JPS6111366B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6111366B2 JPS6111366B2 JP54007919A JP791979A JPS6111366B2 JP S6111366 B2 JPS6111366 B2 JP S6111366B2 JP 54007919 A JP54007919 A JP 54007919A JP 791979 A JP791979 A JP 791979A JP S6111366 B2 JPS6111366 B2 JP S6111366B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation thermometer
- test piece
- temperature
- measured
- furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 7
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/52—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using comparison with reference sources, e.g. disappearing-filament pyrometer
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は非接触式放射温度計の校正装置に関す
るものである。
るものである。
鋼材等の非接触測温には放射温度計が広く使用
されており、通常±数10deg・の総合精度で計
測、若しくは制御に用いられている。
されており、通常±数10deg・の総合精度で計
測、若しくは制御に用いられている。
そして、これらの放射温度計の校正方式として
は、通常、炉壁に据付けられている放射温度計を
取外してのち、黒体炉を用いて放射率１に対して
校正した後、再び元の所に据付け、さらに測定対
象の放射率の合わせてのち、放射温度計の放射率
設定器を調整する方式のものが知られている。
は、通常、炉壁に据付けられている放射温度計を
取外してのち、黒体炉を用いて放射率１に対して
校正した後、再び元の所に据付け、さらに測定対
象の放射率の合わせてのち、放射温度計の放射率
設定器を調整する方式のものが知られている。
しかしながら、この方式によると、
(1) 被測温材の放射率の変動に追従するのが繁雑
である。
である。
(2) 放射温度計の校正上、炉壁への取付け、取外
しが面倒である。
しが面倒である。
(3) 炉内での測温時、炉内雰囲気に影響されて、
正確な測温ができない。
正確な測温ができない。
等の問題があつた。
本発明は、この問題点を解決するために、先
ず、あらかじめ炉外に設けたテストピースを内蔵
した挿入具を放射温度計の真下にセツトしたの
ち、テストピースを規定温度に通電加熱せしめ、
その加熱温度を熱電対及び放射温度計でそれぞれ
測定し、熱電対出力温度と、放射温度計出力温度
を検出し、その検出された熱電対出力温度の測温
値により放射温度計の表示温度を校正するを効率
よく容易に実施するための装置を提供するもので
あり、これによれば被測温材と同材質のテストピ
ースに熱電対及びコンダクターを備え、該コンダ
クターにより通電可能に構成し、かつ挿入具に内
蔵させ、この挿入具を被測温材の通板パス上であ
つて、かつ放射温度計の視野内に進退自在に形成
し、放射温度計を校正するようにした装置が得ら
れる。
ず、あらかじめ炉外に設けたテストピースを内蔵
した挿入具を放射温度計の真下にセツトしたの
ち、テストピースを規定温度に通電加熱せしめ、
その加熱温度を熱電対及び放射温度計でそれぞれ
測定し、熱電対出力温度と、放射温度計出力温度
を検出し、その検出された熱電対出力温度の測温
値により放射温度計の表示温度を校正するを効率
よく容易に実施するための装置を提供するもので
あり、これによれば被測温材と同材質のテストピ
ースに熱電対及びコンダクターを備え、該コンダ
クターにより通電可能に構成し、かつ挿入具に内
蔵させ、この挿入具を被測温材の通板パス上であ
つて、かつ放射温度計の視野内に進退自在に形成
し、放射温度計を校正するようにした装置が得ら
れる。
以下、本発明の詳細を図面に基いて説明する。
第１図において、１は被測温材であつて、この被
測温材１は炉内２に連続通板される。
第１図において、１は被測温材であつて、この被
測温材１は炉内２に連続通板される。
３は炉壁であつて、この炉壁３には、その真上
に放射温度計４が据付けられており、この放射温
度計４は連続的に通板する被測温材１の測定に供
せられる。
に放射温度計４が据付けられており、この放射温
度計４は連続的に通板する被測温材１の測定に供
せられる。
５は本発明の校正装置であつて、この校正装置
５は炉壁３に取付けられており、その構成を述べ
ると、６はシールバルブであつて、このシールバ
ルブ６は炉内２と外気との遮断に用いられる。７
は収納ケースであつて、この収納ケース７はシー
ルバルブ６に直結されている。
５は炉壁３に取付けられており、その構成を述べ
ると、６はシールバルブであつて、このシールバ
ルブ６は炉内２と外気との遮断に用いられる。７
は収納ケースであつて、この収納ケース７はシー
ルバルブ６に直結されている。
８はテストピース挿入具であつて、このテスト
ピース挿入具８内には、第２図に示すように、コ
ンダクター９と、このコンダクター９に被測温材
１から切りとつたテストピース１０が張設されて
おり、またこのテストピース１０には熱電対１１
が備えられている。
ピース挿入具８内には、第２図に示すように、コ
ンダクター９と、このコンダクター９に被測温材
１から切りとつたテストピース１０が張設されて
おり、またこのテストピース１０には熱電対１１
が備えられている。
１２は給電管であつて、この給電管１２は前記
テストピース挿入具８に接続されており、テスト
ピース挿入具８を炉外から炉内２に進退自在に設
けられる。なお、１３は給電線である。
テストピース挿入具８に接続されており、テスト
ピース挿入具８を炉外から炉内２に進退自在に設
けられる。なお、１３は給電線である。
次に、放射温度計の校正装置の操作例を述べ
る。通常、被測温寺１の測温時には、テストピー
ス挿入具８は収納ケース７内に引込まれており、
被測温材１の放射は放射温度計４に達し測温され
る。
る。通常、被測温寺１の測温時には、テストピー
ス挿入具８は収納ケース７内に引込まれており、
被測温材１の放射は放射温度計４に達し測温され
る。
しかして、被測温材１の材質変化等に関し、放
射温度計４の校正の必要を生じた際には、シール
バルブ６を開き、テストピース挿入具８を放射温
度計４の直下に引き出してのち、あらかじめ規定
