JPS61159099A - 差圧測定系統の検査および洗浄装置 - Google Patents
差圧測定系統の検査および洗浄装置Info
- Publication number
- JPS61159099A JPS61159099A JP60289132A JP28913285A JPS61159099A JP S61159099 A JPS61159099 A JP S61159099A JP 60289132 A JP60289132 A JP 60289132A JP 28913285 A JP28913285 A JP 28913285A JP S61159099 A JPS61159099 A JP S61159099A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- differential pressure
- cleaning
- cooling water
- measuring
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28G—CLEANING OF INTERNAL OR EXTERNAL SURFACES OF HEAT-EXCHANGE OR HEAT-TRANSFER CONDUITS, e.g. WATER TUBES OR BOILERS
- F28G1/00—Non-rotary, e.g. reciprocated, appliances
- F28G1/12—Fluid-propelled scrapers, bullets, or like solid bodies
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、冷却水配管の中に配置された濾過装置と、該
濾過装置の上流および下流側で前記冷却水配管に２本の
測定配管を介して接続されている差圧検出器とを持った
熱交換器、特に発電所の復水器における差圧測定系統の
検査および洗浄装置に関する。
濾過装置の上流および下流側で前記冷却水配管に２本の
測定配管を介して接続されている差圧検出器とを持った
熱交換器、特に発電所の復水器における差圧測定系統の
検査および洗浄装置に関する。
かかる検査および洗浄装置は、本願出願人であるタプロ
ツゲ（Ｔａｐｒｏｇｇｅ Ｇｅ５ｅｌｌｓｃｈａｆｔ
ｍｂＨ）社の１９８３年１０月発行の花部「冷却回
路の最適化方法Ｊ （Ｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ
Ｃｏｏｌｉｎｇ Ｗａｔｅｒ Ｃ１ｒｃｕｉｔｓ ）
で知られている。しかしこの装置は時々その機能につい
て検査しなければならず、更に冷却水からの汚れがその
測定配管に付着する危険があるので、冷却水が供給され
る測定配管を洗浄しなければならない。このために従来
は一般に、濾過装置の下流で分岐し、洗浄用のポンプを
備えた別個の洗浄配管が設けられている。この場合三方
弁の切り換えに応じて、まず差圧検出器の一方の圧力室
および濾過装置の上流側の測定配管に、続いて反対側の
圧力室および濾過装置の下流側の測定配管に、洗浄水が
供給され洗浄される。かかる特別な洗浄水配管および高
価な三方弁を持った装置は、高い経費が必要であり、付
加的な故障を生ずる。
ツゲ（Ｔａｐｒｏｇｇｅ Ｇｅ５ｅｌｌｓｃｈａｆｔ
ｍｂＨ）社の１９８３年１０月発行の花部「冷却回
路の最適化方法Ｊ （Ｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ
Ｃｏｏｌｉｎｇ Ｗａｔｅｒ Ｃ１ｒｃｕｉｔｓ ）
で知られている。しかしこの装置は時々その機能につい
て検査しなければならず、更に冷却水からの汚れがその
測定配管に付着する危険があるので、冷却水が供給され
る測定配管を洗浄しなければならない。このために従来
は一般に、濾過装置の下流で分岐し、洗浄用のポンプを
備えた別個の洗浄配管が設けられている。この場合三方
弁の切り換えに応じて、まず差圧検出器の一方の圧力室
および濾過装置の上流側の測定配管に、続いて反対側の
圧力室および濾過装置の下流側の測定配管に、洗浄水が
供給され洗浄される。かかる特別な洗浄水配管および高
価な三方弁を持った装置は、高い経費が必要であり、付
加的な故障を生ずる。
本発明の目的は、広い用途に使用されている非常に簡単
な配管が組み込まれ、機能的に確実に作動するような検
査および洗浄装置を形成することにある。
