JPS61104420A - 磁気記録方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ■　発明の背景 技術分野 本発明は、磁気記録媒体、特にいわゆる斜め先行技術と
その問題点 ビデオ用、オーディオ用等の磁気記録媒体として、テー
プ化して巻回したときのコンパクト性から、長尺の基体
主に、連ｂＡ薄膜型の磁性層を有するものの開発が活発
に行われている。

このような金属薄膜型の媒体の磁性層としては、特性上
、基体法線に対し所定の傾斜角にてＭ着を行う、いわゆ
る斜め蒸着法によって形成１、たｃｏ、Ｃｏ　−Ｎ　ｉ
　糸環カラナルｍ　ＩＧ　膜力好適である。

このような斜め蒸着法による強磁性金属Ｓ膜層は、基体
主面の法線に対して傾斜し、その長手方向径が強磁性金
属薄膜層厚さ方向全域に及ぶ、柱状結晶粒の四合体とし
て形成される。

そして、Ｇｏ、Ｎｆ等は、柱状結晶粒中に存在し、また
、好ましい態様において導入される０は、柱状結晶粒の
表面に、＃化物を形成して存在するものである。

しかし、このような強磁性金属薄膜層は、基体の長手方
向、すなわち媒体の走行方向に形状異方性をもつために
、媒体の走行方向の正逆のいかんにより、入出力特性に
大きな差を生じるという欠点がある。

そこで、木発明者らは、先に、このような入出力差のな
い媒体として、８体の長手方向と、基体中面の法線方向
とではられる平面上で、方向をかえながら保磁力を測定
したとき、（ｔｉｃ　ｗａｘ　−Ｈａ　５ｉｎ）　／　
Ｈｃ　（０）≦０．９〔ここに、　Ｈａ　ｗａｘは保磁
力の最大値、　Ｈｃ　ｓｉｎは保磁力の最小値、Ｉ（ｃ
（０）は基体の長手方向における保磁力を表わす、〕 なる関係を有することを特徴とする磁気記録媒体を提案
している。

これによって、媒体の走行方向の正逆によって、入出力
特性の差のない磁気記録媒体をうることかできた。

ところで　このような媒体は、スペーシングロスによる
特性低下が大きいので、その表面をできるだけ平滑化す
る必要がある。

しかし、あまり表面を平坦にすると、摩擦が大きくなり
、ヘッドター、チ、走行面で支障が出る。

この場合、金属薄膜型の媒体では、ｌｌ１１性層が０．
０５〜Ｏ，Ｓ、Ｃ■と非常にうすいため、媒体の表面性
は基板の表面性に依存する。

このため、表面の摩擦を小さくするため、基板の表面処
理を行ったり、微粒子を配設する試みがなされているが
、これらでも、走行Ｓ擦。

耐久走行性、走行安定性等の物性や、電磁変換特性の点
で未だ不十分である。

すなわち、媒体の走行方向の正逆による入出力特性に差
を生じない磁気記ｊｉｆｉ体であって、走行ａ！控が低
く、耐久走行性、走行安定性が高く、ヘッド付着、ヘヤ
ド目づまりを解消しうる磁気記録媒体は未だ実現されて
いない。

１１　　発明の目的 本発明の目的は、金属薄Ｈ型の磁気記録媒体と、それを
用いた磁気記録方法において、摩擦、＃久走行性、走行
安定性等の物性を改良し、しかも物性面で支障のない範
囲でヘッド付着や目づまりを解消し、かつ電磁変換特性
の面でも何ら不都合が生じないようにし。

