JPS61170993A - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

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Publication number
JPS61170993A
JPS61170993A JP60009018A JP901885A JPS61170993A JP S61170993 A JPS61170993 A JP S61170993A JP 60009018 A JP60009018 A JP 60009018A JP 901885 A JP901885 A JP 901885A JP S61170993 A JPS61170993 A JP S61170993A
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JP
Japan
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refresh
mosfet
circuit
address
memory cell
Prior art date
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Pending
Application number
JP60009018A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kiyobumi Uchibori
内堀 清文
Noburo Tanimura
谷村 信朗
Norimasa Yasui
安井 徳政
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS61170993A publication Critical patent/JPS61170993A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To give the same function as that of a static RAM by providing an amplifier circuit reading an electric charge stored in an information storage capacitor and applying rewrite to a refresh exclusive circuit. CONSTITUTION:One end of a refresh MOSFET Qm' is connected to a connecting point between an information storage capacitor Cs and an address selection MOSFET Qm constituting a memory cell. The other end of the refresh MOSFET Qm' is connected to data DL', -DL' for refresh corresponding to the said memory cell. The refresh data lines DL', -DL' are connected to the input/output of an amplifier circuit comprising MOSFETs Q1', Q2' smilar to a sense amplifier SA. Thus, a refresh MOSFET is added to the dynamic memory cell comprising two elements of a capacitor and an MOSFET to constitute the memory cell with a comparatively less number of elements, three elements.

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は、半導体記憶装置に関するもので、例えば、
ダイナミック型RAM (ランダム・アクセス・メモリ
)に利用して有効な技術に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Technical Field] The present invention relates to a semiconductor memory device, for example,
The present invention relates to a technique that is effective for use in dynamic RAM (random access memory).

〔背景技術〕[Background technology]

ダイナミック型RAMにおけるメモリセルは、情報を電
荷の形態で記憶する記憶用キャパシタとアドレス選択用
のMOS F ETとによって構成される。これにより
、ダイナミック型RAMは、大記憶容量化を図ることが
できる反面、半導体基板上において形成されたメモリセ
ルのキャパシタに蓄積された電荷がリーク電流等によっ
て時間とともに減少してしまう、このため、常にメモリ
セルに正確な情報を記憶させておくためには、メモリセ
ルに記憶されている情報を、その情報が失われる前に読
み出して、これを増幅して再び同じメモリセルに書込む
動作、いわゆるリフレッシュ動作を行う必要がある。
A memory cell in a dynamic RAM is composed of a storage capacitor that stores information in the form of charges and a MOS FET for address selection. As a result, dynamic RAM can achieve a large storage capacity, but on the other hand, the charge accumulated in the capacitor of the memory cell formed on the semiconductor substrate decreases over time due to leakage current, etc. In order to always store accurate information in a memory cell, it is necessary to read out the information stored in the memory cell before it is lost, amplify it, and write it back into the same memory cell. It is necessary to perform a so-called refresh operation.

例えば、64にビットのダイナミック型RAMにおける
メモリセルの自動リフレッシュ方式として、「電子技術
1誌のVo123、No 3のpp3゜〜33に示され
ている自動リフレッシュ回路が公知である。このような
自動リフレッシュ回路にあっては、外部から制御信号を
供給しなけれはならないことの他、リフレッシュを行う
期間は書き込み/読み出しが禁止されてしまうので、取
り扱いが不便となる。
For example, as an automatic refresh method for memory cells in a 64-bit dynamic RAM, the automatic refresh circuit shown in "Electronic Technology 1 Magazine, Vol. 123, No. 3, pp. 3-33" is known. In the refresh circuit, a control signal must be supplied from the outside, and writing/reading is prohibited during the refresh period, making handling inconvenient.

