JPS61129516A - 平面度検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は平面度検査装置、詳しくは斜入射干渉法を用
い、試料の測定面からの反射光の干渉縞をスクリーンに
表示する平面度検査装置に関するものである。

（従来の技術） 周知のように、斜入射干渉法は、光学部材の参照面と、
試料の測定面より反射された反射光の光路差により生じ
る干渉縞によって、試料の測定面の平面度を知る方法で
ある。この斜入射干渉法を利用した平面度検査装置とし
て、光学部材に三角プリズム原器またはウェッジプリズ
ム原器を用い、干渉縞を等倍率でスクリーン上に投影し
て、この干渉縞の模様を観察することによって、測定面
の凹凸状態を判断するものがある。

（発明が解決しようする問題点） ところで、スクリ−ン上に試料と等倍率で干渉縞を表示
するためには、光学部材の投射角と反射角との関係から
、スクリーンが光学部材から離れた位置に配置されるこ
とがある。

ところで、測定者は測定に際して、試料を光学部材の参
照面と対向する所定の位置にセットする作業と、スクリ
ーン上の干渉縞の測定とを行なうため、スクリーンが光
学部材から離れると見にくく測定が困難になる。このた
め、ミラーの角度を変えてスクリーンを光学部材に近づ
けるようにすると、干渉縞が小さくなり等倍率の投影が
得られなくなる。従って、ミラーを複数使用して光路を
調整することが考えられるが、コストが嵩むとともに、
装置が大型化するため、ミラーを増加して光路を調整す
ることには問題がある。

この発明はかかる実情に鑑みなされたもので。

ｉａ置を大型化することなく簡単な構造で、光学部材の
近傍に配置されたスクリーン上に試料と等倍率の干渉縞
が得られる平面度検査装置を提供することを目的として
いる。

（問題点を解決するための手段） この発明は前記の目的を解決するために、光学部材の参
照面に試料の測定面を対向させ、参照面及び測定面から
の反射光による干渉縞を等倍率でスクリーンに表示する
平面度検査装置において、前記スクリーンと光学部材の
参照面との測定時の角度を、１８０°未渦の角度に設定
したことを特徴としている。

（作用） この発明では、スクリーンを測定時に光学部材の参照面
に対して、１８０°未満の角度に設定し、このスクリー
ン上に光学部材の測定面と試料の測定面からの反射光に
よる干渉縞を等倍率でスクリーン上に投影する。従って
、装置を大型化することなく、光学部材の近傍に配置さ
れたスクリーンに干渉縞が投影され、測定性及び作業性
の向上が図られる。

（実施例） 以下、この発明の一実施例を添付図面に基づいて詳細に
説明する。

図において符号ｌはレーザ発振器で、このレーザ発振器
ｌからのレーザ光はフィルタ２を介して反射ミラー３で
反射し、この反射光は対物レンズ４に入射されるように
なっている。対物レンズ４は入射したレーザ光を拡大す
る。そして、対物レンズ４の前方には、対物レンズ４の
焦点近傍に　　。

モータ５によって回転するスリガラスからなる拡散板６
が配設されており、拡散板６はレーザ光のコヒーレンス
、即ち干渉強度を調整する。

拡大された光束は反射ミラー７．８でそれぞれ反射され
、コリメータレンズ９に入射される。コリメータレンズ
９は入射光を平行にして射出するもので、この平行光束
は光学部材であるウェッジプリズム原器ｌＯに入射され
る。

ウェッジプリズム原器１０は板状に形成されており、平
行光束が入射される入射面１０ａが一方向に所定角度傾
斜している。そして、この入射面１０ａと反対側に位置
する参照面１０ｂに対向し、試料ｌｌが所定の間隔を隔
てて配置される。

ウェッジプリズム原器ｌＯは板状で軽量化されており、
かつ入射面１０ａが広幅になっているため、コリメータ
レンズ９は小径のものを用いることができる。これによ
り、装置の小型化が図られている。

