JPS61117090A

JPS61117090A - 把持装置

Info

Publication number: JPS61117090A
Application number: JP23798884A
Authority: JP
Inventors: 尾股　聡
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1984-11-12
Filing date: 1984-11-12
Publication date: 1986-06-04

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕この発明は、クリーンルームなどで物品を取り扱う場合
に使用する把持装置に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

半導体製造工程などのように、クリーンルームにおいて
物品を取り扱う装置は、その装置の駆動時に装置から塵
埃を発生させないことが重要な要件である。

ところで、従来半導体などの物品を把持する把持装置は
第４図乃至第６図で示すように構成されている。すなわ
ち、１は本体で、この本体１は上板２と側板３．３とが
ら構成されている。側板３．３間には３本のガイド軸４
ａ、４ｂ、４ｃが架設されていて、この両側のガイド軸
４ａと４ｃには一部を中央のガイド軸４ｂに嵌合した一
対の移動ブロック５ａ、５ｂがスライド自在に軸支され
ている。この移動ブロック５ａ、５ｂの互いに対向する
側面にはラック６ａ、６ｂが形成されていて、これらラ
ック６ａ、６ｂ間にはビニオン７が歯合されている。そ
して、このビニオン７はモータからなる駆動機構８によ
って回転し、この回転力はラック６ａ、６ｂを介して前
記移動ブロック５ａ。

５ｂに伝達するように構成されている。したがって、移
動ブロック５ａ１５ｂはビニオン７の正逆回転によって
互いに逆方向に往復運動するようになっている。さらに
、前記側板３．３の下端には切欠部９．９が設けられ、
これら切欠部９．９にはフィンガ１０．１０のアーム部
１０ａ、１０ａが摺動自在に嵌合され、このアーム１０
ａ、１０ａの基端部は前記移動ブロック５ａ、５ｂに固
定されている。

したがって、移動ブロック５ａ１５ｂの逆方向の往復運
動によってフィンガ１０．１０が接離方向に移動して物
品Ａを把持したり離したりするように構成されている。

しかしながら、前述のように構成された把持装置は、本
体１を構成する側板３，３の下端に切欠部９．９が設け
られ、この切欠部９．９内をアーム１０ａ、ｉｏａが摺
動するようになっている。

したがって、切欠部９とアーム１０ａとの間にわずかな
隙間が形成され、この隙間によって本体１内が外界と完
全に遮断されていない。このため、本体１内の摺動部分
から発生した塵埃が前記隙間を通って落下することがあ
り、クリーンルームを汚染する原因になっていた。また
、従来本体１内で発生する塵埃を除去する手段として本
体１に真空ポンプやエジェクタを設け、摺動部分から発
生する塵埃を吸収することも試みられていたが、装置が
大形化、複雑化するという問題があり、実用的でないと
いう事情がある。

〔発明の目的〕

この発明は、前記事情に着目してなされたもので、その
目的とするところは、真空ポンプやエジェクタなどの真
空発生源を設けることなく、簡単な構成で本体内から発
生する塵埃を吸引排出することができ、クリーンルーム
を汚染することがない把持装置を提供することにある。

〔発明の概要〕

この発明は、前記目的を達成するために、防塵的に外界
と遮断された本体内に移動ブロックと連動して吸排気作
用を行ない、本体内の塵埃を空気とともに吸引して本体
外に排出するシリンダ装置を設けたことにある。

〔発明０実施例〕　　　　　　　　　　　　　　　　　
　：パ以下、この発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。

第１図乃至第３図は一実施例を示すものであるが、把持
装置の基本的構成は従来と同一であるため、同一構成部
分は同一番号を付して説明を省略する。すなわち、防塵
的に遮断された本体１の内部にはシリンダ装置を構成す
る第１のシリンダ１１と第２のシリンダ１２が収納され
ている。この第１のシリンダ１１は連結部材１３ａによ
って前記移動ブロック５ａに一体に連結され、第２のシ
リンダ１２は連結部材１３ｂによって前記移動ブロック
５ｂに一体に連結されている。つまり、第１、第２のシ
リンダ１１．１２は移動ブロック５ａ、５ｂと一体的に
往復運動するように構成されている。この第１、第２の
シリンダ１１．１２の内部にはそれぞれピストン１４．
１５が収容され、これらピストン１４．１５は前記一方
の側板３に一端部が固定されたピストンロッド１４ａ、
１５ａに連結されている。そして、ピストン１４．１５
に対して第１、第２のシリンダ１１．１２が往復運動す
るようになっており、前記ピストンロッド１４ａ、１５
ａには第１、第２のシリンダ１１．１２内ト’Ｊ通ｔル
Ｍ通１Ｂ　１４　ｂ、　１５　ｂｌｆｉＨケラれている
。

一方、前記本体１の上板２には全開リミットスイッチ１
６と全閉リミットスイッチ１７が離間して設置されてい
て、これら両リミットスイッチ１６．１７は前記第２の
シリンダ１２に取付けられた操作子１８によって開閉さ
れるようになっている。ざらに、前記両リミットスイッ
チ１６．１７は制御回路１９に接続されている。

