JPH04129088A - Semiconductor memory device - Google Patents
Semiconductor memory deviceInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体メモリ装置に関し、特に1トランジスタ
lキヤパシタ型のメモリセルを配列した構成のダイナミ
ック型の半導体メモリ装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly to a dynamic semiconductor memory device having a configuration in which one-transistor, one-capacitor type memory cells are arranged.
従来のこの種の半導体メモリ装置の一例を第3図に示す
。An example of a conventional semiconductor memory device of this type is shown in FIG.
MC11〜MCyrNは1個のトランジスタQlとl成
している。MC11 to MCyrN are connected to one transistor Ql.
NKI〜NKNはメモリセルM CKI −M CKN
内のキャパシタCIとトランジスタQlとの節点、PL
は各メモリセルMCI、〜MCMNのキャパシタCIの
対極を共通接続するセル対極線で、Vcc/2レベルの
電圧VPLが供給されている。NKI to NKN are memory cells M CKI - M CKN
The node between capacitor CI and transistor Ql in PL
is a cell counter electrode line that commonly connects the counter electrodes of the capacitors CI of each memory cell MCI, to MCMN, and is supplied with a voltage VPL of Vcc/2 level.
WL1〜WLMはワード線であり、WDl−WDMはワ
ード線WL1〜WLMを駆動するワードドライバ回路を
示している。WL1-WLM are word lines, and WD1-WDM indicates a word driver circuit that drives the word lines WL1-WLM.
次に、この例の動作について説明する。Next, the operation of this example will be explained.
第3図に示された半導体メモリ装置の代表的な動作波形
を第4図に示す。FIG. 4 shows typical operating waveforms of the semiconductor memory device shown in FIG. 3.
ローアトレスストローブ[号RASが高レベルのプリチ
ャージ期間であるリセットサイクルにビット線BL、、
BL、〜BLN、BLNは例えば電源電位VCCと接地
電位(vas = OV)の中間電位Vcc/2にプリ
チャージされている。During the reset cycle during which the row address strobe [number RAS is a high level precharge period]
BL, -BLN, and BLN are precharged to, for example, an intermediate potential Vcc/2 between the power supply potential VCC and the ground potential (vas=OV).
ローアドレスストローブ信号RASが低レベルのアクテ
ィブサイクルになると、外部より与えられたアドレス信
号によりワード線W L 1− W L Mの中から1
本のワード線たとえばWLKが選択されて電源電位vc
c K上昇する。するとワード線WLKと接続されたメ
モリセルM CKI〜MCKNの各トランジスタQlが
オンとなるため、各メモリセルアレイ工〜MCKNのキ
ャパシタC1とビット線BLl””’BLNとの間で電
荷のやりとりが行われ、各ビット線BLl−BLNの電
位が微小に変化する。When the row address strobe signal RAS becomes a low-level active cycle, one of the word lines W L 1 to W L M is selected by an externally applied address signal.
This word line, for example, WLK, is selected and the power supply potential vc
c K rises. Then, each transistor Ql of the memory cells MCKI to MCKN connected to the word line WLK is turned on, so that charge is exchanged between the capacitor C1 of each memory cell array to MCKN and the bit line BLl""'BLN. As a result, the potential of each bit line BLl-BLN changes minutely.
次に、センス増幅器8A!〜SANが活性化されて対を
なすビット線BL1.BL1〜BLN、BL、間の微小
差信号は増幅され、例えばビット線BLLの電位は電源
電位VCCまで上昇し、ビット線BLLは接地電位Vs
s (= OV )まで降下する。Next, sense amplifier 8A! ~SAN is activated and the paired bit line BL1. The minute difference signal between BL1 to BLN and BL is amplified, and for example, the potential of the bit line BLL rises to the power supply potential VCC, and the bit line BLL rises to the ground potential Vs.
s (=OV).