な配管が組み込まれ、機能的に確実に作動するような検
査および洗浄装置を形成することにある。
本発明によればこの目的は、冒頭に述べた瘤式の装置に
おいて、差圧検出器の両方の圧力室が逆止弁を備えた洗
浄配管を介して互いに接続され、一方の測定配管にポン
プが組み込まれ、濾過装置の下流側と接続された圧力室
に高い圧力をかけられるようにすることによって達成で
きる。
おいて、差圧検出器の両方の圧力室が逆止弁を備えた洗
浄配管を介して互いに接続され、一方の測定配管にポン
プが組み込まれ、濾過装置の下流側と接続された圧力室
に高い圧力をかけられるようにすることによって達成で
きる。
本発明によれば、一方の測定配管に直接ポンプを組み込
むことによって、特別な洗浄配管が不要になる。更に差
圧検出器の両圧力室を接続する配管の中に逆止弁を配置
するだけで、補助的な調整動作が不要となるので、これ
により機能的に非常に確実な装置が得られる。
むことによって、特別な洗浄配管が不要になる。更に差
圧検出器の両圧力室を接続する配管の中に逆止弁を配置
するだけで、補助的な調整動作が不要となるので、これ
により機能的に非常に確実な装置が得られる。
その場合好ましくは逆止弁は、自重のかかる球状の弁体
を有する。その際逆止弁は円錐状の入口および出口部分
を持ち垂直に配置された円筒状のケーシングを有し、こ
のケーシングの中に、入口および出口接続短管の直径よ
り大きな直径の弁体が洗浄流の作用でその弁座から持ち
上げられるように入れられている。
を有する。その際逆止弁は円錐状の入口および出口部分
を持ち垂直に配置された円筒状のケーシングを有し、こ
のケーシングの中に、入口および出口接続短管の直径よ
り大きな直径の弁体が洗浄流の作用でその弁座から持ち
上げられるように入れられている。
更に本発明の実施態様においては、差圧検出器は、すべ
ての電気的検査および測定線および測定装置を検査する
ために、洗浄ポンプによる圧力上昇の際に閉じられる検
査接点に作用的に接続される。
ての電気的検査および測定線および測定装置を検査する
ために、洗浄ポンプによる圧力上昇の際に閉じられる検
査接点に作用的に接続される。
以下図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明す
る。
る。
第１図に示された実施例において、スポンジボールの形
をした洗浄体６は、発電所の復水器２の下流に配置され
た濾過装置で捕捉され、冷却水流から再び搬出されるよ
うにされている。このため一般には熱交換器２の冷却水
出口配管１の中に側面楕円形の２枚の濾ｗ４３．４が組
み込まれ、これらは水平軸５を中心として垂直の洗浄位
置に揺動できるように構成されている。洗浄体６は漉網
３．４で受は止められ、排出配管７および図示してない
帰還回路を介して熱交換器２の冷却水入口配管に戻され
る。
をした洗浄体６は、発電所の復水器２の下流に配置され
た濾過装置で捕捉され、冷却水流から再び搬出されるよ
うにされている。このため一般には熱交換器２の冷却水
出口配管１の中に側面楕円形の２枚の濾ｗ４３．４が組
み込まれ、これらは水平軸５を中心として垂直の洗浄位
置に揺動できるように構成されている。洗浄体６は漉網
３．４で受は止められ、排出配管７および図示してない
帰還回路を介して熱交換器２の冷却水入口配管に戻され
る。
かかる熱交換器２の冷却水は普通、漉網３，４に堆積す
るような繊維質あるいは平面状粘性物の汚れを有してい
る。従って時間が経過するにつれて濾ｗ４３，４の汚れ
が増し、冷却水の貫流が妨げられるので、漉網３．４は
それらの軸５を中心として揺動して垂直の洗浄位置に置
かれる。
るような繊維質あるいは平面状粘性物の汚れを有してい
る。従って時間が経過するにつれて濾ｗ４３，４の汚れ
が増し、冷却水の貫流が妨げられるので、漉網３．４は
それらの軸５を中心として揺動して垂直の洗浄位置に置
かれる。
漉網３，４の汚れの増加は漉網３，４の前後における差
圧を高め、この差圧が所定の設定値を越えた際、漉網３
．４が揺動させられる。
圧を高め、この差圧が所定の設定値を越えた際、漉網３
．４が揺動させられる。
この差圧を検出するために、差圧検出器１０が設けられ
、その上側圧力室１１は測定配管１２を介して漉網３，
４の上流における冷却水出口配管１に接続され、一方検
出器１０の下側圧力室１３は漉網３，４の下流における
冷却水出口配管ｌに接続されている。漉網３．４の前後
