JPS61100335A - 直交形位置決め装置 - Google Patents
直交形位置決め装置Info
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- JPS61100335A JPS61100335A JP21833784A JP21833784A JPS61100335A JP S61100335 A JPS61100335 A JP S61100335A JP 21833784 A JP21833784 A JP 21833784A JP 21833784 A JP21833784 A JP 21833784A JP S61100335 A JPS61100335 A JP S61100335A
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- guide
- shaft
- slider
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、直交形位置決め装置に係り、特に静圧流体軸
受およびｌＪ＝アモータを用いた装置において、高精度
位置決めに必要な高度の組立精度を得るのに好適な購潰
を有する直交形位置決め装置に関するものである。
受およびｌＪ＝アモータを用いた装置において、高精度
位置決めに必要な高度の組立精度を得るのに好適な購潰
を有する直交形位置決め装置に関するものである。
生産工場の自動化設備の基本要素の一つである直交形ロ
ボットは、近年ますます高速化、高精度化が望まれてい
る。これに対応して、摩擦力のほとんどない静圧室内お
よび直接駆動のリニアモータを適用した超精密直交形位
置決め装置の開発が進められている。
ボットは、近年ますます高速化、高精度化が望まれてい
る。これに対応して、摩擦力のほとんどない静圧室内お
よび直接駆動のリニアモータを適用した超精密直交形位
置決め装置の開発が進められている。
その先行技術情報として、円筒断面の靜Ｆｆ：、仝気軸
受を２個平行に構成したリニアモーション軸受の構造に
ついて、精密機械（精機学会誌）、Ｐ４７．第５０巻、
第５号、１９８４における、太困真士による“光体リニ
アモータ１ン軸受“と題する文献に紹介されているが、
静圧案内軸の組立の技術的な難しさについては、記述さ
れていない。
受を２個平行に構成したリニアモーション軸受の構造に
ついて、精密機械（精機学会誌）、Ｐ４７．第５０巻、
第５号、１９８４における、太困真士による“光体リニ
アモータ１ン軸受“と題する文献に紹介されているが、
静圧案内軸の組立の技術的な難しさについては、記述さ
れていない。
まず、従来の直交形位置決め装置を第６図ないし第１０
図を参照して説明する。
図を参照して説明する。
槙６図は、従来の直交形位置決め装置の斜視図、第７図
は、第６図のＡ矢視一部所面図、第８図は、第７図のＣ
矢視図、第９図は、第６図のＢ矢視一部所面図、第１０
図は、第９図のＤ矢視断面図である。
は、第６図のＡ矢視一部所面図、第８図は、第７図のＣ
矢視図、第９図は、第６図のＢ矢視一部所面図、第１０
図は、第９図のＤ矢視断面図である。
第６図において、１は、平行に配設された円筒断面の２
閂の第１の案内軸、２Ｖ′ｉ、案内軸１上を摺動する第
１の静圧スライダ、３は、その第１の静圧スライダ２に
結合され前記第１の案内軸１間に直交方向に配設された
円筒断面の第２の案内軸で、上下に２本配設されている
。４は、その第２の案内軸８上を摺動する第２の静圧ス
ライダで、静圧スライダ４には、図示しないが直交ロボ
ットの部分等が結合されるものである。５は、第１の案
内軸１の両端部１ａを支持する固定用フランジ、６は、
第２の案内軸３を第１の静圧スライダ２に結合するため
の固定用７ランジである。
閂の第１の案内軸、２Ｖ′ｉ、案内軸１上を摺動する第
１の静圧スライダ、３は、その第１の静圧スライダ２に
結合され前記第１の案内軸１間に直交方向に配設された
円筒断面の第２の案内軸で、上下に２本配設されている
。４は、その第２の案内軸８上を摺動する第２の静圧ス
ライダで、静圧スライダ４には、図示しないが直交ロボ
ットの部分等が結合されるものである。５は、第１の案
内軸１の両端部１ａを支持する固定用フランジ、６は、
第２の案内軸３を第１の静圧スライダ２に結合するため
の固定用７ランジである。
７はベースで、ベース７の４隅には突起部８があり、こ
