JPS61108903A - 液体膜の厚み分布測定装置 - Google Patents
液体膜の厚み分布測定装置Info
- Publication number
- JPS61108903A JPS61108903A JP23098884A JP23098884A JPS61108903A JP S61108903 A JPS61108903 A JP S61108903A JP 23098884 A JP23098884 A JP 23098884A JP 23098884 A JP23098884 A JP 23098884A JP S61108903 A JPS61108903 A JP S61108903A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid film
- projector
- image sensor
- sensor
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は厚みが／−以下の薄い液体膜の厚み分布を測定
する装置に関する。更に詳細には、例えば薄膜状の塗布
液を走行する帯状の支持体に衝突せしめて塗布する場合
の液体膜の厚み分布を測定する装置に関する。
する装置に関する。更に詳細には、例えば薄膜状の塗布
液を走行する帯状の支持体に衝突せしめて塗布する場合
の液体膜の厚み分布を測定する装置に関する。
薄膜状の塗布液を走行する帯状の支持体に衝突せしめて
塗布する方法のうち、代表的なものはカーテン塗布方法
である。
塗布する方法のうち、代表的なものはカーテン塗布方法
である。
カーテン塗布方法は一種又は二種以上の塗布液よシ成る
自由落下カーテンを形成し、これを塗布すべき物体とを
衝突せしめて、物体上に塗膜を設ける方法であシ、古く
から家具、鉄板等の塗布に使用されて来たが、塗布品質
の向上の要請から次第に高精度の塗布が要求されるよう
になシ、近年に至夛特公昭ダター、２ダ／３３号、同４
ｔ？−３ｊ４ｔ４ｔ７号公報に開示される如くカーテン
塗布方法を写真感光材料の製造のようにとくに精密さを
要求される分野に適用する試みもみられるに至っている
。
自由落下カーテンを形成し、これを塗布すべき物体とを
衝突せしめて、物体上に塗膜を設ける方法であシ、古く
から家具、鉄板等の塗布に使用されて来たが、塗布品質
の向上の要請から次第に高精度の塗布が要求されるよう
になシ、近年に至夛特公昭ダター、２ダ／３３号、同４
ｔ？−３ｊ４ｔ４ｔ７号公報に開示される如くカーテン
塗布方法を写真感光材料の製造のようにとくに精密さを
要求される分野に適用する試みもみられるに至っている
。
この特公昭４ｔデー、２４ｔ／ｊ、２号、同タター３ｔ
４ｔ４ｔ２号公報に開示されている方法は、スライド型
或いはエクストルージョン型注液器よシ一種又は二種以
上の塗布液をコ本の支持部材（以下、「エツジガイド」
という。）の間に供給して薄膜状の自由落下カーテンを
形成し、連続走行しているウェブに塗布するというもの
である。ここに、２本のエツジガイドの間に塗布液を供
給しているのは、塗布幅を規制すると共にカーテン膜を
安定化するためである。
４ｔ４ｔ２号公報に開示されている方法は、スライド型
或いはエクストルージョン型注液器よシ一種又は二種以
上の塗布液をコ本の支持部材（以下、「エツジガイド」
という。）の間に供給して薄膜状の自由落下カーテンを
形成し、連続走行しているウェブに塗布するというもの
である。ここに、２本のエツジガイドの間に塗布液を供
給しているのは、塗布幅を規制すると共にカーテン膜を
安定化するためである。
このような分野において、液体膜の厚み分布を測定する
装置は実用例に乏しく、塗布後にウェブ上の塗膜を乾燥
してから表面検査するのが一般であった（例えば特開昭
１４”−１；／ぶ！／号公報）０〔発明が解決しようと
する問題点〕 例えばカーテン塗布方法において、前述のエツジガイド
近傍では液体膜の厚みの変化が大きいことが知られてい
る。このような液体膜の安定性を評価する上では、変化
する液体膜の厚み分布を知ることか前提となる。
装置は実用例に乏しく、塗布後にウェブ上の塗膜を乾燥
してから表面検査するのが一般であった（例えば特開昭
１４”−１；／ぶ！／号公報）０〔発明が解決しようと
する問題点〕 例えばカーテン塗布方法において、前述のエツジガイド
近傍では液体膜の厚みの変化が大きいことが知られてい
る。このような液体膜の安定性を評価する上では、変化
する液体膜の厚み分布を知ることか前提となる。
本発明は高精度、高分解能かつ操作の簡単な液体膜の厚
み分布測定装置を提供することを目的とする。
み分布測定装置を提供することを目的とする。
前記した目的を達成するために、本発明は液体膜をはさ
んで配置した投光器とラインイメージセンサ−とを、同
一の移動台により液体膜の平面に平行に移動し、液体膜
の任意の位置においてイメージセンサ−の出力を検出し
、ＣＰＵにて、あらかじめ記憶したイメージセンサ−出
力と液体膜厚の関係から、任意の位置での液体膜の厚み
に換算するようにしたことを特徴とするものである。
んで配置した投光器とラインイメージセンサ−とを、同
一の移動台により液体膜の平面に平行に移動し、液体膜
の任意の位置においてイメージセンサ−の出力を検出し
