JPS61111189A - 超純水ラインの殺菌装置 - Google Patents
超純水ラインの殺菌装置Info
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- JPS61111189A JPS61111189A JP23149484A JP23149484A JPS61111189A JP S61111189 A JPS61111189 A JP S61111189A JP 23149484 A JP23149484 A JP 23149484A JP 23149484 A JP23149484 A JP 23149484A JP S61111189 A JPS61111189 A JP S61111189A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/30—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation
- C02F1/32—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation with ultraviolet light
- C02F1/325—Irradiation devices or lamp constructions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2201/00—Apparatus for treatment of water, waste water or sewage
- C02F2201/32—Details relating to UV-irradiation devices
- C02F2201/322—Lamp arrangement
- C02F2201/3224—Units using UV-light guiding optical fibers
Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は超純水製造装置で用いられる超純水ラインの殺
菌装置に関するものである。
菌装置に関するものである。
従来技術
超純水製造装置ｌくおいては、゛超純水中に含まれる微
粒子はもちろんのことバクテリアも問題となるため、従
来は紫外線殺菌、カートリッジイオン交換、限界濾過等
で除菌、除粒子、除塩類を行なっている。
粒子はもちろんのことバクテリアも問題となるため、従
来は紫外線殺菌、カートリッジイオン交換、限界濾過等
で除菌、除粒子、除塩類を行なっている。
この考案が解決すべき問題点
しかしながら、こうした２次純水装置での紫外線殺菌は
完全なものではないため長期間使用すると一部の菌がユ
ースラインにリークし、超純水中の微量栄養成分により
バクテリアがユースラインのパイプ壁面等に増殖した後
、一定量以上となると剥離して超純水中の水質を悪化さ
せる場合があった。
完全なものではないため長期間使用すると一部の菌がユ
ースラインにリークし、超純水中の微量栄養成分により
バクテリアがユースラインのパイプ壁面等に増殖した後
、一定量以上となると剥離して超純水中の水質を悪化さ
せる場合があった。
また、２次純水装置で完全な殺菌を行なうために紫外線
殺菌装置の殺菌力を強めると過酸化水素等が発生して、
イオン交換ボンベの樹脂の劣化を早めるという欠点があ
った。
殺菌装置の殺菌力を強めると過酸化水素等が発生して、
イオン交換ボンベの樹脂の劣化を早めるという欠点があ
った。
そこで、本発明は前記の様な純水製造装置における殺菌
上の問題点を解決して、装置内の他の機器には影響を与
えることなく菌の増殖を適切に抑制して、超純水の水質
を向上し、ユースラインの殺菌・洗滌回数が減少出来得
る超純水ラインの殺菌装置を提供することを目的とする
。
上の問題点を解決して、装置内の他の機器には影響を与
えることなく菌の増殖を適切に抑制して、超純水の水質
を向上し、ユースラインの殺菌・洗滌回数が減少出来得
る超純水ラインの殺菌装置を提供することを目的とする
。
発明の構成
本発明の超純水ラインの殺菌装置は、ユースラインの所
定区間毎に紫外線発生装置を設け、この紫外線発生装置
から前記ユースラインの所定区間に亘って延在するファ
イバーをユースライン内に配設し、前記ファイバーから
紫外線を散乱させてユースライン中の超純水を殺菌する
よう構成された点に特徴がある。
定区間毎に紫外線発生装置を設け、この紫外線発生装置
から前記ユースラインの所定区間に亘って延在するファ
イバーをユースライン内に配設し、前記ファイバーから
紫外線を散乱させてユースライン中の超純水を殺菌する
よう構成された点に特徴がある。
実施例
以下、図示する本発明の実施例により説明する。第１図
に本発明装置を設置した２次純水装置を示したが、この
図中タンク１には１次純水装置（図示せず。）から１次
純水が供給されている。
に本発明装置を設置した２次純水装置を示したが、この
図中タンク１には１次純水装置（図示せず。）から１次
純水が供給されている。
このタンク１には１次純水を殺菌・濾過しつつ循環する
ユースライン２が接続されており、ユースライン２中に
は純水を循環させるサークルポンプ４と、紫外線殺菌を
行なう紫外線殺菌装置５、イオン交換を行なうカートリ
