JPS61106075A - 積層形圧電セラミツクを駆動源としたアクチユエ−タ及び該アクチユエ−タを利用したステツピングモ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、積層形圧電セラミックを駆動源としたアクチ
ュエータ及びそのアクチュエータを利用したステッピン
グモータに関する。

発明が解決しようとする問題点 近年、各種作動装置を駆動するのに使用するアクチュエ
ータとして、応答速度が速くかつ精度が良いことから、
従来のモータあるいは油圧、空気圧機器を駆動源とした
ものに代って、電圧の印加により厚さの変化する圧電セ
ラミックを多数枚積層した積層形圧電セラミックを駆動
源としたアクチュエータが注目されその開発が進められ
ており、その一つとして、基体と、この基体に往復動可
能に設けられた作動体とを備え、積層形圧電セラミック
を基体と作動体の間にその作動体の往復動力向に対して
傾いた姿勢で配設し、積層形圧電セラミックを伸縮させ
ることによりその変位を増幅して作動体に伝達して作動
体を往復動させるようにしたアクチュエータが提案され
たが、積層形圧電セラミックを斜め姿勢で配設してその
両端を基体と作動体に回転自由に支持する必要があり、
また、積層形圧電セラミックが圧縮荷重を受けたときに
座屈しないように、積層形圧電セラミックを筒体内に収
納してなおかつこれを基体内に収納する必要があるため
、構造が複雑である上に装置が大型化し、また、積層形
圧電セラミックが作動体に直接当てられているため、作
動体に衝撃力が加わったときにその力が直に圧電セラミ
ックに伝わり、圧電セラミックが損傷し易い不具合があ
った。

本発明は叙上の点に鑑み完成されたものであって、小嵩
にまとまりかつ耐久性に優れた積層形圧電セラミックを
駆動源としたアクチュエータを提供し、また、そのアク
チュエータを利用することにより、小嵩にまとまったス
テッピングモータを提供することを目的とする。

実施例 まず、本発明の積層形圧電セラミックを駆動源としたア
クチュエータの第１実施例を第１図乃至第４図に基づい
て説明する。

１は基体であって、長さ方向の両端部に突部２ａ、ｚｂ
を突成した底板２の両側に、一対の側板３．３をねじ４
で固定した構造になり、この基体１の底板２上に、上面
に長さ方向に沿って溝６ａを形成した下部絶縁体６が嵌
着され、その上面に上部絶縁体７が重ねられて一方の側
板３にねじ８で固定され、これらの下部絶縁体６と上部
絶縁体７の間に細長い収納室９が形成されており、この
収納室９内に細長い積層形圧電セラミック１０が収納さ
れている。

この積層形圧電セラミック１０は、近時、日本電気株式
会社により開発された圧電セラミック結合体を使用した
ものであって、この圧電セラミック結合体１１は、第３
図に示すように、マグネシウム・ニオブ酸鉛とチタン酸
鉛の二成分固溶体セラミ・ンク（（１−Ｘン”　（Ｍ！
　’ｈ　”１０２／３）　ＱＪ　−Ｐｂ　Ｔし０３１の
うちのＸが０．３５近くのものからなるセラミック板１
２と内部電極板１３とを交互に積層一体化して焼結した
素子を所望の形状、大きさに切断し、全周面に露出した
内部電極板１３を上下両側面において一層おきに絶縁材
１４で電気的に絶縁するとともに、上下両側面に外部電
極板１５及び１６を貼着して、内部電極板１３を一層お
きに外部電極板１５及び１６に電気的に接続した構造に
なり、正または負の電圧を印加することによって各セラ
ミック板１２が厚さを増大しまたは減少して、圧電セラ
ミック結合体１１がセラミック板１２の積層方向に伸長
しまたは収縮し、電圧を繰り返し印加しても全く劣化す
ることがなく、シかも、応答速度が極めて速いという特
徴を有しており、この圧電セラミック結合体１１を多数
個重ね合わせ、個々の圧電セラミック結合体１１の外部
電極板１５及び１６のうちの同一極性同士の電極板を電
線１８で接続することによって前記した積層形圧電セラ
ミック１０が構成されており、収納室９の一端側に連成
されたねじ穴２０に、先端に絶縁性を有する突当部材２
２を回着した調節ねじ２１が螺合され、この突当部材２
２に積層形圧電セラミック１ｏの一端が当接されている
とともに、外部電極板１５及び１６に接続されたリード
線２４．２５が挿通孔２６を通して外部へ導がれている
。