しかも、媒体の走行方向の正逆に対し、入出力差が少な
い磁気記録媒体および磁気記録方法を提供することにあ
る。

このような目的は、下記の本発明によって達成される。

すなわち第１の発明は、 可とう性基板上にＣＯを主成分とする強磁性金属薄膜層
を設けた磁気記録媒体において、磁気ヘッドのギヤー、
ブ長をａ用層としたとき、媒体表面が１１２当り平均１
０５／ａ２個以Ｈの突起を有し、しかも突起が３０−３
００人の高さを有し、 さらに、基体の長手方向と、基体主面の法線とではられ
る平面上で、方向をかえながら保磁力を測定したとき、 （Ｈａ　ｍａｔ　−Ｈａ　ｗｉｎ）　／　Ｈｃ（０）≦
０．９〔ここに、　Ｈａ　ＩＩａｔは保磁力の最大値、
Ｈｃ　ｓｉｎは保磁力の最小値、　Ｈｃ（０）は基体の
長手方向におけるイス磁力を表わす、〕 なる関係を有することを特徴とする磁気記録媒体である
。

また、第２の発明は。

可とう性、！＆′板上にＣｏを主成分とする強磁性金属
薄ｌ１ｔ２層を設けた磁気記録媒体を、磁気ヘッドを用
いて記録再生を行う磁気記録方法において、 磁気ヘッドのギャップ長をａａｍとしたとき、々ソ体表
面が１　ａｍ２当り平均１０５／ａ２偏以Ｆの突起を有
し、しかも突起が３０〜３００人の、昏さを有し。

さらに、基体の長手方向と、基体主面の法線方向とでは
られる平面上で、方向をかえながら保磁力を測定したと
き。

（Ｈｃ　ｗａｘ−Ｈｃ　ｗｉｎ）　／Ｈｃ（１））≦０
．９〔ここに、　Ｌｌｃ■ａＸは保磁力の最大値、　Ｈ
ｃ■ｉｎは保磁力の最小値、　Ｈｃ（０）は基体の長手
方向における保磁力を表わす６〕 なる関係を有することを＃徴とする磁気記録方法である
。

■　発明の具体的Ｓ成 以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。

本発明の磁気記録媒体は、基体上に強磁性金属薄膜層を
有する。

本発明における強磁性金属薄１１’ｉＪ層は、Ｃｏ、Ｃ
ｏ−ＮＬ　、Ｇｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｔｉ　。