温度に設定された校正用テストピース１０の温度
を放射温度計４で測定し、その出力から求められ
る温度と、熱電対出力から求められた温度を比較
し、放射温度計４の表示温度を校正する。
射温度計４の校正の必要を生じた際には、シール
バルブ６を開き、テストピース挿入具８を放射温
度計４の直下に引き出してのち、あらかじめ規定
温度に設定された校正用テストピース１０の温度
を放射温度計４で測定し、その出力から求められ
る温度と、熱電対出力から求められた温度を比較
し、放射温度計４の表示温度を校正する。
このように本発明は、極めて簡易な構成でもつ
て、校正が迅速にかつ正確に実施できる等、実用
上絶大な効果を発揮する。
て、校正が迅速にかつ正確に実施できる等、実用
上絶大な効果を発揮する。
図は本発明の実施例を示すもので、第１図は概
略説明図、第２図はテストピース挿入具の詳細図
である。 図において、１……被測温材、２……炉内、３
……炉壁、４……放射温度計、５……校正装置、
６……シールバルブ、７……収納ケース、８……
テストピース挿入具、９……コンダクター、１０
……テストピース、１１……熱電対、１２……給
電管、１３……給電線。
略説明図、第２図はテストピース挿入具の詳細図
である。 図において、１……被測温材、２……炉内、３
……炉壁、４……放射温度計、５……校正装置、
６……シールバルブ、７……収納ケース、８……
テストピース挿入具、９……コンダクター、１０
……テストピース、１１……熱電対、１２……給
電管、１３……給電線。
Claims (1)
- １ 被測温材料と同一材質からなるテストピース
を内蔵した挿入具を被測温材の通板パス上であつ
て、かつ放射温度計の視野内に進退自在に形成す
ると共に該挿入具内のテストピースに、コンダク
ターにより通電加熱する機構と、該加熱温度を測
温する熱電対とを具備せしめたことを特徴とする
放射温度計の校正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP791979A JPS5599035A (en) | 1979-01-25 | 1979-01-25 | Method and apparatus for calibrating radiation thermometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP791979A JPS5599035A (en) | 1979-01-25 | 1979-01-25 | Method and apparatus for calibrating radiation thermometer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5599035A JPS5599035A (en) | 1980-07-28 |
| JPS6111366B2 true JPS6111366B2 (ja) | 1986-04-02 |
Family
ID=11678928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP791979A Granted JPS5599035A (en) | 1979-01-25 | 1979-01-25 | Method and apparatus for calibrating radiation thermometer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5599035A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015081816A (ja) * | 2013-10-22 | 2015-04-27 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 放射温度計の校正装置及び校正方法 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6054939U (ja) * | 1983-09-22 | 1985-04-17 | 横河電機株式会社 | 放射温度測定装置 |
| JP2769824B2 (ja) * | 1988-11-30 | 1998-06-25 | 株式会社和廣武 | 加熱処理装置 |
| US5820261A (en) * | 1995-07-26 | 1998-10-13 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a rapid thermal processing system |
| US5762419A (en) | 1995-07-26 | 1998-06-09 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system |
| US6179465B1 (en) | 1996-03-28 | 2001-01-30 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system using multiple light sources |
| US5938335A (en) * | 1996-04-08 | 1999-08-17 | Applied Materials, Inc. | Self-calibrating temperature probe |
| JP4672342B2 (ja) * | 2004-11-22 | 2011-04-20 | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
| JP2006352145A (ja) * | 2006-07-06 | 2006-12-28 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 熱処理装置およびその装置に用いられる温度検出ユニット、半導体装置の製造方法 |
-
1979
- 1979-01-25 JP JP791979A patent/JPS5599035A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015081816A (ja) * | 2013-10-22 | 2015-04-27 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 放射温度計の校正装置及び校正方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5599035A (en) | 1980-07-28 |
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