JPS61115967U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61115967U JPS61115967U JP20108584U JP20108584U JPS61115967U JP S61115967 U JPS61115967 U JP S61115967U JP 20108584 U JP20108584 U JP 20108584U JP 20108584 U JP20108584 U JP 20108584U JP S61115967 U JPS61115967 U JP S61115967U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass plate
- silicon wafer
- gas chromatography
- wafer
- electrodepositing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 3
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 claims 2
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Treatment Of Liquids With Adsorbents In General (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Description
第１図は、本考案に係るガラス板の平面図、第
２図は、斜視図、第３図は、本考案に係る他の実
施例を示す図である。 １……ガラス板、１ｂ……中心点又は線、２…
…基準線。
２図は、斜視図、第３図は、本考案に係る他の実
施例を示す図である。 １……ガラス板、１ｂ……中心点又は線、２…
…基準線。
Claims (1)
- シリコン・ウエハーとガラス板を電着方法によ
り電着して成るシリコン・ウエハーガス・クロマ
トグラフ用のガラス板において、シリコン・ウエ
ハーと接着するガラス板の表面を腕曲面としたこ
とを特徴とするシリコン・ウエハーガス・クロマ
トグラフ用ガラス板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20108584U JPS61115967U (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20108584U JPS61115967U (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61115967U true JPS61115967U (ja) | 1986-07-22 |
Family
ID=30762540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20108584U Pending JPS61115967U (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61115967U (ja) |
-
1984
- 1984-12-28 JP JP20108584U patent/JPS61115967U/ja active Pending
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