、ＣＰＵにて、あらかじめ記憶したイメージセンサ−出
力と液体膜厚の関係から、任意の位置での液体膜の厚み
に換算するようにしたことを特徴とするものである。
以下、添付した図面に基き本発明の構成を更に詳細に説
明する。
明する。
第１図・第一図においてエツジガイド！・ｔ′忙よシ保
持された液体膜／をはさんでイメージセンサーコと投光
器３が移動台弘の上に設置されている。
持された液体膜／をはさんでイメージセンサーコと投光
器３が移動台弘の上に設置されている。
移動台ダは減速機付きパルスモータ乙で駆動される送シ
ネジ軸ｔの回転によシ水平方向に移動する。送シネジ軸
ｒ自体も送夛ネジ軸／／、／コの回転により上下動する
。
ネジ軸ｔの回転によシ水平方向に移動する。送シネジ軸
ｒ自体も送夛ネジ軸／／、／コの回転により上下動する
。
イメージセンサ−λ、投光器３は移動台グとともに、た
とえば液体膜の左端から右方向に移動を開始しながら、
投光器３から照射された光が、着色された液体膜／の厚
みに応じて吸収され、イメージセンサ−ＪＫより電気信
号に変換される。この時制御／演算部（ｃＰＵ）りは送
シネジ軸／Ｉｃ取付けたロータリエンコーダ７の信号か
らイメージセンサλと投光器３の位置を計測しており、
あらかじめ指定した測定位置にイメージセンサー−と投
光器３が達するとイメージセンサーコの信号を位置とと
もにメモリー内に記憶する〇イメージセンテーコは７辺
が／り〔μ〕の正方形をしたＣＣＤを／次元に７０２ｒ
個配列したものを用いているが、液体膜の厚みを求める
ために中央の！θ個から一００個程度までのＣＣＤの信
号を取込みこれを算術平均して信号としている。
とえば液体膜の左端から右方向に移動を開始しながら、
投光器３から照射された光が、着色された液体膜／の厚
みに応じて吸収され、イメージセンサ−ＪＫより電気信
号に変換される。この時制御／演算部（ｃＰＵ）りは送
シネジ軸／Ｉｃ取付けたロータリエンコーダ７の信号か
らイメージセンサλと投光器３の位置を計測しており、
あらかじめ指定した測定位置にイメージセンサー−と投
光器３が達するとイメージセンサーコの信号を位置とと
もにメモリー内に記憶する〇イメージセンテーコは７辺
が／り〔μ〕の正方形をしたＣＣＤを／次元に７０２ｒ
個配列したものを用いているが、液体膜の厚みを求める
ために中央の！θ個から一００個程度までのＣＣＤの信
号を取込みこれを算術平均して信号としている。
イメージセンサ−λと投光器３がたとえば液体膜／の左
端から右端まで移動すると制御／演算部りは水平方向の
あらかじめ指定した測定位置と、その位置でのイメージ
センサ−２の信号から換算した液体膜厚みのデータとグ
ラフをＸ−Ｙプロッターｌ０ＶＣ出力する。次に送シネ
ジ軸／／、／、２を回転させて、イメージセンサーコと
投光器３の上下方向の位置を変更して前記の動作を繰シ
返す〇前記の操作を行ない、イメージセンサーコと投光
器３とを一次元方向に移動することにょシ、液体膜の厚
みを任意の位置で計測できる。
端から右端まで移動すると制御／演算部りは水平方向の
あらかじめ指定した測定位置と、その位置でのイメージ
センサ−２の信号から換算した液体膜厚みのデータとグ
ラフをＸ−Ｙプロッターｌ０ＶＣ出力する。次に送シネ
ジ軸／／、／、２を回転させて、イメージセンサーコと
投光器３の上下方向の位置を変更して前記の動作を繰シ
返す〇前記の操作を行ない、イメージセンサーコと投光
器３とを一次元方向に移動することにょシ、液体膜の厚
みを任意の位置で計測できる。
第１図・第３図において／３は液体を押出す注液器であ
る。
る。
第３図は本発明装置を適用するカーテン塗布装置の概様
を示す測面図であシ、注液器／３よシ押出され、エツジ
ガイドオー１フ間に形成された液体膜（第１図）が７Ｒ
スローラ／４ｔ１バツクアツプローラ／ｊに沿って矢印
の方向に走行する帯状の支持体／４にバックアップロー
ラｌｊ上で衝突して塗膜／７を形成する様子を示してい
る。
を示す測面図であシ、注液器／３よシ押出され、エツジ
ガイドオー１フ間に形成された液体膜（第１図）が７Ｒ
スローラ／４ｔ１バツクアツプローラ／ｊに沿って矢印
の方向に走行する帯状の支持体／４にバックアップロー
ラｌｊ上で衝突して塗膜／７を形成する様子を示してい
る。
＠！′よおつぇ本。１置。□１１ゎｊ、ゆヮあエ
゛記のステップとなる。
゛記のステップとなる。
〔１〕 データ手入カニ日付、測定位置、イメージセ
ンサ−の出力とＭ厚の変換係数を入力、スタートスイッ
チがＯＮされると前記データを制御／演算部りに読込む
〇 〔リ その後）２ススモータ≦を駆動してイメージセン
サーコと投光器３を一定速度で水平方向に移動させる。
ンサ−の出力とＭ厚の変換係数を入力、スタートスイッ
チがＯＮされると前記データを制御／演算部りに読込む
〇 〔リ その後）２ススモータ≦を駆動してイメージセン
サーコと投光器３を一定速度で水平方向に移動させる。
〔廁 エツジガイド！を通過波、あらかじめ入力した測
定位置にイメージセンサ＝と投光器３が到達すると同時
に、イメージ七ン９．２の信号を制御／演算部りに取込
む。
定位置にイメージセンサ＝と投光器３が到達すると同時
に、イメージ七ン９．２の信号を制御／演算部りに取込
む。
〔４〕 前記動作〔３〕を繰シ返した後、イメージセ
