JPS6117732U - 遠心乾燥機 - Google Patents

遠心乾燥機

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Publication number
JPS6117732U
JPS6117732U JP10255484U JP10255484U JPS6117732U JP S6117732 U JPS6117732 U JP S6117732U JP 10255484 U JP10255484 U JP 10255484U JP 10255484 U JP10255484 U JP 10255484U JP S6117732 U JPS6117732 U JP S6117732U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
turntable
support member
centrifugal dryer
object support
drying object
Prior art date
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Pending
Application number
JP10255484U
Other languages
English (en)
Inventor
一成 石川
Original Assignee
関西日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 関西日本電気株式会社 filed Critical 関西日本電気株式会社
Priority to JP10255484U priority Critical patent/JPS6117732U/ja
Publication of JPS6117732U publication Critical patent/JPS6117732U/ja
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  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す平面図、第２図は第１
図のＡ−Ａ線に沿う断面図、第３図乃至第６図は第２図
の一部の各動作状態を示す断面図である。 第７図は従来の遠心乾燥機の平面図、第８図は第７図の
Ｂ−Ｂ線に沿う断面図、第９図は第７図の一部の拡大分
解斜視図、第１０図は第８図の一部の一動作状態を示す
断面図である。 ９・・・被乾燥物（半導体ウエーハ）、１２・・・タ一
ンテーブル、１−７・・・被乾燥物支持部材（キャリア
ホルダ）、１９・・・角度飼御手段。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 水平なターンテーブルと、このターンテーブル周辺部上
    にターンテーブル半径方向に取付角度調整可能に設置さ
    れた被乾燥物支持部材と、前記ターンテーブルに内蔵さ
    れて前記被乾燥物支持部材の取付角度をターンテーブル
    回転時に段階的に変動させる角度制御手段とを具備した
    ことを特徴とする遠心乾燥機。
JP10255484U 1984-07-07 1984-07-07 遠心乾燥機 Pending JPS6117732U (ja)

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JP10255484U JPS6117732U (ja) 1984-07-07 1984-07-07 遠心乾燥機

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JP10255484U JPS6117732U (ja) 1984-07-07 1984-07-07 遠心乾燥機

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6117732U true JPS6117732U (ja) 1986-02-01

Family

ID=30661949

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10255484U Pending JPS6117732U (ja) 1984-07-07 1984-07-07 遠心乾燥機

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Country Link
JP (1) JPS6117732U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62291924A (ja) * 1986-06-12 1987-12-18 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体ウエハの乾燥方法
JPS62293617A (ja) * 1986-06-13 1987-12-21 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体ウエハ遠心乾燥装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62291924A (ja) * 1986-06-12 1987-12-18 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体ウエハの乾燥方法
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