前記した底板２の一方の突部２ａの内面には円弧形断面
をなす四部２８が形成され、それに対応する側の上部絶
縁体７の端部には、先端部が小径の円弧形断面をなす案
内体２９が固着されていて、突部２ａと案内体２９の間
に、前記した収納室９から突部２ａの上部に達するＵ字
形の通路３ｏが形成されており、この通路３ｏ内に、鋼
製のローラ３１が複数本互いに連なった状態で緊密に収
納されており、その最下方のローラ３１が、絶縁性を有
する押圧部材３２を介して、積層形圧電セラミック１０
の他端に当接されている。

前記した上部絶縁体７の上方には、細長い鋼板を打抜成
形により長さ方向の中央部を頂点とする傾斜角の緩やか
な山形に形成し、かつ、両端部に鋼製のローラ３６．３
７を溶接により固着した弾性板３５が、積層形圧電セラ
ミック１０と平行に並列して配置され、両ローラ３６．
３７のうちの積層形圧電セラミック１０の調節ねじ２１
側の端部と同じ側の端部のローラ３６が、突部２ｂの内
面の上部に形成した円形孔３８内に軸線周りの回転のみ
を自由に嵌合され、反対側のローラ３７が、前記した通
路３０内に嵌入されて一連のローラ３１の最上方のロー
ラ３１に当接されており、この弾性板３５の頂点には作
動体４０が取り付けられ、その両側に屈曲を容易にする
ための切欠き４１及び透孔４２が形成されており、また
、上部絶縁飯７の上面に、作動体４ｏの下方への移動を
規制するストッパ４４が取り付けられている。

次に、本実施例のアクチュエータの作用について説明す
る。

積層形圧電セラミック１ｏに正の電圧を印加することに
より積層形圧電セラミックｌｏが伸長すると、押圧部材
３２を介して一連のローラ３１の最下方のローラ３１が
押圧され、一連のローラ３１が通路３ｏに沿って移動し
て、最上方のローラ３１が、積層形圧電セラミック１ｏ
と同じ変位量で、かつ、向きを略１８０度変えて押し出
され、これによって弾性板３５の一方のローラ３７に略
水平方向の押圧力が加えられ、弾性板３５がさらに屈曲
してその頂点が水平方向の位置をゎずかに固定のローラ
３６側へ移動しっ＼上方へ移動する。

こ＼に、弾性板３５の作動側のローラ３７に伝達される
変位量はごく小さいものであるけれども、弾性板３５が
頂点の移動方向に対して斜め姿勢を取っており、かつ、
頂点の水平方向の移動がある程度規制されていることか
ら、頂点は作動側のローラ３７の変位量よりも増幅され
た変位量で移動するのであり、これを第４図に基づいて
説明するに、弾性板３５が押圧される前に角度θだけ傾
いてｘｌｙＩ間にあり、弾性板３５の作動端が押されて
Ｘ２Ｙ２間に位置するとし、弾性板３５の作動端の変位
量を△ｘ１弾性板３５の頂点の変位量を△ｙ１また、変
位量ΔＸと弾性板３５の作動端から頂点までの長さの比
をＥとして、△Ｘと△ｙの比を求めると、 ムス　　　　　　　　　Ｅ の関係式が得られ、こ−で、Ｅ　＝　４　Ｘ　／Ｖｊ　
　θ＝３°とした場合に、△ｙ／ΔＸ＝１８．５となり
、頂点の変位量△ｙは作動端の変位量△Ｘの１８．５倍
となる。

