JPS61140834A - 圧力変換器 - Google Patents
圧力変換器Info
- Publication number
- JPS61140834A JPS61140834A JP26353384A JP26353384A JPS61140834A JP S61140834 A JPS61140834 A JP S61140834A JP 26353384 A JP26353384 A JP 26353384A JP 26353384 A JP26353384 A JP 26353384A JP S61140834 A JPS61140834 A JP S61140834A
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- JP
- Japan
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- impedance element
- equivalent
- output
- pressure
- pressure transducer
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、圧力（差圧）々どの被測定量に応じてダイヤ
フラム等が変位し、この変位による静電容量あるいは抵
抗が変化する可変インピーダンス素子と、この変位に応
答しない基準インピーダンス素子とを有する検出部を用
いた圧力変換器の改良に関する。
フラム等が変位し、この変位による静電容量あるいは抵
抗が変化する可変インピーダンス素子と、この変位に応
答しない基準インピーダンス素子とを有する検出部を用
いた圧力変換器の改良に関する。
〈従来技術〉
この種の圧力変換器は例えば特願昭５９−１９６８６号
「容量式変換装置」に開示されている。以下、前記した
従来技術の要点を第１図および第２図に基づいて説明す
る。
「容量式変換装置」に開示されている。以下、前記した
従来技術の要点を第１図および第２図に基づいて説明す
る。
第１図は圧力変換器の検出部の構成を示す縦断面図であ
る。検出部１０はガラス等の絶縁体１１と対向して、一
部にダイヤフラム部１２ａが形成されたシリコン基板１
２が配置された構成となっている。
る。検出部１０はガラス等の絶縁体１１と対向して、一
部にダイヤフラム部１２ａが形成されたシリコン基板１
２が配置された構成となっている。
絶縁体１１には固定電極１３ａと１４ａが同心円状に設
けられている。またシリコン基板１２にも固定電極１３
ａ 、 １４ａと対向して、ダイヤフラム部１２ａに可
動電極１３ｂが固定部に固定電極１４ｂが設けられてい
る。これら電極間にはシリコン油が満されてオシ、シリ
コン油は開口１１ａの外側でシールダイヤプラム（図示
せず）によって被測定流体からシールされている。シリ
コン基板１２の外側は大気圧とされている。したがって
絶縁体１１の開口１１ａを介して与えられる被測定圧力
Ｐに応じてダイヤフラム部１２ａが変位し、その変位に
応じて可動電極１３ｂと固定電極１３ａ間に形成される
可変コンデンサ１３の容量ＣＸが変化する。一方、固定
電極１４ｂと固定電極１４ａ間に形成される基準コンデ
ンサ１４の容量Ｃ，，はダイヤフラム部１２ａの変位に
無関係に一定である。そして、可変コンデンサ１３の容
量ＣＸは可動電極１３ｂの変位量Ｘに対し、ｘ ＝＝
０のときの初期容量をＣ８、固定電極１３ａと可動電極
１３ｂ間の初期間隔をｄとすると、 ｄ（１） Ｃｘ ” Ｃｏ ｄ＋ｘ で与えられ、また基準コンデンサ１４の容量ＣＦは可変
コンデンサ１３の初期容量Ｃ８と等しく選ばれている。
けられている。またシリコン基板１２にも固定電極１３
ａ 、 １４ａと対向して、ダイヤフラム部１２ａに可
動電極１３ｂが固定部に固定電極１４ｂが設けられてい
る。これら電極間にはシリコン油が満されてオシ、シリ
コン油は開口１１ａの外側でシールダイヤプラム（図示
せず）によって被測定流体からシールされている。シリ
コン基板１２の外側は大気圧とされている。したがって
