ−ド Pending JPS61179581A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5258628A (en) * 1992-02-27 1993-11-02 Eastman Kodak Company Linearizing emitted light intensity from a light-emitting device
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KR100446622B1 (ko) * 2002-01-10 2004-09-04 삼성전자주식회사 실리콘 광소자 및 이를 적용한 발광 디바이스 장치
KR100455288B1 (ko) * 2002-03-08 2004-11-06 삼성전자주식회사 실리콘 발광소자를 이용한 평판형 표시장치

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JPS4210934Y1 (ja) * 1964-07-25 1967-06-16
JPS604509U (ja) * 1983-06-17 1985-01-14 古沢 チヱ子 婦人用着物

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