JPS61129963A - Signal output circuit for charge transfer device - Google Patents

Signal output circuit for charge transfer device

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Publication number
JPS61129963A
JPS61129963A JP59250583A JP25058384A JPS61129963A JP S61129963 A JPS61129963 A JP S61129963A JP 59250583 A JP59250583 A JP 59250583A JP 25058384 A JP25058384 A JP 25058384A JP S61129963 A JPS61129963 A JP S61129963A
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JP
Japan
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reset
diffusion
voltage
diffusion layer
signal
Prior art date
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Pending
Application number
JP59250583A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Tamayama
宏 玉山
Takashi Yano
孝 矢野
Ryuji Kondo
近藤 隆二
Takashi Murayama
任 村山
Makoto Shizukuishi
誠 雫石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To eliminate a noise component at reset by forming a diffusion layer having the same capacitance as that of a diffusion layer on which a signal electric charge is stored to a CCD, resetting the two diffusion layers at the same potential simultaneously and detecting a difference voltage. CONSTITUTION:The diffusion layer 22 having the same capacity as that of the diffusion layer 16 on which a signal electric charge is stored finally and an output gate 20 to which a gate potential VG the same as that of an output gate 14 is applied are formed on a P-channel silicon substrate 12 constituting a CCD10, the layers 16, 22 are connected to a reset gate 28 via gates 24, 26 to input a voltage generating in diffusion capacitances CD, CDa of the layers 16, 22 to a differential amplifier 30. Then the noise component due to the fluctuation of the amplitude of a reset voltage VR or a reset pulse phiRS fed to the gate 28 is fed in-phase to both the capacitors CD, CDa, then a CCD signal voltage VOS without the noise component is obtained at an output terminal of the amplifier 30.

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は信号出力回路に係り、具体的には電荷結合素子
(以下、CODと記す。)を用いた電荷転送装置の出力
部における低雑音化に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a signal output circuit, and specifically relates to reducing noise in the output section of a charge transfer device using a charge coupled device (hereinafter referred to as COD).

背景技術 たとえば、COD転送素子の信号出力部に浮動拡散型増
幅器を使用したものがある。この増幅器は、電荷結合部
より転送された信号電荷をその拡散容量に蓄積させ、こ
の蓄積電荷に対応した電圧を、たとえばMOS FET
などの高入力インピーダンス素子で構成された増幅器で
検出するものである。拡散容量の蓄積電荷は、電荷結合
部よりの電荷注入に先立って、所定のリセット電圧に接
続されたリセットトランジスタにてリセットされる。
BACKGROUND ART For example, there is a COD transfer device that uses a floating diffusion type amplifier in the signal output section. This amplifier accumulates the signal charge transferred from the charge coupling section in its diffusion capacitance, and applies a voltage corresponding to the accumulated charge to, for example, a MOS FET.
It is detected by an amplifier composed of high input impedance elements such as. The accumulated charge in the diffusion capacitance is reset by a reset transistor connected to a predetermined reset voltage prior to charge injection from the charge coupling section.

ところで、このリセット電圧や、リセットトランジスタ
を駆動するためのリセットノクルスの振幅が何らかの原
因により変動すると、これに応じて拡散容量におけるリ
セット状態のレベルが変動する・pたがって、その後に
蓄積され読み出される信号のレベルもこれに応じて変動
し、信号に雑音が含まれることになる。
By the way, if this reset voltage or the amplitude of the reset noculus for driving the reset transistor changes for some reason, the level of the reset state in the diffusion capacitance changes accordingly. The level of the signal received will also vary accordingly, and the signal will contain noise.

