JPS61148622A - 薄膜ヘツド - Google Patents
薄膜ヘツドInfo
- Publication number
- JPS61148622A JPS61148622A JP26856184A JP26856184A JPS61148622A JP S61148622 A JPS61148622 A JP S61148622A JP 26856184 A JP26856184 A JP 26856184A JP 26856184 A JP26856184 A JP 26856184A JP S61148622 A JPS61148622 A JP S61148622A
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- JP
- Japan
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- substrate
- thin film
- face
- magnetic pole
- film head
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明は、例えば磁気ディスク装置等で使用される薄
膜ヘッドに関する。
膜ヘッドに関する。
［従来技術］
第３図は従来の７ｓ膜ヘツドの斜視図で、この薄膜ヘッ
ドは、図外の記憶媒体例えば磁気ディスクに対し微小隙
間を形成して浮上した状態で走行することで記憶媒体に
対し記憶あるいは再生を行う。
ドは、図外の記憶媒体例えば磁気ディスクに対し微小隙
間を形成して浮上した状態で走行することで記憶媒体に
対し記憶あるいは再生を行う。
このような薄膜ヘッドにおいて、スライダを構成する基
板１０１の図中で下面には、図外の記憶媒体に対し浮上
するスライダ面１０１ａを有し、基板１０１の側面には
電極部１０３と、この電極部１０３に電気的に接続され
た導電部１０５と、第３図のＩＶ −ＩＶ断面図である
、第４図に示すように導電部１０５の一部を両面から挾
むようにして設けられた磁極部１０７とがそれぞれ形成
されている。そして、１ｉｉｉｔｆｉ部１０７のギャッ
プ部１０９はスライダ面１０１ａ側すなわち図外の記憶
媒体の記憶媒体面側に対向して形成されている。
板１０１の図中で下面には、図外の記憶媒体に対し浮上
するスライダ面１０１ａを有し、基板１０１の側面には
電極部１０３と、この電極部１０３に電気的に接続され
た導電部１０５と、第３図のＩＶ −ＩＶ断面図である
、第４図に示すように導電部１０５の一部を両面から挾
むようにして設けられた磁極部１０７とがそれぞれ形成
されている。そして、１ｉｉｉｔｆｉ部１０７のギャッ
プ部１０９はスライダ面１０１ａ側すなわち図外の記憶
媒体の記憶媒体面側に対向して形成されている。
このような薄膜ヘッドは、電極部１０３が基板１０１の
極めて面積の狭い側面すなわち導体部１０５が形成され
た面に形成されているため、導体部１０５の電極部１０
３との接続等の処理が難しく、このため基板１０１の高
さｈは高くなりがらで、このヘッドを支持するジンバル
をも含めて装置の小型軽層化を図る上で障害となってい
た。
極めて面積の狭い側面すなわち導体部１０５が形成され
た面に形成されているため、導体部１０５の電極部１０
３との接続等の処理が難しく、このため基板１０１の高
さｈは高くなりがらで、このヘッドを支持するジンバル
をも含めて装置の小型軽層化を図る上で障害となってい
た。
また、前記基板１０１の高ざｈは、高くなりがらと古っ
てら、７７ｇ膜ヘッドと記憶媒体との間の浮上隙間およ
び口のヘッドが浮上りる際の安定性等から制限されてい
るため、導体部１０５の巻数を少なくせざるを存ず、こ
のため高い再生出力を得ることは難しい状況となってい
る。
てら、７７ｇ膜ヘッドと記憶媒体との間の浮上隙間およ
び口のヘッドが浮上りる際の安定性等から制限されてい
るため、導体部１０５の巻数を少なくせざるを存ず、こ
のため高い再生出力を得ることは難しい状況となってい
る。
また、第５図のように電極部１０３を基板１０１の上面
に形成させることで、薄膜ヘッドの高さｈを低くして小
型軽小化を図り、かつ導体部１０５の処理を容易にする
ことが考えられる。
に形成させることで、薄膜ヘッドの高さｈを低くして小
型軽小化を図り、かつ導体部１０５の処理を容易にする
ことが考えられる。
しかし、これとて前述の例と同様に基板１０１の側面の
面積を広くとれないので、高い再生出力を得ることがで
きないばかりか、上面の電極部１０３と側面の電極部１
０３ａおよび導体部１０５とを形成する工程が別となる
ため、工程数が増加することとなり、また、両電極部１
