JPS61131830U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61131830U JPS61131830U JP1459285U JP1459285U JPS61131830U JP S61131830 U JPS61131830 U JP S61131830U JP 1459285 U JP1459285 U JP 1459285U JP 1459285 U JP1459285 U JP 1459285U JP S61131830 U JPS61131830 U JP S61131830U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- temperature section
- reaction tube
- heater
- insertion port
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 2
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案ＣＶＤ装置の断面模式図、第２
図は本考案ＣＶＤ装置の他の実施例断面模式図、
第３図は従来のＣＶＤ装置の断面模式図である。 １……反応管、２……真空ポンプ、３……抵抗
加熱器、４……ガス供給装置、６，６……ウエハ
、７……ボート、８……高温部、９……低温部、
１１……蓋体、１２……密閉部材、１３……フツ
ク棒、１４……シール材、１６……駆動部。
図は本考案ＣＶＤ装置の他の実施例断面模式図、
第３図は従来のＣＶＤ装置の断面模式図である。 １……反応管、２……真空ポンプ、３……抵抗
加熱器、４……ガス供給装置、６，６……ウエハ
、７……ボート、８……高温部、９……低温部、
１１……蓋体、１２……密閉部材、１３……フツ
ク棒、１４……シール材、１６……駆動部。
Claims (1)
- 反応管内にウエハを設定し、このウエハをヒー
タで加熱しながら、反応管内へ所望の反応ガスを
供給して、ウエハ上に所定の導電性膜を形成する
導電性模成長装置において上記反応管は、ウエハ
を挿入する挿入口と、上記ヒータにより熱が与え
られる高温部と、上記挿入口及び高温部間に設け
られた低温部と、から成る構成にするとともに、
上記反応管内を真空に引くポンプと上記ウエハを
反応管内の低温部から高温部へ移動する移送機構
と、を設けたＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1459285U JPS61131830U (ja) | 1985-02-04 | 1985-02-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1459285U JPS61131830U (ja) | 1985-02-04 | 1985-02-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61131830U true JPS61131830U (ja) | 1986-08-18 |
Family
ID=30499656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1459285U Pending JPS61131830U (ja) | 1985-02-04 | 1985-02-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61131830U (ja) |
-
1985
- 1985-02-04 JP JP1459285U patent/JPS61131830U/ja active Pending
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