JPS61117280A - 気相反応装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、二重構造の反応容器を有する気相反応装置に
関するものである。

従来の技術 第２図は、上記の１．＃な気相反応装置の一従来例を示
している。この従来例では、基台Ｉ上にステンレスベル
ジャ２が配されており、このステンレスベルジャ２内の
複数個の突起３上にｉ！３！置されることによって、石
英インナベルジャ４がステンレスベルジャ２内に配され
ている。つまり、反応容器であるステンレスベルジャ２
と石英インナベルジャ４とが、二重構造を成している。

ベルジャ２及び４の内部にはカバー５に覆われている加
熱用のコイル６が配されており、このコイル６の上方に
サセプタ７が配されている。また、コイル６及びサセプ
タ７の夫々の中央部を貫く様に、ノズル８が配されてい
る。

キャリアガスとしての水素ガスと反応ガスとをノズル８
へ供給するために、このノズル８へ通ずる供給口１１が
基台ｌに設けられると共に、ガス供給源（図示せず）及
び配管１２から成るガス供給手段が供給口１１に接続さ
れている。

また、石英インナベルジャ４とステンレスベルジャ２と
の間の空間へ冷却用の水素ガスを供給するために、ステ
ンレスベルジャ２に供給口１３が設けられると共に、ガ
ス供給源（図示せず）及び配管１５から成るガス供給手
段が供給口１３に接続されている。

なお、ベルジャ２．４内の温度分布等を監視するための
覗き窓１５がステンレスベルジャ２に設けられているが
、配管１４はこの覗き窓１５にも接続されている。

ステンレスベルジャ２と石英インナベルジャ４との間の
空間と石英インナヘルジ中４の内側の空間とは、ステン
レスベルジャ２に突起３が無い部分で互いに連通してい
る。そして、ノズル８から吹き出したガスと供給口１３
及び覗き窓１５から供給されたガスとを排出するための
排気口１６が、基台ｌに設けられている。

発明が解決しようとする問題点 ところが以上の様な気相反応装置では、ガス供給源から
の常温の水素ガスが、配管１４を通ってステンレスベル
ジャ２と石英インナベルジャ４との間の空間へそのまま
供給されている。コイル６による加熱のために石英イン
ナベルジャ４は非常に高温であり、常温の水素でもある
程度の冷却機能を有しているが、この冷却機能では十分
ではない。

このために、第３図に示す様に、石英インナベルジャ４
の内壁面に多結晶シリコン等の反応物質が付着してしま
う。従って、石英インナベルジャ４の保守が面倒であり
、また覗き窓１５からの監視を十分に行うこともできな
い。

また、第３図に示す様に、冷却用の水素ガスが直接に供
給される供給口１３及び覗き窓１５の近傍を除いて、石
英インナベルジャ４の上半部に特に高密度で反応物質が
付着する。従って、これらの反応物質がサセプタ７上の
ウェハ（図示せず）上へ落下してこれらのウェハが汚染
され、高品質の製品を製造することができない。

そして、石英インナベルジャ４を大型化すると、この石
英インナベルジャ４が十分には冷却されなくて、上述の
様な問題点が更に顕著に現れる。

また、本発明の他の従来例として、特公昭５６−３００
５８号公報に示されている様に、二重構造の反応容器の
内側の反応容器の壁面に多数の穴を設けて、これらの穴
から内側の反応容器の内部へ冷却用のガスを流入させる
様にしている気相反応装置がある。

しかし、この様な気相反応装置でも、冷却用のガスが常
温から更には冷却されてはいないために、内側の反応容
器を十分には冷却することができないと考えられる。

発明が解決しようとする問題点 本発明による気相反応装置は、二重構造を成している内
側及び外側の反応容器４．２と、前記内側の反応容器４
と前記外側の反応容器２との間の空間へガスを供給する
ためのガス供給手段１４と、前記ガスを冷却するための
冷却手段１７とを夫々具備している。

作用 本発明による気相反応装置では、冷却手段１７とガス供
給手段１４とによって、内側の反応容器４と外側の反応
容器２との間の空間へ冷却されたガスが供給され、内側
の反応容器４が効果的に冷却される。

実施例 以下、縦形の気相反応装置に適用した本発明の一実施例
を第１図を参照しながら説明する。

この第１図に示す様に、本実施例の気相反応装置は、配
管１４を通って供給される水素ガスを冷却するための冷
却手段を有していることを除いて、第２図に示した従来
例の気相反応装置と実質的に同様の構成であってよい。

なおこの冷却手段は、コイル状の配管１７中に流体窒素
を流して、配管１４中を通る水素ガスを冷却する様にし
たものである。

従って、本実施例の気相反応装置では、配管１４中を通
る水素ガスが配管１７中を流れる液体窒素によって十分
に冷却され、この冷却された水素ガスがステンレスベル
ジャ２と石英インナベルジャ４との間の空間へ供給され
る。この結果、石英インナベルジャ４が効果的に冷却さ
れ、この石英インナベルジャ４の内壁面に反応物質が付
着しにくい。

なお以上の実施例においては本発明を縦形の気相反応装
置に適用したが、バレル形や横形等の気相反応装置にも
本発明を適用することができる。

発明の効果 上述の如く、本発明による気相反応装置では、装置を大
型化しても内側の反応容器が効果的に冷却されるので、
内側の反応容器の内壁面に反応物質が付着しに（い。

従って、高品質の製品を製造することができ、しかも内
側の反応容器の保守と反応容器内の監視とが容易である
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す側断面図である。 第２図は本発明の一従来例を示す側断面図、第３図は一
従来例における内側の反応容器の反応後の状態を示す側
断面図である。 なお図面に用いられた符号において、 ２・−−−−・−−−一−−−−−−・−ステンレスヘ
ルジャ４−−−−−−−一・−一−−−−石英インナヘ
ルジャ１４−一・−・−−−ｍ−・−配管 １７−−−−−−−−−配管 である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 二重構造を成している内側及び外側の反応容器と、前記
   内側の反応容器と前記外側の反応容器との間の空間へガ
   スを供給するためのガス供給手段と、前記ガスを冷却す
   るための冷却手段とを夫々具備する気相反応装置。