従って、弾性板３５の頂点に取り付けられた作動体４０
が、積層形圧電セラミック１０の変位量よりも増幅され
た変位量で第１図の鎖線位置に前進する。

次に、積層形圧電セラミック１０に負の電圧を印加する
ことにより積層形圧電セラミック１０が収縮すると、弾
性板３５が、その復元弾性力により、一方のローラ３７
が一連のローラ３１を押圧して最下方のローラ３１が押
圧部材３２を介して収縮した積層形圧電セラミック１０
の他端に当接する状態に復帰し、作動体４０が第１図の
実線位置に後退する。

従って、積層形圧電セラミック１０に高周波の交流電圧
を印加することによって、作動体４０を第１図の鎖線位
置と実線位置の間で高速度で往復駆動させることができ
る。

また、作動体４０が弾性板３５に取り付けられているた
め、作動体４０に衝撃力が加わったときにこれが弾性板
３５で吸収され、衝撃力が積層形圧電セラミック１０に
伝達されるおそれがなし＼。

また、調節ねじ２１のねじ込み量を変えることによって
、弾性板３５の傾斜角度を変えることができ、これによ
って積層形圧電セラミック１０の変位量の増幅度が変え
られ、作動体４０の変位量を調節することが可能である
。

なお、上記実施例では、積層形圧電セラミックｌＯの変
位量を弾性板３５に伝達する介挿体として鋼製のローラ
３１を複数個連ねたものを用いたが、鋼製のボールを複
数個連ねたもの、あるいは、液体等の軸線方向の伸縮が
不能で可撓性を有する他の介挿体であっても良い。

また、上記実施例では、弾性板３５を水平面と略平行に
装置したのであるが、弾性板３５を水平面に対して直角
姿勢をなすように起こして使用することも可能であって
、この場合には、作動体４０を水平面に沿って往復運動
させることができる。

さらに、上記実施例では、弾性板３５を鋼板製としてそ
の両端に鋼製のローラ：１３６．３７を溶接で固定した
のであるが、弾性板３５をＦＲＰ製としてローラ３６．
３７を一体成形するようにしても良い。

第５図（ａ）乃至（ｅ）はアクチュエータの他の実施例
を示し、第５１ｆｆｌ　（ａ）に示す第２実施例のアク
チュエータは、弾性板３５の一端と他端を、通路ａｏ、
ａｏａ内に収納した一連のローラ３１．３１ａを介して
積層形圧電セラミック１０の同方向の一端と他端に当接
したものであり、また、第５図（ｂ）に示す第３実施例
のアクチュエータは、２本の積層形圧電セラミック１０
．１０ａを両側に配設して夫々の中央側の端部を固定し
、弾性板３５の一端と他端を、一連のローラ３１．３１
ａを介して積層形圧電セラミック１０．１０ａの同方向
の端部に当接したものであって、これら第２及び第３実
施例のアクチュエータは、弾性板３５が両側から押され
るため、作動体４ｏを弾性板３５の長さ方向と直角方向
に真直に往復駆動させることができる。

第５図（ｃ）に示す第４実施例のアクチュエータは、前
記第１実施例のアクチュエータを基本形とし、積層形圧
電セラミック１ｏが、一定長の積層形圧電セラミック１
０ｂを互いに間隔をおいて複数段並列して装置し、一の
積層形圧電セラミックｔａｂと次段の積層形圧電セラミ
ック１０ｂの同方向の端部を、通路３０ｂに収納した一
連のローラ３１ｂの一端と他端に当接し、各積層形圧電
セラミック１０ｂを一連につないだものがらなり、また
、第５図（ｄ）に示す第５実施例のアクチュエータは、
前記第５図（ａ）の第２実施例を基本形とし、積層形圧
電セラミック１０を、一本の積層形圧電セラミック１０
Ｇの両端に、この積層形圧電セラミック１０ｃよりも短
尺の積層形圧電セラミック１０ｄを複数段並列してロー
ラ３１ｂを介して一連につないだものをさらにつないだ
形状としたものであり、また、第５図（ｅ）に示す第６
実施例のアクチュエータは、前記第５図（ｂ）の第３実
施例を基本形とし、積層形圧電セラミック１０及び１０
ａを、夫々複数段並列して装置した積層形圧電セラミッ
ク１０ｂ、１０ｂをローラ３１ｂを介して一連につない
だ形状としたものであって、これら第４乃至第６実施例
は、積層形圧電セラミック１０または１０ａの全長を長
くとったことによってその変位量を大きくとることがで
き、作動体４０をより大きな変位量で駆動することが可
能となる。

