JPS61171611A - 自動車の燃料タンク内のフイルタ装置 - Google Patents
自動車の燃料タンク内のフイルタ装置Info
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- JPS61171611A JPS61171611A JP1268985A JP1268985A JPS61171611A JP S61171611 A JPS61171611 A JP S61171611A JP 1268985 A JP1268985 A JP 1268985A JP 1268985 A JP1268985 A JP 1268985A JP S61171611 A JPS61171611 A JP S61171611A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- cylindrical filter
- suction cylinder
- wall
- fuel
- Prior art date
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60K—ARRANGEMENT OR MOUNTING OF PROPULSION UNITS OR OF TRANSMISSIONS IN VEHICLES; ARRANGEMENT OR MOUNTING OF PLURAL DIVERSE PRIME-MOVERS IN VEHICLES; AUXILIARY DRIVES FOR VEHICLES; INSTRUMENTATION OR DASHBOARDS FOR VEHICLES; ARRANGEMENTS IN CONNECTION WITH COOLING, AIR INTAKE, GAS EXHAUST OR FUEL SUPPLY OF PROPULSION UNITS IN VEHICLES
- B60K15/00—Arrangement in connection with fuel supply of combustion engines or other fuel consuming energy converters, e.g. fuel cells; Mounting or construction of fuel tanks
- B60K15/03—Fuel tanks
- B60K15/077—Fuel tanks with means modifying or controlling distribution or motion of fuel, e.g. to prevent noise, surge, splash or fuel starvation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60K—ARRANGEMENT OR MOUNTING OF PROPULSION UNITS OR OF TRANSMISSIONS IN VEHICLES; ARRANGEMENT OR MOUNTING OF PLURAL DIVERSE PRIME-MOVERS IN VEHICLES; AUXILIARY DRIVES FOR VEHICLES; INSTRUMENTATION OR DASHBOARDS FOR VEHICLES; ARRANGEMENTS IN CONNECTION WITH COOLING, AIR INTAKE, GAS EXHAUST OR FUEL SUPPLY OF PROPULSION UNITS IN VEHICLES
- B60K15/00—Arrangement in connection with fuel supply of combustion engines or other fuel consuming energy converters, e.g. fuel cells; Mounting or construction of fuel tanks
- B60K15/03—Fuel tanks
- B60K2015/03105—Fuel tanks with supplementary interior tanks inside the fuel tank