一方、スタティック型RAMは、上記のようなリフレッ
シュ動作を必要としてないので、取り扱いが簡便になる
。しかしながら、スタティック型RAMにあっては、メ
モリセルとしてスタティック型のフリップフロップ回路
を使用するので、素子数が6個と比較的多く必要になる
ことの結果、大記憶容量化の観点からは不利となる。
On the other hand, a static RAM does not require the above-mentioned refresh operation, so it is easier to handle. However, since static type RAM uses static type flip-flop circuits as memory cells, it requires a relatively large number of elements (6), which is disadvantageous from the perspective of increasing storage capacity. Become.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

この発明の目的は、大記憶容量化を図りつつ、取り扱い
の簡便化を実現した半導体記憶装置を提供することにあ
る。
An object of the present invention is to provide a semiconductor memory device that has a large storage capacity and is easy to handle.

この発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
この明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。
The above and other objects and novel features of this invention include:
It will become clear from the description of this specification and the accompanying drawings.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows.

すなわち、情報記憶用キャパシタとアドレス選択用MO
S F ETからなるメモリセルに、上記情報記憶用キ
ャパシタに蓄積された電荷を読み出して、    −再
書き込みを行う増幅回路をリフレッシュ専用回路を設け
て、実質的にスタティック型RAMと同等の機能を持た
せるものである。
In other words, an information storage capacitor and an address selection MO
A memory cell consisting of an SFET is provided with a refresh-only circuit for reading and rewriting the charge stored in the information storage capacitor, and has substantially the same function as a static RAM. It is something that can be done.

〔実施例〕〔Example〕

第1図には、この発明の一実施例の回路図が示されてい
る。同図の各回路は、公知の半導体集積回路の製造技術
によって、特に制限されないが、単結晶シリコンのよう
な半導体基板上において形成される。
FIG. 1 shows a circuit diagram of an embodiment of the present invention. Each circuit in the figure is formed on a semiconductor substrate such as, but not limited to, single-crystal silicon using known semiconductor integrated circuit manufacturing techniques.

同図に示した実施例回路では、Nチャンネル間O3FE
Tを代表とするI G F E T (I n5ula
tedGate Field  Effect Tra
nsistor )を例にして説明する。
In the example circuit shown in the figure, the O3FE between N channels
I G F E T (I n5ula
tedGate Field Effect Tra
This will be explained using ``nsistor'' as an example.

1ビツトのメモリセルMCは、その代表として示されて
いるようにアドレス選択用MOS F ETQmと、そ
の一方の電極がQmに結合されその他方の電極が回路の
電源電圧レベルに維持される情報記憶キャパシタC3と
からなり、論理“1″。
The 1-bit memory cell MC, as shown as a representative, has an address selection MOS FET Qm, and an information storage whose one electrode is coupled to Qm and the other electrode is maintained at the circuit power supply voltage level. It consists of a capacitor C3 and is logic "1".

“0”の情報はキャパシタCsに電荷が有るか無いかの
形と対応して記憶される。
Information of "0" is stored in correspondence with whether the capacitor Cs has a charge or not.

情報の読み出しは、M OS F E T Q mをオ
ン状態にしてキャパシタC3を共通のデータ線DLにつ
なぎ、データ線DLの電位がキャパシタCsに蓄積され
た電荷量に応じてどのような変化が起きるかをセンスす
ることによって行われる。
To read information, turn on the MOS FET Qm, connect the capacitor C3 to the common data line DL, and check how the potential of the data line DL changes depending on the amount of charge accumulated in the capacitor Cs. This is done by sensing what happens.

特に制限されないが、このような微少な信号を検出する
ためのの基準としてダミーセルDCが設けられている。
Although not particularly limited, a dummy cell DC is provided as a reference for detecting such a minute signal.

このダミーセルDCは、そのキャパシタCdの容量値が
メモリセルMCのキャパシタC3のほぼ半分であること
を除き、メモリセルMCと同じ製造条件、同じ設計定数
で作られている。キャパシタCdは、アドレッシングに
先立って発生されたタイミング信号φdを受け、キャパ
シタCdと回路の接地点との間に配置されたMOSFE
TQd’によって電源電圧に充電される。
This dummy cell DC is manufactured under the same manufacturing conditions and the same design constants as the memory cell MC, except that the capacitance value of the capacitor Cd is approximately half that of the capacitor C3 of the memory cell MC. The capacitor Cd receives a timing signal φd generated prior to addressing, and is connected to a MOSFE placed between the capacitor Cd and the ground point of the circuit.
It is charged to the power supply voltage by TQd'.

