JPS63174437U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63174437U JPS63174437U JP15891586U JP15891586U JPS63174437U JP S63174437 U JPS63174437 U JP S63174437U JP 15891586 U JP15891586 U JP 15891586U JP 15891586 U JP15891586 U JP 15891586U JP S63174437 U JPS63174437 U JP S63174437U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- growth
- slider
- substrate
- groove
- jig
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は、本考案によるスライダー部の半導体
基板を受け入れる溝部の一実施例の断面図、第４
図は同平面図、第２図は従来のスライダー部にお
ける同断面図である。第３図は、半導体エピタキ
シヤル成長治具の断面図である。 １，１′，１″……溶槽部、２……成長半導体
基板、３……スライダー部、４……本体部、５，
５′，５″……溶液、６……スライダー基板載置
用溝角部、７……スライダー基板載置用溝貫通穴
、８……スライダー基板載置用溝底部、９……半
導体成長基板載置用溝、１０……貫通穴テーパ部
。
基板を受け入れる溝部の一実施例の断面図、第４
図は同平面図、第２図は従来のスライダー部にお
ける同断面図である。第３図は、半導体エピタキ
シヤル成長治具の断面図である。 １，１′，１″……溶槽部、２……成長半導体
基板、３……スライダー部、４……本体部、５，
５′，５″……溶液、６……スライダー基板載置
用溝角部、７……スライダー基板載置用溝貫通穴
、８……スライダー基板載置用溝底部、９……半
導体成長基板載置用溝、１０……貫通穴テーパ部
。
Claims (1)
- 半導体エピタキシヤル成長に必要な溶液を保持
する溶槽部を備えた本体部と、該溶槽部の下側面
を成長基板を載置して摺動可能なスライダー部と
を含む半導体基板成長治具において、前記スライ
ダー部には、前記成長基板を載置する溝を有し、
該溝部の中央部にスライダーに対する貫通穴を設
けたことを特徴とする半導体基板成長治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15891586U JPS63174437U (ja) | 1986-10-16 | 1986-10-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15891586U JPS63174437U (ja) | 1986-10-16 | 1986-10-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63174437U true JPS63174437U (ja) | 1988-11-11 |
Family
ID=31082854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15891586U Pending JPS63174437U (ja) | 1986-10-16 | 1986-10-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63174437U (ja) |
-
1986
- 1986-10-16 JP JP15891586U patent/JPS63174437U/ja active Pending