次に、前記実施例で示したアクチュエータＡを利用した
ステッピングモータの第１実ｍ例を第６図に基づいて説
明する。

５１は中心孔５２を有し、がっ、外周面の全長にわたっ
て６０度の間隔で６個の膨出部５３を放射状に突設した
断面星形の筒状のボディであって、一対の脚５５．５５
に水平姿勢で取り付けられており、ボデ・ｒ５１の中心
孔５２内には筒形のロータ５６が同心に嵌装されて水平
軸周りの回転自由に支持されており、このロータ５６の
外周面には、二等辺三角形をした多数の外周歯５７が一
定のピッチで連続して形成されている。

ボディ５１の各膨出部５３の内周面には、夫々ロータ５
６の中心を向いた案内溝５９が全長にゎたって穿設され
、各案内溝５９内には、ロータ５６との対応面に前記外
周歯５７と同一ピッチになる複数個ずつの送り歯６１を
形成した押圧体６０が、滑り板６２を介してロータ５６
の中心方向の進退自由に嵌装されており、これらの送り
歯６１の外周歯５７に対する位置関係は、外周歯５７と
整合する互いに向き合った２個の送り歯６１を基準とし
て、その間の２個ずつの送り歯６１が、外周歯５７に対
する位相のずれを１／３ピツチずつ反時計方向に順次に
増加させるようになっており、互いに向き合う位置Ｉと
■の送り歯６１ａが外周歯５７と整合していると、互い
に向き合う位置■とＶの送り歯６１ｂは１／３ピツチ、
互いに向き合う位置■と■の送り歯６１Ｃは２／３ピッ
チ夫々外周歯５７と位相がずれている。

各押圧体６０の下面には、前記した積層形圧電セラミッ
クを駆動源としたアクチュエータＡがボディｌの軸線方
向に沿って装置されてボディ５１に固定され、作動体４
０が押圧体６０の下面に対応されており、その作動体４
０の前進により押圧体６０を押し上げて、押圧体６０を
その送り歯６１がロータ５６の外周歯５７とかみ合う位
置まで前進させるようになっており、また、各押圧体６
０の長さ方向の両端に内接するようにして、図示しない
押圧体６０の復帰用の弾性リングが嵌合されている。

本実施例のステッピングモータは上記した構造になり、
互いに向き合う位置Ｉ及び■の押圧体６０が前進して、
送り歯６１Ｂが外周歯５７とかみ合っている状態におい
て、送り歯６１ｂが外周歯５７に対して１／３ピツチ位
相がずれている隣りの位置■及びＶのアクチュエータＡ
に正の電圧を印加するとともに、位置１及び■のアクチ
ュエータＡに負の電圧を印加すると、位置出及びＶの押
圧体６０が前進するとともに、位置Ｉ及び■の押圧体６
０が弾性リングの弾力で後退し、上記したように、位置
■及びＶの送り歯６ｉｂは、外周歯５７に対して１／３
ピツチ位相がずれていて、送り歯６１ｂの歯先が外周歯
５７の時計方向の前側の斜面に対応していることから、
送り歯６１ｂの前進行程で、その歯先が外周歯５７の斜
面を押して、ロータ６を反時計方向に１／８ピツチ回転
させ、この状態では、その隣りの位置■及び■の送り歯
６１ｃが外周歯５７に対して１．／ｌピッチ位相がずれ
ているから、４絖いて、位置■及び■のアクチュエータ
Ａに正の電圧を印加して送り歯６１Ｃを前進させ、位置
■及び■のアクチュエータＡに負の電圧を印加して送り
歯６１ｂを後退させることによって、ロータ５６が再び
１／３ピツチ同方向に回転する。