絶縁体１１の開口１１ａを介して与えられる被測定圧力
Ｐに応じてダイヤフラム部１２ａが変位し、その変位に
応じて可動電極１３ｂと固定電極１３ａ間に形成される
可変コンデンサ１３の容量ＣＸが変化する。一方、固定
電極１４ｂと固定電極１４ａ間に形成される基準コンデ
ンサ１４の容量Ｃ，，はダイヤフラム部１２ａの変位に
無関係に一定である。そして、可変コンデンサ１３の容
量ＣＸは可動電極１３ｂの変位量Ｘに対し、ｘ ＝＝
０のときの初期容量をＣ８、固定電極１３ａと可動電極
１３ｂ間の初期間隔をｄとすると、 ｄ（１） Ｃｘ ” Ｃｏ ｄ＋ｘ で与えられ、また基準コンデンサ１４の容量ＣＦは可変
コンデンサ１３の初期容量Ｃ８と等しく選ばれている。
第２図は検出部での容量変化を電気信号に変換する圧力
変換器の構成を示すブロック図である。
変換器の構成を示すブロック図である。
第２図において％１０は検出部で被測定圧力Ｐによって
可動電極１３ｂが変位し電極１３ａ、１３ｂ間の容量Ｃ
Ｘが変化する可変コンデンサ１３と、被測定圧に無関係
に電極１４ａ、１４ｂ間の容量りが一定な基準コンデン
サ１４とを有している。２０は発振器でありその発振出
力ｅ Ｂ （周波数ｆ）を可変コンデンサ１３と基準コ
ンデンサ１４に印加する。３１．３２は各々チャージコ
ンバータである。チャージコンノ（−タ３１は演算増幅
器Ｑ１を有し、その反転入力端には可変コンデンサ１３
が接続され、更に反転入力端と出力端との間には抵抗Ｒ
１とコンデンサＣ０の並列回路が接続され、また非反転
入力端はコモンに接続されている。チャージコンバータ
３２は演算増幅器Ｑ２を有し、その反転入力端には基準
コンデンサ１４が接続され、更に反転入力端と出力端と
の間には抵抗Ｒ２とコンデンサＣ２との並列回路が接続
され、また非反転入力端はコモンに接続されている。４
１゜４２は整流回路で４１にはチャージコンバータ３１
の出力ｅ１が印加され、４２にはチャージコンバータ３
２の出力ｅ２が印加される。５０は制御回路であり、演
算増幅器Ｑ３と、その反転入力端と出力端との間に接続
された積分コンデンサＣ３と、整流回路４１の出力端と
演算増幅器Ｑ３の反転入力端との間に接続された抵抗Ｒ
３とからなる積分器で構成されている。オた、演算増幅
器Ｑ３の反転入力端には抵抗Ｒ４を介して基準電圧Ｅ５
が印加されている。演算増幅器Ｑ３の非反転入力端はコ
モンに接続されている。制御回路５０の出力端は発振器
２０の入力端に接続され発振器２０の発振出力ｅＢが制
御される。６０は出力回路であり、演算増幅器Ｑ４と、
その反転入力端と出力端との間に接続された抵抗Ｒ５、
整流回路４１の出力端と演算増幅器Ｑ４の反転入力端と
の間に接続された抵抗Ｒ６、整流回路４２と演算増幅器
Ｑ４の非反転入力端との間に設けられた抵抗Ｒ７，Ｒ８
とから成る分圧器で構成され、各出力Ｅｌｌ Ｅ２に対
応する整流電圧の差の電圧が出力回路６０の出力Ｅ。と
じて得られる。
可動電極１３ｂが変位し電極１３ａ、１３ｂ間の容量Ｃ
Ｘが変化する可変コンデンサ１３と、被測定圧に無関係
に電極１４ａ、１４ｂ間の容量りが一定な基準コンデン
サ１４とを有している。２０は発振器でありその発振出
力ｅ Ｂ （周波数ｆ）を可変コンデンサ１３と基準コ
ンデンサ１４に印加する。３１．３２は各々チャージコ
ンバータである。チャージコンノ（−タ３１は演算増幅
器Ｑ１を有し、その反転入力端には可変コンデンサ１３
が接続され、更に反転入力端と出力端との間には抵抗Ｒ
１とコンデンサＣ０の並列回路が接続され、また非反転
入力端はコモンに接続されている。チャージコンバータ
３２は演算増幅器Ｑ２を有し、その反転入力端には基準
コンデンサ１４が接続され、更に反転入力端と出力端と
の間には抵抗Ｒ２とコンデンサＣ２との並列回路が接続
され、また非反転入力端はコモンに接続されている。４
１゜４２は整流回路で４１にはチャージコンバータ３１
の出力ｅ１が印加され、４２にはチャージコンバータ３
２の出力ｅ２が印加される。５０は制御回路であり、演
算増幅器Ｑ３と、その反転入力端と出力端との間に接続
された積分コンデンサＣ３と、整流回路４１の出力端と