Ｃｏ−Ｍｏ　、Ｃｏ−Ｖ、Ｃｏ−Ｗ。

Ｃｏ−Ｒｅ、Ｃｏ−Ｒｕ、Ｃｏ−Ｍｎ。

Ｃｏ−Ｆｅ、Ｆｅ等の公知の種々の組成であってよく　
その形成法も、蒸着、イオンブレーティング等が使用で
きる。

ただ２本発明の効果が最も大きいのは、Ｃ。

を主成分とし、これに必要に応じＮｉ、Ｏｒ。

Ｏのうちの１〜３Ｎが含有される組成の磁性層を有する
場合である。

、すなわち、Ｃｏ単独からなってもよく、Ｃ。

とＮｉからなってもよい。

Ｃｏ＋Ｎｉである場合、Ｃｏ／Ｎｉの＠量比は、１．５
以上であることが好ましい。

さらに、ＣｏまたはＣｏ＋Ｎｉに加え９ｏが含まれてい
てもよい、　０が含まれたときには、電磁変換特性の経
時変化や走行耐久性の点で、より、好ましい結果をうる
。

このような場合、Ｏ／Ｃｏ（Ｎｉが含まれない場合）あ
る、いはＯ／（Ｇｏ＋Ｎｉ）の原子比は、０゛、５以下
、より好ましくは０．０１〜０．５であることが好まし
い。

一方、強磁性金属ｆｉＩＩｌ１層中には、Ｃｏ、Ｃ。

＋Ｎｉ、Ｃｏ＋ＯあるいはＣｏ＋Ｎｉ＋Ｏに加え、Ｃｒ
が含有されると、より一層好ましい結太を得る。

これは、電磁変換特性が向上し、出力およびＳ／Ｎ比が
向ヒし、さらに膜強度が向上するからである。

このような場合、Ｃｒ／Ｃｏ（Ｎｉが含まれない場合）
あるいはＣｒ／（Ｃｏ＋Ｎｉ）の重量比は、０，１以下
、特に０．００１〜０．１であることが好ましい。

そして、Ｃｒ／ＣｏあるいはＣｒ／（Ｃｏ＋Ｎｉ）のｆ
ｆｉ量比は、０．００５〜０．０５であると、より一層
好ましい結果を得る。

なお、このような強磁性金属Ｓ膜層中には、さらに他の
微量成分、特に遷移元素、例えば。

Ｆｅ、Ｍｎ、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｔｉ　。

Ｚ　ｎ　、　Ｍ　ｏ　、Ｗ　、Ｃｙ等が含まれていても
よい。

このような強磁性金属薄膜層は１通常、０゜０５〜０．
５蒔厘、より好ましくは０，０７〜０．３ルｌのＨさに
形成される。

このような強磁性金属薄膜層は１通常、基体主面の法線
に対して傾斜した柱状結晶粒の集合体からなることが好
ましい。

このような場合、柱状結晶粒は、基体の主面の法線に対
して、３００以上の角度で傾斜していることが好ましい
。

また、各柱状結晶粒は、強磁性金属薄膜層の厚さ方向全
域に亘る長さをもち、その短径は５０〜５００人程度と
される。

そして、柱状結晶粒の基体側の部分の基体主面の法線に
対する傾斜角は、柱状結晶粒の基体と反対側の部分の基
体主面の法線に対する傾斜角よりも大きいことが好まし
い。

そして、ＣｏおよびＮｉ　、Ｃｒ等は、この結晶粒内に
存在し、Ｏは各柱状結晶粒の表面に主として存在するも
のである。

この場合、０は強磁性金属ｔｉｌｌｌＩ層表面に酸化物
の形で存在することが好ましい。

このような前提の下で、基体の長手方向と。

基体主面の法線方向とではられる平面上で、方向をかえ
ながら保磁力を測定したとき、　Ｈｃ腸ａＸとＨｃ　ｓ
ｉｎとＨｃ　（０）とは、 （Ｈｃ　ｍａｔ　−Ｈｃ　５ｉｎ）　／　）Ｉｃ　（０
）≦０．９でな（すればならない。

この値が０．９をこえると、媒体の走行方向をかえたと
き、２ｄＢ以上の大きな入出力差を生じてしまい、実用
に耐えない。

そして、この値が０．６以下となると、走行の正逆に対
する入出力差がきわめて小さくなる。

また、この値が０．６をこえると、耐食性が臨界的に低
下して、実用に耐元なくなる。

そして、この値が０．４以下となると、走行の正逆に対
する入出力差がきわめて小さくなり、また耐食性がきわ
めて高いものとなる。

このような強磁性金属薄ｌ！層の表面には、必要に応じ
、種々のトップコート層を設層することができる。

また、強磁性金属８Ｉ膜を形成する基体は、長尺でかつ
非磁性のものでありさえすれば特に制限はなく、特に可
とう性の）μ体、特にポリエステル、ポリイミド等の樹
脂製のものであることが好ましい。

また、そのｎさは、種々のものであってもよいが、特に
５〜２０ｇ■であることが好ましｌ／Ｘ。

この場合、基板の強磁性金属８Ｉ膜層形成面の裏面には
、公知の種々のバックコート層が形成されていてもよい
。

このように４Ｉｒ＆される本発明の磁気記録媒体の表面
には、微細な突起が所定の密度で設けられる。

微細な突起は、３０〜３００人、より好ましくは５０〜
２５０人の高さを有するものである。

すなわち、本発明の突起は、光学顕微鏡で観察でき、か
つ触針型表面粗さ計で測定できるものではなく、走査型
ないし透過型電子顕微鏡にて観察できる程度のものであ
る。

突起高さが３００人をこえ、光学顕微鏡にて１８１６で
きるものとなると、電磁変換特性の劣化と、走行安定性
の低下をもたらす。

また、５０人未満となると、物性の向上の実効がない。

そして、その密度はｉｓ■２あたり平均１０５／ａ２個
、より好ましくは２Ｘ１０ａ／ａ２〜ｌＸ１０９／ａ２
個である。

この場合、ａはＢｍ単位にて、磁気ヘッドのギャップ長
を表わす。

そして、ａは０．１〜０．５弘ｍ、特に０゜１〜０．４
鉢ｍとされる。

なお、突起密度が１０５／ａ２個／ｍｍ２．より好まし
くは２Ｘ１０［ｉ／ａ２個／＠ｇ２未満となると、ノイ
ズが増大し、スチル特性が低下する等物性の低下をさた
し、実用に耐えない。