このように、互いに向き合う位置Ｉと■、位置■とＶ及
び位置■と■のアクチュエータＡに対して正の電圧の印
加と負の電圧の印加とを一定のサイクルで繰り返すこと
によって、ロータ５６を反時計方向に１／３ピツチずつ
間欠回転させることができ、所定の一対の送り歯６１が
外周歯５７とかみ合ったところで、そのアクチュエータ
Ａを正の電圧が印加された状態に保持すれば、ロータ５
６を任意の回転角度で停止させることができる。

また、アクチュエータＡは高速応答性に優れているから
、順次に位相のずれた高周波の交流電圧を印加すること
によって、ロータ５６を円滑に連続回転させることがで
きる。

また、押圧体６０が前進して送り歯６１の歯先が外周歯
５７の斜面に衝き当ったときに、アクチュエータＡの作
動体４０に衝撃力が加わるのであるが、この衝撃力は弾
性板３５で吸収されて積層形圧電セラミック１０に伝達
されることがなく、積層形圧電セラミック１０の損傷に
よるアクチュエータＡの故障が防止でき、ステッピング
モータの耐久性が向上する。

第７図は、積層形圧電セラミックを駆動源としたアクチ
ュエータＡを利用したステッピングモータの第２実施例
を示し、このステッピングモータは、ボディ７１が断面
略正三角形の幅の狭い筒形をなし、その中心孔７２内に
、前記第１実施例と同様に、外周面に外周歯７４を連続
して形成したロータ７３が水平軸周りの回転自由に支持
され、ボディ７１の内周面における三角形の各辺の中央
に対応する位置に、ロータ７３の中心を向いた８個の案
内溝７５が１２０度間隔で形成され、各案内溝７５内に
、外周歯７４に対する位相のずれが反時計方向に１／３
ピツチずつ順次に増加する送り歯７８をロータ７３との
対応面に形成した押圧体７７が、ロータ７３の中心方向
の進退自由に嵌装され、各押圧体７７の下面忙、前記し
たアクチュエータＡが三角形の各辺に沿った姿勢で装置
されてボディ７１に固定され、作動体４０が押圧体７７
の下面に対応されており、位置１．Ｉｔ及び■のアクチ
ュエータＡに対して正の電圧の印加と負の電圧の印加と
を一定のサイクルで繰り返して、各押圧体７７を反時計
方向に順次に駆動することにより、ロータ７８を反時計
方向に１／３ピツチずつ間欠回転させることができ、ア
クチュエータＡがボディ７１の周方向に沿って装置され
ていることから、第１実施例に比べて、ステッピングモ
ータの軸線方向の寸法を小さく取ることができる。

なお、上記第１及び第２実施例では、外周歯５７及び７
４が二等辺三角形になっていて、両側に斜面に形成され
ているから、押圧体６０及び７７を各実施例とは逆に時
計方向に順次に駆動すると、ロータ５６及び７３を時計
方向に１／３ピツチずつ回転させることができるのであ
るが、ロータ５６及び７３を一方向にのみ回転させれば
良いときには、外周歯５７及び７４を一側にのみ斜面を
有する鋸歯状としても良く、さらに、送り歯６１及び７
８の装置個数は２個以上任意である。