演算増幅器Ｑ３の反転入力端との間に接続された抵抗Ｒ
３とからなる積分器で構成されている。オた、演算増幅
器Ｑ３の反転入力端には抵抗Ｒ４を介して基準電圧Ｅ５
が印加されている。演算増幅器Ｑ３の非反転入力端はコ
モンに接続されている。制御回路５０の出力端は発振器
２０の入力端に接続され発振器２０の発振出力ｅＢが制
御される。６０は出力回路であり、演算増幅器Ｑ４と、
その反転入力端と出力端との間に接続された抵抗Ｒ５、
整流回路４１の出力端と演算増幅器Ｑ４の反転入力端と
の間に接続された抵抗Ｒ６、整流回路４２と演算増幅器
Ｑ４の非反転入力端との間に設けられた抵抗Ｒ７，Ｒ８
とから成る分圧器で構成され、各出力Ｅｌｌ Ｅ２に対
応する整流電圧の差の電圧が出力回路６０の出力Ｅ。と
じて得られる。
この様に構成された圧力変換器は次の様に動作する。チ
ャージコンバータ３１．３２の帰還回路の時定数ＣＩＲ
Ｉ 、 ０２Ｒ２を発振器２０の発振周期１／ｆより充
分に大きく選べば、チャージコンバータ３１ 、３２の
各出力ｅ１１ Ｃ２は次式で与えられる。
ャージコンバータ３１．３２の帰還回路の時定数ＣＩＲ
Ｉ 、 ０２Ｒ２を発振器２０の発振周期１／ｆより充
分に大きく選べば、チャージコンバータ３１ 、３２の
各出力ｅ１１ Ｃ２は次式で与えられる。
従って、出力ｅ１は可変コンデンサー３の容量ＣＸに、
出力ｅは基準コンデンサー４の容量りに比例した値と々
る。これ等の出力ｅ１＊ｅ２を整流した整流出力Ｅｌ、
Ｅ２が整流回路４１．４２の出力端に生ずる。整流回路
４１．４２の変換係数をＫｌ、 Ｋ２とすれば、整流出
力Ｅ１．Ｅ２は Ｅｌ ＝ Ｋｌ ｅｌ（４） Ｅ２ ＝ Ｋ２ Ｃ２（５） となる。□ 制御回路５０の積分器は基準電圧−Ｅによりて抵抗Ｒ４
に流れる電流−Ｅ８／Ｒ４と整流出力Ｅ１によシ抵抗Ｒ
３に流れる電流Ｅ１／Ｒ３との和がゼロになるように発
振器２０を制御する。従って、 となる。（２） 、 （４）式を用いて（６）式を変形
するとを得る。
出力ｅは基準コンデンサー４の容量りに比例した値と々
る。これ等の出力ｅ１＊ｅ２を整流した整流出力Ｅｌ、
Ｅ２が整流回路４１．４２の出力端に生ずる。整流回路
４１．４２の変換係数をＫｌ、 Ｋ２とすれば、整流出
力Ｅ１．Ｅ２は Ｅｌ ＝ Ｋｌ ｅｌ（４） Ｅ２ ＝ Ｋ２ Ｃ２（５） となる。□ 制御回路５０の積分器は基準電圧−Ｅによりて抵抗Ｒ４
に流れる電流−Ｅ８／Ｒ４と整流出力Ｅ１によシ抵抗Ｒ
３に流れる電流Ｅ１／Ｒ３との和がゼロになるように発
振器２０を制御する。従って、 となる。（２） 、 （４）式を用いて（６）式を変形
するとを得る。
一方、出力回路６０は整流出力Ｅ、、 Ｅ２の差を演算
し出力Ｅ。を出力する。従って、 を得る。（２）〜（５）式を（８）式に代入してとなる
。ここでＲ５： Ｒ６−Ｒ７＝ Ｒ８，Ｒ３＝ Ｒ４，
Ｋ１＝ Ｋ２＝に４およびＣ１−Ｃ２＝ＣＡとおくとと
なる。前述の定数の条件を用いて（７）式をＱＯ式に代
入すると は Ｅｏ＝７ＥＳ （ロ）とな
シ、可変コンデンサ１３の可動電極１３ｂの変位量Ｘに
比例したものとなる。
し出力Ｅ。を出力する。従って、 を得る。（２）〜（５）式を（８）式に代入してとなる
。ここでＲ５： Ｒ６−Ｒ７＝ Ｒ８，Ｒ３＝ Ｒ４，
Ｋ１＝ Ｋ２＝に４およびＣ１−Ｃ２＝ＣＡとおくとと
なる。前述の定数の条件を用いて（７）式をＱＯ式に代
入すると は Ｅｏ＝７ＥＳ （ロ）とな
シ、可変コンデンサ１３の可動電極１３ｂの変位量Ｘに
比例したものとなる。
しかしながらこの様な圧力変換器は被測定圧力に対応し
た変位に基づく出力Ｅ。を得ることができるが、圧力変
換器のゼロ、スパンの変化を自己校正することができず
、また検出部１０がないと圧力変換器単体で自己診断を
することもできない不都合がある。
た変位に基づく出力Ｅ。を得ることができるが、圧力変
換器のゼロ、スパンの変化を自己校正することができず
、また検出部１０がないと圧力変換器単体で自己診断を
することもできない不都合がある。
〈発明の目的〉
本発明は、前記の従来技術に鑑み、簡単々構成で圧力変