また、１０９．／ａ２個／曹■２をこえると、物性上の
効果が少なくなってしまう。

このような突起を設けるには、通常、基板上に微粒子を
配設すればよい。

微粒子径は、３０〜３００人、特に５０〜２５０人とす
ればよく、これにより微粒子径と対応した微細突起が形
成される。

用いる微粒子としては１通常コロイド粒子として知られ
ているものであって１例えばＳｉＯ２（コロイタルシリ
力）、Ａ１２ｏ３（アルミナゾル）、Ｍ（０，ＴｉＯ２
。

ＺｎＯ，Ｆｅ２Ｏ３，ジルコニア、ＣｄＯ。

ＮｉＯ，ＣａＷＯ４、ＣａＣＯ３。

ＢａＣＯ３，ＣｏＣＯ３、ＢａＴｉＯ３。

Ｔｉ（チタンブラック）、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ。

Ｎｉ、Ｆｅ、各種ヒドロシルや、樹脂粒子等が使用可能
である。　この場合、特に％機物質を用いるのが好まし
い。

このような微粒子は、各種溶媒を用いて塗布液とし、こ
れを基板上に塗布、乾燥してもよく、あるいは塗布液中
に各種水性エマルジョン等の樹脂分を添加したものを塗
布、乾燥してもよい。

なお、場合によっては、これら塗布液を基板Ｌに配設す
るのではなく、トップコート層として配設することもで
きる。

また、樹脂分を用いる場合、これら微粒子にもとづく微
細突起に重畳してゆるやかな突起を設けることもできる
が１通常はこのようにする必要はない。

なお、基板と強磁性金属薄膜層との間には。

必要に応じ、公知の各種下地層を介在させることもでき
る。

また、もし必要であるならば、強磁性金属薄膜層を複穀
に分割して、その間に非磁性金属薄１９層を介在させて
もよい。

本発明において、磁性層の形成は電解蒸着、イオンブレ
ーティング、メッキ等を用いることもできるが、いわゆ
る斜め５着法によって形成されることが好ましい。

この場合、基体法線に対する。蒸着物質の入ａ＃角の最
小値は、２０′″以ととすることが好ましい。

入射角が２０層未満となると、電磁変換特性が低下する
。

そして　通常は、蒸着に際しては蒸着用の円筒状のキャ
ンな用い、これに蒸着マスクを介在させて、基体主面の
法線に対し、９０〜２０＠、より好ましくは９０〜４０
°の入射角となるように、成膜に際し入射角を漸次減少
させることが好ましい。

このような場合、ヒ記のような保磁力の角度依存性をも
たせるには、例えば、基体の送り方向と直角な方向、す
なわち基体の巾方向に、ハースないしルツボを複数個配
設して、その法発レートをかえることによる等の方法が
ある。

なお、これ以外の蒸着条件には特に制限はない。

すなわち、蒸−ｉ！Ｆ雰囲気は、通常、アルゴン。

ヘリウム、身空等の不活性雰囲気とし、１０’〜１００
Ｐａ程度の圧力とし、また、蒸着距離、基体搬送方向、
キャンやマスクの構造、配置等は公知の条件と同様にす
ればよい。

