JPS6114527A - 平面回折格子分光器 - Google Patents
平面回折格子分光器Info
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- JPS6114527A JPS6114527A JP13617884A JP13617884A JPS6114527A JP S6114527 A JPS6114527 A JP S6114527A JP 13617884 A JP13617884 A JP 13617884A JP 13617884 A JP13617884 A JP 13617884A JP S6114527 A JPS6114527 A JP S6114527A
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- JP
- Japan
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- diffraction grating
- plane
- evert
- concave mirror
- mirror
- Prior art date
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- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 claims abstract description 10
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims 1
- 102100025490 Slit homolog 1 protein Human genes 0.000 abstract description 3
- 101710123186 Slit homolog 1 protein Proteins 0.000 abstract description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
- G01J3/1804—Plane gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
本発明は分析機器、波長多重伝送機器等において光源の
光から所要波長の光を分離する分光器。
光から所要波長の光を分離する分光器。
分波器、異なる波長の光を1本のファイバ等1こ導入す
る合波器等の基本となる分光系に関するものである。
る合波器等の基本となる分光系に関するものである。
(ロ)従来技術
従来のエバート、或いはエバート・ファスティマウンテ
イングの分光系では、主Cエバート)鏡に球面鏡を用い
ており、スリット長方向の非点収差が生じる欠点があっ
た。特番こ入口、出口スリットに光ファイバ等を接続す
る場合、断面が円形で非点収差像の長さ方向への拡りが
ないので、出口スリットでの光量の損失が生じるなどの
問題があつた。
イングの分光系では、主Cエバート)鏡に球面鏡を用い
ており、スリット長方向の非点収差が生じる欠点があっ
た。特番こ入口、出口スリットに光ファイバ等を接続す
る場合、断面が円形で非点収差像の長さ方向への拡りが
ないので、出口スリットでの光量の損失が生じるなどの
問題があつた。
(ハ) 目的
本発明の目的は非点収差のないエバート及びエパート・
ファステイ分光器を提供することにある。
ファステイ分光器を提供することにある。
(ロ)構成
本発明は主鏡に縦横方向に曲率が異なる非球面鏡を用い
ることにより、非点収差の発生を防止できるようにした
ものである。
ることにより、非点収差の発生を防止できるようにした
ものである。
(ホ)実施例
以下、図面に基いて本発明実施例を説明する。
第1図はエバートマウンティングの分光系を示す図、第
2図はエバート・ファスティマウンティングの分光系を
それぞれ示す図である。入口スリット1から入射した光
は主鏡2によりほぼ平行光となり、回折格子3に入射角
αで入射する。所要波長人の光は、回折角βで回折格子
を出て再び主鏡2で反射され、出口スリット4Iこ結像
する。所 ′え 要波長本との関係は、エバートマウンティングの場合s
inα+sinβ−m’y’d、 α+β=2に、 エ
バート・ファスティマウノテイングの場合α−β、2s
inα−m 7/ d c o s Kである。ここで
mは回折次数、dは格子定数、には主光線が回折格子に
張る角のDID’lθ7 θ′ の間には波長分散方向
の結像条件、エバートマウンティングの場合、 DCD−2Rcosθ)=D’CD’−2Rco5θ’
)+5+エバート・ファスティマウンテイングの場合D
CD−2ρcosθ)=D’CD’−2Bo57’)f
7)を満たす必要がある。し1こがって、R=ρの球面
鏡を主鏡として、r、 r/、 D、 I)’、
θ、θ′を(4)。
2図はエバート・ファスティマウンティングの分光系を
それぞれ示す図である。入口スリット1から入射した光
は主鏡2によりほぼ平行光となり、回折格子3に入射角
αで入射する。所要波長人の光は、回折角βで回折格子
を出て再び主鏡2で反射され、出口スリット4Iこ結像
する。所 ′え 要波長本との関係は、エバートマウンティングの場合s
inα+sinβ−m’y’d、 α+β=2に、 エ
バート・ファスティマウノテイングの場合α−β、2s
inα−m 7/ d c o s Kである。ここで
mは回折次数、dは格子定数、には主光線が回折格子に
張る角のDID’lθ7 θ′ の間には波長分散方向
の結像条件、エバートマウンティングの場合、 DCD−2Rcosθ)=D’CD’−2Rco5θ’
)+5+エバート・ファスティマウンテイングの場合D
CD−2ρcosθ)=D’CD’−2Bo57’)f
7)を満たす必要がある。し1こがって、R=ρの球面
鏡を主鏡として、r、 r/、 D、 I)’、
θ、θ′を(4)。
(6)式あるいはf6L f7)式により定めた場合、
(1)式あるいは(2)式を満たすことができず、その
結果が非点収差として表われる。
(1)式あるいは(2)式を満たすことができず、その
結果が非点収差として表われる。
本発明はR\ρの非球面鏡を主鏡として用いることによ
り、エバートマウントの場合[11,141,(5)式
、エバート・ファスティマウントの場合(2)、 (e
)。
り、エバートマウントの場合[11,141,(5)式
、エバート・ファスティマウントの場合(2)、 (e
)。
(7)式を同時に満たすようにして非点収差をなくする
ことができる。
ことができる。
次ニ具体例について説明する。エバートマウントの場合
、R=500[mm]、2に=20[’ ]θ−θ’
=10[0]、]r−r’=246.2mm]D=D’
=253. 9 [mm ]エバート拳ファステイマ
ウントの場合、R−500[mm]、 ρ=515.