たとえば、このような電荷結合素子を適用した撮像装置
では、素子を駆動するための様々なタイミング発生回路
が設けられ、これは基本発振周波数からの分周に起因す
る周期的な雑音を発生する。この雑音は、前述のリセッ
ト電圧やリセットパルスの振幅を変動させ、ひいては、
これから読み出される映像信号にも、前述のリセ、トレ
ペル変動による雑音が含まれることになる。この雑音は
周期性があるので、その映像信号から再生される映像に
は、視覚的に目障りな固定ツクターンノイズが現われる
ことになる。−目的 本発明はこのような従来技術の欠点を解消し、出力部に
おけるS/Nの向上を図った電荷転送装置の信号出力回
路を提供することにある。
For example, an imaging device using such a charge-coupled device is provided with various timing generation circuits for driving the device, which generate periodic noise due to frequency division from the fundamental oscillation frequency. This noise causes the amplitude of the reset voltage and reset pulse mentioned above to fluctuate, and as a result,
The video signal read out from now on will also contain noise due to the above-mentioned recess and Trepel fluctuations. Since this noise has periodicity, the video reproduced from the video signal will contain visually unsightly static noise. -Object of the present invention is to provide a signal output circuit for a charge transfer device that eliminates the drawbacks of the prior art and improves the S/N ratio at the output section.

発明の開示 本発明は、転送された信号電荷が最終的に蓄積されるC
ODの基板表面に形成された第1の拡散層と実質的に同
一の容量の第2の拡散層を、前記CCDの同一基板表面
に形成し、これら二つの拡散層による拡散容量を実質的
に同一の電位で且つ同時にリセットすると共に、これら
二つの拡散容量に発生する電圧の差電圧を差動増幅器に
より検出することにより、信号電荷が蓄積される拡散容
量をリセットする際に発生する雑音成分を除去するもの
である。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention provides a C
A second diffusion layer having substantially the same capacity as the first diffusion layer formed on the substrate surface of the OD is formed on the same substrate surface of the CCD, and the diffusion capacitance of these two diffusion layers is substantially reduced. By resetting at the same potential and at the same time and using a differential amplifier to detect the difference between the voltages generated across these two diffused capacitors, the noise component generated when resetting the diffused capacitor where signal charges are accumulated can be eliminated. It is to be removed.

実施例の説明 本発明のより良き理解のために、本発明の詳細な説明に
先立って従来技術によるいわゆるフローティング・ディ
7ユーノヨン型検出増幅器を出力部に用いた電荷転送装
置の信号出力回路の構成を、説明する。第3図を参照す
ると、この例においては2相駆動方式のCCDについて
記載されており、とのCCD 10を構成するP型シリ
コン基板12の表面には、電荷転送路を形成するための
デー)電極11のアレイが形成されている。このアレイ
の終端のデート電極11に隣接して出力f−) 14が
形成され、さらにこれに隣接してN型の拡散層16が形
成されている。
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS For a better understanding of the present invention, prior to a detailed description of the present invention, the configuration of a signal output circuit of a charge transfer device using a so-called floating D7 type sense amplifier in the output section according to the prior art will be described. Explain. Referring to FIG. 3, this example describes a two-phase drive type CCD, and the surface of the P-type silicon substrate 12 constituting the CCD 10 has data for forming charge transfer paths. An array of electrodes 11 is formed. An output f-) 14 is formed adjacent to the date electrode 11 at the end of the array, and an N-type diffusion layer 16 is formed adjacent thereto.

この拡散層16はリセッIn’−)18を介してリセッ
ト電圧vRが印加されるように電源に接続され、また拡
散層16による拡散容量CDに現われる電圧はバッファ
アンfA1に入力され、バッファアンプA1よりCCD
 10の出力電圧v08として取り出されるように構成
されている。
This diffusion layer 16 is connected to a power supply through a reset circuit (In'-) 18 so that a reset voltage vR is applied thereto, and the voltage appearing on the diffusion capacitance CD due to the diffusion layer 16 is input to a buffer amplifier fA1, More CCD
It is configured to be taken out as an output voltage v08 of 10.

尚、出力ブート14には常に一定のダート電圧v0が印
加され、出力デート14は開いた状態にある。
Note that a constant dart voltage v0 is always applied to the output boot 14, and the output date 14 is in an open state.