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60K—ARRANGEMENT OR MOUNTING OF PROPULSION UNITS OR OF TRANSMISSIONS IN VEHICLES; ARRANGEMENT OR MOUNTING OF PLURAL DIVERSE PRIME-MOVERS IN VEHICLES; AUXILIARY DRIVES FOR VEHICLES; INSTRUMENTATION OR DASHBOARDS FOR VEHICLES; ARRANGEMENTS IN CONNECTION WITH COOLING, AIR INTAKE, GAS EXHAUST OR FUEL SUPPLY OF PROPULSION UNITS IN VEHICLES
- B60K15/00—Arrangement in connection with fuel supply of combustion engines or other fuel consuming energy converters, e.g. fuel cells; Mounting or construction of fuel tanks
- B60K15/03—Fuel tanks
- B60K2015/03236—Fuel tanks characterised by special filters, the mounting thereof
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Sustainable Energy (AREA)
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- Combustion & Propulsion (AREA)
- Transportation (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Cooling, Air Intake And Gas Exhaust, And Fuel Tank Arrangements In Propulsion Units (AREA)
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は吸込口を下に向けて自動車の燃料タンク内に
取付けたフィードポンプに燃料を一過して吸込ませるた
めのフィルタ装置に関する。
取付けたフィードポンプに燃料を一過して吸込ませるた
めのフィルタ装置に関する。
（従来の技術）
吸込口を下に向けて燃料タンク内に取付けたフィードポ
ンプの上記吸込口の下端にフィルタを下向きに連設する
ことは実開昭５６−１１７０５５号 ′にて公知であ
る。
ンプの上記吸込口の下端にフィルタを下向きに連設する
ことは実開昭５６−１１７０５５号 ′にて公知であ
る。
（発明が解決しようとする問題点）
燃料タンクの底壁は燃料が吸出されてタンク内が負圧に
なったシ、或いは走行中に跳ねた石が轟ったシ、路面と
擦れると上向きに変形する虞れがある。従って、底壁が
その様に上向きに変形してもフィルタが破損したり、燃
料の吸出しが行えなくなったりしない様にフィルタの下
壁は正常な状態の燃料タンクの底壁から上に少し離しで
ある。
なったシ、或いは走行中に跳ねた石が轟ったシ、路面と
擦れると上向きに変形する虞れがある。従って、底壁が
その様に上向きに変形してもフィルタが破損したり、燃
料の吸出しが行えなくなったりしない様にフィルタの下
壁は正常な状態の燃料タンクの底壁から上に少し離しで
ある。
これによりタンク底壁の上向きの変形には対処できるが
、上に離した分だけタンクの全容量に対して吸出すこと
ができる燃料の量は少くなシ、実質的なタンクの容量は
減少したことになる。
、上に離した分だけタンクの全容量に対して吸出すこと
ができる燃料の量は少くなシ、実質的なタンクの容量は
減少したことになる。
（問題点を解決するための手段）
そこで本発明はタンク内に取付けたフィードポンプの下
向きの吸込口に、下端に小径部を有する吸込筒を延長状
に装着し、上壁と下壁と上記両壁間に設けられた燃料濾
過用のメツシュを有する周囲壁からなる筒形フィルタの
前記上壁に前記吸込筒の下端の小径部よりも直径が大き
い凹部を設けると共に、この凹部の中央に上記小径部と
連通した開口を設け、前記吸込筒と筒形フィルタの上壁
間には筒形フィルタを下圧してその下壁をタンク内底面
゛に当接させるバネ手段を設け、筒形フィルタの上下動
を前記筒形フィルタの上壁の凹部内での吸込筒の変形、
移動により吸収することを特徴とする。
向きの吸込口に、下端に小径部を有する吸込筒を延長状
に装着し、上壁と下壁と上記両壁間に設けられた燃料濾
過用のメツシュを有する周囲壁からなる筒形フィルタの
前記上壁に前記吸込筒の下端の小径部よりも直径が大き