の差圧が上昇すると、例えば差圧検出器１０のダイアフ
ラム１５が下方に変位し、これにより設定値を越えた場
合に接点を閉鎮し、それによって濾＃ｗＪ３，４がその
洗浄位置に揺動される。
、その上側圧力室１１は測定配管１２を介して漉網３，
４の上流における冷却水出口配管１に接続され、一方検
出器１０の下側圧力室１３は漉網３，４の下流における
冷却水出口配管ｌに接続されている。漉網３．４の前後
の差圧が上昇すると、例えば差圧検出器１０のダイアフ
ラム１５が下方に変位し、これにより設定値を越えた場
合に接点を閉鎮し、それによって濾＃ｗＪ３，４がその
洗浄位置に揺動される。
冷却水によって連行される汚れが、例えば測定配管１２
および場合によっては測定配管１４にも付着し、そこで
閉塞を起こし、測定結果を狂わせるという危険がある。
および場合によっては測定配管１４にも付着し、そこで
閉塞を起こし、測定結果を狂わせるという危険がある。
更に系統全体を時々その機能について検査する必要があ
る。
る。
測定配管１２．１４からそのような汚れを除去し、測定
装置全体を検査するために、これらの測定配管１２．１
４を洗浄し、差圧検出器１０に検出圧力がかかるように
しなければならない。
装置全体を検査するために、これらの測定配管１２．１
４を洗浄し、差圧検出器１０に検出圧力がかかるように
しなければならない。
そのために本発明に基づいて、例えば漉網３゜４の下流
における測定配管１４の中に、差圧検出器１０の方向に
搬送するポンプ１６を組み込み、測定配管１４を同時に
洗浄配管として用いることが提案される。検出器１０の
圧力室１１．１３および漉網３，４の上流における測定
配管１２を洗浄できるようにするために、圧力室１３．
１１は逆止弁１８が組み込まれている配管１７を介して
互いに接続されている。
における測定配管１４の中に、差圧検出器１０の方向に
搬送するポンプ１６を組み込み、測定配管１４を同時に
洗浄配管として用いることが提案される。検出器１０の
圧力室１１．１３および漉網３，４の上流における測定
配管１２を洗浄できるようにするために、圧力室１３．
１１は逆止弁１８が組み込まれている配管１７を介して
互いに接続されている。
洗浄の際、洗浄水はポンプ１６の投入に応じて冷却水出
口配管１から測定配管１４および圧力室１３を押し流さ
れ、逆止弁１８の開放後に接続配管１７を通って上側圧
力室１１に送られ、測定配管１２を貫流した後で漉網３
，４の上流における冷却水出口配管１に戻される。
口配管１から測定配管１４および圧力室１３を押し流さ
れ、逆止弁１８の開放後に接続配管１７を通って上側圧
力室１１に送られ、測定配管１２を貫流した後で漉網３
，４の上流における冷却水出口配管１に戻される。
その場合逆止弁１Ｂとして、第２図に示したような自重
荷重形弁が好適である。逆止弁１８は、円錐状の入口部
分２０と同様に円錐状の出口部分２１とを持ち垂直に配
置された円筒状のケーシング１９を有し、そのケーシン
グ１９の中に、入口および出口接続短管２３，２４の直
径よりも大きな直径の球状弁体２２が入れられている。
荷重形弁が好適である。逆止弁１８は、円錐状の入口部
分２０と同様に円錐状の出口部分２１とを持ち垂直に配
置された円筒状のケーシング１９を有し、そのケーシン
グ１９の中に、入口および出口接続短管２３，２４の直
径よりも大きな直径の球状弁体２２が入れられている。
ケーシング１９を垂直に配置することによって、運転中
において弁体２２は常に下側の入口接続短管２３を閉鎖
する。洗浄工程が開始された場合、この弁体２２は洗浄
流の作用によってその弁座から持ち上がり、差圧検出器
１０における上側圧力室１１への流れを自由にする。
において弁体２２は常に下側の入口接続短管２３を閉鎖
する。洗浄工程が開始された場合、この弁体２２は洗浄
流の作用によってその弁座から持ち上がり、差圧検出器
１０における上側圧力室１１への流れを自由にする。
第３図には接点についての差圧検出器ＩＯの構造が原理
的に示されている。一般に測定運転の際、漉網３，４の
汚れが増加すると、上側圧力室１１に下側圧力室１３よ
りも高い圧力がかかり、ダイアフラム１５が下方に変位
し、設定値に達した場合にそのダイアフラム１５に接続
されたピン２６を介して接点に１が閉じられ、それによ
って対応する電動機構を介してまず洗浄体６の循環が停
止され、続いて漉網３．４が揺動される。
的に示されている。一般に測定運転の際、漉網３，４の
汚れが増加すると、上側圧力室１１に下側圧力室１３よ