上記構成において、第4図(a) l (b)に示すタ
イミングで水平転送パルスφH1、φH2が各ケ0−ト
電極11に印加されると、r−ト電極11の下の電荷蓄
積領域に蓄積されている信号電荷Qは順次、出力ダート
14へ向って転送され、出力ブート14を介して拡散層
16による拡散容量CDに送り込まれる。これは拡散容
量CDにおいて電圧Q/CDとして現われる。そして電
圧Q/CDはバッファアン7’A1に入力され、バッフ
ァアン7’A1よりCCD 10の出力電圧v0.とし
て取り出される。
In the above configuration, when horizontal transfer pulses φH1 and φH2 are applied to each gate electrode 11 at the timing shown in FIGS. The accumulated signal charge Q is sequentially transferred toward the output dart 14 and sent to the diffusion capacitance CD formed by the diffusion layer 16 via the output boot 14. This appears as a voltage Q/CD in the diffusion capacitance CD. Then, the voltage Q/CD is input to the buffer amplifier 7'A1, and the output voltage v0. is extracted as.

一方、拡散容量CD(既にQ/CDまで充電されている
。)は第4図(c) K示すように、リセットダート1
8に周期的に印加されるリセットパルスφR8に同期し
てリセット電圧VRにリセットされる(例えば時刻t□
 )。次に、出力r−ト14に隣接するデート電極11
下のシリコン基板12中の表面付近に形成されるポテン
シャルの井戸が該r−)電極の一つ手前のダート電極下
のシリコン基板12の表面付近に形成されるポテンシャ
ルの井戸より浅くなるように水平転送ノクルスφH1、
φH2のレベルが変化する時点(例えば時刻tz)で、
それまで終端のy−ト電極11の基板12の表面付近に
蓄積されていた信号電荷Q1が拡散容量CDに送り込ま
れる。
On the other hand, the diffusion capacitance CD (already charged to Q/CD) is reset dirt 1 as shown in Fig. 4(c) K.
8 is reset to the reset voltage VR in synchronization with the reset pulse φR8 that is periodically applied to the reset voltage VR (for example, at time t
). Next, the date electrode 11 adjacent to the output r-t 14
Horizontally so that the potential well formed near the surface of the lower silicon substrate 12 is shallower than the potential well formed near the surface of the silicon substrate 12 under the dirt electrode one step before the r-) electrode. Transfer Noculus φH1,
At the time when the level of φH2 changes (for example, time tz),
The signal charge Q1, which had been accumulated near the surface of the substrate 12 of the y-toe electrode 11 at the end, is sent to the diffusion capacitor CD.

このような構成の従来の電荷転送装置にあっては、リセ
ット電圧v8あるいはリセットゲート18を動作させる
ためのリセッ) i4ルスφR8の振幅が変動すると、
その変動によりリセ、トレペルが変動し、雑音が発生す
る。このリセット電圧VRあるいはリセットノクルスφ
R8の振幅変動が、例えば各回路部の同期信号を発生す
るタイミング・ぞルス発生回路からの飛込み雑音である
場合には周期的雑音となり、電荷転送装置をテレビカメ
ラ等の撮像装置に使用する場合には画像上で固定パター
ン雑音となるという問題があった。
In a conventional charge transfer device having such a configuration, when the amplitude of the reset voltage v8 or the reset voltage v8 or the reset gate 18 (i4 pulse φR8) changes,
Due to these fluctuations, the lysée and trepel fluctuate, causing noise. This reset voltage VR or reset voltage φ
If the amplitude fluctuation of R8 is, for example, an intrusion noise from the timing signal generation circuit that generates the synchronization signal of each circuit section, it becomes periodic noise, and when the charge transfer device is used in an imaging device such as a television camera. There was a problem with fixed pattern noise on the image.

次に添付図面を参照して本発明による電荷転送装置の信
号出力回路の実施例を詳細に説明する。第1図には本発
明による電荷転送装置の信号出力回路の一実施例の構成
が示されている。
Next, embodiments of a signal output circuit of a charge transfer device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows the configuration of an embodiment of a signal output circuit of a charge transfer device according to the present invention.