ただ、蒸着雰囲気中には酸素を含有させて。

電磁変換特性を向上し、耐食性等を向上させることが好
ましい。

また、蒸着中の任意の磁気に１種々の方法により、酸素
を強磁性金属ｆＩｊＩｌＩ層中に導入することができる
。

そして、強磁性金属薄膜層形成後にも、各種酸化処理を
行うことができる。

ざらに、強磁性金Ｈ蒲ｌ！！暦形成後に、熱処理を行う
こともできる。

他方、用いる磁気ヘットは１種々のものが使用できる。

この場合、磁気ヘッドとしては、少なくともギャップ部
端面を金属磁性体で構成したものであることが好適であ
る。

この場合、コア全体を金属強磁性体か形成することもで
き、必要に応じ、ギャップ部端面を含むコアの一部を金
属強ｍ性体から形成することもでさる。

第１図には、例えばフェライト等の強磁性体からなるコ
ア半休２１．２２のギャップ部端面に１〜５μｍ程度の
厚さの金属強磁性体３１゜３２炙スパツタリング等によ
り被着し、ガラス。

質等のギャップ４を介してコア半休２１．２２をつきあ
わせて磁気ヘッドｌを構成した例が示される。

これによりきわめて良好となり、ヘッド付着やヘッド目
づまりも良好となる。

そして、その形状、構造等は公知のものであってもよい
。

ただ、ギャップ長ａは、前記のとおり、通常、０．１〜
０．５終ｌ、特に０．１〜０．４ル１．また、トラック
巾は１通常、１０〜５０終■、特に１０〜２０絡票とす
る。

用いる強磁性体としては、種々のものが可能であり、非
晶質磁性金属、センダスト、ハードパーマロイ、パーマ
ロイ等の薄膜、薄板等はいずれも使用可能である。

ただ、これらのうちで、ヘッド目づまりないし付着が特
に少なく、ｔ、磁変換特性が良好なのは、Ｃｏを主成分
とする非晶質磁性合金である。

このような非晶質磁性合金としては、Ｃ０７０〜９５ａ
ｔ％で、ガラス化元素として、Ｚｒ。

Ｎｂ、Ｔａ、Ｈｆ、ｆｉ土類元素、Ｓｉ、Ｂ、。

Ｐ、Ｃ，Ａｉ等、特にＺｒおよび／またはＮｂを５〜２
０ａｔ％含有するものが好適である。

あるいは、Ｃｏ６５〜８５ａｔ％で、ガラス化元素とし
てＳｉおよび／またはＢを１５〜３５ａｔ％含有するも
のも好適である。　この場合。

さらに１Ｏａｔ％以下のＦｅ、２５ａｔ％以下のＮ　＋
　、　総計２０ａｔ％以下のｃｒ、Ｔｉ、Ｒｕ。

Ｗ　、　Ｍ　ｏ　、　Ｔ　ｉ　、　Ｍ　ｎ等の１７１以
上が含有されていてもよい。

これら非晶質磁性合金は、スパッタリングや高速急冷法
等を用いて、コア半体ないしギャップ部等として形成さ
れる。

このような磁気ヘッドを用いて、前記した媒体に対して
記録再生を行うには、いわゆるＶＨ５方式、ベータ方式
、８厘■ビデオ方式、Ｕ規格方式等公知のビデオ録画シ
ステムに従えばよい。

■　発明の具体的作用効果 本発明の磁気記録媒体は、ビデオ用、オーディオ用、計
算機用等の媒体として有用である。　本発明によれば、
媒体の走行方向の正逆による入出力差がきわめて少なく
なる。

さらに、走行摩擦がきわめて小さくなり、安定化する。

また、走行耐久性が格段と向上し、多数回走行後も走行
４擦の増大がなく、くりかえし録画、再生回数が格段と
向上し、スチル特性が格段と向上する。

そして、走行安定性も高く、高温多湿から低温低湿まで
、巾広い条件下できわめて高い安定性を示す。

さらに、スペーシングロスにもとづく再生出力もきわめ
て小さい。

また、ノイズもきわめて少ない。

そして、ヘッドの目づまりやヘッドの付着もきわめて少
ない。

このような効果は、金属強磁性体製ヘッドを用いるとき
、より高いものとなる。

また、このような効果は、最低記録波長１μ■未満の高
密度記録において、より一暦高いものとなる。

■　発明の具体的実施例 以下に本発明の具体的実施例について詳細に説明する。

実施例１ 実質的に微粒子を含まない平滑なポリエステルフィルム
（厚ざｌ　２　ｈａ　）上にコロイダルシリカを塗布し
、高さ１５０人、密度１０７４１／＋１１１１２の微小
突起を有する基板をえた。