一方、メモリセルM CK、〜M CKNの各トランジ
スタQlを介してビット線BLl−BLNと接続され九
節点NK1=NKNはトランジスタQlのしきい値電圧
V〒−段落ち、すなわち(Vcc−Vt)、または接地
電位VSSに増幅される。On the other hand, the memory cells MCK, ~MCKN are connected to the bit lines BLl-BLN through the transistors Ql, and the nine nodes NK1 = NKN are the threshold voltage V of the transistor Ql - step drop, that is, (Vcc - Vt) , or amplified to ground potential VSS.
ローアドレスストローブ信号几Asが上昇しリミ
セットサイクルになると、選択され電源電位VCC上昇
していたワード線WLKは接地電位VSSに降下してメ
モリセルMCK、〜M CKNの各トランジスタQlを
オフとするので、各節点NKI〜NKNは(VCC−v
丁)またはVSSのレベルに保持され、データの書込み
が行われる。When the row address strobe signal 几As rises and a limit set cycle begins, the selected word line WLK, whose power supply potential VCC has been rising, falls to the ground potential VSS, turning off each transistor Ql of the memory cells MCK, ~MCKN. Therefore, each node NKI to NKN is (VCC-v
(D) or VSS level, and data is written.
また、メモリセルMCIl−MCMNの各キャパシタC
1の対極にはセル対極線PLを介して電圧VPLが印加
されており、リセ、トサイクル、アクティブサイクルを
通して一定レベル、たとえばVcc / 2にプリチャ
ージされている。In addition, each capacitor C of memory cells MCI1-MCMN
A voltage VPL is applied to the counter electrode of cell counter electrode 1 via the cell counter electrode line PL, and is precharged to a constant level, for example, Vcc/2, throughout the reset, to cycle, and active cycles.
この従来の半導体メモリ装置は、セル対極線PLが一定
のレベルとなっており、選択状態のワード線の電位は電
源電位VCCとなっているので、メモリセルに書込まれ
るデータはワード線の電位と対をなすビット線間の増幅
後の醒位差に依存し、対をなすビット線がそれぞれ電源
電位VCCと接地電位vssに増幅された時でも、高レ
ベル側で最大(■cc−vT)のレベルまでしか書込め
ないという欠点があった。各メモリセルのトランジスタ
Q1の■τが基板バイアス効果により約1.5 Vにな
った時、上記の書込みレベルは■cc=5.OVの時で
3.5Vとなる。In this conventional semiconductor memory device, the cell counter electrode line PL is at a constant level, and the potential of the word line in the selected state is the power supply potential VCC, so the data written to the memory cell is at the potential of the word line. Even when the paired bit lines are amplified to the power supply potential VCC and the ground potential vss, the maximum on the high level side (■cc-vT) The drawback was that it could only be written up to the level of . When ■τ of transistor Q1 of each memory cell becomes approximately 1.5 V due to the substrate bias effect, the above write level becomes ■cc=5. At OV, it is 3.5V.
従って、センス増幅器の動作の速度が遅く、かつ特性の
アンバランス耐性が低く、またデータの保持時間が短か
いという欠点がある。Therefore, there are disadvantages in that the sense amplifier operates slowly, has low resistance to unbalanced characteristics, and has a short data retention time.