本実施例が従来例と構成上具なる点は転送される信号電
荷が畢終的に蓄積される拡散層16とは別に、実質的に
同一の容量となるような第2の拡散層22を、出力f−
1−14と実質的に同じr−ト電位vGが印加されろ出
カケ” −ト20とを形成し、これら拡散層16.22
をそれぞれダート24.26を介してリセ、トケ9−ト
28に接続すると共に、拡散層16.22による拡散容
量CD、 C,、に発生する電圧をそれぞれ差動増幅器
30の非反転入力32および反転入力34に入力するよ
うにした点である。これによって差動増幅器30の出力
には両人力32と34の差の電圧が出力される。その他
の構成は全く同様でよい。なお、出力ゲート20はこれ
を含めた第2.拡散層20の容量が、出力r−ト14を
含めた第1の拡散層16の容量に対して実質的に同じと
なるように設けられたものであるのでこれらの容量が実
質的に同じとなれば必ずしも必要ではないが、次の如く
この出力y −ト20を設けることにより有利となる。
The difference between this embodiment and the conventional example in terms of its structure is that, in addition to the diffusion layer 16 in which the transferred signal charges are eventually accumulated, a second diffusion layer 22 is provided which has substantially the same capacitance. , output f-
1-14 is applied to form a filter chip 20, and these diffusion layers 16, 22.
are connected to the reset circuit 9-28 via darts 24 and 26, respectively, and the voltages generated in the diffusion capacitances CD, C, by the diffusion layers 16 and 22 are connected to the non-inverting input 32 and the differential amplifier 30, respectively. This is because the signal is input to the inversion input 34. As a result, the differential amplifier 30 outputs a voltage equal to the difference between the two voltages 32 and 34. The other configurations may be completely the same. Note that the output gate 20 is connected to the second. Since the capacitance of the diffusion layer 20 is provided to be substantially the same as the capacitance of the first diffusion layer 16 including the output r-t 14, it is assumed that these capacitances are substantially the same. Although not necessarily necessary, it would be advantageous to provide the output 20 as follows.

即ち第2の拡散層22及び出力ダート20は第1の拡散
層16及び出力r −) 14と実質的に同じ形状や不
純物濃度にて形成することができるので設計上製造工程
上有利であ′る。
That is, the second diffusion layer 22 and the output dirt 20 can be formed with substantially the same shape and impurity concentration as the first diffusion layer 16 and the output r-) 14, which is advantageous in terms of design and manufacturing process. Ru.

上記構成において、第2図(a) l (b)に示すタ
イミングで水平転送パルスφMl 、φH2が各ダート
電極に印加されることにより信号電荷Qは各ゲート電極
11の下に隣接して形成されたMO8容量に順次、転送
される。この電荷Qは出力ダート14が常時、開いてい
るので最終的に拡散層14による拡散層1−CDに転送
され、蓄積される。
In the above configuration, signal charges Q are formed adjacently under each gate electrode 11 by applying horizontal transfer pulses φMl and φH2 to each dart electrode at the timings shown in FIGS. 2(a) and 1(b). The data is sequentially transferred to the MO8 capacity. Since the output dart 14 is always open, this charge Q is finally transferred to the diffusion layer 1-CD by the diffusion layer 14 and accumulated therein.