上記のように、キャパシタCdは、キャパシタC3の約
半分の容量値に設定されているので、メモリセルMCか
らの読み出し信号のはり半分に等しい基準電圧を形成す
ることになる。
As described above, since the capacitor Cd is set to have a capacitance value that is approximately half that of the capacitor C3, it forms a reference voltage that is equal to half the read signal from the memory cell MC.

同図においてSAは、上記アドレッシングにより生じる
このような電位変化の差を、タイミング信号(センスア
ンプ制御信号)φpaで決まるセンス期間に拡大するセ
ンスアンプであり、1対の平行に配置された相補データ
線DL、DLにその入出力ノードが結合されている。こ
のセンスアンプSAは、一対の交差結線されたMOSF
ETQI。
In the same figure, SA is a sense amplifier that expands the difference in potential change caused by the above-mentioned addressing into a sensing period determined by a timing signal (sense amplifier control signal) Its input and output nodes are coupled to lines DL and DL. This sense amplifier SA consists of a pair of cross-wired MOSFETs.
E.T.Q.I.

Q2を有し、これらの正帰還作用により、相補データ線
DL、DLに現れた微少な信号を差動的に増幅する。
Q2, and the positive feedback action of these differentially amplifies minute signals appearing on the complementary data lines DL, DL.

相補データ線DL、DLに結合されるメモリセルの数は
、検出精度を上げるため等しくされ、DL、DLのそれ
ぞれに1個ずつのダミーセルが結合されている。また、
各メモリセルMCは、1本のワード線WLと相補対デー
タ線の一方との間に結合される。各ワード線WLは双方
のデータ線対と交差しているので、ワード線WLに生じ
る雑音成分が静電結合によりデータ線にのっても、その
雑音成分が双方のデータ線対DL、DLに等しく現れ、
差動型のセンスアンプSAによって相殺される。
The numbers of memory cells coupled to complementary data lines DL, DL are made equal to increase detection accuracy, and one dummy cell is coupled to each of DL, DL. Also,
Each memory cell MC is coupled between one word line WL and one of a complementary pair of data lines. Since each word line WL crosses both data line pairs, even if a noise component generated on the word line WL is transferred to the data line due to capacitive coupling, the noise component will be transmitted to both data line pairs DL, DL. appear equally,
This is canceled out by the differential sense amplifier SA.

上記アドレッシングにおいて、相補データ線対DL、D
Lの一方に結合されたメモリセルMCが選択された場合
、他方のデータ線には必ずダミーセルDCが結合される
ように一対のダミーワード線DWL、DWLの一方が選
択される。
In the above addressing, complementary data line pair DL, D
When a memory cell MC coupled to one of the data lines L is selected, one of the pair of dummy word lines DWL, DWL is selected so that the dummy cell DC is always coupled to the other data line.

上記のアドレッシングの際、一旦破壊されたかかったメ
モリセルMCの記憶情報は、このセンス動作によって得
られたハイレベル若しくはロウレベルの電位をそのまま
受は取ることによって回復する。しかしながら、前述の
ようにハイレベルが電源電圧Vccに対して一定以上落
ち込むと、何回かの読み出し、再書込みを繰り返してい
るうちに論理″0”として読み取られるところの誤動作
が生じる。この誤動作を防ぐために設けられるのがアク
ティブリストア回路ARである。このアクティブリスト
ア回路ARは、タイミング信号φrsによりロウレベル
の信号に対して何ら影響を与えずハイレベルの信号にの
み選択的に電源電圧Vccの電位にブースト(昇圧)す
る働きがある。
During the above-mentioned addressing, the stored information in the memory cell MC, which is about to be destroyed, is recovered by directly receiving the high-level or low-level potential obtained by this sensing operation. However, as described above, when the high level drops by a certain level or more with respect to the power supply voltage Vcc, a malfunction occurs in which the data is read as a logic "0" while reading and rewriting are repeated several times. An active restore circuit AR is provided to prevent this malfunction. The active restore circuit AR has the function of selectively boosting only the high level signal to the potential of the power supply voltage Vcc without affecting the low level signal in any way based on the timing signal φrs.