本発明の半導体メモリ装置は、行方向1列方向にマトリ
クス状に配列された1トランジスタlキヤパシタ型の複
数のメモリセルを備え、選択状態にある前記メモリセル
に対しデータの書込み、読出しを行うメモリセルアレイ
と、このメモリセルアレイの各列と対応して設けられ、
この対応する列の各メモリセルと接続して選択状態にお
るメモリセルへのデータの供給及びこのメモリセルから
のデータの伝達を行う互いに対をなす第1及び第2のビ
ット線と、前記メモリセルアレイの各行ト対応して設け
られ、この対応する行の各メモリセルを選択状態とする
ワード線と、前記各第1及び第2のビット線と対応して
設けられ、この対応するビット線間の差電位を増幅する
センス増幅器と、前記メモリセルアレイの各行と対応し
て設けられ、対応する行の各メモリセルのキャパシタの
対極とそれぞれ接続するセル対極線と、前記メモリセル
アレイの各行ごとに、前記ワード線が選択レベルとなっ
て前記センス増幅器による前記第1及び第2のど、ト線
間の差電位の増幅動作中の第1のりにし、第2のタイば
ングで前記ワード線を選択レベルから所定の期間前記第
1及び第2の電源電位間の所定の電位にすると共に前記
セル対極線のレベルを前記第1及び第2の電源電位間の
所定のレベルに戻す供給電位制御回路とを有している。A semiconductor memory device of the present invention includes a plurality of 1-transistor l-capacitor type memory cells arranged in a matrix in a row direction and a column direction, and writes and reads data to and from the memory cells in a selected state. provided corresponding to a cell array and each column of this memory cell array,
first and second bit lines connected to each memory cell in the corresponding column to supply data to the memory cell in the selected state and transmit data from the memory cell; A word line is provided corresponding to each row of the cell array and selects each memory cell in the corresponding row, and a word line is provided corresponding to each of the first and second bit lines and between the corresponding bit lines. a sense amplifier for amplifying the differential potential of the memory cell array, a cell counter electrode line provided corresponding to each row of the memory cell array and connected to the counter electrode of the capacitor of each memory cell in the corresponding row, and for each row of the memory cell array, The word line becomes a selection level and becomes a first voltage during the amplification operation of the potential difference between the first and second throat lines by the sense amplifier, and the word line becomes a selection level with a second tie. a supply potential control circuit that maintains a predetermined potential between the first and second power supply potentials for a predetermined period of time and returns the level of the cell counter electrode line to a predetermined level between the first and second power supply potentials; have.
次に、本発明の実施例について図面を#照して説明する
。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図は本発明の一実施例を示す回路図である。FIG. 1 is a circuit diagram showing one embodiment of the present invention.
この実施例は、行方向9列方同にマトリクス状に配列さ
れた1トランジスタlキヤパシタ型の複数のメモリセル
MC11−MCNを備え、選択状態にあるメモリセルに
対しデータの書込み、読呂しを行うメモリセルアレイ1
と、このメモリセルアレイlの各列と対応して設けられ
、この対応する列の各メモリセルと接続して選択状態に
あるメモリセルヘノテータの供給及びこのメモリセルか
らのデータの伝達を行う互いに対をなす第1及び第2の
ビット線BL□、BL、〜BNN、BLNと、メモリセ
ルアレイの各行と対応して設けられ、この対応する行の
各メモリセルを選択状態とするワード線WLl−WLM
と、各第1及び第2のビ。This embodiment includes a plurality of 1-transistor capacitor type memory cells MC11-MCN arranged in a matrix in 9 columns in the row direction, and allows writing and reading of data to and from a selected memory cell. Memory cell array 1
and a mutual circuit provided corresponding to each column of this memory cell array l, and connected to each memory cell of this corresponding column to supply an annotator to a memory cell in a selected state and to transmit data from this memory cell. A pair of first and second bit lines BL□, BL, ~BNN, BLN and a word line WLl- which is provided corresponding to each row of the memory cell array and selects each memory cell in the corresponding row. WLM
and each first and second bi.