そして一定時間経過後、例えば時刻t1oでリセットゲ
ート28の動作に先立ってケ’ −トA?ルスφTの印
加によりケ”−ト24,26が開き(第2図(d) )
 、拡散容量CD、CDaが互いに並列接続される形と
なる。その後、リセットヶ” −ト28にリセット・ぐ
ルスφR8が印加され(第2図(C))、リセットゲー
ト28が開くことにより時刻t工、で拡散容量CD、C
Daはリセット電圧vRのレベルにリセットされる。次
に出カケ” −ト14に隣接するダート電極11の下の
シリコン基板120表面付近に形成されるポテンシャル
の井戸が該デート電極11の一つの手前(信号電荷転送
側)のダート電極下のシリコン基板12の表面付近に形
成されるポテンシャルの井戸より浅くなるように水平転
送・ぐルスφH1、φH2のレベルが変化する、例えば
時刻t1□の時点から、それまで終端のr−)電極11
の基板12の表面付近に蓄積されていた信号電荷Q2の
拡散容量CDへの転送が開始され、時刻t13でその転
送動作は終了する。
Then, after a certain period of time has elapsed, for example at time t1o, the gate A? The gates 24 and 26 open by applying the force φT (Fig. 2(d)).
, diffusion capacitors CD and CDa are connected in parallel to each other. Thereafter, a reset signal φR8 is applied to the reset gate 28 (FIG. 2(C)), and the reset gate 28 opens, so that at time t, the diffusion capacitances CD and C are applied.
Da is reset to the level of reset voltage vR. Next, the potential well formed in the vicinity of the surface of the silicon substrate 120 under the dirt electrode 11 adjacent to the output chip 14 is transferred to the silicon substrate 120 under the dirt electrode one side in front of the date electrode 11 (on the signal charge transfer side). For example, from time t1 □, the levels of horizontal transfer signals φH1 and φH2 change so that they become shallower than the potential well formed near the surface of the substrate 12.
Transfer of the signal charge Q2 accumulated near the surface of the substrate 12 to the diffusion capacitor CD is started, and the transfer operation ends at time t13.

以上の動作中、拡散容量C8,CDILに発生する電圧
は常時、差動増幅器30に入力される。ここで拡散層1
6による拡散容量C8にのみ信号電荷Qが転送される、
換言すれば信号電圧Q/CDが発生するが、リセットゲ
ート28に印加されるリセット電圧vRあるいはリセッ
ト・クルスφFtSの振幅の変動による雑音成分は同相
で拡散容量CD、CDaの両者に印加されることになる
ので、差動増幅器30の出力端にはリセットy−ト28
に印加されるリセット電圧またはリセットノ4ルスの振
幅の変動に起因する雑音成分が除去されたCCD信号電
圧v0.(第2図(e))が得られる。
During the above operation, the voltages generated across the diffusion capacitors C8 and CDIL are always input to the differential amplifier 30. Here, diffusion layer 1
The signal charge Q is transferred only to the diffusion capacitance C8 by 6.
In other words, the signal voltage Q/CD is generated, but noise components due to fluctuations in the amplitude of the reset voltage vR applied to the reset gate 28 or the reset pulse φFtS are applied to both the diffusion capacitors CD and CDa in the same phase. Therefore, the output terminal of the differential amplifier 30 has a reset point 28.
The CCD signal voltage v0. from which noise components due to fluctuations in the amplitude of the reset voltage or reset pulse applied to v0. (Fig. 2(e)) is obtained.

またリセットゲートがスイッチングする際に発生する熱
雑音も同相で前記拡散容量Cp y Coaの両者に印
加されるので、同様に除去される。
Further, thermal noise generated when the reset gate switches is also applied to both of the diffusion capacitances Cp y Coa in the same phase, so that it is similarly removed.

以上に説明した実施例ではダート24 、26゜28及
び差動増幅器30は他の素子と同様に同一のP型シリコ
ン基板12上に形成されているが、これに限定されるこ
となく、例えば第5図に示すように拡散容量CD、CD
aに発生する電圧をそれぞれ、他の素子と同様に同一基
板12上に形成された二つのバッファアンプ40.42
を介して、端子44.46から出力するように構成して
もよい。この場合、2つの出力44゜46は、この集積
回路10の外に設けられた差動増幅器30aに入力され
、増幅器30aにて両人力の差の電圧が形成され出力3
6aに出力される。この場合にも第1図に示す実施例と
同様の効果が得られる。
In the embodiment described above, the darts 24, 26° 28 and the differential amplifier 30 are formed on the same P-type silicon substrate 12 like other elements, but the present invention is not limited to this, for example, As shown in Figure 5, the diffusion capacitance CD, CD
The voltage generated at a is connected to two buffer amplifiers 40 and 42 formed on the same substrate 12 in the same way as other elements.
It may be configured to output from terminals 44 and 46 via. In this case, the two outputs 44.degree.
6a. In this case as well, the same effects as in the embodiment shown in FIG. 1 can be obtained.