の突起部８上に固定フランジ５が取付けられている。
の突起部８上に固定フランジ５が取付けられている。
１０は、第１の案内軸１の下部に取付けられ、第１の静
圧スライダ２を駆動させるリニアモータ、１１は、リニ
アモータ１０の横に取付ｆｆたリニアスケールで、第１
の静圧スライダのＸ軸方向の位置を検出する。
圧スライダ２を駆動させるリニアモータ、１１は、リニ
アモータ１０の横に取付ｆｆたリニアスケールで、第１
の静圧スライダのＸ軸方向の位置を検出する。
１２は、第２の案内軸３の間に取付けられ、第２の静圧
スライダ４を駆動させるリニアモータ、１３は、リニア
モータ１２の横に取付けたリニアスケールで、第２の静
圧スライダのＹ軸方向の位置を検出する・
１・このように、
第１の案内軸１、第１の静圧スライダ２、リニアモータ
１０、リニアスケール１１で、Ｘ軸方向の靜王案内を構
成し、第２の案内軸８、第２の静圧スライダ４、リニア
モータ１２、リニアスケール１８で、Ｙ軸方向の靜王案
内が構成され、第２の静圧スライダ４を直交ロボットの
部品等に連結することによって、第６図に示す装置は直
交形位置決め装置として似能するものである０ このような直交形位置決め装置において、第１の案内軸
１は高精度に加工されているが、第１の静圧スライダを
案内して静圧軸受の機能を満足させるためＫは、各々の
エアギャップを約１０μｍに維持し、しかも２個の第１
の案内軸１の平行度を高精度にする必要がある。つまり
、２個の第１の案内軸１の両端１１Ｌ４箇所の高さの差
が１〜２μｍ程度で、平行度も１〜２μｍ程度に組み立
てることが必要である。
スライダ４を駆動させるリニアモータ、１３は、リニア
モータ１２の横に取付けたリニアスケールで、第２の静
圧スライダのＹ軸方向の位置を検出する・
１・このように、
第１の案内軸１、第１の静圧スライダ２、リニアモータ
１０、リニアスケール１１で、Ｘ軸方向の靜王案内を構
成し、第２の案内軸８、第２の静圧スライダ４、リニア
モータ１２、リニアスケール１８で、Ｙ軸方向の靜王案
内が構成され、第２の静圧スライダ４を直交ロボットの
部品等に連結することによって、第６図に示す装置は直
交形位置決め装置として似能するものである０ このような直交形位置決め装置において、第１の案内軸
１は高精度に加工されているが、第１の静圧スライダを
案内して静圧軸受の機能を満足させるためＫは、各々の
エアギャップを約１０μｍに維持し、しかも２個の第１
の案内軸１の平行度を高精度にする必要がある。つまり
、２個の第１の案内軸１の両端１１Ｌ４箇所の高さの差
が１〜２μｍ程度で、平行度も１〜２μｍ程度に組み立
てることが必要である。
第７図２よび第８図において、前述の高さの差を１〜２
μｍ以内にするためには、案内軸１の軸径、固定フラン
ジ５の穴径、穴中心軸ＸＩ−ｘω瓢ら穴起部８、固定フ
ランジ５の接合面までの寸法１１の３箇所の加工精度を
高精度に出す必要があり。
μｍ以内にするためには、案内軸１の軸径、固定フラン
ジ５の穴径、穴中心軸ＸＩ−ｘω瓢ら穴起部８、固定フ
ランジ５の接合面までの寸法１１の３箇所の加工精度を
高精度に出す必要があり。
これは大変難かしい作業である。
さらに、第９図あ−よび第１０図において、も、第２の
案内軸８の平行度を出すためには、案内軸３の軸径、固
定７う／シロの２箇所の穴径、穴中心軸Ｙ、−Ｙ、、
Ｙｌ−Ｙ直距離１２の３箇所の加工精度の合成となり、
大変難かしい作業である。
案内軸８の平行度を出すためには、案内軸３の軸径、固
定７う／シロの２箇所の穴径、穴中心軸Ｙ、−Ｙ、、
Ｙｌ−Ｙ直距離１２の３箇所の加工精度の合成となり、
大変難かしい作業である。
さらにまた、第２の案内軸８の垂直面内の平行度は、穴
中心軸Ｙｌ −Ｙｌ、Ｙｌ −Ｙｌの平行度によってき
まり、組立時に調整することは不可能である。
中心軸Ｙｌ −Ｙｌ、Ｙｌ −Ｙｌの平行度によってき
まり、組立時に調整することは不可能である。
一般に、組立精度は、部品の寸法公差の累積でちる一ｈ
１ら、組立部品の数は少ない方がよく、８周整できる構
造が必要であり、従来の直交形位置決め装置はその点に
問題があった。
１ら、組立部品の数は少ない方がよく、８周整できる構
造が必要であり、従来の直交形位置決め装置はその点に
問題があった。
本発明は、前述の従来技術の問題点に鑑みてなされたも
ので、靜王案内の案内軸の平行度を、１〜２μｍ以内に
組立てることができる案内軸固定構造を有し、高精度の