ト線BL1.BL、〜BLN、BLNと対応して設けら
れ、この対応すると、ト線間の差電位を増幅するセンス
増幅器8Al−8ANと、メモリセルアレイlの各行と
対応して設けられ、対応する行・の各メモリセルのキャ
パシタ(CI)の対極とそれぞれ接続するセル対極線P
Ll−PLMと、メモリセルアレイlの各行ごとに、ワ
ード線(WLl〜WLM);6Q[レベル(Vcc )
となってセンス増幅器(SAI−8AN)による第1及
び第2のビット線(BLl、BL、〜BLN 、BLN
)間の差電位の増幅動作中の第1のタイミングで制御信
号(Φlz〜ΦM2+Φ13〜ΦM3)によりセル対極
線(PL□〜PLM)のレベルを第1及び第2の電源電
位vss、vcc間の所定の電位、例えばVcc /2
から第1の電源電位Vss(=OV)にし、第2のタイ
ミングで制御信号(Φ11〜ΦMl)によりワード線(
WL1〜WLM)を選択レベル(Vcc)から所定の期
間電源電位■ss、■cc間の所定の電位、例えばVc
c/2にすると共にセル対極線(PL、〜PLM)のレ
ベルを電源電位Vss 、 Vcc (以下、VSSを
接地電位という)間の所定のレベル(Vcc/2)に戻
す供給電位制御回路2と、外部からのアドレス信号によ
りワード線WL、〜WLMを選択レベルにするワード線
ドライバ回路WDl〜WDMとを有する構成となってい
る。G line BL1. Sense amplifiers 8Al-8AN are provided corresponding to BL, ~BLN, and BLN, which amplify the potential difference between the T lines, and sense amplifiers 8Al-8AN are provided corresponding to each row of the memory cell array l, and the sense amplifiers 8Al-8AN are provided corresponding to each row of the memory cell array l. Cell counter electrode line P connected to the counter electrode of the capacitor (CI) of each memory cell
For each row of Ll-PLM and memory cell array l, word lines (WLl to WLM); 6Q[level (Vcc)
The first and second bit lines (BLl, BL, ~BLN, BLN) are connected by the sense amplifier (SAI-8AN).
) At the first timing during the amplification operation of the potential difference between a predetermined potential, e.g. Vcc/2
to the first power supply potential Vss (=OV), and at the second timing, the word line (
WL1 to WLM) for a predetermined period from the selection level (Vcc) to a predetermined potential between the power supply potentials ■ss and ■cc, for example, Vc.
c/2 and returns the level of the cell counter electrode line (PL, to PLM) to a predetermined level (Vcc/2) between power supply potentials Vss and Vcc (hereinafter, VSS is referred to as ground potential); , and word line driver circuits WDl to WDM which set word lines WL to WLM to selection levels in response to external address signals.
次に、この実施例の動作について説明する。Next, the operation of this embodiment will be explained.
第2図はこの実施例の動作を説明するための各部信号の
動作波形図である。FIG. 2 is an operational waveform diagram of each part signal for explaining the operation of this embodiment.
リセットサイクルにビット1BLl、E3I、1−BL
N、BLNは、例えば電源電位VCCと接地電位Vss
(=OV)の中間電位Vcc / 2にプリチャージさ
れている。Bits 1BLl, E3I, 1-BL on reset cycle
N and BLN are, for example, the power supply potential VCC and the ground potential Vss.
(=OV) and is precharged to an intermediate potential Vcc/2.
アクティブサイクルになると、外部よシ与えられたアド
レス信号によりワード線WL、〜WLMの中から1本の
ワード線例えばWLKが選択されて電源電位VCCに上
昇する。ワード線WLKと接続されたメモリセルM C
K1〜MCKNの各トランジスタQ1がオンとなるため
、各メモリセルM cx1〜M CKNのキャパシタC
1とビット線BL□〜BLNとの間で電荷のやりとりが
行われ、各ビット線BL、〜BLNの電位が微小に変化
する。In the active cycle, one word line, for example, WLK, is selected from among the word lines WL, -WLM by an externally applied address signal, and is raised to the power supply potential VCC. Memory cell MC connected to word line WLK
Since each transistor Q1 of K1 to MCKN is turned on, the capacitor C of each memory cell Mcx1 to MCKN is turned on.
Charges are exchanged between the bit lines BL□ to BLN, and the potential of each bit line BL, to BLN changes minutely.