０３と１０３８とが互いに接する基板１０１の角部１０
１ｂにおける電気的接触の信頼性が低下してしまうとい
う問題が発生することとなる。
面積を広くとれないので、高い再生出力を得ることがで
きないばかりか、上面の電極部１０３と側面の電極部１
０３ａおよび導体部１０５とを形成する工程が別となる
ため、工程数が増加することとなり、また、両電極部１
０３と１０３８とが互いに接する基板１０１の角部１０
１ｂにおける電気的接触の信頼性が低下してしまうとい
う問題が発生することとなる。
［発明の目的］
この発明は、このような従来の問題点に鑑み創案された
もので、小型軽小化を図ると同時に、高い再生出力を１
ｑることが可能な′ａ膜ヘッドの提供を目的とする。
もので、小型軽小化を図ると同時に、高い再生出力を１
ｑることが可能な′ａ膜ヘッドの提供を目的とする。
［発明の構成１
この目的を達成させるためにこの発明は、記憶媒体面に
対向して浮上するスライダ面を有する基板と、この基板
上に形成された電極部と、同じく基板上に形成され前記
電極部と電気的に接続された導体部と、この導体部が巻
き回された簿Ｒ磁性材料からなる磁極部とからなる薄膜
ヘッドにおいて、前記基板のスライダ面と、前記磁極部
が形成された面とのなす角度を鋭角としたものである。
対向して浮上するスライダ面を有する基板と、この基板
上に形成された電極部と、同じく基板上に形成され前記
電極部と電気的に接続された導体部と、この導体部が巻
き回された簿Ｒ磁性材料からなる磁極部とからなる薄膜
ヘッドにおいて、前記基板のスライダ面と、前記磁極部
が形成された面とのなす角度を鋭角としたものである。
［実施例］
以下、図面に基づきこの発明の一実施例を詳細に説明す
る。
る。
第１図は＃膜ヘッドの斜視図で、この薄膜ヘッドは、従
来例で説明したものと同様に、図外の記憶媒体に対し微
小隙間をもって浮上し、記憶媒体に対し記録あるいは再
生を行なう。このような薄膜ヘッドにおいて、スライダ
を構成する基板１の図中で下面は、記！！媒体に対向す
るスライダ面１ａとなっており、このスライダ面１ａと
反対側の基板１の上面１ｂには電極部３が形成されてい
る。
来例で説明したものと同様に、図外の記憶媒体に対し微
小隙間をもって浮上し、記憶媒体に対し記録あるいは再
生を行なう。このような薄膜ヘッドにおいて、スライダ
を構成する基板１の図中で下面は、記！！媒体に対向す
るスライダ面１ａとなっており、このスライダ面１ａと
反対側の基板１の上面１ｂには電極部３が形成されてい
る。
電極部３に電気的に接続される導体部５およびこの導体
部５が巻き回された磁極部７が形成されるヘッド形成面
１Ｃと、スライダ面１ａとのなす角度を鋭角とすること
により、ヘッド形成面１Ｃを傾斜させている。このよう
にヘッド形成面１Ｃを傾斜させることで導体部５を形成
させる面すなわちヘッド形成面１Ｃの面積を大きくして
いる。
部５が巻き回された磁極部７が形成されるヘッド形成面
１Ｃと、スライダ面１ａとのなす角度を鋭角とすること
により、ヘッド形成面１Ｃを傾斜させている。このよう
にヘッド形成面１Ｃを傾斜させることで導体部５を形成
させる面すなわちヘッド形成面１Ｃの面積を大きくして
いる。
これにより、導体部５を構成するリード線５ａの巻数を
多くすることができ、高い再生出力が得られる。また、
電極部３が基板１の上面１ｂに形成されていることから
、リード線５ａとヘッド形成面１Ｃ側の電極部３ａとの
電気的および機械的接続をするための十分な電極面積を
得ることができ、リード線５ａと電極部３との接続に通
常用いられるハンダ付が容易にできる。更に、電極部３
は、薄膜ヘッドを支持するジンバル材に燐青銅やステン
レス鋼等の電気伝導度の高い金属を使うことにより、ジ
ンバルとスライダとの電気的、機械的接続点ともなり得
る。
多くすることができ、高い再生出力が得られる。また、
電極部３が基板１の上面１ｂに形成されていることから
、リード線５ａとヘッド形成面１Ｃ側の電極部３ａとの
電気的および機械的接続をするための十分な電極面積を
得ることができ、リード線５ａと電極部３との接続に通
常用いられるハンダ付が容易にできる。更に、電極部３
は、薄膜ヘッドを支持するジンバル材に燐青銅やステン
レス鋼等の電気伝導度の高い金属を使うことにより、ジ
ンバルとスライダとの電気的、機械的接続点ともなり得
る。
第１図のＩ−ｎ断面図である第２図に示すように、ヘッ
ド形成面１Ｃの下部側にはＩｌｌ ９に保護されたｉｌ
ｌ膜性性材料らなる透磁性コアとしての磁極部７が設け
られている。この磁極部７は、第１図中の下部側のリー
ドｌ１５８を第２図に示づように両面から挾むように形