次に、Ｃｏ、Ｃｏ／Ｎｉの重量比が４／１である場合、
およびＣｏ　／　Ｎ　ｔ　／　Ｃｒのｆｊｔ量比が６５
／３０１５である合金を用い、上記基体上に、斜め五着
法により、０．１５μｍの強磁性金属薄ｌ１ｇ層を形成
した。

基体はキャンにて連続搬送し、蒸着物質の入射角を９０
〜４０＠に逓減した。　また、蒸発源とキャンの距離は
２００履寵とした。　そして１Ｍ着はＰ＝５Ｘ１０−”
Ｐａ、およびこれにＰ＝２Ｘ１０−’Ｐａの醜素を導入
した雰囲気で行った。

この場合、ハースの溶融面積を２５ｃ履２とし、基体中
央部と、これから基体巾方向に２０■■はなれた２点に
１基づつ、３個のハースを配置した。

これら３個のハースからの蒸発レートのうち、基体端部
方向角ハースの薄発レートは同一とし、端部方向ハース
と中心ハースの蒸発レートとの比を下記表１のようにか
えて、蒸着を行った。。

このようにして作製されたサンプルの（Ｈｃｍａ菫−〇
ａ　ｇｉｎ）　／　Ｈｃ（ｏ）が表１に示される。

なお、各サンプルとも、磁性層は、磁性層の厚さ方向全
域に亘る長さをもち、基体法線に対し傾斜した柱状結晶
粒の集合体からなり、柱状結晶粒の基体側部分の基体法
線に対する傾斜角は、表面側部分のそれより大きいもの
であった。

また、各サンプルの酸素量は、雰囲気中に０２を導入し
たもので、Ｏ／（ＣｏまたはＣ。

＋Ｎ１）ｘ１８〜２０％、ｏ２を導入しないもので、約
１％であった。

次に、各サンプルを１／２インチ巾に切断し、中小部か
らテープを作製した。

なお、用いた磁気ヘッドは、第１図に示されるものであ
り、ギャップ長０．２５ｕＬ諺、トラック長２０μ諺の
ものである。　この場合。

コア半休２１．２２はフェライト製、ギャップ端面は、
スパッタリングにより形成した３終鳳厚のｃｏｏ、８Ｎ
ｉｏ、ＩＺｒｏ、ｌ　（原子比）であり、ギャップ材は
ガラスとした。

なお、１０５／ａ２は１．６Ｘ１０６である。

次いで、各サンプルにつき、下記の測定を行った。

（１）入出力差 ｍ版のＶＨ５型ビデオデツキに搭載して。

両者行方向の４．５ＭＨｚにおける入出力を測定し、そ
の最大値の差をもとめた。

結果を表１に示す。

実施例２ 実施例１のサンプルに対し、空気中で、８５℃、１時間
の熱処理を行った。

表２に入出力差を示す。

また、各サンプルを６０℃、相対湿度９０％にて７日間
放置し、　　ｌｃ■２あたりの一Δφｍ／φ（％）な測
定した。

結果を表２に示す。

表１および表２に示される結果から、本発明における保
磁力分布のもたらす効果があきらかである。

実施例３ 実施例１のＣｏ／Ｎｉ合金を酸素雰囲気下で蒸着したサ
ンプルにおいて、基板上にコロイダルシリカを鎗布し、
下記表３に示される微小突起を設けた。

本発明のサンプルでは、光学顕微鏡による観察および触
針型表面粗さ計による測定で、コロイダルシリカ塗布の
効果は検出されなかったが、走査８ｇ電子顕微鏡による
高倍率のｌＩＫ察では、磁性膜に突起がみられ、その大
小は、塗布したコロイダルシリカの大小に対応していた
。