ッジボンベ６、及び微細粒子の濾過を行なう限外濾過器
７が純水の循環方向に順次配置されている。
ユースライン２が接続されており、ユースライン２中に
は純水を循環させるサークルポンプ４と、紫外線殺菌を
行なう紫外線殺菌装置５、イオン交換を行なうカートリ
ッジボンベ６、及び微細粒子の濾過を行なう限外濾過器
７が純水の循環方向に順次配置されている。
また、前記各機器を通過して生成された２次純水をなり
出すために、限外濾過器７下流にはユースポイント３が
設けられている。
出すために、限外濾過器７下流にはユースポイント３が
設けられている。
こうして構成された２次純水製造装置の限外濾過器７下
流のユースライン２には所定間隔毎に紫外線発生装置８
が増付けられている。この紫外線発生装置８は第２図に
示したようにユースライン２の外側に取付けられた箱型
ケーシング内に２５５．７ ｎｍ の紫外線を発生する
紫外線ランプ９が内蔵されている。
流のユースライン２には所定間隔毎に紫外線発生装置８
が増付けられている。この紫外線発生装置８は第２図に
示したようにユースライン２の外側に取付けられた箱型
ケーシング内に２５５．７ ｎｍ の紫外線を発生する
紫外線ランプ９が内蔵されている。
さらに、この紫外線発生装置８からはユースライン２配
管内において前記所定区間内に亘って延在するファイバ
ー１０が配設されている。
管内において前記所定区間内に亘って延在するファイバ
ー１０が配設されている。
このファイバー１０はＰＭＭＡ （ポリメチルアクリレ
ート）等の樹脂製ファイバー又は石英ファイバーであり
、その紫外線発生装置８内の端部は結束されているファ
イバー繊維をほぐして紫外線ランプ９からの紫外線がフ
ァイバー１０内に取り込まれる様構成されている。ファ
イバー１０内に取り込まれた紫外線はユースライン２配
管内のファイバー１０から散乱してユースライン２配管
内壁面に到達する。こうして、ユースライン２内に配設
されたファイバー１０から散乱する紫外線によりユース
ライン２内の殺菌を行なう。
ート）等の樹脂製ファイバー又は石英ファイバーであり
、その紫外線発生装置８内の端部は結束されているファ
イバー繊維をほぐして紫外線ランプ９からの紫外線がフ
ァイバー１０内に取り込まれる様構成されている。ファ
イバー１０内に取り込まれた紫外線はユースライン２配
管内のファイバー１０から散乱してユースライン２配管
内壁面に到達する。こうして、ユースライン２内に配設
されたファイバー１０から散乱する紫外線によりユース
ライン２内の殺菌を行なう。
このファイバー１０は剛性が弱い為、ユースライン２へ
のファイバー１０取入れ部をアーム１２によりユースラ
イン２断面中心に位置決めすれば、ファイバー１０の他
の部分もユースライン２を流れる２次純水により第５図
に示した様にユースライン２断面のほぼ中心に位置する
こととなる。
のファイバー１０取入れ部をアーム１２によりユースラ
イン２断面中心に位置決めすれば、ファイバー１０の他
の部分もユースライン２を流れる２次純水により第５図
に示した様にユースライン２断面のほぼ中心に位置する
こととなる。
また、第３図に示した様に紫外線発生装置８において紫
外線ランプ９で発生させた紫外線を集光レンズ１１で集
束してファイバー１０端部に供給することもできる。
外線ランプ９で発生させた紫外線を集光レンズ１１で集
束してファイバー１０端部に供給することもできる。
さらに、第４図に示した様にユースライン２中に配設さ
れたファイバー１０を所定間隔毎に枝１０’状にユース
ライン２内壁面に向けて突出させ、紫外線の散乱効果を
高めることも可能である。
れたファイバー１０を所定間隔毎に枝１０’状にユース
ライン２内壁面に向けて突出させ、紫外線の散乱効果を
高めることも可能である。
こうして、２次純水製造装置ではタンク１から供給され
る１次純水は紫外線殺菌装置５で殺菌され、ユースライ
ン２の他の部分ではユースライン２内部に配設されたフ
ァイバーにより２５１７ｎｍの紫外線にてユースライン
２内の殺菌及び内壁面の菌の増殖を防止する。
る１次純水は紫外線殺菌装置５で殺菌され、ユースライ
ン２の他の部分ではユースライン２内部に配設されたフ
ァイバーにより２５１７ｎｍの紫外線にてユースライン
２内の殺菌及び内壁面の菌の増殖を防止する。
この実施例では、超純水製造装置に適用した場合につい
て記載したがパイロジエンフリー水製造装置に関しても
同様に用いることができる。
て記載したがパイロジエンフリー水製造装置に関しても
同様に用いることができる。
発明の効果
本発明による超純水ラインの殺菌装置実施例は以上の通
りであり、次に述べる効果を挙げることが出来る。
りであり、次に述べる効果を挙げることが出来る。
超純水製造装置を構成する他の機器には影響を与えるこ
となく菌の増殖を適切に抑制して超純水の水質を向上し
、ユースラインの殺菌・洗滌回数を減らすことができる
。
となく菌の増殖を適切に抑制して超純水の水質を向上し
、ユースラインの殺菌・洗滌回数を減らすことができる
。
第１図は本発明の実施例を示す全体図、第２図は第１図
の部分拡大詳細図、第３図及び第４図は他の実施例の部
分拡大詳細図、第５図はユースライン断面図である。 １−ｅタンク、２・・ユースライン、３°０ユースポイ
ント、４・・サークルポンプ、５・・紫外線殺菌装置、