同図において代表として示されているデータ線    
  一対DL、DLは、カラムスイッチCWを構成する
MOSFETQ3.Q4を介してコモン相補データ線対
CDL、CDLに接続される。このコモン相補データ線
対CDL、CDLには、後述するようにメインアンプ及
び出力回路とを含むデータ出カバソファとデータ入カバ
ソファとからなる入出力回路I10の一方の端子に接続
される。
The data line shown as a representative in the figure
A pair of DL and DL are MOSFETQ3.DL that constitute the column switch CW. It is connected to the common complementary data line pair CDL, CDL via Q4. This common complementary data line pair CDL, CDL is connected to one terminal of an input/output circuit I10 consisting of a data output cover sofa and a data input cover sofa including a main amplifier and an output circuit, as will be described later.

ロウデコーダ及びカラムデコーダR,C−DCRは、ロ
ウアドレスバッファ及びカラムアドレスバッファR,C
−ADBで形成された内部相補アドレス信号を受けて、
1本のワード線及びダミーワード線並びにカラムスイッ
チ選択信号を形成してメモリセル及びダミーセルのアド
レッシングを行う。すなわち、ロウアドレスストローブ
信qRASにより形成されたタイミング信号φarに同
期してロウアドレスバッファR−ADHは、外部端子を
通して供給されたアドレス信号AXO〜AXlを取込み
、それを保持するとともにロウデコーダR−DCHに伝
える。ロウデコーダR−DCRは、上記伝えられたアド
レス信号をデコードしてワード線選択タイミング信号φ
Xにより所定のワード線及びダミーワード線選択動作を
行う。
The row decoder and column decoder R, C-DCR have a row address buffer and a column address buffer R, C.
-Receives the internal complementary address signal formed by ADB,
Addressing of memory cells and dummy cells is performed by forming one word line, a dummy word line, and a column switch selection signal. That is, in synchronization with the timing signal φar generated by the row address strobe signal qRAS, the row address buffer R-ADH takes in address signals AXO to AXl supplied through external terminals, holds them, and outputs them to the row decoder R-DCH. tell to. The row decoder R-DCR decodes the transmitted address signal and outputs the word line selection timing signal φ.
A predetermined word line and dummy word line selection operation is performed by X.

一方、カラムアドレスバッファC−ADHは、特に制限
されないが、カラムアドレスストローブ信号CASによ
り形成されたタイミング信号φacにより動作状態にさ
れるスタティック型回路により構成される。これにより
、外部端子を通して供給されたアドレス信号AYO〜A
YIに従った内部相補アドレス信号を形成して、特に制
限されないが、同様にスタティック型回路により構成さ
れたカラムデコーダC−DCHに伝える。カラムデコー
ダC−DCRは、上記伝えられたアドレス信号をデコー
ドしてデータ線選択タイミング信号φyによりデータ線
の選択動作を行う。
On the other hand, the column address buffer C-ADH is constituted by a static type circuit which is activated by a timing signal φac generated by a column address strobe signal CAS, although this is not particularly limited. This causes the address signals AYO to A supplied through the external terminals to
An internal complementary address signal according to YI is formed and transmitted to the column decoder C-DCH, which is similarly configured by a static type circuit, although this is not particularly limited. The column decoder C-DCR decodes the transmitted address signal and performs a data line selection operation based on the data line selection timing signal φy.

タイミング制御回路TCは、外部端子を通して供給され
たロウアドレスストローブ信号RAS。
The timing control circuit TC receives a row address strobe signal RAS supplied through an external terminal.

カラムアドレスストローブ信号CAS及びライトイネー
ブル信号WEを受けて、上記各種内部タイミング信号を
形成する。
In response to the column address strobe signal CAS and write enable signal WE, the various internal timing signals described above are generated.

この実施例では、上記ダイナミック型メモリセルのリフ
レッシュ動作の完全自動化を図ることによって、外部か
らは実質的にスタティック型RAMと同等に取り扱える
ようにするため、次のリフレッシュ専用回路が設けられ
る。
In this embodiment, the following refresh-only circuit is provided in order to completely automate the refresh operation of the dynamic memory cell so that it can be treated from the outside in substantially the same manner as a static RAM.