発明の構成及び効果 上記各実施例によって具体的に説明したように、本発明
の積層形圧電セラミックを駆動源としたアクチュエータ
は、基体に、長さ方向の略中央部を頂点とする山形に屈
曲した細長い弾性板と、電圧の印加により厚さの変化す
る圧電セラミックを多数枚積層した細長い積層形圧電セ
ラミックを略平行に並列して装置し、前記弾性板の一端
を、前記基体に設けた略Ｕ字形の通路内に装置した軸線
方向に伸縮不能で可撓性を有する介挿体を介して前記積
層形圧電セラミックの同方向の一端に当接し、前記弾性
板の他端を、前記基体に設けた突当部に当接し、または
、前記積層形圧電セラミックの他端若しくは該積層形圧
電セラミックと略平行で一端を前記基体に設けた他の突
当部に当接した他の積層形圧電セラミックの同方向の他
端に前記基体に前記通路とは別に設けた他の通路内に装
置した他の介挿体を介して当接し、前記積層形圧電セラ
ミック、または、前記積層形圧電セラミックと前記能の
積層形圧電セラミックの伸縮によって生ずる前記弾性板
の前記頂点の該弾性板の長さ方向と略直角方向の往復運
動により該頂点に係合する作動体を駆動する構成とした
ことを要旨とするものであって、作動体を積層形圧電セ
ラミックの長さ方向と直角方向に積層形圧電セラミック
の変位量を増幅した変位量で往復駆動させることができ
、先に提案されたアクチュエータのように、積層形圧電
セラミックを作動体の往復動方向に対して斜めに傾ける
必要がなく、また、積層形圧電セラミックを筒体内に収
納する必要がなくて小嵩にまとめることができるととも
に、従来化じていた積層形圧電セラミックと作動体及び
基体とが擦り合う音が無くなるため、静かに運転するこ
とができ、また、作動体に衝撃力が加わってもそれが弾
性板自身の弾性力で吸収され、衝撃力が積層形圧電セラ
ミックに伝わって損傷するおそれがなくて、アクチュエ
ータの耐久性を高めることができる効果を奏し、また、
本発明の積層形圧電セラミックを駆動源としたアクチュ
エータを利用したステッピングモータは、一側若しくは
両側に斜面を有する多数の歯を外層面に設けたロータを
筒形のボディ内に回転自由に支持し、該ボディの内周面
に、前記歯に係合する係合部を有し、がっ、前記ロータ
の中心方向への進退自由な複数の押圧体を、前記係合部
の前記歯に対する位相を異ならせて装置するとともに、
長さ方向の略中央部を頂点とする山形に屈曲した細長い
弾性板と、電圧の印加により厚さの変化する圧電セラミ
ックを多数枚積層した細長い積層形圧電セラミックとを
略平行に並列して基体に装置し、前記弾性板の一端を、
前記基体に設けた略Ｕ字形の通路内に装置した軸線方向
に伸縮不能で可撓性を有する介挿体を介して前記積層形
圧電セラミックの同方向の一端に当接し、前記弾性板の
他端を、前記基体に設けた突当部に当接し、または、前
記積層形圧電セラミックの他端若しくは該積層形圧電セ
ラミックと略平行で一端を前記基体に設けた他の突当部
に当接した他の積層形圧電セラミックの同方向の他端に
、前記基体に前記通路とは別に設けた他の通路内に装置
した他の介挿体を介して当接し、前記積層形圧電セラミ
ック、または、前記積層形圧電セラミックと前記能の積
層形圧電セラミックの伸縮により前記弾性板の前記頂点
を該弾性板の長さ方向と略直角方向に往復運動させるア
クチュエータを前記各押圧体の外側において前記ボディ
に固定して前記弾性板の前記頂点を前記押圧体の外面に
対応し、前記押圧体を順次に前進及び後退させて、該押
圧体の前進時に前記保合部で前記歯の斜面を押圧するご
とにより前記ロータを一定角度ずつ回転させる構成とし
たことを要旨とするものであって、小嵩のアクチュエー
タを利用したことによって、ステッピングモータ自身を
小嵩にまとめることができる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のアクチュエータの第１実施例の断面図
、第２図はその分解斜視図、第３図は積層形圧電セラミ
ックの部分拡大断面図、第４図は作動体の変位増幅の説
明図、第５図（ａ）乃至（ｅ）はアクチュエータの第２
乃至第６実施例の断面図であり、第６図及び第７図は、
本発明のアクチュエータを利用したステッピングモータ
の第１実施例及び第２実施例の一部切欠正面図である。 Ａ：アクチュエータ　１：基体　１０，１０ａ。 １０ｂ、１０ｃ、ＩＱｄ：積層膨圧ｉ　セフ　ミｙり　
１２：セラミック板　２２：突当部材　３０．３ｏａｓ
　ａｏｂ：通路　３１、ａｔａ、ａ１ｂ二ローラ　３５
：弾性板　３８：嵌合孔４０：作動体　５１．７１：ボ
ディ、５６．７３：ロータ　５７．７４：外周歯　６０
．７７：押圧体　６１．７８：送り歯