６・・カーリッジボンベ、７・・限外濾過器、８・・紫
外線発生装置・９・・紫外線、１０・・ファイバー、１
０・・枝、１１・・集光レンズ、１２−・アーム。
の部分拡大詳細図、第３図及び第４図は他の実施例の部
分拡大詳細図、第５図はユースライン断面図である。 １−ｅタンク、２・・ユースライン、３°０ユースポイ
ント、４・・サークルポンプ、５・・紫外線殺菌装置、
６・・カーリッジボンベ、７・・限外濾過器、８・・紫
外線発生装置・９・・紫外線、１０・・ファイバー、１
０・・枝、１１・・集光レンズ、１２−・アーム。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 超純水製造装置のユースラインの所定区間毎に設置され
た紫外線発生装置と、 当該紫外線発生装置から紫外線の供給を受けると共に、
前記ユースライン内の前記所定間隔毎に延在して当該区
間に紫外線を散乱するファイバーとを備えた超純水ライ
ンの殺菌装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23149484A JPS61111189A (ja) | 1984-11-02 | 1984-11-02 | 超純水ラインの殺菌装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23149484A JPS61111189A (ja) | 1984-11-02 | 1984-11-02 | 超純水ラインの殺菌装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61111189A true JPS61111189A (ja) | 1986-05-29 |
Family
ID=16924366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23149484A Pending JPS61111189A (ja) | 1984-11-02 | 1984-11-02 | 超純水ラインの殺菌装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61111189A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63302940A (ja) * | 1987-06-02 | 1988-12-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 流体殺菌方法および装置 |
| WO1999027970A3 (en) * | 1997-12-01 | 1999-07-22 | Zamir Tribelski | Method and devices for disinfecting liquid and gases |
| JP2006274572A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Inax Corp | ベル型トラップ |
| WO2017221733A1 (ja) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 紫外線殺菌装置、紫外線殺菌方法及び超純水製造システム |
-
1984
- 1984-11-02 JP JP23149484A patent/JPS61111189A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63302940A (ja) * | 1987-06-02 | 1988-12-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 流体殺菌方法および装置 |
| WO1999027970A3 (en) * | 1997-12-01 | 1999-07-22 | Zamir Tribelski | Method and devices for disinfecting liquid and gases |
| JP2006274572A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Inax Corp | ベル型トラップ |
| WO2017221733A1 (ja) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 紫外線殺菌装置、紫外線殺菌方法及び超純水製造システム |
| JP2017225925A (ja) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 紫外線殺菌装置、紫外線殺菌方法及び超純水製造システム |
| CN109415228A (zh) * | 2016-06-22 | 2019-03-01 | 野村微科学股份有限公司 | 紫外线杀菌装置、紫外线杀菌方法及超纯水制造系统 |
| CN109415228B (zh) * | 2016-06-22 | 2022-03-01 | 野村微科学股份有限公司 | 紫外线杀菌装置、紫外线杀菌方法及超纯水制造系统 |
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