リフレッシュ用M OS F E T Q m ’ は
、その一端がメモリセルを構成する情報記憶用キャパシ
タCsとアドレス選択用MOSFETQmとの接続点に
接続される。このリフレッシュ用MOSFETQm’ 
の他端は、上記メモリセルに対応したリフレッシュ用の
データ線DL”、DL’ に接続される。また、と記リ
フレッシュ用データ線DL’。
One end of the refresh MOSFET Q m ′ is connected to the connection point between the information storage capacitor Cs and the address selection MOSFET Qm that constitute the memory cell. This refresh MOSFETQm'
The other end is connected to refresh data lines DL'' and DL' corresponding to the memory cells.

DL’には、上記同様なダミーセルDC’がそれぞれ設
けられる。
Each DL' is provided with a dummy cell DC' similar to the above.

上記リフレッシュ用データ線DL”、 DL’ は、上
記センスアンプSAと類似の増幅MOSFETQl’ 
、Q2’によって構成された増幅回路の入出力端子に結
合される。また、上記リフレッシュ用データ線DL’ 
、DL’間には、上記増幅回路の増幅動作によって、一
旦低下した読み出しハイレベルを補償するために上記類
似のアクティブリストア回路AR’が設けられる。
The refresh data lines DL", DL' are connected to an amplifying MOSFET Ql' similar to the sense amplifier SA.
, Q2'. In addition, the refresh data line DL'
, DL' is provided with an active restore circuit AR' similar to the above in order to compensate for the read high level that has once dropped due to the amplification operation of the amplification circuit.

同図においては、1列分のメモリアレイしか示していな
いが、同じ行に配置されたリフレッシュ用MOSFET
Qmのゲートは、リフレッシュ用ワード線WL”に結合
される。すなわち、上記リフレッシュ用相補データ線D
L”、 DL’ とリフレッシュ用ワード線WL”は、
メモリアレイの対応する相補データ線DL、DL及びワ
ード線WLと隣接して配置される。
In the figure, only one column of memory array is shown, but refresh MOSFETs arranged in the same row
The gate of Qm is coupled to the refresh word line WL". That is, the refresh complementary data line D
L", DL' and the refresh word line WL" are
They are arranged adjacent to corresponding complementary data lines DL, DL and word lines WL of the memory array.

上記リフレッシュ用ワード線WL’及びリフレッシュ用
ダミーワード線DWL”、DWL’ は、 。
The refresh word line WL' and the refresh dummy word lines DWL'' and DWL' are as follows.

上記ロウアドレスデコーダR−DCRと類イ以の回路に
よって構成されたりフレッシエ用デコーダR−OCR’
 によって選択される。
A decoder for freshier R-OCR' is constructed of circuits similar to or similar to the above row address decoder R-DCR.
selected by

このリフレッシュ用デコーダR−DCR’には、リフレ
ッシュアドレスカウンタC0UNTによって発生させら
れたリフレッシュアドレス信号が供給される。リフレッ
シュアドレスカウンタC0UNTは、その1廻りがメモ
リセルのリフレッシュに要する時間に設定される。  
             lリフレッシュ制御回路R
EFCは、上記リフレッシュアドレスカウンタC0UN
Tに供給する歩進パルスと、このパルスに従って、上記
リフレッシュ用の増幅回路、アクティブリストア回路A
R°に供給するタイミング信号φpa’ +  φrs
’ を形成する。
This refresh decoder R-DCR' is supplied with a refresh address signal generated by a refresh address counter C0UNT. One cycle of the refresh address counter C0UNT is set to the time required to refresh the memory cells.
lRefresh control circuit R
EFC is the refresh address counter C0UN mentioned above.
The step pulse supplied to T and the refresh amplifier circuit and active restore circuit A according to this pulse.
Timing signal φpa' + φrs supplied to R°
' to form.