位置決めが可能な直交形位置決め装置の提供を、その目
的としている。
ので、靜王案内の案内軸の平行度を、１〜２μｍ以内に
組立てることができる案内軸固定構造を有し、高精度の
位置決めが可能な直交形位置決め装置の提供を、その目
的としている。
本発明に係る直交形位置決め装置の構成は、平行に配設
した２個の第１の案内軸上を摺動する第１の静圧スライ
ダと、この第１の静圧スライダに結合され前記２個の第
１の案内軸間に直交方向に配設した第２の案内軸上を摺
動する第２の静圧スライダと、これら第１、第２の各静
圧スライダを゛それぞれ駆動するリニアモータと、前記
第１、第２の各静圧スライダの位置を検出するリニアス
ケールをベース上に備えてなる直交形位置決め装置にお
いて、前記第１の案内軸端に軸支持のための平面部を形
成し、かつ、前記ベースの四隅に設けた軸支持用突起部
上面を平面に形成し、前記第１の案内軸を前記軸支持用
突起部上面Ｘ両者の平面部を介して結合するようにした
ものである。
した２個の第１の案内軸上を摺動する第１の静圧スライ
ダと、この第１の静圧スライダに結合され前記２個の第
１の案内軸間に直交方向に配設した第２の案内軸上を摺
動する第２の静圧スライダと、これら第１、第２の各静
圧スライダを゛それぞれ駆動するリニアモータと、前記
第１、第２の各静圧スライダの位置を検出するリニアス
ケールをベース上に備えてなる直交形位置決め装置にお
いて、前記第１の案内軸端に軸支持のための平面部を形
成し、かつ、前記ベースの四隅に設けた軸支持用突起部
上面を平面に形成し、前記第１の案内軸を前記軸支持用
突起部上面Ｘ両者の平面部を介して結合するようにした
ものである。
なお、本発明を開発した考え方を付記すると、次のとお
りである。
りである。
一般に組立精度は、各部品の加工精度の累積となり、し
たがって部品点数の多い方が、また、関連寸法の多い方
が、その累積による誤差は大きくなる。
たがって部品点数の多い方が、また、関連寸法の多い方
が、その累積による誤差は大きくなる。
そこで、本発明では、案内軸とベースは極めて高精度に
加工できるものであるから、案内軸を直接ベースに固定
する構造を用い、他の部品を省略することを考えたもの
である。
加工できるものであるから、案内軸を直接ベースに固定
する構造を用い、他の部品を省略することを考えたもの
である。
（発明の実施例）
本発明の一実施例を第１図ないし第５図を参照して説明
する。
する。
ここに、第１図は、本発明の一実施例に係る直交形位置
決め装置の斜視図、第２図は、第１図のＰ矢視一部断面
図、第３図は、第２図のＲ矢視図、第４図は、第１図の
ｑ矢視図、第５図は、第４図のＳ矢視断面図である。図
中、第６図と同一符号のものは従来技術と同等部分であ
るから、その説明を省略する。
決め装置の斜視図、第２図は、第１図のＰ矢視一部断面
図、第３図は、第２図のＲ矢視図、第４図は、第１図の
ｑ矢視図、第５図は、第４図のＳ矢視断面図である。図
中、第６図と同一符号のものは従来技術と同等部分であ
るから、その説明を省略する。
第１図において、２１は、平行に配設された円筒断面の
２ ＩｖＡの第１の案内軸、２２は、案内軸２１上を摺
動する第１の静圧スライダ、２８は、そ
１の第１のスライダ２２に結合され前記第１の案内軸２
１間に直交方向に配設された円筒断面の第２の案内軸で
、上下に２本配設されている。４は、その第２の案内軸
２８上を摺動する第２の静圧スライダである。
２ ＩｖＡの第１の案内軸、２２は、案内軸２１上を摺
動する第１の静圧スライダ、２８は、そ
１の第１のスライダ２２に結合され前記第１の案内軸２
１間に直交方向に配設された円筒断面の第２の案内軸で
、上下に２本配設されている。４は、その第２の案内軸
２８上を摺動する第２の静圧スライダである。
１７はベースで、ベース１７の四隅には突起部１８があ
り、突起部１８の上面１８ａは平面に形成されている。
り、突起部１８の上面１８ａは平面に形成されている。
第１の案内軸２１、第１の静圧スライダ２２、リニアモ
ータ１０、リニアスケール１１で、Ｙ軸方向の静圧案内
を構成し、第２の案内軸２３、第２の静圧スライダ４．
リニアモータ１２、リニアスケール１３で、Ｙ軸方向の
静圧案内が構成され、第２の静圧スライダ４を直交ロボ
ットの部品等に連結することによって、第１図に示す装
置は位置決め装置として機能するものである。
ータ１０、リニアスケール１１で、Ｙ軸方向の静圧案内
を構成し、第２の案内軸２３、第２の静圧スライダ４．
リニアモータ１２、リニアスケール１３で、Ｙ軸方向の
静圧案内が構成され、第２の静圧スライダ４を直交ロボ
ットの部品等に連結することによって、第１図に示す装
置は位置決め装置として機能するものである。
この位置決め装置は、案内軸の両端の固定構造以外は、
第６図に示した従来の装置と基本的に同じものである。
第６図に示した従来の装置と基本的に同じものである。
円筒断面の第１の案内軸２１の両端は、上下面を平行に
加工して平面部２１ａを形成してあシ、直接、ベース１
７の四隅に設けた軸支持用の突起部１８の上面１８ａに
固定されている。固定の仕方は、第２図に示すよってね
じまたはボルトなどで固定すればよい。
加工して平面部２１ａを形成してあシ、直接、ベース１
７の四隅に設けた軸支持用の突起部１８の上面１８ａに
固定されている。固定の仕方は、第２図に示すよってね
じまたはボルトなどで固定すればよい。
この四箇所の突起部１８の上面１８ａは、数μｍの加工
精度で同一平面に加工されている。
精度で同一平面に加工されている。
次Ｋ、２１１１ｉｌの第１の静圧スライダ２２は、円筒
断面の第２の案内ｌ１ｔ１１２３により結合されている
。
断面の第２の案内ｌ１ｔ１１２３により結合されている
。
第２の案内軸２８も第１の案内軸２１と同様に、両端部
を上下平行に加工して平面部２８＆を形成している。
を上下平行に加工して平面部２８＆を形成している。
一方、第１の静圧スライダ２２の側面には段付き平面部
２２＆が形成されている。
２２＆が形成されている。
第４図において、２４は、第２の案内軸２３と第１の静
圧スライダ２２とを結合するための継ぎ部材に係る継ぎ
プレートで、この継ぎプレート２４は、第２の案内軸２
８の両端の平面部２８１Ｌに当接すべき平面部２４＆、
２４１＋と、第１の静圧スライダ２２の段付き平面部２
２＆に当接すべき平面部２４０を有している。
圧スライダ２２とを結合するための継ぎ部材に係る継ぎ
プレートで、この継ぎプレート２４は、第２の案内軸２
８の両端の平面部２８１Ｌに当接すべき平面部２４＆、
２４１＋と、第１の静圧スライダ２２の段付き平面部２
２＆に当接すべき平面部２４０を有している。
この継ぎプレート２４を介して、第２の案内軸２３を第
１の静圧スライダに、第４図、第５図に示すように結合
する。
１の静圧スライダに、第４図、第５図に示すように結合
する。
このような案内軸固定構造によれば、まず第２図、第３
図に示すように、ベース１７の突起部１８の上面１８ａ
Ｋ第１の案内軸２１を両端の平面部２Ｌ＆を当接させて
直接固定することにより、第１図の１本の案内！！１３
２１が水平面内で平行になるように、ベース１７の突起
部１８の上面１８＆の面内で、案内軸２１をスライドし
てその水平面内の平行度を出すことができる。
図に示すように、ベース１７の突起部１８の上面１８ａ
Ｋ第１の案内軸２１を両端の平面部２Ｌ＆を当接させて
直接固定することにより、第１図の１本の案内！！１３
２１が水平面内で平行になるように、ベース１７の突起
部１８の上面１８＆の面内で、案内軸２１をスライドし
てその水平面内の平行度を出すことができる。
第１の案内軸２１の両端の４箇所の高さのばらつきは、
第２図に示すように、案内軸２１の軸径、中心軸ｘ２−
ｘ２と当接面までの距離１３のみが関連しており、関連
寸法が２箇所しかないので、非常に高精度の平行度を出
すことができる。
第２図に示すように、案内軸２１の軸径、中心軸ｘ２−
ｘ２と当接面までの距離１３のみが関連しており、関連
寸法が２箇所しかないので、非常に高精度の平行度を出
すことができる。
また、第４図に示すように、上、下２ｒｖＡの第２の案
内４２３の平行度を出すためには、継ぎプレート２４の
当接面２４＆、２４ｂの面内でスライドして、横方向の
平行度を出すことができる。
内４２３の平行度を出すためには、継ぎプレート２４の
当接面２４＆、２４ｂの面内でスライドして、横方向の
平行度を出すことができる。
第２の案内軸２８の両端での垂直面内での２１固の距離
の差は、案内軸２８の軸径、中心軸Ｙ３−Ｙ３、 Ｙ、
Ｊ−Ｙ、−ｈ’ら各当接面までの距離モβ、および継ぎ
プレート２４の寸法！、の公差の累積となるが、先に説
明した従来技術の第９図の固定７ランジ６の穴軸心距離
の寸法ｌよより、第４図の継ぎプレート２４の当接面間
寸法もの方が、加工精度は出しやすい。それゆえ、２個
の第２の案内軸２８の平行度を高精度に出すことができ
る。
の差は、案内軸２８の軸径、中心軸Ｙ３−Ｙ３、 Ｙ、
Ｊ−Ｙ、−ｈ’ら各当接面までの距離モβ、および継ぎ
プレート２４の寸法！、の公差の累積となるが、先に説
明した従来技術の第９図の固定７ランジ６の穴軸心距離
の寸法ｌよより、第４図の継ぎプレート２４の当接面間
寸法もの方が、加工精度は出しやすい。それゆえ、２個
の第２の案内軸２８の平行度を高精度に出すことができ
る。
本実施例によれば、高精度に加工した２１［！ｄの第１
の案内軸２１の案内軸２１の両端を直接、ベース１７の
軸支持用突起部１８に固定し、また、２個の第２の案内
軸２８の両端を、継ぎプレート２４に固定し、それぞれ
調整の可能な構造であるので、それぞれ２個の案内軸２
１．２８を１〜２μ構造の直交形位置決め装置として、
直交形ロボツ“ａ′！′ｙＸｆ［［１ｉ１″＆″””１
−一”８６° ！・なお、前述の実施例の説明で
は、直交形位置決め装置は、直交形ロボットに適用する
例として説明したが、本発明の直交形位置決め装置は、
直交形ロボットに限らず、さまざまな自動組立機、自動
化設備に適用できる汎用的なものである。
の案内軸２１の案内軸２１の両端を直接、ベース１７の
軸支持用突起部１８に固定し、また、２個の第２の案内
軸２８の両端を、継ぎプレート２４に固定し、それぞれ
調整の可能な構造であるので、それぞれ２個の案内軸２
１．２８を１〜２μ構造の直交形位置決め装置として、
直交形ロボツ“ａ′！′ｙＸｆ［［１ｉ１″＆″””１
−一”８６° ！・なお、前述の実施例の説明で
は、直交形位置決め装置は、直交形ロボットに適用する
例として説明したが、本発明の直交形位置決め装置は、
直交形ロボットに限らず、さまざまな自動組立機、自動
化設備に適用できる汎用的なものである。
以上述べたＬうに、本発明によれば、静圧案内の案内軸
の平行度を、１〜２μｍ以内に組立てることができる案
内軸固定構造を有し、高精度の位置決めが可能な直交形
位置決め装置を提供することができる。
の平行度を、１〜２μｍ以内に組立てることができる案
内軸固定構造を有し、高精度の位置決めが可能な直交形
位置決め装置を提供することができる。
第１図は、本発明の一実施例に係る直交形位置決め装置
の斜視図、第２図は、第１図のＰ矢視一部所面図、第３
図は、第２図のＰ矢視図、第４図は、第１図のＱ矢視図
、第５図は、第４図のＳ矢視断面図、第６図は、従来の
直交形位置決め装置の斜視図、第７図は、第６図のＡ矢
視一部所面図、第８図は、第７図のＣ矢視図、第９図は
、第６図のＢ矢視一部所面図、第１０図は、第９図のＤ
矢視断面図である。 ４・・・第２の静圧スライダ １０．１２・・・リニア
モータ ｔｉ、 １ａ・・・リニアスケール １７・
−・ベース １８・・・突起部 １８ａ・・・上面 ２
１・・・第１の案内軸 ２１１Ｌ・−・平面部 ２２・
・・第１の静圧スライダ ２２＆・・・段付き平面部
２３・・・第２の案内軸 ２ａ＆・・・平面部 ２４・
・・継ぎプレート ２４ａ、２４ｂ、２４Ｃ一平面部
の斜視図、第２図は、第１図のＰ矢視一部所面図、第３
図は、第２図のＰ矢視図、第４図は、第１図のＱ矢視図
、第５図は、第４図のＳ矢視断面図、第６図は、従来の
直交形位置決め装置の斜視図、第７図は、第６図のＡ矢
視一部所面図、第８図は、第７図のＣ矢視図、第９図は
、第６図のＢ矢視一部所面図、第１０図は、第９図のＤ
矢視断面図である。 ４・・・第２の静圧スライダ １０．１２・・・リニア
モータ ｔｉ、 １ａ・・・リニアスケール １７・
−・ベース １８・・・突起部 １８ａ・・・上面 ２
１・・・第１の案内軸 ２１１Ｌ・−・平面部 ２２・
・・第１の静圧スライダ ２２＆・・・段付き平面部
２３・・・第２の案内軸 ２ａ＆・・・平面部 ２４・
・・継ぎプレート ２４ａ、２４ｂ、２４Ｃ一平面部
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、平行に配設した２個の第１の案内軸上を摺動する第
１の静圧スライダと、この第１の静圧スライダに結合さ
れ前記２個の第１の案内軸間に直交方向に配設した第２
の案内軸上を摺動する第２の静圧スライダと、これら第
１、第２の各静圧スライダをそれぞれ駆動するリニアモ
ータと、前記第１、第２の各静圧スライダの位置を検出
するリニアスケールをベース上に備えてなる直交形位置
決め装置において、前記第１の案内軸端に軸支持のため
の平面部を形成し、かつ、前記ベースの四隅に設けた軸
支持用突起部上面を平面に形成し、前記第１の案内軸を
前記軸支持用突起部上に、両者の平面部を介して結合す
るように構成したことを特徴とする直交形位置決め装置
。 ２、特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、第２の
案内軸の軸端に軸支持のための平面部を形成し、かつ、
第１の静圧スライダの側面に段付き平面部を形成し、こ
れらの各平面に当接すべき各平面を具備する継ぎ部材を
介して、前記第２の案内軸を前記第１の静圧スライダに
結合するように構成したものである直交形位置決め装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21833784A JPS61100335A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 直交形位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21833784A JPS61100335A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 直交形位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61100335A true JPS61100335A (ja) | 1986-05-19 |
Family
ID=16718278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21833784A Pending JPS61100335A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 直交形位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61100335A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012123612A1 (es) * | 2011-03-15 | 2012-09-20 | Loxin 2002, S.L. | Sistema de guiado para desplazamiento longitudinal |
| CN104875200A (zh) * | 2015-06-02 | 2015-09-02 | 北京众驰伟业科技发展有限公司 | 一种xy轴自动滑轨机械臂 |
| JP2020522341A (ja) * | 2017-06-06 | 2020-07-30 | シーエムアール サージカル リミテッドＣｍｒ Ｓｕｒｇｉｃａｌ Ｌｉｍｉｔｅｄ | ロボット外科用器具 |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP21833784A patent/JPS61100335A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012123612A1 (es) * | 2011-03-15 | 2012-09-20 | Loxin 2002, S.L. | Sistema de guiado para desplazamiento longitudinal |
| CN104875200A (zh) * | 2015-06-02 | 2015-09-02 | 北京众驰伟业科技发展有限公司 | 一种xy轴自动滑轨机械臂 |
| JP2020522341A (ja) * | 2017-06-06 | 2020-07-30 | シーエムアール サージカル リミテッドＣｍｒ Ｓｕｒｇｉｃａｌ Ｌｉｍｉｔｅｄ | ロボット外科用器具 |
| US11382706B2 (en) | 2017-06-06 | 2022-07-12 | Cmr Surgical Limited | Securing an interface element rail of a robotic surgical instrument interface |
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