効果 以上に説明したように本発明によれば、転送される信号
電荷が最終的に蓄積される拡散容量を周期的にリセット
する際に、リセット電圧、リセット・クルス振幅等の変
動に起因する雑音成分が除去できるので電荷転送装置の
出力部におけるS/Nの向上が図れる・ またこの、電荷転送装置を撮像装置に適用する場合には
、再生画像における目に付き易い固定i4ターン雑音を
除去でき、画像の向上が図れる。
Effects As explained above, according to the present invention, when periodically resetting the diffusion capacitance in which transferred signal charges are finally accumulated, noise caused by fluctuations in the reset voltage, reset cruise amplitude, etc. Since this component can be removed, the S/N ratio at the output section of the charge transfer device can be improved. Also, when this charge transfer device is applied to an imaging device, it is possible to remove the fixed i4 turn noise that is easily noticeable in reproduced images. , the image quality can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係る電荷転送装置の信号出力回路の一
実施例の構成を示す回路図、第2図は第1図に示した信
号出力回路の各部の動作を示す波形図、 第3図は従来の電荷転送装置の信号出力回路の構成を示
す回路図、 第4図は第3図に示した信号出力回路の各部の動作を示
す波形図、 第5図は本発明の他の実施例による信号出力回路を示す
回路図である。 l O・・・CCD 12・・・P型シリコン基板 14.20・・・出力r−ト 16.22・・・拡散層 24.26・・・r−ト 28・・・リセットゲート 30・・差動増幅器 、 特許出願人  富士写真フィルム株式会社 1  °。
1 is a circuit diagram showing the configuration of an embodiment of the signal output circuit of the charge transfer device according to the present invention; FIG. 2 is a waveform diagram showing the operation of each part of the signal output circuit shown in FIG. 1; Figure 4 is a circuit diagram showing the configuration of a signal output circuit of a conventional charge transfer device, Figure 4 is a waveform diagram showing the operation of each part of the signal output circuit shown in Figure 3, and Figure 5 is another embodiment of the present invention. FIG. 2 is a circuit diagram illustrating a signal output circuit according to an example. l O... CCD 12... P-type silicon substrate 14.20... Output r-to 16.22... Diffusion layer 24.26... r-to 28... Reset gate 30... Differential amplifier, patent applicant Fuji Photo Film Co., Ltd. 1°.

Claims (1)

【特許請求の範囲】  半導体基板において電荷を転送する電荷転送路の終端
に形成され、該転送路を転送される信号電荷を蓄積する
第1の容量手段と、 第1の容量手段をリセットするリセット手段とを有し、
該電荷転送路を転送された信号電荷に応じた信号を出力
する電荷転送装置の信号出力回路において、該回路は、 前記基板に形成され、第1の容量手段と実質的に同じ容
量を有し、前記リセット手段によってリセット可能な第
2の容量手段と、 第1および第2の容量手段に発生する電圧を取り込み、
該電圧の差の電圧を出力する差動回路手段とを有し、 前記リセット手段は、第1および第2の容量手段を実質
的に同じ電位で同時にリセットすることを特徴とする電
荷転送装置の信号出力回路。
[Claims] First capacitor means formed at the end of a charge transfer path for transferring charges in a semiconductor substrate and for accumulating signal charges transferred through the transfer path; and a reset for resetting the first capacitor means. and means;
In a signal output circuit of a charge transfer device that outputs a signal corresponding to signal charges transferred through the charge transfer path, the circuit is formed on the substrate and has substantially the same capacitance as the first capacitance means. , a second capacitor means that can be reset by the reset means, and a voltage generated in the first and second capacitor means;
differential circuit means for outputting a voltage of the difference between the voltages, and the reset means simultaneously resets the first and second capacitance means at substantially the same potential. Signal output circuit.
JP59250583A 1984-11-29 1984-11-29 Signal output circuit for charge transfer device Pending JPS61129963A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0423333A (en) * 1990-05-14 1992-01-27 Nec Corp Charge transfer device

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JPH0423333A (en) * 1990-05-14 1992-01-27 Nec Corp Charge transfer device

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