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　基体に、長さ方向の略中央部を頂点とする山形に屈
   曲した細長い弾性板と、電圧の印加により厚さの変化す
   る圧電セラミツクを多数枚積層した細長い積層形圧電セ
   ラミツクを略平行に並列して装置し、前記弾性板の一端
   を、前記基体に設けた略Ｕ字形の通路内に装置した軸線
   方向に伸縮不能で可撓性を有する介挿体を介して前記積
   層形圧電セラミツクの同方向の一端に当接し、前記弾性
   板の他端を、前記基体に設けた突当部に当接し、または
   、前記積層形圧電セラミツクの他端若しくは該積層形圧
   電セラミツクと略平行で一端を前記基体に設けた他の突
   当部に当接した他の積層形圧電セラミツクの同方向の他
   端に前記基体に前記通路とは別に設けた他の通路内に装
   置した他の介挿体を介して当接し、前記積層形圧電セラ
   ミツク、または、前記積層形圧電セラミツクと前記他の
   積層形圧電セラミツクの伸縮によつて生ずる前記弾性板
   の前記頂点の該弾性板の長さ方向と略直角方向の往復運
   動により該頂点に係合する作動体を駆動する構成とした
   ことを特徴とする積層形圧電セラミツクを駆動源とした
   アクチユエータ ２　前記積層形圧電セラミツクまたは前記他の積層形圧
   電セラミツクが、積層形圧電セラミツク構成体を互いに
   間隔をおいて複数段並列して装置し、一の前記積層形圧
   電セラミツク構成体と次段の前記積層形圧電セラミツク
   構成体の同方向の端部を前記基体に設けた略Ｕ字形の通
   路内に装置した軸線方向の伸縮不能で可撓性を有する介
   挿体の一端と他端に当接し、前記各積層形圧電セラミツ
   ク構成体を一連につないだものであることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の積層形圧電セラミツクを駆
   動源としたアクチユエータ ３　一側若しくは両側に斜面を有する多数の歯を外周面
   に設けたロータを筒形のボデイ内に回転自由に支持し、
   該ボデイの内周面に、前記歯に係合する係合部を有し、
   かつ、前記ロータの中心方向への進退自由な複数の押圧
   体を、前記係合部の前記歯に対する位相を異ならせて装
   置するとともに、長さ方向の略中央部を頂点とする山形
   に屈曲した細長い弾性板と、電圧の印加により厚さの変
   化する圧電セラミツクを多数枚積層した細長い積層形圧
   電セラミツクとを略平行に並列して基体に装置し、前記
   弾性板の一端を、前記基体に設けた略Ｕ字形の通路内に
   装置した軸線方向に伸縮不能で可撓性を有する介挿体を
   介して前記積層形圧電セラミツクの同方向の一端に当接
   し、前記弾性板の他端を、前記基体に設けた突当部に当
   接し、または、前記積層形圧電セラミツクの他端若しく
   は該積層形圧電セラミツクと略平行で一端を前記基体に
   設けた他の突当部に当接した他の積層形圧電セラミツク
   の同方向の他端に、前記基体に前記通路とは別に設けた
   他の通路内に装置した他の介挿体を介して当接し、前記
   積層形圧電セラミツク、または、前記積層形圧電セラミ
   ツクと前記他の積層形圧電セラミツクの伸縮により前記
   弾性板の前記頂点を該弾性板の長さ方向と略直角方向に
   往復運動させるアクチユエータを前記各押圧体の外側に
   おいて前記ボデイに固定して前記弾性板の前記頂点を前
   記押圧体の外面に対応し、前記押圧体を順次に前進及び
   後退させて、該押圧体の前進時に前記係合部で前記歯の
   斜面を押圧することにより前記ロータを一定角度ずつ回
   転させる構成としたことを特徴とする積層形圧電セラミ
   ツクを駆動源としたアクチユエータを利用したステツピ
   ングモータ