成された上面部７ａと基板１側に接する下面部７ｂとか
らなり、上面部７ａと下面部７ｂとは上部側の接続部７
Ｃにて接続されている。更に、上面部７ａの下部側先端
は、基板１のスライダ面１ａに対し略直角をなすように
湾曲しており、この湾曲した下端と下面部７１）の下端
とでギャップ部１１を形成している。このギャップ部１
１での漏洩磁場が図外の記憶媒体に記録される。
ド形成面１Ｃの下部側にはＩｌｌ ９に保護されたｉｌ
ｌ膜性性材料らなる透磁性コアとしての磁極部７が設け
られている。この磁極部７は、第１図中の下部側のリー
ドｌ１５８を第２図に示づように両面から挾むように形
成された上面部７ａと基板１側に接する下面部７ｂとか
らなり、上面部７ａと下面部７ｂとは上部側の接続部７
Ｃにて接続されている。更に、上面部７ａの下部側先端
は、基板１のスライダ面１ａに対し略直角をなすように
湾曲しており、この湾曲した下端と下面部７１）の下端
とでギャップ部１１を形成している。このギャップ部１
１での漏洩磁場が図外の記憶媒体に記録される。
また、薄膜ヘッドの記録効率は、従来例で示した第４図
におけるギャップ部１０９の深さｉに大きく影響される
ことが知られている。（Ｇ、Ｖｉｎ−ｓｏｎ Ｋｅｌ
ｌｅｙ 、 ｌ：ｒｉｃｈ Ｐ、 Ｖａｌｓｔｙｎ、
“Ｎｌ１ｍ−ｃｒｉｃａｌ Ａｎａｌｙｓｉｓ
ｏｒ Ｗｒｉｔｉｎｇ ａｎｄ Ｒｅａ−
ｄｉｎｇ ｗｉｔｈ Ｍ ｕｌｔｉｊｕｒｎ
Ｆｉｌｍ Ｈｅａｄｓ”、 ＩＥＥ
Ｅ Ｔｒａｎｓ、ＭＡＧ−１６，Ｐ、 ７８８
（１９８０）参照）この実施例では、第４図に示した
２点鎖線ａに沿ってギヤツブ部１０９近傍を除去したよ
うな形状とした結果、記録効率の向上となって表われて
いる。更に、第２図のギＶツブ部１１において、磁極部
７の下面部７ｈの膜厚を厚く、上面部７ａの膜りを薄＜
シて、これら両膜を十分（数ミクロン）離すことによっ
て、片側アクセスの単磁極形垂直記録薄膜ヘッドとして
使用できる。
におけるギャップ部１０９の深さｉに大きく影響される
ことが知られている。（Ｇ、Ｖｉｎ−ｓｏｎ Ｋｅｌ
ｌｅｙ 、 ｌ：ｒｉｃｈ Ｐ、 Ｖａｌｓｔｙｎ、
“Ｎｌ１ｍ−ｃｒｉｃａｌ Ａｎａｌｙｓｉｓ
ｏｒ Ｗｒｉｔｉｎｇ ａｎｄ Ｒｅａ−
ｄｉｎｇ ｗｉｔｈ Ｍ ｕｌｔｉｊｕｒｎ
Ｆｉｌｍ Ｈｅａｄｓ”、 ＩＥＥ
Ｅ Ｔｒａｎｓ、ＭＡＧ−１６，Ｐ、 ７８８
（１９８０）参照）この実施例では、第４図に示した
２点鎖線ａに沿ってギヤツブ部１０９近傍を除去したよ
うな形状とした結果、記録効率の向上となって表われて
いる。更に、第２図のギＶツブ部１１において、磁極部
７の下面部７ｈの膜厚を厚く、上面部７ａの膜りを薄＜
シて、これら両膜を十分（数ミクロン）離すことによっ
て、片側アクセスの単磁極形垂直記録薄膜ヘッドとして
使用できる。
上記したような薄膜ヘッドを形成させるに際し、ギせツ
ブ部１１先端の平坦化については、膜９の部分を研削等
により除去することで容易に実現できる。また、基板１
の上面１ｂ側の電極部３と、ヘッド形成面１Ｃ側の導体
部５および電極部３ａとは、上面１ｂに対し垂直となる
方向から蒸着等を行うことによりＦｉｌｖｆに形成でき
る。このとき、ヘッド形成面１Ｃに対しては斜め蒸着と
なるが、このヘッド形成面１Ｃの面積は広くなっている
ため、斜め蒸着による導体部５等の加工精度の低下を招
くことはない。また、基板１の土面１ｂとヘッド形成面
１Ｃとのなす角度は鈍角となっているため、上記蒸着に
より角部１ｄにおける上面１ｂ側の電極部３と、ヘッド
形成面１Ｃ側の電極部３ａとの接合面積が従来例に比べ
大きくなって、電気的接触が良好となる。
ブ部１１先端の平坦化については、膜９の部分を研削等
により除去することで容易に実現できる。また、基板１
の上面１ｂ側の電極部３と、ヘッド形成面１Ｃ側の導体
部５および電極部３ａとは、上面１ｂに対し垂直となる
方向から蒸着等を行うことによりＦｉｌｖｆに形成でき
る。このとき、ヘッド形成面１Ｃに対しては斜め蒸着と
なるが、このヘッド形成面１Ｃの面積は広くなっている
ため、斜め蒸着による導体部５等の加工精度の低下を招
くことはない。また、基板１の土面１ｂとヘッド形成面
１Ｃとのなす角度は鈍角となっているため、上記蒸着に
より角部１ｄにおける上面１ｂ側の電極部３と、ヘッド
形成面１Ｃ側の電極部３ａとの接合面積が従来例に比べ
大きくなって、電気的接触が良好となる。
［発明の効果］
以上のようにこの発明によれば、記憶媒体に対向して浮
上するスライダ面と、磁極部が形成された面とのなす角
度を鋭角として、磁極部および導体部が形成される面の
面積を大きくしたため、導体部の専有面積が大きくなり