換器のゼロ、スパンの校正をすることができると同時に
検出部がなくても圧力変換器単体で自己診断が可能な圧
力変換器を提供することを目的とする。
換器のゼロ、スパンの校正をすることができると同時に
検出部がなくても圧力変換器単体で自己診断が可能な圧
力変換器を提供することを目的とする。
〈本発明の構成〉
この目的を達成する本発明の構成は、被測定圧力に対応
して変化するインピーダンス素子と被測定圧力に応答し
ない基準インピーダンス素子とを有し被測定圧力に対応
した信号を出力する圧力変換器に係υインピーダンス素
子に対して所定量を有する等価インピーダンス素子と、
基準インピーダンス素子と等価な等価基準インピーダン
ス素子と、各インピーダンス素子を切換える切換手段と
を具備し、切換手段を操作して自己診断を行なうことを
特徴とするものである。
して変化するインピーダンス素子と被測定圧力に応答し
ない基準インピーダンス素子とを有し被測定圧力に対応
した信号を出力する圧力変換器に係υインピーダンス素
子に対して所定量を有する等価インピーダンス素子と、
基準インピーダンス素子と等価な等価基準インピーダン
ス素子と、各インピーダンス素子を切換える切換手段と
を具備し、切換手段を操作して自己診断を行なうことを
特徴とするものである。
〈実施例〉
以下、本発明の実施例について図面に基づき説明する。
なお、従来技術と同一機能を有する部分には同一の符号
を付し、重複する説明は省略する。
を付し、重複する説明は省略する。
第３図は本発明の実施例を示すブロック図である。発振
器２０の出力端と演算増幅器Ｑ２の反転入力端どの間に
は等価基準コンデンサＣＲとスイッチＳＷ１とが直列に
接続されている。また、発振器２０の出力端と可動電極
１３ｂ、固定電極１４ｂとの間にはスイッチＳＷ２が接
続されている。更に、発振器２０の出力端と演算増幅器
Ｑ０の反転入力端との間にはスイッチｇＷ３とコンデン
サＣＭ１の直列回路およびスイッチＳＷ４とコンデンサ
ＣＭ２の直列回路が各々接続されている。
器２０の出力端と演算増幅器Ｑ２の反転入力端どの間に
は等価基準コンデンサＣＲとスイッチＳＷ１とが直列に
接続されている。また、発振器２０の出力端と可動電極
１３ｂ、固定電極１４ｂとの間にはスイッチＳＷ２が接
続されている。更に、発振器２０の出力端と演算増幅器
Ｑ０の反転入力端との間にはスイッチｇＷ３とコンデン
サＣＭ１の直列回路およびスイッチＳＷ４とコンデンサ
ＣＭ２の直列回路が各々接続されている。
各スイッチｓｗ −５Ｗ４は選択論理回路７０の制御出
力Ｓ１．Ｓ２．Ｓ３．Ｓ４により開閉制御される。選択
論理回路７０による各制御出力Ｓ、〜Ｓ４は手動端子Ｔ
Ｍより手動入力を与えて制御することもできるし、外部
のＣＰＵからの制御信号を自動端子ＴＡを介して自動入
力を与えて制御することもできる様に構成されている。
力Ｓ１．Ｓ２．Ｓ３．Ｓ４により開閉制御される。選択
論理回路７０による各制御出力Ｓ、〜Ｓ４は手動端子Ｔ
Ｍより手動入力を与えて制御することもできるし、外部
のＣＰＵからの制御信号を自動端子ＴＡを介して自動入
力を与えて制御することもできる様に構成されている。
また、各スイッチＳＷｔ〜ＳＷ４の制御状態は選択論理
回路７０から出力端子Ｔ。を介して外部に同時に出力が
出せる様に構成されている。
回路７０から出力端子Ｔ。を介して外部に同時に出力が
出せる様に構成されている。
次に、以上の如く構成された圧力変換器の動作について
説明する。第３図において、基準コンデンサ１４の容量
ＣＦと等価基準コンデンサＣＲの容量とを等しく選定し
、可変コンデンサ１３の容量ＣｘとコンデンサＣＭ１の
容量を等しくして０％の等価容量とし、コンデンサＣＭ
２の容量を容量Ｃｘの１００ ％に相当する容量に選定
する。この状態において、手動端子Ｔに手動入力を与え
てスイッチＳ′％ｖ２を閉じると、第２図に示す回路が
構成され被測定圧力Ｐに対応した出力Ｅ。が得られる。
説明する。第３図において、基準コンデンサ１４の容量
ＣＦと等価基準コンデンサＣＲの容量とを等しく選定し
、可変コンデンサ１３の容量ＣｘとコンデンサＣＭ１の