磁性層表面の突起の高さおよび密度と特性の関係を表３
に示す。

なお、特性、ｊｔ短記録波長０．７ｈａの信号を用いて
実験を行った。

また、用いた磁気ヘッドは、第１図に示されるものであ
り、ギャップ長０．２５１．）ラック長２０μ−のもの
である。　この場合、コア半休２１．２２はフェライト
類、ギヤツブ端面は、スパッタリングにより形成した３
終腸厚（Ｆ）ＣＯｏ、８、Ｎｉｐ、１．Ｚｒ０．１　（
ａｔ％）であり、ギャップ材はガラスとした。

なお、ｌ　０５／ａ２はり、Ｓ　ｘｔｏａ　（曹ｍ２　
）−”である。

また、比較用の磁気ヘッドとして、フェライトヘッドを
用いた。

なお、特性の測定方法は以下のとおりである。

１、突起観察 ＳＥＭ　（走査型電子顕微鏡）およびＴＥＭ（透過型電
子ＩＩｌ微鏡）を使用 ２、スチル特性 ５ＭＨｚで記録し、再生出力のスチル特性を測定する。

　　　１０分以上をＯＫレベルとする。

３、出力 中心周波数５ＭＨｚで記録、再生した場合のＳ／Ｎ比（
相対値）をｘｔ、　　ＶＨ３のＶＴＲを改造し、５ＭＨ
ｚまで測定できるようにする。

４、ノイズ 再生出力の測定において、４にＨｚでのノイズ（ｄＢ）
を測定する。

５、耐久走行テスト後の面状態 ５０パス走行後のテープ面の状態を光学顕微鏡で観察す
る。

０：変化なし Δ：磁性面損傷 Ｘ：６１性層欠落 なお、これら各実施例の磁性層表面はオージェ分光分析
の結果、１００〜２００人の酸化物層で覆われているこ
とが判明した。

なお、サンプル勤、３３は酸素を含まない雰囲気での蒸
着による酸素を含まない磁性層のものである。

なお、上記各実施例では、無機微粒子としてコロイダル
シリカを用いたが、他の物質例えばアルミナゾル、チタ
ンブラック、ジルコニアあるいは各種ヒトミゾル等を用
いても、同等の結果を得た。

また、　Ｃｏ−Ｆｅ−１１ｕ−Ｃｒ−５ｉ　−Ｂ系非晶
質を用いて作成したヘッドを用いた場合も、同様の結果
が得られた。

なお、センダストを用いて作成したヘッドを用いた場合
は、）、記の場合に比べて効果が少なかった。

大発明によるテープとヘッドの組合わせは、他の組合わ
せに比曽して、物性面で優れており、各雰囲気における
ｊ！Ｉ襖係数も安定して低く、耐久走行性の面でもはる
かに優れていた。