高い再生出力が得られると共に、基板の高さを低くでき
るので、小型軽量化をも同時に図ることができる。
上するスライダ面と、磁極部が形成された面とのなす角
度を鋭角として、磁極部および導体部が形成される面の
面積を大きくしたため、導体部の専有面積が大きくなり
高い再生出力が得られると共に、基板の高さを低くでき
るので、小型軽量化をも同時に図ることができる。
第１図はこの発明の一実施例の薄膜ヘッドの斜視図、第
２図は第１図の一部を省略したＩＩ−Ｕ断面図、第３図
は従来の薄膜ヘッドの斜視図、第４図は第３図の一部を
省略したｒＶ−ＩＶ断面図、第５図は他の従来例を示す
薄膜ヘッドの斜視図である。 （図面の主要部を表わす符号の説明） １・・・基板 １ａ・・・スライダ面１Ｃ・
・・ヘッド形成面 ３・・・電極部５・・・導体部
７・・・磁極部（透磁性コア）第１図 第３図 ＩＶ 第４図 第５図
２図は第１図の一部を省略したＩＩ−Ｕ断面図、第３図
は従来の薄膜ヘッドの斜視図、第４図は第３図の一部を
省略したｒＶ−ＩＶ断面図、第５図は他の従来例を示す
薄膜ヘッドの斜視図である。 （図面の主要部を表わす符号の説明） １・・・基板 １ａ・・・スライダ面１Ｃ・
・・ヘッド形成面 ３・・・電極部５・・・導体部
７・・・磁極部（透磁性コア）第１図 第３図 ＩＶ 第４図 第５図
Claims (1)
- 記憶媒体面に対向して浮上するスライダ面を有する基板
と、この基板上に形成された電極部と、同じく基板上に
形成され前記電極部と電気的に接続された導体部と、こ
の導体部が巻き回された薄膜磁性材料からなる磁極部と
からなる薄膜ヘッドにおいて、前記基板のスライダ面と
、前記磁極部が形成された面とのなす角度を鋭角とした
ことを特徴とする薄膜ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59268561A JPH06101099B2 (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | 薄膜ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59268561A JPH06101099B2 (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | 薄膜ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61148622A true JPS61148622A (ja) | 1986-07-07 |
| JPH06101099B2 JPH06101099B2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=17460235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59268561A Expired - Lifetime JPH06101099B2 (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | 薄膜ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06101099B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63131316A (ja) * | 1986-11-21 | 1988-06-03 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| EP0402880A2 (en) * | 1989-06-16 | 1990-12-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for manufacturing multiturn thin film coil |
| US5293288A (en) * | 1990-05-17 | 1994-03-08 | Sony Corporation | Dual thin-film magnetic head with side surface terminals |
| EP0605984A2 (en) * | 1993-01-08 | 1994-07-13 | International Business Machines Corporation | Unitary magnetic transducer and suspension structure |