い凹部を設けると共に、この凹部の中央に上記小径部と
連通した開口を設け、前記吸込筒と筒形フィルタの上壁
間には筒形フィルタを下圧してその下壁をタンク内底面
゛に当接させるバネ手段を設け、筒形フィルタの上下動
を前記筒形フィルタの上壁の凹部内での吸込筒の変形、
移動により吸収することを特徴とする。
（作用）
本発明によればバネ手段の下圧によって筒形フィルタの
下壁は常時、タンク内の底面に当接する。そしてタンク
の底壁が正常な平らの場合、上向きに変形した場合の筒
形フィルタの上下動は筒形フィルタの上壁に設けた凹部
内での吸込筒の変形、移動により吸収される。
下壁は常時、タンク内の底面に当接する。そしてタンク
の底壁が正常な平らの場合、上向きに変形した場合の筒
形フィルタの上下動は筒形フィルタの上壁に設けた凹部
内での吸込筒の変形、移動により吸収される。
従って筒形フィルタ内から吸込筒を通じタンクの底面直
近かまでのタンク内燃料をフィードポンプによって吸出
すことができる。
近かまでのタンク内燃料をフィードポンプによって吸出
すことができる。
（実施例）
各図において、／は燃料タンクの底、コはフィードポン
プ、３は吸込筒、ダは筒形フィルタを示す。フィードポ
ンプはタンクの上壁にシールされて貫通状に支持され、
吸込口ａ′を下に向けて居シ、吸込筒３は上記ポンプ下
端部に延長状に下向きに装着されている。
プ、３は吸込筒、ダは筒形フィルタを示す。フィードポ
ンプはタンクの上壁にシールされて貫通状に支持され、
吸込口ａ′を下に向けて居シ、吸込筒３は上記ポンプ下
端部に延長状に下向きに装着されている。
吸込筒Ｊの上端はフィードポンプの吸込口λ′に装着し
てもよいし、フィードポンプをシールして夕・りの上壁
に貫通状に支持する支持筒！；１の下端部に装着しても
よい。
てもよいし、フィードポンプをシールして夕・りの上壁
に貫通状に支持する支持筒！；１の下端部に装着しても
よい。
吸込筒３は下端部に小径部３′を有し、筒形フィルタダ
は上壁４ＩｃＬに上記小径部３′よシも直径が大きい下
向きの凹部６を有し、凹部６の中央には上記小径部３′
と連通する開ロアが開設しである。
は上壁４ＩｃＬに上記小径部３′よシも直径が大きい下
向きの凹部６を有し、凹部６の中央には上記小径部３′
と連通する開ロアが開設しである。
尚、筒形フィルタダは上壁のほかに下壁ダｂと、燃料濾
過用のメッシュダ′を有する周囲壁１１ｃを有する。吸
込筒３、筒形フィルタダはプラスチックまたは可撓性材
料で成形し、支持筒３は防振ゴムで成形しである。
過用のメッシュダ′を有する周囲壁１１ｃを有する。吸
込筒３、筒形フィルタダはプラスチックまたは可撓性材
料で成形し、支持筒３は防振ゴムで成形しである。
第１．２図は第１実施例であって、筒形フィルタダの上
壁に設けた下向きの凹部６の直径は吸込筒よシも大であ
る。そして吸込筒３は小径部３′の上、つまシ凹部６内
に位置する部分に薄肉で、伸長状態に成形された蛇腹部
Ｓを有し、蛇腹部の下端で凹部６の上面に当接し、小径
部３′は凹部の中央の開ロアの内周に不動に嵌合し、小
径部の下端はここでは筒形フィルタダの下壁Ｉｌｂから
上に少し離れている。
壁に設けた下向きの凹部６の直径は吸込筒よシも大であ
る。そして吸込筒３は小径部３′の上、つまシ凹部６内
に位置する部分に薄肉で、伸長状態に成形された蛇腹部
Ｓを有し、蛇腹部の下端で凹部６の上面に当接し、小径
部３′は凹部の中央の開ロアの内周に不動に嵌合し、小
径部の下端はここでは筒形フィルタダの下壁Ｉｌｂから
上に少し離れている。
勿論、小径部の下端は筒形フィルタの下壁上面に当接し
てもよく、その場合は小径部３′の下端に下から切込み
を形成して置くヶ 又上壁の凹部６に設ける開ロクを延長して筒形フィルタ
の下壁上面に当接させてもよく、その場合も下端に切込
みを形成する。
てもよく、その場合は小径部３′の下端に下から切込み
を形成して置くヶ 又上壁の凹部６に設ける開ロクを延長して筒形フィルタ
の下壁上面に当接させてもよく、その場合も下端に切込
みを形成する。
セして凹部６の底と、吸込筒３の上端部の段の間には吸
込筒３を取シ巻くコイルバネ９が縮設しである。従って
、この実施例では蛇腹部ｔの伸長弾力と、上記コイルバ
ネデによって筒形フィルタダは下圧され、下壁Ｉｌｂは
タンクの底面／上に当接する。
込筒３を取シ巻くコイルバネ９が縮設しである。従って
、この実施例では蛇腹部ｔの伸長弾力と、上記コイルバ
ネデによって筒形フィルタダは下圧され、下壁Ｉｌｂは
タンクの底面／上に当接する。
第１図ではタンクの底ｌが平らな正常な状態にあるが、