また、２０は第１の電磁弁、２１はＭ２の電磁弁である
。これら両電磁弁２０．２１の入口は配管２０ａ、２１
ａを介して分岐点ａに連通し、この分岐点ａは配管２２
を介して前記本体１の内部と連通ずる吸込み口２３と連
通している。ざらに、前記第１の電磁弁２０の出口は配
管２０ｂを介して前記連通路１４ｂに接続され、第１の
シリンダ１１と連通している。第２の電磁弁２１の出口
は配管２１ｂを介して前記連通路１５ｂに接続され、第
２のシリンダ１２に連通している。さらに１．前記配管
２０ｂには分岐点すが、配管２１ｂには分岐点Ｃが設け
られ、これら分岐点す、ｃは配管２４．２５を介して第
３の電磁弁２６の入口に連通している。そして、この第
３の電磁弁２６の出口はｄ点を介してたとえばクリーン
ルームの外部に連通ｕ　Ｔ　イル。なお、２７ａ、２７
ｂ、２７Ｇは信号線であり、第１〜第３の電磁弁２０．
２１．２６は制御回路１９によって制御されるようにな
っている。

つぎに、前述のように構成された把持装置の作用につい
て説明する。第１図乃至第３図は、フィンガ１０．１ｏ
が全開している状態であり、全開リミットスイッチ１６
はＯＦＦである。また、第１の電磁弁２ｏは閉路、第２
の電磁弁２１は開路および第３の電磁弁２６は配管２４
が開路、２５が閉路状態にある。したがって、ａ−０間
は開路、ａ−ｂ間が閉路、ｂ−６間が開路、ｃ−６間が
閉路になっている。

この状態から、駆動改構８によってビニオン７を回転さ
せると、ラック６ａ１６ｂを介して移動ブロック５ａ、
５ｂが互いに逆方向（第３図において矢印方向）に移動
する。したがって、フィンガ１０．１ｏは閉じる方向に
移動して物品Ａを把持する。このとき、第１、第２のシ
リンダ１１．１２も移動ブロック５ａ、５ｂと一体に同
方向に移動するため、本体１内の空気は吸込み口２３が
ら配ｌＦ２１ａ、２１ｂのａ−ｃを通ッテ連通路１５ｂ
から第２のシリンダ１２内に吸込まれる。同時に、第２
のシリンダ１１内の空気は配管２０ｂの９点から配管２
４のｄ点を介して外部に排出される。この動作は全問リ
ミットスイッチ１７が操作子１８によってＯＦＦになる
まで続く。全閉リミットスイッチ１７がＯＦＦになると
、第１、第２の電磁弁２０．２１および第３の電磁弁２
６が切替わり、ａ−ｂ間が開路、ａ−０間が閉路、ｂ−
６間が閉路、ｃ−６間が開路となる。この状態かう駆動
機構８によってビニオン７を逆転させると、ラック６ａ
、６ｂを介して移動ブロック５ａ。

５ｂ＆１前述８逆方向９移肋ｕＴＶ″′＞ｊｆ　１０．
１　　　　　、＋０は開放される。したがって、第１、
第２のシリンダ１１．１２も同方向に移動し、本体１内
の空気はＭｌのシリンダ１１内に吸込まれ、第２のシリ
ンダ１２内の空気は外部に排出される。この動作を繰返
すことにより本体１内の空気は外部に排出され、本体１
内で発生する塵埃は空気とともにクリーンルームの外部
に排出される。したがって、把持装置によってクリーン
ルーム内を汚染することはない。

なお、前記一実施例においては、移動ブロックをラック
とごニオンとによって駆動するようにしたが、これに限
定されず、ウオームとウオームホイール、ボールネジ、
滑りネジ、ワイヤとプーリ、ベルトとブーりなどの機構
によって駆動するように構成してもよい。さらに、本体
内にピストンを固定し、シリンダを移動自在にしたが、
これと逆にピストン側を移動するようにしてもよい。ま
た、シリンダに吸込み口を設け、本体内の空気を直接的
にシリンダに吸込み、また排出するように構成してもよ
い。この場合、吸込み口に吸込み方向だけに流れる逆止
弁を設ければ、前記一実施例のような配管および電磁弁
が不要となり、一層構造の簡素化を図ることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明によれば、真空ポンプや
エジェクタなどの真空発生源を備えることなく本体内か
ら発生する塵埃を空気とともに外部に排出することがで
き、クリーンルームなと塵埃を嫌う場所において使用す
る装置として特に効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図はこの発明の一実施例を示すもので、
第１図は一部切欠した側面図、第２図は一部切欠した下
面図、第３図は概略的構成図、第４図乃至第６図は従来
の把持８１を示し、第４図は一部切欠した側面図、第５
図は一部切欠した下面図、第６図は本体の一部を示す斜
視図である。１・・・本体、５ａ、５ｂ・・・移動ブロック、８・・
・駆動機構、１０・・・フィンガ、１１．１２・・・シ
リンダ（シリンダ装置）。出願人代理人　弁理士　鈴　江　武　彦第４図第５図第６図

Claims

【特許請求の範囲】

防塵的に外界と遮断された本体内に駆動機構によつて互
いに逆方向に往復運動する一対の移動ブロックを設ける
とともに、これら移動ブロックに前記本体外に突出する
フィンガを設け、これらフィンガ間で物品を把持するよ
うに構成した把持装置において、前記本体内に前記移動
ブロックと運動して吸排気作用を行ない、本体内の塵埃
を空気とともに吸引して本体外に排出するシリンダ装置
を設けたことを特徴とする把持装置。