JPS61123370A - 固体撮像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 け）産業上の利用分野 本発明は、光学フィルタ板を備えた固体撮像装置（−関
する。

（ロ）従来の技術 固体撮１１！Ｚ子を用いたテレビカメラの開発が急がれ
ており、カラーテレビ用にはカラーフィルタが、又白黒
テレビ用ｌ二に透明フィルタが、夫々採用されている。

この様な光学フィルタ板は特開昭５６−５４１７３号ロ
示されている如く、接着剤Ｉ：依って固体撮像素子基板
上に装層されるのが一般的でるる。

斯様な従来の固体撮像装置に用いられる光学フィルタ板
はｓ９Ｊ！ｔ２Ｑ＋二示す如く、固体撮像素子基板の電
荷像を得る為の撮像部のみをカラーフィルタ又は透明フ
ィルタからなる透光フィルタ領域（５）Ｉ：て対応せし
め、この撮像部以外の電荷像信号を転送蓄積あるいけ転
送読み出しする為の電荷像信号処理部にはクロムパター
ンを形成した遮光フィルタ領域（均が対応してい友。こ
の様に該基板の撮像部以外に光が入射されるのを防止し
て、不要な電荷の発生を抑制していたのである。

従って、上記固体撮像素子基板として第３図（：示す如
（、ＣＣＤ構改０撮像部（１１から転送されて来る電荷
像をそのまま一担蓄積する蓄積部（２４を必要とするフ
レームトランスファ一方式のものを採用し比場合にに、
この箇所をも上記光学フィルタ板の遮光フィルタ領域＠
Ｃ；て遮光しなければならないので、斯る遮光フィルタ
領域（Ｂ）の面積が大きくなる。

しかしながら、上記固体撮像素子基板と光学フィルタ板
との接層（’：ｔ１通常紫外線硬化型の光学用接着剤１
例えば電気化学工業（株〕製の商品名「ハードロックｏ
Ｐ−１ｏｏｏＪが用いられるが、上述の如く蓄積部（２
）ｉｎ対応する遮光フィルタ（均の面積が４Ｘ１０ｔｍ
２程度と大面積口なる為Ｃ二、上記接着剤の紫外線硬化
工程Ｃ二於いて、斯る＃横部（２）箇所の″ｍ着剤１；
紫外蒜が照射されず、この箇所の接着剤が未硬化のまま
残存する不都合があった。

即ち、この様な未硬化の′！！まの接着剤がめると、こ
の接着剤層が不均一な状態となり、この後のガラスシー
ル工程時の熱処理に依って、接層剤層≦二割れが発生し
、この割れが高−確率で撮像部Ｃ：まで波及する事！＝
依って、撮像装置が欠陥品となる欠点が６つ几。

（ハ）発明が解決しようとする問題点 本発明に上述の点Ｅ：′ＪＭみてなされｔものであり、
ガラスシール時Ｃ二生じる光学フィルタ板用の接層剤の
割れを防止する固体撮像装置を供提するものである。

に）問題点を解決する為の手段 本発明の固体撮像装置に上記光学フィルタ板の遮光フィ
ルタ領域の領域巾を特定値以下とし。

固体撮像素子基板の撮像部以外の電荷像信号処理部を部
分的≦：透透光ィルタ領域下（：位置せしめたものであ
る。

（ホ）作　用 本発明の固体撮像装置Ｃ：依れば１光学フイルタ板の遮
光フィルタ領域の領域巾が特定値以下Ｃ：制限されてい
るので、斯る光学フィルタ板用の接層剤を紫外線の如き
光硬化沈埋するＣ：際して、遮光フィルタ領域に値るこ
の紫外線の如き光の入射制限を抑制でき、この接層剤の
未硬化部分の発生が防止される。従って、斯る接着剤の
硬化状態が均一なものとなる。

（へ）実施例 第１図Ｃ二本発明の固体撮像装置に用いられる光学フィ
ルタ板の一実施例を示し、第３図の固体撮像素子基板を
参照しつつ、以下■；本発明装置を説明する。

第３図の固体撮像素子基板は前述した如くフレームトラ
ンスファ一方式が採用されておｐ、ｃｃＤ構改の撮像部
（１）、蓄積部（２）、水平読み出し部（３）、及び出
力部１４）からなる基本構造Ｉ：加えて、暗電流補正の
為のブラックリファレンスＣＣＤ部＋５３．　水平読み
出し部（３）の動浄試験の為の補助入力部（６）。