底が上向きに変形すると筒形フィルタダは上に押され、
蛇腹部ｔ、コイルバネ９を凹部内で縮めて上に移動しく
第１−破線）、底が平らに戻ると蛇腹部「とコイルバネ
９で押されて下に移動する。
底が上向きに変形すると筒形フィルタダは上に押され、
蛇腹部ｔ、コイルバネ９を凹部内で縮めて上に移動しく
第１−破線）、底が平らに戻ると蛇腹部「とコイルバネ
９で押されて下に移動する。
こうして筒形フィルタダは下壁ｌｌｂをタンクの底に常
時当接し、タンクの底の変形に応じて上下動する。
時当接し、タンクの底の変形に応じて上下動する。
尚、コイルバネ９は必ずしも必要ではなく蛇腹部Ｓの伸
長力だけで筒形フィル°タダを下圧してもよい。しかし
、コイルバネｔを併用すると、長期間のうちに吸込筒３
が劣化し、蛇腹部ｇの弾力が衰えてもコイルバネ９がそ
の弾力で筒形フィルタグを下圧するので、併用すること
が望ましい。
長力だけで筒形フィル°タダを下圧してもよい。しかし
、コイルバネｔを併用すると、長期間のうちに吸込筒３
が劣化し、蛇腹部ｇの弾力が衰えてもコイルバネ９がそ
の弾力で筒形フィルタグを下圧するので、併用すること
が望ましい。
第５．４図は第２実施例で、ここでは吸込筒３の小径部
３′は環状の端壁１０の内周から突出し、その下端は筒
形フィルタグの開ロクの縁に接合して一体になっている
。
３′は環状の端壁１０の内周から突出し、その下端は筒
形フィルタグの開ロクの縁に接合して一体になっている
。
そして、小径部３′と端壁ｌＯの内周の間には環状のヒ
ンジ１０’が形成してあシ、又、端壁ｉｏの外周辺と凹
部６の間にはコイルバネ９が縮設しである。
ンジ１０’が形成してあシ、又、端壁ｉｏの外周辺と凹
部６の間にはコイルバネ９が縮設しである。
この実施例ではコイルバネ９が筒形フィルタグを下圧し
てその下壁をタンクの底面上に常時当接させ、タンク底
ｌが平らな正常な状態では第３図に示す通りであり、底
が上向きに変形すると筒形フィルタは押し上げられ、環
状の端壁１０はコイルバネ９を圧縮してヒンジ１０’の
個所で曲が夛、凹部６内で円錐形に変形して筒形フイル
タグの上向きの動きを吸収する。勿論タンクの底が平ら
に戻ると筒形フィルタグは第５＠の状態になる。
てその下壁をタンクの底面上に常時当接させ、タンク底
ｌが平らな正常な状態では第３図に示す通りであり、底
が上向きに変形すると筒形フィルタは押し上げられ、環
状の端壁１０はコイルバネ９を圧縮してヒンジ１０’の
個所で曲が夛、凹部６内で円錐形に変形して筒形フイル
タグの上向きの動きを吸収する。勿論タンクの底が平ら
に戻ると筒形フィルタグは第５＠の状態になる。
第５．６図は本発明の更に他の実施例である。
吸込筒の下端部の小径部３′は筒形フィルタ上壁の凹部
６に設けた開ロア中に上下動可能に嵌合している。そし
て、小径部３′の回シにはコイルバネ９を配置し、吸込
筒の大径部と凹部６の間に縮設しである。
６に設けた開ロア中に上下動可能に嵌合している。そし
て、小径部３′の回シにはコイルバネ９を配置し、吸込
筒の大径部と凹部６の間に縮設しである。
この実施例でも上記コイルバネ９が筒形プイルタダを下
圧し、その下壁を常時、タンク内の底面ｌに当接させ、
タンクの底／が上向きに変形すると筒形フィルタグはコ
イルバネ９を縮め表から小径部３′に沿って上向きに移
動する。尚、小径部３′と筒形フィルタ上壁の開ロアと
の間のシールを確実にするため小径部３′の外周には上
下動可能なシールリング／ｌを嵌め、シールリン
：１グの外周に設けた環状溝で開ロクの内周を挟着す
る。
圧し、その下壁を常時、タンク内の底面ｌに当接させ、
タンクの底／が上向きに変形すると筒形フィルタグはコ
イルバネ９を縮め表から小径部３′に沿って上向きに移
動する。尚、小径部３′と筒形フィルタ上壁の開ロアと
の間のシールを確実にするため小径部３′の外周には上
下動可能なシールリング／ｌを嵌め、シールリン
：１グの外周に設けた環状溝で開ロクの内周を挟着す
る。
又、小径部３′の下端には下向きに逆止爪ｌコを形成し
小径部３′がシールリングから上に抜けるのを防止する
。
小径部３′がシールリングから上に抜けるのを防止する
。
この実施例の凹部６は第１、第２両実施例に較べると直
径は小さく、且つ深さも浅い。このため凹部６の下面に
は下端が筒形フィルタの下壁にはソ届く補助筒１３を設
け、補助筒１３の下端には切欠き／３′を形成し、フィ
ードポンプコは上記補助筒／３、吸込筒３を経て燃料を
吸込む。
径は小さく、且つ深さも浅い。このため凹部６の下面に
は下端が筒形フィルタの下壁にはソ届く補助筒１３を設
け、補助筒１３の下端には切欠き／３′を形成し、フィ