なお、リフレッシュ動作と読み出し/書き込み動作との
競合を避けるため、図示しないが、リフレッシュ制御回
路REFCにはアドレス比較回路を設けられる。このア
ドレス比較回路により外部端子から供給されたロウアド
レス信号と上記アドレスカウンタC0UNTによって形
成されたアドレス信号との一致出力が得られた場合、上
記アドレスでのリフレッシュ動作を禁止させるとともに
アドレスカウンタC0UNTに対しては歩道動作を行わ
せる。なぜなら、上記読み出し/書き込みによりて、上
記アドレスに対しては実質的なリフレッシュが行われる
からである。また、リフレッシュ中のアドレスに対して
読み出し/書き込みアクセスがかかると、上記リフレッ
シュが終了するまで読み出し/lき込みアクセスの実行
を遅らせる。上記のような書き込み/Mみ出し動作の制
限を除くため、上記リフレッシュ用相補データiJl!
DL’ DL’ にも、カラムスイッチ回路を設けて、
リフレッシュ動作中のアドレスに対して読み出し/書き
込みアクセスがかかると、このカラムスイッチ回路に対
してカラムアドレス信号に従った選択動作を行い、読み
出し/書き込みを実行させるものであってもよい。
Note that, although not shown, the refresh control circuit REFC is provided with an address comparison circuit in order to avoid conflict between the refresh operation and the read/write operation. When this address comparison circuit obtains a match output between the row address signal supplied from the external terminal and the address signal formed by the address counter C0UNT, the refresh operation at the address is prohibited and the address counter C0UNT is The children will be asked to walk on the sidewalk. This is because the reading/writing described above substantially refreshes the address. Furthermore, if a read/write access is made to an address that is being refreshed, execution of the read/write access is delayed until the refresh is completed. In order to eliminate the above-mentioned limitations on write/M-extraction operations, the above-mentioned refresh complementary data iJl!
DL'DL' is also provided with a column switch circuit,
When a read/write access is made to an address during a refresh operation, a selection operation may be performed on the column switch circuit according to a column address signal, and the read/write may be executed.

〔効 果〕〔effect〕

(1)キャパシタとMOSFETとの2素子により構成
されたダイナミック型メモリセルに、リフレッシュ用M
OS F ETを追加して合計3素子と比較的少ない素
子数によりメモリセルが構成できる。
(1) A dynamic memory cell composed of two elements, a capacitor and a MOSFET, is
A memory cell can be configured with a relatively small number of elements, 3 elements in total by adding an OS FET.

したがって、リフレッシュ用増幅回路、デコーダ回路及
びアドレスカウンタ回路等の周辺回路を含めても全体し
て、スタティック型RAMより少ない素子数で構成でき
るから大記憶容量化を実現することができるという効果
が得られる。
Therefore, even if peripheral circuits such as refresh amplifier circuits, decoder circuits, and address counter circuits are included, the total number of elements can be reduced compared to static RAM, resulting in a large storage capacity. It will be done.

(2)専用のリフレッシュ回路を用いているので、リフ
レッシュアドレスと、読み出し/書き込みアドレスとが
重ならない限り、両動作を平行して行うことができるか
ら、外部から見た場合スタティック型RAMと同等に扱
うことができるという効果が得られる。
(2) Since a dedicated refresh circuit is used, as long as the refresh address and the read/write address do not overlap, both operations can be performed in parallel, so when viewed from the outside, it is equivalent to a static RAM. The effect is that it can be handled.

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、この発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。例えば、ロウ/カラム
アドレス信号は、それぞれ独立した外部端子から供給す
るものであってもよい、この場合には、アドレス信号の
変化を検出して内部ダイナミック型回路の時系列的なタ
イミング信号を形成するようにすればよい。さらに、読
み出し基準電圧は、ダミーセルを用いるもに化工、相補
データ線のハイレベルとロウレベルを短絡して形成され
たVcc/2の電圧を利用するものであってもよい、ま
た、センスアンプSA及びリフレッシュ用の増幅回路は
、タイミング信号によって動作電圧が供給されるラッチ
形態のCMOSインバータ回路を利用するもの等種々の
実施形態を採ることができる。
Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on Examples, it goes without saying that this invention is not limited to the above Examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Nor. For example, the row/column address signals may be supplied from independent external terminals. In this case, changes in the address signals are detected to form a time-series timing signal for the internal dynamic circuit. Just do it. Furthermore, the read reference voltage may be one using a dummy cell or a voltage of Vcc/2 formed by shorting the high level and low level of the complementary data line. The refresh amplifier circuit can take various embodiments, such as one using a latch-type CMOS inverter circuit to which an operating voltage is supplied by a timing signal.