ｇＦ１１図囚示の光学フィルタ板との位置合せマーク＋
７１（７１が設けられている。

斯る固体撮像素子基板【：対して袋層される第１図の光
学フィルタ板は巾Ｗ＝２ｆｆ以下の遮光フィルタ領域の
）の帯状パターンを有し、第３図の固体撮像素子基板の
撮像部に対応する箇所の透光フィルタ領域（８）と蓄積
部ばの中央部（：対応する箇所の透光フィルタ領域Ｗと
が形成されている。

即ち、斯る遮光フィルタ部（ハ）ｔ′ｉ、第３図図示の
少なくともダイオード構成が露出している出力部（４）
、撮イ破部ｉｌｌと同一の露１．Ｉ″ｌ槽ｉであるべき
ブランクリファランスＣＣＤ部（５）、ダイオード構成
が露出している補助入力部（６）、及び位置合せマーク
部［７Ｈ７）とを覆う様（：配置されている。この場合
、水平読み出し部〔３）も連光フィルタ部（均下Ｃ；位
置している。尚、上記位置合せマーク部［７３１７）ｒ
１週元フィルタ部（ロ）の白ぬきの位置合せマーク部ｆ
８１＋８１に合致する様！二光学フィルタ板の位置決め
が行なわれるのである。−万、透光フィルタ部（Ａ（：
て元の入射が可能となりｔ蓄積部（２）は、それ自体に
例えばアルミニウムからなる電極マトリクス、あるいは
遮光膜が形ａ！されているので、この箇所での不要な電
荷の光励起にないのである。

上述の如き光学フィルタ板を固体撮像素子基板（：装着
する場合、紫外線硬化型の光学用接層剤を用いるが、こ
の接着剤を硬化せしめる為の紫外線を光学フィルタ板側
から照射する事となる。この時、接着剤に光学フィルタ
板の遮光フィルタ領域（Ｂ）の巾が２ｕ以下であるので
、光分に紫外線を受ける事となＶ、全体的響二均−に硬
化が進む。従って、斯して均一に硬化し之接看剤にこの
後のガラスクール工程時の熱処理（１５０℃〜２００℃
）１；依って、割れが発生する惧れμない。この結果。

上述の実施例装置は、白黒カメラｌ：使用する場合にハ
その光学フィルタ板の透光フィルタ領域内を透明フィル
タＣ：で構成し、カラーカメラＣ二使用する場合にはそ
れをカラーフィルタにで構成すれば良い。

さらＣ；上述の実施例に於いては、光硬化型の接着剤響
；未硬化部分が残らない透光フィルタ領域の巾を２ｕ以
下とし九が、この値に接着剤の特性並びＣ二硬化処理の
為に用いる光の特性（−依って選択され得る値である。

又１本発明装置はフレームトランスファ一方式の採用Ｉ
：限定されるものではなく、他の方式例えばイノターラ
イン方式のものであっても、電荷の転送読み出しの為の
電荷像信号処理部を部分的Ｃ二透光フィルタ領域下に位
置せしめる事ｌ：依って、本発明の採用は可能でおる。

（ト）発明の効果 本発明の固体撮像装置は１以上の説明から明らかな如く
、上記光学フィルタ板の連光フィルタ領域の領域巾を特
定値以下としＳ固体撮像素子基板の撮像部以外の電荷像
信号処理部を部分的Ｃ：透光フィルタ領域下に位置せし
めｔものでおるので、元フィルタ板用の！！！層剤を紫
外線の如き光硬化処理する５二際して、透光フィルタ領
域（：依る紫外線の如き光の入射制限を抑制でき、この
接着剤の未硬化部分の発生を防止できる。従って、斯る
接着剤の硬化状態が均一になＶ、この後のガラスシール
時での熱処理に対しても接層剤≦二側れが発生する惧れ
汀ない。

【図面の簡単な説明】

第１図、及び第６図は本発明の固体撮像装置に用いられ
る光学フィルタ板、及び固体撮像素子基板の平面図、第
２図は従来装置の光学フィルタ板の平面図である。 （１）・・・撮像部、（２Ｊ・・・蓄積部、（３〕・・
・水平読み出し部。 ＋４７・・・出力部、（５）・・・ブラックリファラン
スＣＣＤ部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）電荷像を得る撮像部と、該撮像部分からの電荷像信
   号を転送蓄積あるいは転送読み出しする為の電荷像信号
   処理部とからなる固体撮像素子基板に対して遮光並びに
   透光フィルタ領域を備えた光学フィルタ板を光硬化型の
   接着剤を用いて被着してなる固体撮像装置に於いて、上
   記光学フィルタ板の遮光フィルタ領域の領域巾を特定値
   以下とし、上記電荷像信号処理部を部分的に透光フィル
   タ領域下に位置せしめた事を特徴とする固体撮像装置。