ウェー２ジブリズム原器１０の入射面１０ａに斜め方向
から入射された平行光束は、ウェッジプリズム原器１０
の参照面１０ｂと、屈曲率の異なる媒質（空気）を通っ
て試料１１の測定面１１ａとでそれぞれ反射し、ウェッ
ジプリズム原器１０の入射面１０ａから反射光が取り出
される。この参照面１０ｂ及び前記測定面１１ａより反
射された反射光は反射板１２で反射し、ガラスで成形さ
れたスクリーン１３に投影され、両者の光路差によす生
じる干渉縞で測定面１１ａの平面度を知ることができる
。

スクリーン１３はウェッジプリズム原器１０に近接して
装置本体１４に設けられ、このスクリーン１３はウェッ
ジプリズム原器ｌＯ側の端部を支点として、他端部を装
置本体１４の前方に開閉可能になっている。このスクリ
ーン１３は前記反射板１２と連動して開閉し、スクリー
ン１３上に所定倍率の干渉縞が投影されるようになって
いる。

測定時にはスクリーン１３の他端部を前方に引き、ウェ
ッジプリズム原器１０との角度αが１８０＠未満になる
ように設定する。この角度αは測定者１５の位置によっ
て自由に選定され、例えば測定者１５がウェッジプリズ
ム原器１０の正面に位置する状態では、１４０”から１
６０°の範囲が好ましい。

そして、スクリーン１３上に投影される干渉縞の倍率は
、スクリーン１３が装置本体１４の側面から前側に反射
板１２と連動して移動することによって、反射板１２か
らの距離が一定に維持されて等倍率に設定される。

次に、この実施例の作用について説明する。

測定に際して測定者１５は、ウェッジプリズム原器１０
を装置本体１４の所定の位置にセットする。そして、試
料ｔｔ’をその測定面１１ａがウェッジプリズム原器ｌ
Ｏの参照面１０ｂに対向するようにしてセットする。

さらに、装置本体１４にウェッジプリズム原器１０と平
行になるように収納されているスクリーン１３を、その
一端部を支点として他端部を前方へ開いて、ウェッジプ
リズム原器１０に対して１８０°未渦の所定の角度αに
なるようにセットする。これにより、反射板１２が連動
してスクリーン１３と反射板１２との距離が所定の距離
になり、スクリーン１３上への投影が試料１１と等倍率
になる。また、スクリーン１３が前方に位置す１　　　
　　ることにより、測定者１５に近づき干渉縞の測定と
ともに、ウェッジプリズム原器１０への試料１１のセッ
ト作業が同位置で容易に行なうこができる。

測定が終了すると、スクリーン１３を後方に押して、想
像線で示す位置にセットして装置本体１４に収納する。

なお、前記実施例ではスクリーン１３の角度は測定時に
任意に選定できるようにしているが、常時所定の角度に
固定されたものでよい。

（発明の効果） この発明は前記のように、スクリーンと光学部材の参照
面との測定時の角度を、ｉａｏ”未満の角度に設定した
から、スクリーンが光学部材の近傍の位置で、測定面と
試料の測定面からの反射光による干渉縞を等倍率でスク
リーン上に投影することができる。従って１反射板を複
数個使用して光学部材の近傍に配置されたスクリーンに
投影するような構成にする必要がないから、低コスト、
コンパクトで、しかも、測定性及び作業性の向上が図ら
れる。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の一実施例を示す概略図である。 １０・・・ウェッジプリズム原器 １１・・・試料　　　　　　１２・・・反射板１３・・
・スクリーン

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 光学部材の参照面に試料の測定面を対向させ、参照面及
   び測定面からの反射光による干渉縞を等倍率でスクリー
   ンに投影する平面度検査装置において、前記スクリーン
   と光学部材の参照面との測定時の角度を、１８０°未満
   の角度に設定したことを特徴とする平面度検査装置。