次に、センス増幅器8A1〜8ANが活性化さ間の微小
差信号は増幅されて、例えばビット線BLLの電位は電
源電位VCCtで上昇し、と、ト線BLLは接地電位V
ss(=OV)まで降下する。Next, the sense amplifiers 8A1 to 8AN are activated, and the minute difference signal between them is amplified, so that, for example, the potential of the bit line BLL rises to the power supply potential VCCt, and the bit line BLL rises to the ground potential VCCt.
Descend to ss (=OV).
一方、メモリセルMCK、〜MCKNの各トランジスタ
Q1を介してビット線BLl−BLNと接続された節点
NK1〜NKNはトランジスタQlのしきい値電圧V〒
−段落ち、すなわち(Vcc−VT)、または接地電位
V8Bに増幅される。On the other hand, the nodes NK1 to NKN connected to the bit lines BLl to BLN via each transistor Q1 of the memory cells MCK and MCKN have the threshold voltage V of the transistor Ql.
- step drop, i.e. (Vcc-VT), or amplified to ground potential V8B.
対をなすビット線BL1.BL□〜BLN、BLN間の
増幅後、制御信号Φ12〜ΦM2のうちΦに2が接地電
位V88に降下し、制御信号Φ13〜Φ罰のうちΦ1.
が電源電位VCCに上昇することにより、選択されたメ
モリセルM CK1〜M CKNのセル対極線PLKは
中間電位Vcc/2から接地電位V8Bに降下する。こ
の時、メモリセルMCK1〜M CKNの各節点NKI
〜NKNはセル対極線PLKの降下による力、プリング
ノイズで一瞬降下するが再び(Vcc −7丁)または
電池電位V8Sに復帰する。Paired bit lines BL1. After amplification between BL□-BLN and BLN, Φ2 of the control signals Φ12-ΦM2 drops to the ground potential V88, and Φ1. of the control signals Φ13-Φ punishment.
By rising to the power supply potential VCC, the cell counter electrode line PLK of the selected memory cells MCK1 to MCKN falls from the intermediate potential Vcc/2 to the ground potential V8B. At this time, each node NKI of memory cells MCK1 to MCKN
~NKN drops for a moment due to the force caused by the drop of the cell counter electrode line PLK and the pulling noise, but returns to (Vcc -7) or the battery potential V8S.
ローアドレスストローブ信号RA8が上昇しリセットサ
イクルになると、制御信号Φ11〜ΦM1のうちOKl
が上昇し、選択され電源電位■ccK上昇していたワー
ド4IWLKは、電圧VPLの中間電位Vcc/2に降
下する。このとき、例えばメモリセルM CKLの節点
NKLが高レベルの電位、つまり(vcc−v丁)なら
メモリセルM CKLのトランジスタQlはオフとなる
。;た節点NKLが低レベル、つまり接地電位Vss’
zらトランジスタQIはオンのままである。When the row address strobe signal RA8 rises and a reset cycle begins, OKl of the control signals Φ11 to ΦM1
increases, and word 4IWLK, which has been selected and whose power supply potential ccK has been rising, falls to the intermediate potential Vcc/2 of voltage VPL. At this time, for example, if the node NKL of the memory cell MCKL is at a high level potential, that is, (vcc-vd), the transistor Ql of the memory cell MCKL is turned off. ; the node NKL is at a low level, that is, the ground potential Vss'
Transistor QI remains on.
次に、制御信号Φに3が接地電位VSSに降下し、制御
信号軛2が電源電位■ccに上昇すると、セル対極線P
LKは中間電位Vcc/2まで上昇する。Next, when the control signal Φ3 drops to the ground potential VSS and the control signal yoke 2 rises to the power supply potential ■cc, the cell counter electrode line P
LK rises to intermediate potential Vcc/2.
