JPS61171046A - 電子線応用装置の絞り装置 - Google Patents
電子線応用装置の絞り装置Info
- Publication number
- JPS61171046A JPS61171046A JP1090685A JP1090685A JPS61171046A JP S61171046 A JPS61171046 A JP S61171046A JP 1090685 A JP1090685 A JP 1090685A JP 1090685 A JP1090685 A JP 1090685A JP S61171046 A JPS61171046 A JP S61171046A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- plate
- diaphragm plate
- function
- aperture plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、走査゛電子顕微鏡等の電子線応用装置の絞り
装置に係シ、特に球面収差の減少、グローブ電流の町変
号を目的とした絞９板、およびグローブ電流の測定を目
的としたファラデーカップ双方の機能を有する電子線応
用装置の絞９装置に関するものである。
装置に係シ、特に球面収差の減少、グローブ電流の町変
号を目的とした絞９板、およびグローブ電流の測定を目
的としたファラデーカップ双方の機能を有する電子線応
用装置の絞９装置に関するものである。
走査電子顕微鏡等の電子線応用装置の従来の絞り装置ｔ
は、球面収差の減少やグローブ電流のり変等を目的とす
るのみで、グローブ電流の一１定は他装置によって別個
に行われている。
は、球面収差の減少やグローブ電流のり変等を目的とす
るのみで、グローブ電流の一１定は他装置によって別個
に行われている。
りまり、試料を照射する電子の奴、すなわちグローブ？
を流を正確に把握するためには特別の７ア２デーカツプ
！ｄが必要であシ、高価になるとともにスペース７アク
ター（他の付属装ＴＩｔ１に装備するための）が劣り、
操作も困癲であった、〔発明の目的〕 本発明の目的は、走査電子顕微ａ等の電子線応用装置の
絞シ装置に係り、球面収差の減少、およびプローブ電流
の町変等ｔ−目的とした絞ｐ板としての機能と、該絞り
板を通過した電子を全て吸収することによりグローブ電
流を測定することを可能としたノア２デーカツプとして
の機能の双方を持たせ得ることにある。
を流を正確に把握するためには特別の７ア２デーカツプ
！ｄが必要であシ、高価になるとともにスペース７アク
ター（他の付属装ＴＩｔ１に装備するための）が劣り、
操作も困癲であった、〔発明の目的〕 本発明の目的は、走査電子顕微ａ等の電子線応用装置の
絞シ装置に係り、球面収差の減少、およびプローブ電流
の町変等ｔ−目的とした絞ｐ板としての機能と、該絞り
板を通過した電子を全て吸収することによりグローブ電
流を測定することを可能としたノア２デーカツプとして
の機能の双方を持たせ得ることにある。
本発明は、走査電子顕微Ｗ８等の°電子線応用装置の絞
り板を、箱型構造を持った絞シ板保持ホルダーの上面に
配置し、下面（底面）を真空外よシ操作可能とすること
によって、前述の絞シ装置が絞り板、およびファラデー
カップ双方の機能を容易に有し得る絞り装置である。
り板を、箱型構造を持った絞シ板保持ホルダーの上面に
配置し、下面（底面）を真空外よシ操作可能とすること
によって、前述の絞シ装置が絞り板、およびファラデー
カップ双方の機能を容易に有し得る絞り装置である。
第１図、第２図は本発明の原理を示すものである。
まず４１図は、絞り板２の下方部に底部板４が位置する
場合の絞り装置の縦断面図である。この場合、箱型絞り
板保持ホルダー３の上面に配置した絞り板２を通過した
１子プローブ１の成子は、絞り板２、箱Ｊｉｆｉり板保
持ホルダー３、および底部板４で構成される絞り装置に
全て吸収され、このときの゛電流、すなわちプローブ電
流を電流計５で測定するならば、該絞り装置は７アラデ
ーカツプとしての機能を有するものである。
場合の絞り装置の縦断面図である。この場合、箱型絞り
板保持ホルダー３の上面に配置した絞り板２を通過した
１子プローブ１の成子は、絞り板２、箱Ｊｉｆｉり板保
持ホルダー３、および底部板４で構成される絞り装置に
全て吸収され、このときの゛電流、すなわちプローブ電
流を電流計５で測定するならば、該絞り装置は７アラデ
ーカツプとしての機能を有するものである。
ま九、上記底部板４ｔ−真空外から操作可能とし、底部
板４を絞り板２の下方部より除去した場合の絞＃）装置
縦断面図を嬉２図に示す。この場合成子グローブ１は絞
シ板２ｔ−通過し、試料６０表面に到達し、該絞９装（
ｆは球面収差の減少や、プローブ電流のＯＴ変等を目的
とした、従来の絞り装置と同様の機能１に果たしている
ことになる、このように箱型絞シ板保持ホルダー３の底
部板４の真空外からの操作を可能とした場合、底部板４
の位置により、絞り板の機能とファラデーカップの機能
のいずれか一方を来たすことになる。
板４を絞り板２の下方部より除去した場合の絞＃）装置
縦断面図を嬉２図に示す。この場合成子グローブ１は絞
シ板２ｔ−通過し、試料６０表面に到達し、該絞９装（