りも高い圧力がかかり、ダイアフラム１５が下方に変位
し、設定値に達した場合にそのダイアフラム１５に接続
されたピン２６を介して接点に１が閉じられ、それによ
って対応する電動機構を介してまず洗浄体６の循環が停
止され、続いて漉網３．４が揺動される。
本発明に基づく装置を洗浄する場合、まず下側圧力室１
３に高い圧力がかけられ、それによりダイアフラム１５
が上向きに湾曲し、ピン２７を介して接点に２が閉じら
れ、それによって電気系統全体の検査ができるようにさ
れる。
３に高い圧力がかけられ、それによりダイアフラム１５
が上向きに湾曲し、ピン２７を介して接点に２が閉じら
れ、それによって電気系統全体の検査ができるようにさ
れる。
即ち洗浄の際に接点に２が閉じられると、次の検査基準
が満たされる。
が満たされる。
１、 測定配管１２．１４が閉塞されていない。
２、 差圧検出器１０が規則的に作動する。
３、 制御装置および他の装置を含む電気測定線が指定
通りに作動する。
通りに作動する。
この測定および検査装置の作用について、第４９ａ）、
ｂ）に示すような圧力指示計の振れを参照して原理的に
説明する。
ｂ）に示すような圧力指示計の振れを参照して原理的に
説明する。
通常運転の際、第４ａ）図に示すように圧力指示計３１
の指針３０はその中立位置から右側に振□れ、漉網３．
４の洗浄が必要とされる設定差圧に達すると、接点Ｋｌ
が閉じられる。これに対して第４ｂ）図に示すように洗
浄の場合は、指針３０は負の差圧により、接点に２に到
達してこれを閉鎖するまで左側に振れ、これにより相応
した検査信号が発生される。
の指針３０はその中立位置から右側に振□れ、漉網３．
４の洗浄が必要とされる設定差圧に達すると、接点Ｋｌ
が閉じられる。これに対して第４ｂ）図に示すように洗
浄の場合は、指針３０は負の差圧により、接点に２に到
達してこれを閉鎖するまで左側に振れ、これにより相応
した検査信号が発生される。
図示の実施例の場合、ポンプ１６は漉網３．４の下流に
おける測定配管１４に組み込まれ、差圧検出器１０の方
向に搬送する。同じようにしてポンプ１６を濾１１１ｉ
３，４の上流における測定配管１２に組み込むこともで
き、その場合ポンプ１６は、冷却水出口配管ｌの方向に
搬送し、洗浄液は測定系キ丸を通して吸い出されて、圧
力室１３には圧力室１１よりも高い圧力が発生され、こ
れにより同じ作用が達成される。
おける測定配管１４に組み込まれ、差圧検出器１０の方
向に搬送する。同じようにしてポンプ１６を濾１１１ｉ
３，４の上流における測定配管１２に組み込むこともで
き、その場合ポンプ１６は、冷却水出口配管ｌの方向に
搬送し、洗浄液は測定系キ丸を通して吸い出されて、圧
力室１３には圧力室１１よりも高い圧力が発生され、こ
れにより同じ作用が達成される。
本発明に基づく検査および洗浄装置は、同じようにして
冷却回路における別の濾過装置に、例えば冷却水の浄化
に用いられる冷却水入口配管に組み込まれた濾過装置に
組み込むことも勿論可能である。
冷却回路における別の濾過装置に、例えば冷却水の浄化
に用いられる冷却水入口配管に組み込まれた濾過装置に
組み込むことも勿論可能である。
第１図は本発明に基づく装置全体の概略構成図、第２図
は逆止弁の断面図、第３図は差圧検出器の接点の配置構
造図、第４２）図および第４ｂ）図は圧力計における接
点の配置図である。 １：冷却水出口配管、２：熱交換器、３．４；漉網、６
：洗浄体（スポンジボール）、１０：差圧検出器、１１
：上側圧力室、１２：測定配管、１３：下側圧力室、１
４：測定配管、１５：ダイアフラム、１６：ポンプ、１
７：接続配管、１８：逆止弁。
は逆止弁の断面図、第３図は差圧検出器の接点の配置構
造図、第４２）図および第４ｂ）図は圧力計における接
点の配置図である。 １：冷却水出口配管、２：熱交換器、３．４；漉網、６
：洗浄体（スポンジボール）、１０：差圧検出器、１１
：上側圧力室、１２：測定配管、１３：下側圧力室、１
４：測定配管、１５：ダイアフラム、１６：ポンプ、１
７：接続配管、１８：逆止弁。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）冷却水配管の中に配置された濾過装置と、該濾過装
置の上流および下流側で前記冷却水配管に２本の測定配
管を介して接続されている差圧検出器とを持った熱交換
器における差圧測定系統の検査および洗浄装置において
、差圧検出器（１０）の両方の圧力室（１１、１３）が