このとき、節点NKLが高レベルであったとするとその
レベルは(Vcc −V丁子Vcc/ 2 )まで上昇
し、低レベルであったとすると一瞬接地電位VSSから
上昇するがトランジスタQlがオンとなっているために
、再び接地電位VSgに降下する。節点NKLの電位が
(VCCVT +VCC/ 2 )または接地電位VS
Sになった後に制御信号Φに1が接地電位■ssに降下
しワードドライバ回路WDKがリセットされ、ワード線
WLKが接地電位VSSに降下すればメモリセルM C
K、〜MCKNの書込み動作は終了し、その書込み電位
は最終的に高レベル側で(V((−V7 + V((/
2 ) Ic 、低レベル側で接地電位VSSになる
。例えばVcc=5V、Vt =1svとすると、高レ
ベル側は約6Vとなり、電源電位VCC以上の電位でデ
ータが書込める。At this time, if the node NKL is at a high level, its level rises to (Vcc - Vcc/2), and if it is a low level, it momentarily rises from the ground potential VSS, but the transistor Ql is turned on. Therefore, it drops to the ground potential VSg again. The potential of node NKL is (VCCVT +VCC/2) or ground potential VS
After the control signal Φ becomes S, 1 drops to the ground potential ■ss, the word driver circuit WDK is reset, and if the word line WLK drops to the ground potential VSS, the memory cell MC
The write operation of K, ~MCKN is completed, and the write potential is finally on the high level side (V((-V7 + V((/
2) Ic becomes the ground potential VSS on the low level side. For example, when Vcc=5V and Vt=1sv, the high level side is about 6V, and data can be written at a potential higher than the power supply potential VCC.
以上説明したように本発明は、廖址先琳会滲≠第2の電
源電位の中間レベルから第1の電源電位にし、次に、ワ
ード線を選択レベルから第1及び第2の電源電位の中間
レベルとすると共にセル対極線を中間レベルに戻す供給
電位制御回路を設けた構成をすることによシ、メモリセ
ルの高レベルの電位を高電位側の電源電位より高くする
ことができるので、センス増幅器の動作速度及び特性の
アンバランス耐性の向上をはかることができ、かつデー
タの保持時間を長くすることができる効果がある。As explained above, in the present invention, the power supply potential is changed from the intermediate level of the second power supply potential to the first power supply potential, and then the word line is changed from the selected level to the first and second power supply potentials. By providing a supply potential control circuit that returns the cell counter electrode line to an intermediate level while setting it to an intermediate level, the high level potential of the memory cell can be made higher than the power supply potential on the high potential side. This has the effect of improving the operating speed and resistance to unbalanced characteristics of the sense amplifier, and lengthening the data retention time.
第1図及び第2図はそれぞれ本発明の一実施例を示す回
路図及びこの実施例の製作を説明するための各現信号の
動作波形図、第3図及び第4図はそれぞれ従来の半導体
メモIJ 装置の一例を示す回路図及びこの例の動作を
説明するための各現信号の動作波形図である。
l・・・・・・メモリセルアレイ、2・−・・・供給電
位制御回路、BL、、BL、〜BLN、BLN・・・・
・・ビット線、CI−・・・・・キャパシタ、MC11
〜MCMN・・・・−・メモリセルアレイ、PL1〜P
LM・・−・・・セル対極M、Q 1 e Q10 e
Qtz t Q13〜QMI s QMz t QM
3・・・・・−トランジスタ、8A1〜SAN・・・・
・・センス増幅器、WD、〜WDM−・・・−・ワード
線ドライバ回路、WL。
〜WLM・・−・・・ワード線。
代理人 弁理士 内 原 晋
第
図1 and 2 are a circuit diagram showing an embodiment of the present invention and operation waveform diagrams of each current signal to explain the fabrication of this embodiment, and FIGS. 3 and 4 are respectively diagrams of conventional semiconductors. 2 is a circuit diagram showing an example of a memo IJ device and an operation waveform diagram of each current signal for explaining the operation of this example. FIG. 1... Memory cell array, 2... Supply potential control circuit, BL, BL, ~BLN, BLN...
...Bit line, CI-...Capacitor, MC11
~MCMN...--Memory cell array, PL1~P
LM...Cell counter electrode M, Q 1 e Q10 e
Qtz t Q13~QMI s QMz t QM
3...-transistor, 8A1~SAN...