ードポンプコは上記補助筒／３、吸込筒３を経て燃料を
吸込む。
尚、第１、第２実施例に開示したが、筒形フィルタグの
上壁にはフィルタ内部と連通した上向きの筒部ｌダを設
け、この筒部にチューブを連結し、フィルタ内部に生じ
る燃料の蒸気をキャニスタに導くようにするとよい。
上壁にはフィルタ内部と連通した上向きの筒部ｌダを設
け、この筒部にチューブを連結し、フィルタ内部に生じ
る燃料の蒸気をキャニスタに導くようにするとよい。
（発明の効果）
以上で明らかな様に本発明によれば筒形フィルタは上下
動することができる様にフィードポンプから下がる吸込
筒に取付けてあシ、常時、タンク内の底面に下壁を当接
している。
動することができる様にフィードポンプから下がる吸込
筒に取付けてあシ、常時、タンク内の底面に下壁を当接
している。
従って、タンクの底の直近かまで、つまシタンク内のは
ｙ全量の燃料を吸出す・ことができる。
ｙ全量の燃料を吸出す・ことができる。
そして、筒形フィルタの上壁は凹部を有し、吸込筒はそ
の内部に没入しているのでポンプの吸込口とフィルタの
下壁間の距離が短くなり、タンクの扁平化に対応できる
。又、筒形フィルタは吸込筒を介してポンプに装着され
るのでポンプの振動が直接に筒形フィルタに伝わらず、
このため異音、振動音の発生が防止できる上にメツシュ
の破損も防止できる。
の内部に没入しているのでポンプの吸込口とフィルタの
下壁間の距離が短くなり、タンクの扁平化に対応できる
。又、筒形フィルタは吸込筒を介してポンプに装着され
るのでポンプの振動が直接に筒形フィルタに伝わらず、
このため異音、振動音の発生が防止できる上にメツシュ
の破損も防止できる。
更に、吸込筒が筒形フィルタの周囲壁のメツシュの外に
あるので吸込筒のゴミや、劣化滓はメツシュで炉別され
、燃料に混ってポンプに吸込まれることもない。
あるので吸込筒のゴミや、劣化滓はメツシュで炉別され
、燃料に混ってポンプに吸込まれることもない。
図面は本発明の実施例を示すもので、第１図は第１実施
例の一半を断面にした正面図、第２図は同上の一半を断
面にした平面図、第５図は第２実施例のタンクの底が平
らなときの断面図、第４図は同上のタンクの底が上向き
に変形したときの断面図、第５図は他の一実施例の断面
図、第６図は同上の分解斜視図で、図中、ｌは燃料タン
クの底、コはフィードポンプ、−′はその吸込口、３は
吸込筒、３′はその小径部、ダは筒形フィルタ、ダαは
その上壁、ｔＩｂは下壁、ＩＩｃは周囲壁、ダ′はメツ
シュ、６は凹部、７は開口、ｔはバネ手段を兼ねた蛇腹
部、９はバネ手段であるコイルバネを示す。 特許出願人 日産自動車株式会社 特許出願人 日本電子機器株式会社 第１図 第３１４′ 第２図 第４図 第６ｆｉ
例の一半を断面にした正面図、第２図は同上の一半を断
面にした平面図、第５図は第２実施例のタンクの底が平
らなときの断面図、第４図は同上のタンクの底が上向き
に変形したときの断面図、第５図は他の一実施例の断面
図、第６図は同上の分解斜視図で、図中、ｌは燃料タン
クの底、コはフィードポンプ、−′はその吸込口、３は
吸込筒、３′はその小径部、ダは筒形フィルタ、ダαは
その上壁、ｔＩｂは下壁、ＩＩｃは周囲壁、ダ′はメツ
シュ、６は凹部、７は開口、ｔはバネ手段を兼ねた蛇腹
部、９はバネ手段であるコイルバネを示す。 特許出願人 日産自動車株式会社 特許出願人 日本電子機器株式会社 第１図 第３１４′ 第２図 第４図 第６ｆｉ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 タンク内に吸込口を下に向けて取付けたフイードポンプ
の下端部に、下端に小径部を有する吸込筒を延長状に装
着し、上壁と下壁と上記両壁間に設けられた燃料濾過用
のメッシュを有する周囲壁からなる筒形フイルタの前記
上壁に前記吸込筒の下端の小径部よりも直径が大きい凹
部を設けると共に、この凹部の中央に上記小径部と連通
した開口を設け、 前記吸込筒と筒形フイルタの上壁間には筒形フイルタを
下圧してその下壁をタンク内底面に当接させるバネ手段
を設け、筒形フイルタの上下動を前記筒形フイルタの上
壁の凹部内での吸込筒の変形、移動により吸収すること