逆止弁（１８）を備えた洗浄配管（１７）を介して互い
に接続され、一方の測定配管（１２、１４）にポンプ（
１６）が組み込まれ、濾過装置（３、４）の下流側と接
続された圧力室（１３）に高い圧力をかけられるように
することを特徴とする差圧測定系統の検査および洗浄装
置。 ２）逆止弁（１８）が自重のかかる球状の弁体（２２）
を有していることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の装置。 ３）逆止弁（１８）が、円錐状の入口および出口部分（
２０、２１）を持ち垂直に配置された円筒状のケーシン
グ（１９）を有し、該ケーシング（１９）の中に、入口
および出口接続短管（２３、２４）の直径より大きな直
径の弁体（２２）が洗浄流の作用でその弁座から持ち上
げられるように入れられていることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の装置。 ４）差圧検出器（１０）が、すべての電気的検査および
測定線と測定装置とを検査するために、洗浄ポンプ（１
６）による圧力上昇の際に閉じられる検査接点（Ｋ２）
に作用的に接続されていることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19843447201 DE3447201C1 (de) | 1984-12-22 | 1984-12-22 | Prüf- und Spülvorrichtung für ein Differenzdruckmeßsystem |
| DE3447201.0 | 1984-12-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61159099A true JPS61159099A (ja) | 1986-07-18 |
| JPH0419475B2 JPH0419475B2 (ja) | 1992-03-30 |
Family
ID=6253756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60289132A Granted JPS61159099A (ja) | 1984-12-22 | 1985-12-20 | 差圧測定系統の検査および洗浄装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61159099A (ja) |
| DE (1) | DE3447201C1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3821191A1 (de) * | 1988-06-23 | 1989-12-28 | Taprogge Gmbh | Messgeraet zur erfassung der druckdifferenz an einer siebflaeche und eichverfahren |
| DE102012215899B4 (de) * | 2012-09-07 | 2019-04-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur zuverlässigen Füllstandsregelung in einer der Flugstromvergasung nachgeschalteten Quenchkammer mit Frischwasserspülung der Druck aufnehmenden Messstelle |
| DE102012215898B4 (de) * | 2012-09-07 | 2019-03-21 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur zuverlässigen Füllstandsregelung in einer der Flugstromvergasung nachgeschalteten Quenchkammer mit Inertgasspülung der Druck aufnehmenden Messstelle |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5650162A (en) * | 1979-09-28 | 1981-05-07 | Sumitomo Metal Mining Co | Repair material for waterproofing vaporrcured lightweight foamed concrete |