5[mm]、2に=20[0:]、 θ−θ′=10
[OL r=r’=253.9[mm3である。
、R=500[mm]、2に=20[’ ]θ−θ’
=10[0]、]r−r’=246.2mm]D=D’
=253. 9 [mm ]エバート拳ファステイマ
ウントの場合、R−500[mm]、 ρ=515.
5[mm]、2に=20[0:]、 θ−θ′=10
[OL r=r’=253.9[mm3である。
(へ)効果
本発明1コよれば、前記分光系における非点収差をなく
することができ、鮮鋭な回折像が得られるきるO
することができ、鮮鋭な回折像が得られるきるO
第1図はエバートマウンティングの構成を示し、Aは平
面図、Bは側面図、第2図はエバー)−ファステイマウ
ンテイングの購覗を示し、Aは平面図、Bは側面図であ
る。 代理人 弁理士 縣 浩 介大l囚 、B) ヤ2図
面図、Bは側面図、第2図はエバー)−ファステイマウ
ンテイングの購覗を示し、Aは平面図、Bは側面図であ
る。 代理人 弁理士 縣 浩 介大l囚 、B) ヤ2図
Claims (5)
- (1)平面回折格子を用い、エバートマウンティング或
はエバート・ファスティマウンティングの分光系とし、
同分光系に用いる主鏡を子午面内及び球欠的面内での曲
率半径を異ならせた凹面鏡として非点収差を除去したこ
とを特徴とする平面回折格子分光器。 - (2)平面回折格子を用いたエバートマウンティングの
分光系に用いる主鏡において、子午面内、球欠的面内で
の曲率半径をそれぞれR、ρとするとき、ρが {1/[(ρr)/(2rcosθ−ρ)−D]}+{
1/[(ρr′)/(2r′cosθ−ρ)−D]}=
0(1)であることを特徴とする特許請求の範囲第1項
記載の平面回折格子分光器。ただし、ここでrは入口ス
リットから回折格子中心に至る主光線上で、入口スリッ
トから凹面鏡までの距離、Dは凹面鏡から回折格子中心
までの距離、θはこの光線の凹面鏡上での入射角、反射
角である。同様にr′は回折格子から出口スリット中心
に至る主光線上で、凹面鏡から出口スリットまでの距離
、D′は回折格子から凹面鏡までの距離、θ′はこの光
線の凹面鏡上での入射角、反射角である。 - (3)特許請求範囲第1項記載のものにおいて、前記ρ
の値を前記等式から定まる理論値から±8%以内の範囲
に定めた平面回折格子分光器。 - (4)平面回折格子を用いたエバート・ファスティの分
光系に用いる主鏡において、子午面内、球欠的面内での
曲率半径をそれぞれR、ρとするとき、pが {1/[(ρrcosθ)/(2r−ρcosθ)−D
]}+{1/[(ρr′cos′)/(2r′−ρco
sθ′)−D′]}=0(2)であることを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の平面回折格子分光器。ただ
し、r、D、θ、r′、D′、θ′は特許請求範囲第1
項記載のものと同じである。 - (5)特許請求範囲第4項記載のものにおいて前記ρの
値を前記等式から定まる理論値から±10%以内の範囲
に定めた平面回折格子分光器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59136178A JPH0778451B2 (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 平面回折格子分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59136178A JPH0778451B2 (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 平面回折格子分光器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6114527A true JPS6114527A (ja) | 1986-01-22 |
JPH0778451B2 JPH0778451B2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=15169152
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59136178A Expired - Lifetime JPH0778451B2 (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 平面回折格子分光器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0778451B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0461037U (ja) * | 1990-10-03 | 1992-05-26 | ||
US5831729A (en) * | 1997-02-14 | 1998-11-03 | Nec Corporation | Spectrometer |
WO2004001485A1 (ja) * | 2002-06-25 | 2003-12-31 | Nikon Corporation | 光処理装置 |
CN104406691A (zh) * | 2014-06-12 | 2015-03-11 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种基于单个自由曲面的成像光谱仪分光系统 |
WO2022157634A1 (en) * | 2021-01-21 | 2022-07-28 | Ecom Spol. S R.O. | Device for spectral half-width narrowing and exact wavelength selection |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5754826A (en) * | 1980-09-19 | 1982-04-01 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Spectroscope |
-
1984
- 1984-06-29 JP JP59136178A patent/JPH0778451B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5754826A (en) * | 1980-09-19 | 1982-04-01 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Spectroscope |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0461037U (ja) * | 1990-10-03 | 1992-05-26 | ||
US5831729A (en) * | 1997-02-14 | 1998-11-03 | Nec Corporation | Spectrometer |
WO2004001485A1 (ja) * | 2002-06-25 | 2003-12-31 | Nikon Corporation | 光処理装置 |
CN104406691A (zh) * | 2014-06-12 | 2015-03-11 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种基于单个自由曲面的成像光谱仪分光系统 |
WO2022157634A1 (en) * | 2021-01-21 | 2022-07-28 | Ecom Spol. S R.O. | Device for spectral half-width narrowing and exact wavelength selection |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0778451B2 (ja) | 1995-08-23 |
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