ｆは球面収差の減少や、プローブ電流のＯＴ変等を目的
とした、従来の絞り装置と同様の機能１に果たしている
ことになる、このように箱型絞シ板保持ホルダー３の底
部板４の真空外からの操作を可能とした場合、底部板４
の位置により、絞り板の機能とファラデーカップの機能
のいずれか一方を来たすことになる。
４３図、第４図に一実施例を示す。第３図は縦断面図、
嬉４図は横断面図を表している、上面に絞り板２を配置
した′ｓ匿絞９板保持ホルダー３と底部板４は、操作つ
まみＡＩＯによシ真梗外から同時に操作される。このと
き該絞９装置は第１図のような状態にあり、ファラデー
カップとしての機能を来たし得るａ
、Ｆまた、上記の状態で操作りまみ８１
１によって底部板４のみを真空外から操作し、絞り板２
下方部よシ除去すれば、該絞シ装置は第２図のような状
態にあり、従来の絞シ装置と同様の機能を釆良し得る。
嬉４図は横断面図を表している、上面に絞り板２を配置
した′ｓ匿絞９板保持ホルダー３と底部板４は、操作つ
まみＡＩＯによシ真梗外から同時に操作される。このと
き該絞９装置は第１図のような状態にあり、ファラデー
カップとしての機能を来たし得るａ
、Ｆまた、上記の状態で操作りまみ８１
１によって底部板４のみを真空外から操作し、絞り板２
下方部よシ除去すれば、該絞シ装置は第２図のような状
態にあり、従来の絞シ装置と同様の機能を釆良し得る。
以上のように本実施例によれば、走査電子ｄｌＩ微鏡等
成子線応用装置の該絞り装置は、従来の絞り装置の機能
に加えて、ファラデーカップの機能をも備え得るという
効果がある。
成子線応用装置の該絞り装置は、従来の絞り装置の機能
に加えて、ファラデーカップの機能をも備え得るという
効果がある。
Ｘ線分析や２次電子像の観察など電子線応用装置ｔを用
い九測定では、１子の数、エネルギーを常に把握して測
定を行うことによシ、正確な測定が可能となる。
い九測定では、１子の数、エネルギーを常に把握して測
定を行うことによシ、正確な測定が可能となる。
本発明によればプローブ電流が極めて簡単に測定できる
ことになり、成子の数が正確に把握できるため、測定時
間の短縮、測定精度の向上が大いに期待できる、
ことになり、成子の数が正確に把握できるため、測定時
間の短縮、測定精度の向上が大いに期待できる、
第１図、第２図は本発明の原理を示す断面図で、渠１図
は絞り板のＦ方部に底部板が存在する場合、第２図は底
部板が存在しない場合をそれぞれ表したもの、第３図、
第４図は本発明の一実施例の断面を示す図であシ、第３
図は縦断面図、第４図は横断面図である。 ｌ・・・成子グローブ、２・・・絞り板、４・・・底部
板、５・・・電流計、６・・試料、７・・・絞り板支持
部、８・・・底第 １図 ！４ｚ ［￥］ 第 ３ 日 第４ 回
は絞り板のＦ方部に底部板が存在する場合、第２図は底
部板が存在しない場合をそれぞれ表したもの、第３図、
第４図は本発明の一実施例の断面を示す図であシ、第３
図は縦断面図、第４図は横断面図である。 ｌ・・・成子グローブ、２・・・絞り板、４・・・底部
板、５・・・電流計、６・・試料、７・・・絞り板支持
部、８・・・底第 １図 ！４ｚ ［￥］ 第 ３ 日 第４ 回
Claims (1)
- １、電子マイクロプローブを用いる走査電子顕微鏡等電
子線応用装置の絞り装置において、球面収差の減少、お
よびプローブ電流の可変等を目的とした絞り板としての
機能と、該絞り板を通過した電子を全て吸収し、プロー
ブ電流の測定が可能なファラデーカップの機能を有する
目的で、前記絞り板を箱型構造を持つた絞り板保持ホル
ダーの上面に配置し、下面、すなわち底面の部分を真空
外より操作可能とすることによつて、絞り装置およびフ
ァラデーカップ両方の機能を有することを特徴とする電
子線応用装置の絞り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1090685A JPS61171046A (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 | 電子線応用装置の絞り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1090685A JPS61171046A (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 | 電子線応用装置の絞り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61171046A true JPS61171046A (ja) | 1986-08-01 |
Family
ID=11763330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1090685A Pending JPS61171046A (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 | 電子線応用装置の絞り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61171046A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6323484B1 (en) | 1998-10-14 | 2001-11-27 | Nec Corporation | Method and apparatus for sample current spectroscopy surface measurement |