を特徴とする自動車の燃料タンク内のフイルタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60012689A JPH0633041B2 (ja) | 1985-01-28 | 1985-01-28 | 自動車の燃料タンク内のフイルタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60012689A JPH0633041B2 (ja) | 1985-01-28 | 1985-01-28 | 自動車の燃料タンク内のフイルタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61171611A true JPS61171611A (ja) | 1986-08-02 |
| JPH0633041B2 JPH0633041B2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=11812342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60012689A Expired - Lifetime JPH0633041B2 (ja) | 1985-01-28 | 1985-01-28 | 自動車の燃料タンク内のフイルタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0633041B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0619425A1 (en) * | 1993-04-06 | 1994-10-12 | BITRON "B" S.p.A. | Suction system arrangement in a motor vehicle tank |
| WO1998050695A1 (de) * | 1997-05-03 | 1998-11-12 | Mannesmann Vdo Ag | Fördereinheit |
| WO2009065751A1 (de) * | 2007-11-20 | 2009-05-28 | Continental Automotive Gmbh | Kraftstoffpumpe |
| US20150345709A1 (en) * | 2014-05-30 | 2015-12-03 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Liquid supplying device and photoresist coating equipment |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54109514A (en) * | 1977-11-09 | 1979-08-28 | Rau Swf Autozubehoer | Fuel supply unit |
| JPS5638105U (ja) * | 1979-08-31 | 1981-04-10 | ||
| JPS58100128U (ja) * | 1981-12-28 | 1983-07-07 | 東京ラヂエ−タ−製造株式会社 | 燃料の吸込装置 |
-
1985
- 1985-01-28 JP JP60012689A patent/JPH0633041B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54109514A (en) * | 1977-11-09 | 1979-08-28 | Rau Swf Autozubehoer | Fuel supply unit |
| JPS5638105U (ja) * | 1979-08-31 | 1981-04-10 | ||
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO1998050695A1 (de) * | 1997-05-03 | 1998-11-12 | Mannesmann Vdo Ag | Fördereinheit |
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| US10099912B2 (en) * | 2014-05-30 | 2018-10-16 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Liquid supplying device and photoresist coating equipment |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0633041B2 (ja) | 1994-05-02 |
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