JPS61140530U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61140530U JPS61140530U JP2421385U JP2421385U JPS61140530U JP S61140530 U JPS61140530 U JP S61140530U JP 2421385 U JP2421385 U JP 2421385U JP 2421385 U JP2421385 U JP 2421385U JP S61140530 U JPS61140530 U JP S61140530U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveyor tray
- continuous
- cvd apparatus
- moved
- substrate
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Description
第1図、第2図は、本考案による連続式CVD
装置の模式断面図と平面図、第3図は、従来の連
続式CVD装置の模式断面図である。 図において、1はCVDヘツド、2はコンベヤ
トレー、3は挿入孔、4は搬出孔、5は半導体ウ
エハ、6はウエハカセツト、7はロボツト、8は
反応室、9は反応ガス、10は窒素カーテン、1
1は加熱装置、12は駆動装置、21はブラツシ
、22は駆動モータ、23は異物、24は異物収
納装置、をそれぞれ示している。
装置の模式断面図と平面図、第3図は、従来の連
続式CVD装置の模式断面図である。 図において、1はCVDヘツド、2はコンベヤ
トレー、3は挿入孔、4は搬出孔、5は半導体ウ
エハ、6はウエハカセツト、7はロボツト、8は
反応室、9は反応ガス、10は窒素カーテン、1
1は加熱装置、12は駆動装置、21はブラツシ
、22は駆動モータ、23は異物、24は異物収
納装置、をそれぞれ示している。
Claims (1)
- 基板を載置して反応領域内を移動するコンベヤ
トレーが具備された連続式CVD装置において、
該コンベヤトレーと接触するブラシユが設けられ
て、該コンベヤトレーの表面に付着した異物が除
去されるようにしたことを特徴とする連続式CV
D装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2421385U JPS61140530U (ja) | 1985-02-21 | 1985-02-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2421385U JPS61140530U (ja) | 1985-02-21 | 1985-02-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61140530U true JPS61140530U (ja) | 1986-08-30 |
Family
ID=30518159
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2421385U Pending JPS61140530U (ja) | 1985-02-21 | 1985-02-21 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61140530U (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4942839A (ja) * | 1972-07-31 | 1974-04-22 | ||
JPS52115185A (en) * | 1976-03-24 | 1977-09-27 | Hitachi Ltd | Vapor phase growing apparatus |
-
1985
- 1985-02-21 JP JP2421385U patent/JPS61140530U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4942839A (ja) * | 1972-07-31 | 1974-04-22 | ||
JPS52115185A (en) * | 1976-03-24 | 1977-09-27 | Hitachi Ltd | Vapor phase growing apparatus |