| JPH1064014A (ja) * | 1996-08-26 | 1998-03-06 | Nec Corp | 薄膜磁気ヘッド装置 |
| US5796549A (en) * | 1996-07-03 | 1998-08-18 | Seagate Technology, Inc. | Universal bond pad configuration |
| JP2013115068A (ja) * | 2011-11-25 | 2013-06-10 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品及びその製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5570934A (en) * | 1978-11-21 | 1980-05-28 | Fujitsu Ltd | Manufacture for thin film magnetic head |
| JPS5634121A (en) * | 1979-08-27 | 1981-04-06 | Nec Corp | Thin film magnetic head |
-
1984
- 1984-12-21 JP JP59268561A patent/JPH06101099B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5570934A (en) * | 1978-11-21 | 1980-05-28 | Fujitsu Ltd | Manufacture for thin film magnetic head |
| JPS5634121A (en) * | 1979-08-27 | 1981-04-06 | Nec Corp | Thin film magnetic head |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63131316A (ja) * | 1986-11-21 | 1988-06-03 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| EP0402880A2 (en) * | 1989-06-16 | 1990-12-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for manufacturing multiturn thin film coil |
| US5293288A (en) * | 1990-05-17 | 1994-03-08 | Sony Corporation | Dual thin-film magnetic head with side surface terminals |
| EP0605984A2 (en) * | 1993-01-08 | 1994-07-13 | International Business Machines Corporation | Unitary magnetic transducer and suspension structure |
| EP0605984A3 (en) * | 1993-01-08 | 1996-01-31 | Ibm | Unit structure of magnetic transducer and suspension. |
| US5796549A (en) * | 1996-07-03 | 1998-08-18 | Seagate Technology, Inc. | Universal bond pad configuration |
| JPH1064014A (ja) * | 1996-08-26 | 1998-03-06 | Nec Corp | 薄膜磁気ヘッド装置 |
| JP2013115068A (ja) * | 2011-11-25 | 2013-06-10 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品及びその製造方法 |
| US9058923B2 (en) | 2011-11-25 | 2015-06-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Electronic component and manufacturing method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06101099B2 (ja) | 1994-12-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |