JPS61103767A - 板状被研磨体の両面研磨機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えはセラミック製の板状部品の両面を研磨
するの忙使用される板状被研磨体の両面ｆｉｆ磨様に関
するものである。

従来の技術 従来、例えばセラミック製の板状部品の研磨は、回転盤
の上面に多数の板状部品をセットし、そして回転盤とと
もに板状部品を回転させながら、その上面に回転研磨体
を接触させることにより行なっていた。

発明が解決しようとする聞距点 上記のような従来形成によると、回転盤上への板状部品
のセット、ならびに研Ｍ済みの板状部品の回転盤からの
除去は手作業で行なわなければならず、また、かかる手
作業は板状部品の表面側と製１釦側との二回行なわなけ
ればならないことから、非能率的でろり且つ高価格の原
因になっていた。

間シ１０を解決するための手段 一ヒ紀問題点を解決するために本発明における板状板ｂ
Ｆ［磨体の両面研磨機は、互いに接近離間ｔ＝ｌ狂な上
下一対の研磨体と、これら研磨体間に供給された内板状
のキャリッジを同縁から挟持し自転させる挟持回転装置
とを有する０［磨装置を設け、この研磨装置の側部に、
ｍＩ記キャリッジを支持して所定角度置きに間欠回転さ
せる支持回転装置と、１！＋１　ｔＡキャリッジに形成
した周方向所定角度置きの貫通孔に板状の被研磨体を供
給する被研磨体供給装置を設け、！１１１１１１記キヤ
リツジ貫通孔に供給してなる被研磨体群とを前記支持回
転装置から研磨装置に一挙に供給する吸着式供給装置を
設け、さらに研磨装置からキャリッジを引出す除去装置
を設けている。

作　　　用 上記構成によると、支持回転装置によって支持してなる
キャリッジを所定角度置きに間欠回転させながら、その
回転停止時に被研磨体供給装置を作動させることにより
、該キャリッジの各貫通孔に１個づつ被研磨体を供給し
得る。そして全ての貫通孔に被研磨体を供給したのち、
吸着式供給装置の吸Ｍ部をキャリッジ側の上面に接当さ
せて吸着作用させることにより、このキャリッジと各被
研磨体を吸着保持し鴎、かかる状席で一対の１１１暦体
間に供給し得る。供給されヘキャリツジを支持回転装置
ｄによって同縁から支持し、セして吸着式供給装置を吸
着解除すると共に退出させることに、【って、各被ｂｌ
Ｆｌｊｆ体はキャリッジから抜出されるＣとなく下位研
磨体の、上面で受止められる。この状態で、キャリアジ
を自転させなから両研暦体紮接近動させることにより、
各被研磨体の両面に対する研磨作画を行なえる。そして
研磨終了後、除去装置によりキャリッジを引出すことに
よって、研磨済みの各被研磨体を取出し得る。

ｙ！施例 以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。（
１）はベース枠（２）上に立設した箱状の本体で、その
が１面には上下に振分・けて一対の保持枠（３Ａ）（３
Ｂ）が配設しである。両保持枠（３Ａ）（３Ｂ）は夫々
縦軸（４Ａ）（４Ｂ）を回転ならびに昇降自在に保持し
、七　ｊの回転は本体（１）側に設けたモータ（５Ａ）
（５Ｂ）によって行なわれ、また昇降は保持枠（３Ａ）
（３Ｂ）側に設けたモータ（６Ａ）（６Ｂ）によって行
なわれる。回転ならびに昇降は共辿の縦軸心（７）上で
行なわれ、その際に回転は同方向であっても逆方向で６
ってもよい。

両縦＊（４Ａ）（４Ｂ）の相対向する端部には、夫々取
付は板（８Ａ）（８Ｂ）を介してリング状の研磨体（砥
石など）　（９Ａ）（９Ｂ）が取付けられているう下部
のＯ［磨体（９Ｂ）をＪＱ！通して軸受体ＱＧが配設さ
れ、この−１受体ｄｔｔ　ｔｔｉ　ｉｆ状挟持面（ｌｌ
ａ）を有する遊転ローラＱｌｌをｉ＋１記縦軸心（７）
の周りに回転のみ自在に支持する。前記遊転ロー＝ｙｕ
Ｄに対向して直状挟持面（１２ａ）（１３ａ）を有する
左右一対の押付はローフＨａが配設され、これら押付は
ローラ（Ｌａ（１３は軸受枠０４に回転自在に支持され
る。前記軸受枠１１４はガイドロッド叫を介して保持枠
Ｑ１１９側に水平方向移動自在に取付けられ、また往復
移動は該保持枠囲との間に設けたシリンダ装置α７１に
より行なわれる。上記し７’Ｃ（ＩＧ　−（ｌηにより
、円板状のキャリッジａ榎を１ｄ縁（１８ａ）から挟持
し回転させる挟持回転装置四を構成する。なお挟持回転
装置Ｍ四け、遊転ローラ０Ｄｔ−共通部材として、縦−
１心（７）の周りに等角装置き・に複数組（実施例では
１８０度置きに左右一対の２組）設けられる。各保持枠
囲を取付けてなる、ｎｉｌ記本棒本体の…１面中間部か
ら連設した枠体φ）には、前記押付はローラ＠Ｇ３の少
なくとも１個に３！Ｉ！動する回転駆動１１ｕか設けら
れる。すなわち、各組において、１個の押付はローラ（
Ｉ２）の側部に！１１１１１１１１１１受て縦方向の回
転Ｉｌ［ｄＩ＠が配役され、この回転軸脅に取付けた伝
＋１１＋歯車（至）と当該押付はローラＵ側と一体の受
動歯車（４）とが常時噛合している。　ｍｌ記回転ＮＩ
ノには伝動輪体−が取付けられ、各組の伝動輪体四囲に
例えばタイミングベルトなどからなる無端回拗体翰が巻
回される。この無端回ＩＭ体翰による回動軌跡の適所に
軸受体（ハ）を介して縦方向の駆動軸（２）が配設され
、この駆動軸（２）の上端に取付けた駆動輪体−に前記
無端回動体−が巻回される。そして駆動軸（イ）の下端
に取付けた受動輪体ｃｌｔ＋とモータ１３２１の出力・
１咄Ｉ３３！に収付けた駆動軸体−とが無端回動体中に
より連動される。田はテンション輪体を示す。上記した
（１３〜（田によりω［磨装置ｔ？ｔ　Ｇηを構成する
。この研磨装Ｆ１１ｆ１７＋の側部で且つ各組の挟持回
弘装Ｌ？４Ｑ’ｌに対応するように、Ｎｊｌ記キャリ７
ジｕ１９を支持して所定角度ｉαきに（ＢＪ転させる支
持回転装置１イ（□□□が設けられる。すなわち前記枠
体四と一体の架台３９１が設けられ、この架台（支）１
の前部上方に支持＆鴎が設けられる。この支持板部は上
面の支持面（４Ｑａ）によってキャリッジ叫を横向きに
支持する。前記架台的には軸受１１１を介して縦軸口２
が配設され、この縦軸＋４２１の下端は巻掛伝動具１４
３１を介して間欠駆動装はりＩに連動する。さらに縦軸
（４通の上端には支持台（４１を抽油する支持共１４ｆ
９が取付けられ、この支持共１佑は支持板部（４５ａ　
）とその上面中央から突出する嵌合部（４５ｂ）とから
なる。したがってキャリッジ（へ）の中央貫通部（１８
ｂ）を介して該キイリッジ（至）を嵌合部（４５ｂ）に
外嵌賂せて、このキャリッジ叫を支持板部（４５ａ）か
ら支持面（４０ａ）に亘って支持させた伏鞄で間欠駆＠
装＊　ｔ４４１　ｔ−作動させることにより、キャリッ
ジ（ト）を縦軸心＋４６１の固りに間欠回転させ得る。

ＩＪＩｆ記キャリッジ（ト）は、同一半径線上において
周方向所定角度置きにＸ１ｍ孔１４７１を有し、この場
会の所定角度は回連した間欠回転の所定角度と一致する
。前記キャリッジ（ト）の貫通孔１４７１に板状の被研
磨体（例えばセラミック製の板状Ｅｔ、Ｂ品）１４６を
供給する破（１１侍体供給装置＃！Ｌ囮が設けられ６つ
丁なわちｔ＋’＋Ｊ記支持台Ａ（５に凹溝−が形成され
、この凹尚州にぼｆ列状に上端が嵌合されるケースＱ＋
ｕ　ｔｉｔ、上下方向の角筒状に１し成きれる。このケ
ース６υの下端は架台＋３４１＋側で文４ヶされ、この
支持伏愚においてケースＩＩ）の上面は一支持面（４０
ａ）から突出しない、ｌ　Ｆｊｉ前記ケースもりは多数
の＋’Ｊｔ研暦体四を積重ね伏に収納する。さらにケー
ス駿勇の下端は一対のガイド部材（５２Ａ）（５２Ｂ）
に案内され、その際に最奥部のケース←１）に対しては
一方のガイド部材（’５２Ａ）が欠除されている。また
最奥部のケース・Ｄの上端は貫通孔１４ηに下方から対
向すべく寂屋してるる。空になったケース争υを払出す
払出し装置１ｆ　ｆＡが、架台ｊにブラケット曽を介し
て敗付けたシリンダ装置ｆｔ−１と、そのピストンロッ
ドに収１寸（ザしれ且つケース６υの下端にガイド部財
（５Δ３）側から接当自在な（−押し板＆ψとにより構
成される。１つ　　　Ｊのケース争υを払出したｌ！１
１１を埋めるために、シリンダ装置６ηと、そのピスト
ンロッドに収付けた依押し板曽とからなる押込み技ｉＭ
ｑ肩が設けられる　削ン脅と、このビニオン−が係合す
るラック部を有し且つ昇降自在に案内される押上げ杆−
とからなり、この押上げ杆善は架金回に形成した孔−を
通って、最奥部のケース争υ内に下方から突入自在とな
る。最上位の被研磨体（４８１が最適の高さまで押上げ
られたことを検出するセンサー善が設けられ、このセン
サー団の検出により前記モーターを停止させると共に、
間欠駆動装置−を始動させる。前記支持台曲内において
前記架台軸上に押上はンリンダ装ｍ−が設けられ、その
上向きのピストンロッドに取付けた昇降板靭にはビン団
が立設される。

このピン＃４は、支持台部に形成した孔−を辿ってキャ
リッジ（ト）に下方から接当自在となる。ｑＱは吸着式
供給装置で、前記キャリッジ管と、各貫通孔−Ｔに供給
してなる被研磨体瞥群とを１１１１記支持回転装＊１３
１１１から研磨装置３刀に一挙叫供給するものである。

すなわち、架台−から立設したガイドロッド四に案内さ
れる昇降台（ハ）を設け、そして昇降金回を昇降させる
シリンダ装置（／、９を設けると共に、下降限を規制す
るストッパｑ４を調整自在に設けている。前記昇降台の
上には横向きのシリンダ装置（７Ｆｊが収付けられ、そ
のピストンロッドに取付けたブラケットｑりは支持回転
装置間と挟持回転装置α四の上方間に亘って移動自ｎ：
となる。９７）はブラケットＱ０のガイドロッドを示す
。目ｊＩ紀プラケットｑ（２）の下【１０にはドーナツ
伏の１挾百骸ｑ８が収付けられ、この吸着盤ｑＱは内部
に吸引Ｗ）四を有すると共に、この吸引路Ｑ’Ｊに連通
し且つ下面側で開放するキャリツノ用吸引孔■と？ｇＬ
Ｕ１暦俸用吸引孔６υとを夫々向方同に多数有している
。そして前記研Ｓ装［３７１からギヤリッジ（ト）を引
出す除去袋ｒｔｔ−が設けられる。

すなわち、枠体翰の前面側に支持枠ト↑が収付けらｎ、
この叉持枠情に、ｏｈ紀吸看詔（ｉ’ｌＧの作動方向に
Ｈ＋ったガイド体−が＆数本取付けられる。このガイド
体例に案内される可動台−は往復駆動装置α図示せず）
に連動している、Ｍ’１１紀可動台■にはガイドロッド
−を介して昇叶台■が配設され、この昇μ・１台面は昇
降用シリンダ装置管によって！１．降自在となる。＠記
昇降台■上にはｍＩ後方向のグロックシリンダ装Ｖ１−
が取付けられ、研磨、装置Ｑ　ｃ＋ｙｔ側に突出するヒ
ストンロッドにはクフンプ装置…が取付けられる。この
クランプ装［…は、ピストンロッドからのブラケットｅ
Ｄに一体の下位固定板ＩＱと、この下位固定板Ｖ４側に
前後方向ビン−を介して取付けた上位揺動板−と、下位
固定板…から研磨装置３７１に向けて連設した下位クラ
ンプ板に）と、上位揺動板−にスペーサーを介して取付
けられ且つ同方向に伸びる上位クランプ板（イ）と、下
位クランプ板特に対して上位クヲンデ板υカを離間すべ
く揺動付勢するバネに）と、このバネ…に抗して倣近揺
動させるシリンダ装置！ＩＱとから構成される。（ＥＫ
Ｉは研磨装置鼎と除去装置曽との間に設けたシュー１、
（１０１）は支持台ｉ４αの仮ｔ１１き部に設けた乾燥
用エアーノズルである。

次に上記冥施例における被ｆＩＩＦ磨体囮の両面研磨作
業を説明する。

作業前において両研磨体（９Ａ）（９Ｂ）は第２図に示
すように互いに離間勧しており、また挟持回転装置ａ’
ａｃは第１図仮想線で示すように、遊転ロープＯＯに対
して両押付はローラ０２ＱＪが離間動し１．第２し１有
半分に示すように大なる軸心間ビ・ソチ（Ｐ＋α）とな
っている。そして吸着式供給装置ｑりにおいてはシリン
ダ装置と（／９が収！１ＩｉｖＪシて、第５図仮想線で
示すように吸着盤ｑｆ９は後退限で支持同軸装置（至）
の上方に位置している。さらに被＠獣体供給装置ｔｓ＋
＋’＞においては、多数の被研磨体１４８１をｉ重ねて
収納してなるケース６υが複＆１ρセットしてあり、最
奥部のケース６Ｍ）の下端に押上げ杆−が対向している
次に供給作業と研磨作業とを順に説明するが、両作柴は
同時に遂行され、以って片側に少なくとも２個のキャリ
ッジ（至）が準備されるものである。

先ず供給作業を第１図、第５図、第６図に基づいて説明
する。なお供給時において吸着ａ　卵ｒｉｚ５図仮想線
に示すように上方に位置している。除去ｙＮｌα特によ
り供給（佐述する）されたキャリツ　ｊジ（凶は、その
貫通部（１８ｂ）を介して嵌合部（４５ｂ）に外嵌され
支持共曲側に支持されている。そして１つのｉｔ　１ｌ
ｌｌ　孔１４７１がケース６１Ｊの上端に対向している
。この伏虐でモーターを作動させ、押上げ杆山を上昇さ
せてケースかｐ内の被ＦＩｆｓ体１４＆　ｉｔ）を押上
ける。すると最上位の被研磨体１４ｇがケース６すの上
端から出てＳＮ　通孔１７１内に嵌入する。この嵌入に
よる被研磨体（４８１の高゛さが一定になったときにセ
ンサー閃が検出し、モータ閃を停止させる。その直後に
曲欠駆動装！ｉ！１４４＋が作動し、縦軸１４２１と支
持具ｌθとを介してキャリッジ（至）を所定角度だけ回
転させ、隣接する空の［６孔１４７１をケース９）］）
の上端に対向させ、そして再び押上げ作用が行なわれる
。かかる作用の繰返しによって、全てのｙｔ通孔曲に被
１ＩＩＦ磨体（４８が°嵌入供給される。

次に吸着式供給装置汽９０のシリンダ装置ｆｉＱ３１が
作動され、吸着盤σ枠を下降して第５図火線に示すよう
にキャリッジ（ト）ならびに被０［暦体１４．Ｎ群の土
間に接当させる。そして吸引路ｑ■内に吸引作用１ｋｆ
ｌ＃ｌらかせることにより、各吸引孔■６υを介してキ
ャリッジｔｔ８１ならひにｍ、４？Ｆ磨体１４１１１肛
を吸着盤Ｑ呻の下面に吸着させる。次いでシリンダ装置
Ｑ４の作動により吸引■すを第５図仮想線に示すように
上昇させて吸１゛Ｉ物を持上けるのであるが、その際に
押上はシリンダ装置−が作動し、昇降＆靭を介してビン
勿を上昇させ、以って支持具訛に対するキｑ’Ｊｔジ囮
の外れを確夫化する。そしてシリンダＦｅＩｆＪＯ’Ｆ
ｊを作動させ、１倣肴備Ｑ峠をｍ進させて第２図名字分
の火線で示すように、離間している各ローラＱυｕａ　
ｕａ　ｆｌｕの上方に位置させる。次いで仮想線に示す
ように９着盤に）を下降させてキャリッジ０樽の同縁（
１８ａ　）をにル近している。

次いでシリンダ装置Ｒｕ７１を仲＃Ｌ！ｃ動させて遊転
ローラ（ｉｌｌに対して押付はロープ（２）卯を階近創
させ、以って各挟持面（１］ａＸｌ′ｔ’ａ）（Ｉ：Ｉ
；＋）を介してキャリッジ０１２の同縁（１８ａ）を三
方向から挟持する。この状態で吸引作用を解除して６肢
ｈｌｔ　）Ｐ！一体冊を下位ｔｔｔ鮪俸（９Ｂ）に接当
するまで落下させ、そして昇降台ｑ４を上昇して吸肴怖
費を上ケ４・−１Ｆ間させたのち支持回転装置（ト）側
に代走させる。かかるｒ「業に二鮨げｆで同時に行なわ
れ、以って！ｄｔ暦坏（９Ａ）（９Ｂ月１４１に第２図
左半分ならびに第１図に示すように、保持された二枚の
キャリッジ（へ）が位置することにな゛る。

次いで、回転ｙＡ＠装ｗ１シυの作動によって、駆動さ
れる押付はローフ＠を介して各キャリッジ側を自転させ
ながら、回転駆動されている研磨体（９Ａ）（９Ｂ）を
互いに接近動させ、以って第３図に示すように各被研磨
体１４ｇの両面に開被させて当該両面の研磨を行なう。

所期の６１′Ｆ磨を行なった後、両研磨体（９Ａ）（９
Ｂ）を互いに離間動させてｔＪｆ、２図左半分の状態に
すると共に回転を停止させ、さら罠回転駆動装置シＤに
よるキャリッジＱ８の自転を停止きせる。

そして押付はローラ＠α３を第１図仮想線で示すように
離間動させて、各被研磨体１４ｇと共にキャリッジＱ８
を下位の研磨体（９Ｂ）上に載せる。

力・かる状態において、口１動台−が鰻も中心部側下位
ｔｇ、ｔｔ、ている除去装置（財）のプ・・クシリンダ
ｉｌｉ！四を作動させ、第１図仮想線（イ）で示すよう
にクランプ装置毀を前進させる。このときクランプ装置
９Ｊはシリンダ装置ｐｔの収縮動によりバネ−の弾性力
によって両りランプ板−一が離間勧しており、これらク
ランプ板！＃４４ｒｉｊ四にキャリッジＵυが位ｉｔず
′ることになる。次いでシリンダ装置ｉ’ｔｔＦＪを伸
１掛動させ、下位クランプ板４に１に対して上位クラン
プ徹υｎを！接近動させて、第８図に示すようにキャリ
ッジ（１８１（”）　９　’５　ン７”を行なう。そし
てプロックシリンク装置・ｔ＆１０作動により第１図実
線で示すようにフランジ装置−を後退させ、クランプし
てなるキャリッジ０８Ｊを引出す。このとき各被８Ｆ磨
体瞥は順次下位の研磨体（９Ｂ）から外れて下面支持が
一放されることになり、以って自ｒ１によりη通孔１４
７１がら外れて越下しシェー）ＱＸＩに受止められて収
納箱などに送られる。その後、クラン１装置興は第１図
仮想線（口１で示すように可動合端とともに横移動され
、そしてクランプされたまま、或いは支持台四重に」ｊ
さ１７ξのちエアーノズｚＬ＝（１０１）からのエアー
によって乾頽される。そして第１図仮脚線（ハ）に示す
ように支持回転装置關に再び供給される。　　　　　　
Ｊ上記実施例で示すように、吸着式供給装置Ｑりとして
吸引形式を採用することにより、被研１０＆の研磨面を
傷付けることなく受は渡しを行なりことができ、きらに
被研磨体瞥がセラミックのよりに非磁性体の場合に有利
となる。しかして被研磨体（４＆椋川や形状によっては
、例えば電磁石式など池の形式も採用できる。上記実施
例で示すようにキャリッジ（至）を介しての被６１ＦＭ
体瞥の供給、研磨、析出を複数箇所（二箇所）で同時に
行なうように構成することによって、全体としてに□□
□率化を可能にできる。