ンサーコと投光器３がもう一方のエツジガイド！を通過
した後、水平方向の移動を停止し制御／演算部？にて、
各測定位置でのイメージセンサコの信号を膜厚に変換し
、Ｘ−Ｙゾロツタ−／θに出力する。
ンサーコと投光器３がもう一方のエツジガイド！を通過
した後、水平方向の移動を停止し制御／演算部？にて、
各測定位置でのイメージセンサコの信号を膜厚に変換し
、Ｘ−Ｙゾロツタ−／θに出力する。
〔リ さらに、測定を継続する場合は、イメージセンサ
コと投光器３を上下方向に移動させた後、前記の〔幻か
ら〔４〕の動作を繰シ返す。
コと投光器３を上下方向に移動させた後、前記の〔幻か
ら〔４〕の動作を繰シ返す。
本発明の作用・効果を一層明確にする為、以下に実施例
データを紹介する。
データを紹介する。
第７図〜第３図に示した本発明装置を用い、注液器／３
よ＃）ＡＢＳ型界面活性剤をグＸ ／ ０−３［：ｍｏ
ｌ／ｌ］と青色の染料とを含む濃度ダ重量％のゼラチン
液を流下せしめて、幅弘θ霞の液体膜／を形成した。本
発明装置を第ｙ図に示したフローチャートに沿って動作
させ第！図に示す如き液体膜の水平方向厚み分布を得た
。
よ＃）ＡＢＳ型界面活性剤をグＸ ／ ０−３［：ｍｏ
ｌ／ｌ］と青色の染料とを含む濃度ダ重量％のゼラチン
液を流下せしめて、幅弘θ霞の液体膜／を形成した。本
発明装置を第ｙ図に示したフローチャートに沿って動作
させ第！図に示す如き液体膜の水平方向厚み分布を得た
。
第！図を参照すると、本発明によれば／鵡の分解能で、
ミクロン単位の精度で液体膜の厚み分布が測定可能とな
ったことが判明した。
ミクロン単位の精度で液体膜の厚み分布が測定可能とな
ったことが判明した。
本発明は実施例に限定されることなく広範囲な応用が可
能である。すなわち液体膜はカーテン液膜に限定される
ものではない。又、本発明装置による測定はオンライン
測定に限定されず、オフライン測定も当然可能である。
能である。すなわち液体膜はカーテン液膜に限定される
ものではない。又、本発明装置による測定はオンライン
測定に限定されず、オフライン測定も当然可能である。
第１図は本発明忙係る装置の概略正面図である。
第一図は測定装置要部の平面図、第３図はカーテン塗布
装置の側面図である。ｓ４を図は測定手順を示すフロー
チーヤードである。そして第５図は実施例データを示す
図である。 ／・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・液体膜−・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・ ラインイメージセンサ−３・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・投
光器グ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・移動台！・！′・・・・・・・・・・・・・
・・・・・エツジカイドロ・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・パルスモータ−７・・・
・・・・・・・・・川・・・・・・・・・・・・ ロー
タリーエンコーダー／、／／、／−２・・・・・・・・
・送りネジ軸り・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・制御／演算部１０・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ Ｘ−Ｙプロ
ッター／３・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・注液器特許出願人 富士与具フ１ルム株
式会社第２図 第４図 第５図
装置の側面図である。ｓ４を図は測定手順を示すフロー
チーヤードである。そして第５図は実施例データを示す
図である。 ／・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・液体膜−・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・ ラインイメージセンサ−３・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・投
光器グ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・移動台！・！′・・・・・・・・・・・・・
・・・・・エツジカイドロ・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・パルスモータ−７・・・
・・・・・・・・・川・・・・・・・・・・・・ ロー
タリーエンコーダー／、／／、／−２・・・・・・・・
・送りネジ軸り・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・制御／演算部１０・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ Ｘ−Ｙプロ
ッター／３・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・注液器特許出願人 富士与具フ１ルム株