【図面の簡単な説明】

第１図は、大発明に用いる磁気ヘッドの１例を示す正面
図である。 ｌ・・・・磁気ヘッド。 ２１．２２・・・・コア半休。 ３１．３２・・・・金属強磁性体。 ４・・・・ギャップ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）可とう性基板上にＣｏを主成分とする強磁性金属
   薄膜層を設けた磁気記録媒体において、 磁気ヘッドのギャップ長をａμｍとしたと き、媒体表面が１ｍｍ＾２当り平均１０＾５／ａ＾２個
   以上の突起を有し、しかも突起が３０〜３００Åの高さ
   を有し、 さらに、基体の長手方向と、基体主面の法線とではられ
   る平面上で、方向をかえながら保磁力を測定したとき、 （Ｈｃｍａｘ−Ｈｃｍｉｎ）／Ｈｃ（０）≦０．９〔こ
   こに、Ｈｃｍａｘは保磁力の最大値、Ｈｃｍｉｎは保磁
   力の最小値、Ｈｃ（０）は基体の長手方向における保磁
   力を表わす。〕 なる関係を有することを特徴とする磁気記録媒体。 （２）可とう性基板が高分子からなり、この基板上に、
   径が３０〜３００Åの大きさを有する微粒子を配設し、
   その上に強磁性金属薄膜層を設けてなる特許請求の範囲
   第１項に記載の磁気記録媒体。 （３）強磁性金属薄膜層が、Ｃｏ、あるいはＣｏとＮｉ
   、ＣｒおよびＯの１〜３種を主成分とする特許請求の範
   囲第１項または第２項に記載の磁気記録媒体。 （４）強磁性金属薄膜層が、Ｎｉを含み、 Ｃｏ／Ｎｉの重量比が１．５以上である特許請求の範囲
   第１項ないし第３項のいずれかに記載の磁気記録媒体。 （５）強磁性金属薄膜層が、Ｃｒを含み、 Ｃｒ／（ＣｏまたはＣｏ＋Ｎｉ）の重層比が０．００１
   〜０．１である特許請求の範囲第１項ないし第４項のい
   ずれかに記載の磁気記録媒体。 （６）強磁性金属薄膜層が、Ｏを含み、Ｏ／（Ｃｏまた
   はＣｏ＋Ｎｉ）の原子比が０．４５以下である特許請求
   の範囲第１項ないし第５項のいずれかに記載の磁気記録
   媒体。 （７）Ｏ／（ＣｏまたはＣｏ＋Ｎｉ）の原子比が０．０
   １〜０．５である特許請求の範囲第６項に記載の磁気記
   録媒体。 （８）強磁性金属薄膜が、表面に強磁性金属の酸化物の
   層を有する特許請求の範囲第１項ないし第７項に記載の
   磁気記録媒体。 （９）強磁性金属薄膜の厚さが０．０５〜 ０．５μｍである特許請求の範囲第１項ないし第８項の
   いずれかに記載の磁気記録媒体。 （１０）強磁性金属薄膜層が、基体主面の法線に対して
   傾斜した柱状結晶粒の集合体からなる特許請求の範囲第
   １項ないし第９項に記載の磁気記録媒体。 （１１）柱状結晶粒の基体側の部分の基体主面の法線に
   対する傾斜角が、柱状結晶粒の基体と反対側の部分の基
   体主面の法線に対する傾斜角よりも大きい特許請求の範
   囲第１項ないし第１０項のいずれかに記載の磁気記録媒
   体。 （１２）（Ｈｃｍａｘ−Ｈｃｍｉｎ）／Ｈｃ（０）≦０
   ．６である特許請求の範囲第１項ないし第１１項のいず
   れかに記載の磁気記録媒体。 （１３）ａが０．１〜０．５μｍである特許請求の範囲
   第１項ないし第１２項のいずれかに記載の磁気記録媒体
   。 （１４）可とう性基板上にＣｏを主成分とする強磁性金
   属薄膜層を設けた磁気記録媒体を、磁気ヘッドを用いて
   記録再生を行う磁気記録方法において、 磁気ヘッドのギャップ長をａμｍとしたと き、媒体表面が１ｍｍ＾２当り平均１０＾５／ａ＾２個
   以上の突起を有し、しかも突起が３０〜３００Åの高さ
   を有し、 さらに、基体の長手方向と、基体主面の法線方向とでは
   られる平面上で、方向をかえながら保磁力を測定したと
   き、 （Ｈｃｍａｘ−Ｈｃｍｉｎ）／Ｈｃ（０）≦０．９〔こ
   こに、Ｈｃｍａｘは保磁力の最大値、Ｈｃｍｉｎは保磁
   力の最小値、Ｈｃ（０）は基体の長手方向における保磁
   力を表わす。〕 なる関係を有することを特徴とする磁気記録方法。 （１５）磁気ヘッドの少なくともギャップ部端面が金属
   強磁性体で構成されている特許請求の範囲第１４項に記
   載の磁気記録方法。 （１６）金属強磁性体がＣｏを主成分とする非晶質磁性
   合金である特許請求の範囲第１４項または第１５項に記
   載の磁気記録方法。 （１７）ａが０．１〜０．５μｍである特許請求の範囲
   第１４項ないし第１６項のいずれかに記載の磁気記録方
   法。