-
1984
- 1984-12-22 DE DE19843447201 patent/DE3447201C1/de not_active Expired
-
1985
- 1985-12-20 JP JP60289132A patent/JPS61159099A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5650162A (en) * | 1979-09-28 | 1981-05-07 | Sumitomo Metal Mining Co | Repair material for waterproofing vaporrcured lightweight foamed concrete |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3447201C1 (de) | 1986-04-24 |
| JPH0419475B2 (ja) | 1992-03-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3330615B2 (ja) | 連続的吸着分留装置および方法 | |
| US5247827A (en) | Resistive measurement of airborne contaminants | |
| US4176545A (en) | Electronic engine wear detector | |
| US7921697B2 (en) | Method and apparatus for monitoring an underdrain of a filter system | |
| CN106345169A (zh) | 过滤器和过滤器控制系统 | |
| US5139653A (en) | System for draining water from oil storage tanks with periodic monitoring and recirculation | |
| JPS61159099A (ja) | 差圧測定系統の検査および洗浄装置 | |
| DE4215574A1 (de) | Geschirrspülmaschine | |
| KR970052644A (ko) | 반도체 웨이퍼 세정장치 및 방법 | |
| JP4067568B2 (ja) | 粒子状汚染物の評価 | |
| CN108518388B (zh) | 一种多功能液压清洗过滤车 | |
| KR20130127830A (ko) | 압력 변화에 따라 자동역세척이 가능한 2-ｂｅｄ ｔｙｐｅ 여과필터 | |
| US3455146A (en) | Method and apparatus for determining filtrability time | |
| CN114054438A (zh) | 全自动部组件冲洗、洁净度检测及流阻的测试系统和方法 | |
| EP3689216B1 (de) | Spülmaschine und verfahren zur fehlerüberwachung einer umkehrosmoseeinheit einer spülmaschine | |
| CN211980572U (zh) | 晶圆的处理系统 | |
| JPH067616A (ja) | ストレーナを有する配管設備 | |
| JPS60262040A (ja) | 微粒子量検出装置 | |
| CN218512248U (zh) | 一种集料含泥量及泥块含量检测装置 | |
| CN111293061A (zh) | 晶圆的处理系统 | |
| JPH0321309A (ja) | 供給ラインのフィルタ監視装置 | |
| US20230066472A1 (en) | System and method for testing a filter | |
| KR102365773B1 (ko) | 원자력 발전소의 에어 클리닝 유닛의 가열기 용량 시험 장치 및 원자력 발전소의 에어 클리닝 유닛의 가열기 용량 시험 방법 | |
| JPS58195133A (ja) | 漏洩検出排水装置 | |
| JPH0419414A (ja) | 油圧回路汚染度判定方法 |