〔利用分野〕[Application field]

この発明は、半導体記憶装置として広く利用できるもの
である。
The present invention can be widely used as a semiconductor memory device.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、この発明の一実施例を示す回路図である。 MC・・メモリセル、DC・・ダミーセル、CW・・カ
ラムスイッチ、SA・・センスアンプ、AR,AR’ 
 ・・アクティブリストア回路、RlC−DCR・・ロ
ウ/カラムデコーダ、R−DCR゛ ・・リフレッシュ
用デコーダ、C0UNT・・リフレッシュアドレスカウ
ンタ、REFC・・、リフレッシュ制御回路、R,C−
ADB・・ロウ/カラムアドレスバッファ、DOB・・
データ出力バッファ、DIB・・データ入力バッファ、
TC・・タイミング制御回路
FIG. 1 is a circuit diagram showing an embodiment of the present invention. MC...Memory cell, DC...Dummy cell, CW...Column switch, SA...Sense amplifier, AR, AR'
・・Active restore circuit, RlC-DCR・・Row/column decoder, R-DCR゛・・Refresh decoder, C0UNT・・Refresh address counter, REFC・・Refresh control circuit, R,C−
ADB...Row/column address buffer, DOB...
Data output buffer, DIB... data input buffer,
TC...timing control circuit

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、情報記憶用キャパシタとアドレス選択用MOSFE
Tからなるメモリセルがマトリックス配置されてなるメ
モリアレイと、上記情報記憶用キャパシタとアドレス選
択用MOSFETとの接続点に一端が接続されたリフレ
ッシュ用MOSFETと、このリフレッシュ用MOSF
ETの他端にその入出力端子が結合されたリフレッシュ
専用の増幅回路と、上記リフレッシュ用MOSFETの
選択動作と増幅回路の動作とを制御するリフレッシュ制
御回路とを含むことを特徴とする半導体記憶装置。 2、上記リフレッシュ専用の増幅回路は、同じ列配置さ
れたリフレッシュ用MOSFETの他端が共通接続され
たリフレッシュ用データ線に対して共通に設けられ、同
じ行に配置されたリフレッシュ用MOSFETのゲート
はリフレッシュ用ワード線に共通接続されるものであり
、上記リフレッシュ制御回路は、リフレッシュアドレス
を発生するアドレスカウンタと、このアドレスカウンタ
の出力信号をデコードして、上記リフレッシュ用MOS
FETのゲートが結合されたリフレフシュ用ワード線の
選択動作を行うリフレッシュデコーダ回路及び増幅回路
の動作タイミング信号を形成するタイミング発生回路と
からなるものであることを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の半導体記憶装置。
[Claims] 1. Information storage capacitor and address selection MOSFE
a memory array in which memory cells are arranged in a matrix, a refresh MOSFET having one end connected to a connection point between the information storage capacitor and the address selection MOSFET, and the refresh MOSFET.
A semiconductor memory device comprising: a refresh-only amplifier circuit whose input/output terminal is connected to the other end of the ET; and a refresh control circuit that controls the selection operation of the refresh MOSFET and the operation of the amplifier circuit. . 2. The refresh-only amplifier circuit described above is provided in common with the refresh data line to which the other ends of the refresh MOSFETs arranged in the same column are commonly connected, and the gates of the refresh MOSFETs arranged in the same row are The refresh control circuit includes an address counter that generates a refresh address, and decodes the output signal of this address counter to control the refresh MOS.
Claim 1, characterized in that the refresh decoder circuit is comprised of a refresh decoder circuit that selects a refresh word line to which a gate of an FET is coupled, and a timing generation circuit that generates an operation timing signal for an amplifier circuit. The semiconductor storage device described above.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009187658A (en) * 2009-04-13 2009-08-20 Hitachi Ltd Semiconductor integrated circuit device

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