-
1985
- 1985-01-25 JP JP1090685A patent/JPS61171046A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6323484B1 (en) | 1998-10-14 | 2001-11-27 | Nec Corporation | Method and apparatus for sample current spectroscopy surface measurement |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6822233B2 (en) | Method and apparatus for scanning transmission electron microscopy | |
| Broers | A new high resolution reflection scanning electron microscope | |
| JPH0828196B2 (ja) | 電子検出装置 | |
| JP2002221504A (ja) | Ｘ線検出装置および荷電粒子線装置 | |
| Brockway et al. | A High Precision Electron‐Diffraction Unit for Gases | |
| JPS6355183B2 (ja) | ||
| US5591971A (en) | Shielding device for improving measurement accuracy and speed in scanning electron microscopy | |
| US4912405A (en) | Magnetic lens and electron beam deflection system | |
| GB2161018A (en) | Electron microscope lenses | |
| Hall et al. | Experimental study of electron scattering in electron microscope specimens | |
| JPS6452370A (en) | Potential measuring apparatus | |
| JPS61171046A (ja) | 電子線応用装置の絞り装置 | |
| Duncumb | Electron probe methods of X-ray microanalysis | |
| US5038045A (en) | Composite electromagnetic lens with variable focal distance | |
| Cooke et al. | Performance analysis of a combined electron microscope and electron probe microanalyser “EMMA” | |
| Shannon et al. | Zone-axis patterns in reflection high-energy electron diffraction: A family of new techniques for surface characterization | |
| Ullrich et al. | Precise determination of the lattice constant of LiF by means of X-ray divergent beam (pseudo Kossel-) technique via computer graphics and multiple intersections | |
| JPH01197951A (ja) | 走査型電子顕微鏡 | |
| Aton et al. | Characteristics of a virtual immersion lens spectrometer for electron beam testing | |
| Dowell et al. | The modification of the electron microscope for special crystallographic applications | |
| Prowse et al. | A magnetic spectrometer | |
| JPH11111209A (ja) | 偏極分析器及び解析装置 | |
| JP2001116847A (ja) | Ｘ線検出装置、元素分析装置および半導体製造装置 | |
| RU1685172C (ru) | Способ определени распределени плотности потока ионных пучков | |
| Hauser et al. | Push‐rod ac susceptibility apparatus |