発明の効果 上記構成の本発明における板状被研磨体の両面研磨機に
よると、次のような妬果を期待できる゛。

すなわち、支持回転装置によって支持してなるキャリッ
ジを所定角度置きに間欠回転させながら、その回転停止
時に被研磨体供給装置ｔｄを作動させることにより、該
キャリッジの各１１通孔に１個づつｉｔａ　ｌ？Ｆ磨体
を供給することができる。そして全ての）ｌ連孔に被研
磨体を供給したのち、吸着式供給装置の吸着邪をキャリ
ッジ側の上面に接当させて吸着作用させることにより、
このキャリッジと各被研磨体とを同時に吸着保持するこ
とができ、ががる伏庸でＷ１重層体を脱落（落下）させ
ることなく一対の研磨体間に供給することができる。こ
のようにして供給されたキャリッジを支持回転装ＲＶｔ
よって同縁から支持し、そして吸着式供給装置を吸、祷
解除すると共に退出させることによって、各被研磨体は
キャリッジから抜出されることなく接近している下位研
磨体の上面で受止めることができる。この伏患で、支持
回転装置によりキャリッジを自転させながら、回転して
いる両研磨体を接近１１ｔｔＪさせることにより、キャ
リッジと共に移１１（回転）している各被研磨体の両面
を均一に且つ正確に研磨することができる。そして研磨
終了後、除去装置によってキャリッジを研磨Ｖｅｖがら
横方向に引出すことＫよって該キャリッジの除去を行な
うＣとができ、その１県に６鼓１ｓｌｔ　８体は順次下
向の支持が解放されることにな−、て、自重にょシキャ
リフジ側から落下し、以って自動的に取出し回収するこ
とができる。このように本発明によれば、多数の被研磨
体の供給、取出し作業を自動的に行なうことができ、研
磨は、能率的に且つ安価に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は一部切欠き平
面図、第２図〜第４図は各部の一部切欠き正面図、第５
図は支持回転装置部の一部切欠き（１１１１面図、第６
図は被研磨体供給状窓を示す縦断圓図、第７図は除去装
置部の一部切欠側面図、第８図°は第７図におけるＡ−
Ａ断面図、第９図はシュート部のｖＬ断正正面図第１０
図は全体の一部切欠き正面図、第１１図は同一部切欠き
側面図、第１２図は同平圓図である。 （１）・・・本体、（７）・・・縦軸心、（９Ａ）（９
Ｂ）・・・研磨体、Ｕυ・・・遊転ローラ、（６）μＪ
・・・押付はローラ、（至）・・・キャリッジ、（１８
ａ）・・・Ｈ縁、四・・・挟持回転装置、ｅυ・・・回
転駆ｖＪ装置、３′７＋・・・研磨装置、３＆・・・支
持回転装置、１４４１・・・間欠部＠装置、曲・・・支
持共、１４′７１・・・Ｘ通孔、１４１Ｎ・・・被研磨
体、（４９）・・・被研磨体供給装置、Φυ・・・ケー
ス、−・・・払出し装置、−・・・押込み装置、ｑＱ・
・・吸着式供給装置、Ｖ８・・・吸着盤、■・・・キャ
リッジ用吸引孔、ｅｉｔ・・・被研磨体用吸引孔、慎・
・・除去装置、慎・・・可動台、…・・・クランプ装置
、ξ＞ｒｉ・・・下位フラング板、ψ）・・・上位クラ
ンプ版、Ｏ＋ｘ＋　＝“シュート代理人　　　森　　本
　　義　　弘 第Ｓ図 乙り 第１図 ｔダ 第ｇ図 第１ｆ図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、互いに接近離間自在な上下一対の研磨体と、これら
   研磨体間に供給された円板状のキャリッジを周縁から挟
   持し自転させる挟持回転装置とを有する研磨装置を設け
   、この研磨装置の側部に、前記キャリッジを支持して所
   定角度置きに間欠回転させる支持回転装置と、前記キャ
   リッジに形成した周方向所定角度置きの貫通孔に板状の
   被研磨体を供給する被研磨体供給装置を設け、前記キャ
   リッジと、各貫通孔に供給してなる被研磨体群とを前記
   支持回転装置から研磨装置に一挙に供給する吸着式供給
   装置を設け、さらに研磨装置からキャリッジを引出す除
   去装置を設けたことを特徴とする板状被研磨体の両面研
   磨機。