容量を等しくして０％の等価容量とし、コンデンサＣＭ
２の容量を容量Ｃｘの１００ ％に相当する容量に選定
する。この状態において、手動端子Ｔに手動入力を与え
てスイッチＳ′％ｖ２を閉じると、第２図に示す回路が
構成され被測定圧力Ｐに対応した出力Ｅ。が得られる。
次に、スイッチｓＷ１とＳＷ３を閉じるとチャージコン
バータ３１．３２にはコンデンサＣ等価基準コンデンサ
ＣＲがそＭｌ ％ れぞれ接続され出力Ｅ。として０チ相当値が得られる。
バータ３１．３２にはコンデンサＣ等価基準コンデンサ
ＣＲがそＭｌ ％ れぞれ接続され出力Ｅ。として０チ相当値が得られる。
また、スイッチｓｗ１． ｓＷ４を閉じるとチャージコ
ンバータ３１．３２にはコンデンサＣ等価基Ｍ２ ’ 準コンデンサＣＲがそれぞれ接続され、出力Ｅ。とじて
１００ ％相当値が得られる。これ等の操作によシ圧力
変換器のゼロ・スパンの校正ができる。
ンバータ３１．３２にはコンデンサＣ等価基Ｍ２ ’ 準コンデンサＣＲがそれぞれ接続され、出力Ｅ。とじて
１００ ％相当値が得られる。これ等の操作によシ圧力
変換器のゼロ・スパンの校正ができる。
選択論理回路７０をマイクロプロセッサ等を用いて構成
し、一定期間ごとにゼロ・スパンの自動校正および補正
をすることもできる。
し、一定期間ごとにゼロ・スパンの自動校正および補正
をすることもできる。
コンデンサＣＭｌ ” Ｍ２を２個用いた場合について
説明したが、１個でもゼロ又はスパンのいずれかを校正
することができる。
説明したが、１個でもゼロ又はスパンのいずれかを校正
することができる。
また、検出部１０がないときでもこれ等のスイッチを操
作して圧力変換器が正常な動作状態にあるか否かの自己
診断が可能である。
作して圧力変換器が正常な動作状態にあるか否かの自己
診断が可能である。
更に、以上の説明は静電容量形の検出部について説明し
たが、シリコンのダイヤプラム部に不純物を拡散したス
トレインゲージ形の検出部を用いた場合にも０慢または
１００チに対応する等価抵抗をＣＭｌ ”Ｍ□の代ＤＫ
用いることによυ、同様に圧力変換器の回路の動作をチ
ェックすることができる。
たが、シリコンのダイヤプラム部に不純物を拡散したス
トレインゲージ形の検出部を用いた場合にも０慢または
１００チに対応する等価抵抗をＣＭｌ ”Ｍ□の代ＤＫ
用いることによυ、同様に圧力変換器の回路の動作をチ
ェックすることができる。
〈発明の効果〉
以上、実施例とともに具体的に説明した様に、本発明に
よればθチあるいは１００％に相当する等価インピーダ
ンス素子を内蔵しこれを切換えることによシ、簡単な構
成で圧力変換器のゼロ・スパンの校正をすることができ
ると同時に検出器がなくても圧力変換器単体で自己診断
が可能な圧力変換器を実現することができる。
よればθチあるいは１００％に相当する等価インピーダ
ンス素子を内蔵しこれを切換えることによシ、簡単な構
成で圧力変換器のゼロ・スパンの校正をすることができ
ると同時に検出器がなくても圧力変換器単体で自己診断
が可能な圧力変換器を実現することができる。
第１図は従来の検出部の構成を示す縦断面図、第２図は
第１図に示す検出部を用いたときの従来の圧力変換器の
構成を示すブロック図、第３図は本発明の一実施例を示
すブロック図である。
第１図に示す検出部を用いたときの従来の圧力変換器の
構成を示すブロック図、第３図は本発明の一実施例を示
すブロック図である。
Claims (1)
- 被測定圧力に対応して変化するインピーダンス素子と前
記被測定圧力に応答しない基準インピーダンス素子とを
有し前記被測定圧力に対応した信号を出力する圧力変換
器において、前記インピーダンス素子に対して所定量を
有する等価インピーダンス素子と、前記基準インピーダ
ンス素子と等価な等価基準インピーダンス素子と、前記
各インピーダンス素子を切換える切換手段とを具備し、
前記切換手段を操作して自己診断を行なうことを特徴と