式会社第２図 第４図 第５図
Claims (1)
- （１）光学的に透過光量により液体膜の厚み分布を測定
する装置であつて、 （ａ）該液体膜と平行に配置された複数の受光素子を有
するラインイメージセンサと （ｂ）該ラインイメージセンサと該液体膜をはさんで相
対向して移動可能に配置された投光器と、 （ｃ）該ラインイメージセンサと該投光器とを同時に該
液体膜に平行に２次元移動する移動機構と、 （ｄ）該ラインイメージセンサからの時系列アナログ信
号を入力して、該ラインイメージセンサの位置に対応し
た該液体膜の厚みを算出する演算手段と からなることを特徴とする液体膜の厚み分布測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23098884A JPS61108903A (ja) | 1984-11-01 | 1984-11-01 | 液体膜の厚み分布測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23098884A JPS61108903A (ja) | 1984-11-01 | 1984-11-01 | 液体膜の厚み分布測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61108903A true JPS61108903A (ja) | 1986-05-27 |
Family
ID=16916471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23098884A Pending JPS61108903A (ja) | 1984-11-01 | 1984-11-01 | 液体膜の厚み分布測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61108903A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6347604A (ja) * | 1986-08-12 | 1988-02-29 | メタルソフト・インコ−ポレ−テッド | ワ−クピ−スを自動的に検査するためのシステム |
| JPS63159703A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-02 | Nec Corp | レジスト膜厚検査装置 |
| JPH01245106A (ja) * | 1988-03-28 | 1989-09-29 | Kanzaki Paper Mfg Co Ltd | 剥離シート付き貼付紙の検査装置 |
| JPH04348207A (ja) * | 1991-05-27 | 1992-12-03 | Fujitsu Ltd | 厚み測定方法 |
| JPH05312551A (ja) * | 1992-05-11 | 1993-11-22 | Nippon Paper Ind Co Ltd | 混入夾雑物の測定方法 |
| JP2012166165A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Kao Corp | 吸収性物品の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5238247A (en) * | 1975-09-22 | 1977-03-24 | Hitachi Ltd | Position detecting system for thickness meter |
-
1984
- 1984-11-01 JP JP23098884A patent/JPS61108903A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5238247A (en) * | 1975-09-22 | 1977-03-24 | Hitachi Ltd | Position detecting system for thickness meter |
Cited By (7)
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| JPS6347604A (ja) * | 1986-08-12 | 1988-02-29 | メタルソフト・インコ−ポレ−テッド | ワ−クピ−スを自動的に検査するためのシステム |
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| JPH04348207A (ja) * | 1991-05-27 | 1992-12-03 | Fujitsu Ltd | 厚み測定方法 |
| JP2969145B2 (ja) * | 1991-05-27 | 1999-11-02 | 富士通株式会社 | 厚み測定方法 |
| JPH05312551A (ja) * | 1992-05-11 | 1993-11-22 | Nippon Paper Ind Co Ltd | 混入夾雑物の測定方法 |
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