...Sense amplifier, WD, ~WDM-...-Word line driver circuit, WL. ~WLM---word line. Agent: Susumu Uchihara, patent attorney
Claims (1)
スタ1キャパシタ型の複数のメモリセルを備え、選択状
態にある前記メモリセルに対しデータの書込み、読出し
を行うメモリセルアレイと、このメモリセルアレイの各
列と対応して設けられ、この対応する列の各メモリセル
と接続して選択状態にあるメモリセルへのデータの供給
及びこのメモリセルからのデータの伝達を行う互いに対
をなす第1及び第2のビット線と、前記メモリセルアレ
イの各行と対応して設けられ、この対応する行の各メモ
リセルを選択状態とするワード線と、前記各第1及び第
2のビット線と対応して設けられ、この対応するビット
線間の差電位を増幅するセンス増幅器と、前記メモリセ
ルアレイの各行と対応して設けられ、対応する行の各メ
モリセルのキャパシタの対極とそれぞれ接続するセル対
極線と、前記メモリセルアレイの各行ごとに、前記ワー
ド線が選択レベルとなりて前記センス増幅器による前記
第1及び第2のビット線間の差電位の増幅動作中の第1
のタイミングで前記セル対極線のレベルを第1及び第2
の電源電位間の所定の電位から前記第1の電源電位にし
、第2の、タイミングで前記ワード線を選択レベルから
所定の期間前記第1及び第2の電源電位間の所定の電位
にすると共に前記セル対極線のレベルを前記第1及び第
2の電源電位間の所定のレベルに戻す供給電位制御回路
とを有することを特徴とする半導体メモリ装置。A memory cell array comprising a plurality of one-transistor, one-capacitor type memory cells arranged in a matrix in the row and column directions, and for writing and reading data to and from the memory cells in a selected state, and each of the memory cell arrays. A pair of first and second memory cells provided corresponding to a column and connected to each memory cell of the corresponding column to supply data to a memory cell in a selected state and transmit data from this memory cell. a second bit line, a word line provided corresponding to each row of the memory cell array and for setting each memory cell in the corresponding row in a selected state, and a word line provided corresponding to each of the first and second bit lines; a sense amplifier for amplifying the potential difference between the corresponding bit lines; a cell counter electrode line provided corresponding to each row of the memory cell array and connected to the counter electrode of the capacitor of each memory cell in the corresponding row; For each row of the memory cell array, the word line is set to a selection level and the first bit line is at a selection level during the amplification operation of the potential difference between the first and second bit lines by the sense amplifier.
The level of the cell counter electrode line is set to the first and second levels at the timing of
from a predetermined potential between power supply potentials to the first power supply potential, and at a second timing, set the word line from a selection level to a predetermined potential between the first and second power supply potentials for a predetermined period; A semiconductor memory device comprising: a supply potential control circuit that returns the level of the cell counter electrode line to a predetermined level between the first and second power supply potentials.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2248246A JPH04129088A (en) | 1990-09-18 | 1990-09-18 | Semiconductor memory device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2248246A JPH04129088A (en) | 1990-09-18 | 1990-09-18 | Semiconductor memory device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04129088A true JPH04129088A (en) | 1992-04-30 |
Family
ID=17175328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2248246A Pending JPH04129088A (en) | 1990-09-18 | 1990-09-18 | Semiconductor memory device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04129088A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5764562A (en) * | 1995-04-07 | 1998-06-09 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor memory device |
JP2009004026A (en) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Elpida Memory Inc | Memory cell array and method for controlling memory cell array |
-
1990
- 1990-09-18 JP JP2248246A patent/JPH04129088A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5764562A (en) * | 1995-04-07 | 1998-06-09 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor memory device |
JP2009004026A (en) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Elpida Memory Inc | Memory cell array and method for controlling memory cell array |
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