する圧力変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26353384A JPS61140834A (ja) | 1984-12-13 | 1984-12-13 | 圧力変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26353384A JPS61140834A (ja) | 1984-12-13 | 1984-12-13 | 圧力変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61140834A true JPS61140834A (ja) | 1986-06-27 |
Family
ID=17390857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26353384A Pending JPS61140834A (ja) | 1984-12-13 | 1984-12-13 | 圧力変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61140834A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0753756A2 (de) * | 1995-07-04 | 1997-01-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Schaltungsanordnung und Verfahren zum Messen eines Kapazitätsunterschiedes zwischen einer ersten Kapazität C1 und einer zweiten Kapazität C2 |
| JP2021015051A (ja) * | 2019-07-12 | 2021-02-12 | アズビル株式会社 | 静電容量型センサおよび隔膜真空計並びに静電容量型センサの製造方法 |
| JP2021015049A (ja) * | 2019-07-12 | 2021-02-12 | アズビル株式会社 | 静電容量型センサおよび隔膜真空計並びに静電容量型センサの製造方法 |
-
1984
- 1984-12-13 JP JP26353384A patent/JPS61140834A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0753756A2 (de) * | 1995-07-04 | 1997-01-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Schaltungsanordnung und Verfahren zum Messen eines Kapazitätsunterschiedes zwischen einer ersten Kapazität C1 und einer zweiten Kapazität C2 |
| EP0753756A3 (de) * | 1995-07-04 | 1999-05-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Schaltungsanordnung und Verfahren zum Messen eines Kapazitätsunterschiedes zwischen einer ersten Kapazität C1 und einer zweiten Kapazität C2 |
| JP2021015051A (ja) * | 2019-07-12 | 2021-02-12 | アズビル株式会社 | 静電容量型センサおよび隔膜真空計並びに静電容量型センサの製造方法 |
| JP2021015049A (ja) * | 2019-07-12 | 2021-02-12 | アズビル株式会社 | 静電容量型センサおよび隔膜真空計並びに静電容量型センサの製造方法 |
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