JPS6097614A - フイルムコンデンサの製造方法 - Google Patents
フイルムコンデンサの製造方法Info
- Publication number
- JPS6097614A JPS6097614A JP20541683A JP20541683A JPS6097614A JP S6097614 A JPS6097614 A JP S6097614A JP 20541683 A JP20541683 A JP 20541683A JP 20541683 A JP20541683 A JP 20541683A JP S6097614 A JPS6097614 A JP S6097614A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- polyimide
- capacitor
- polyimide film
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- Granted
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は小形で耐熱性にすぐれた誘電体としてポリイミ
ドフィルムを用いたフィルムコンデンサの製造方法に関
する。
ドフィルムを用いたフィルムコンデンサの製造方法に関
する。
近年電子桟器の小形化、隅密度化指向の現状の中でフィ
ルムコンデンサも例外にもれず小形化の要求が高くなっ
ている。しかしてこのような要求に対応するためプラス
チックフィルムの薄ｊｊＱ化が強くおし進められ、現在
ではフィルム単独として取シ扱うことのできる極限の値
で必る２〜３μ展厚のフィルムが製作されるまでになっ
てフィルムコンデンサの小形化に大きく貢献をしている
現状にある。しかしながらこれらはポリエステル・ポリ
プロピレンなどの熱可塑性フィルムであり薄膜化は延伸
することによって得られるものでありフィルムの耐熱性
に高いものではない。またコンデンサの小形化の要求と
ともにチップ化の要求も高い現状にある。チップ形のフ
ィルムコンデンサも一部発表されているが、そ７″Ｌは
りフロー半田イ」け用途のみでチップ半田付は用途のも
のけない。それはチップコンデンサを構成するフィルム
かチップ時の熱に耐えられない理由にもとづくものであ
る。しかして従来この用途に最適なフィルムとしてポリ
イミドフィルムがあるか該フィルム（’ｌ −７１没に
ボリアミンク戯溶液を溶成流延法でフィルムＶこ加熱閉
環してポリイミドフィルムにするもので加工性が悪く、
シかも延伸してフィルムを薄膜化することにできないた
めせいぜい０．５ ａｉｌ （１２，５μ→のＪ犀さ首
でのものしか得られず耐熱性の問題は解決できても現状
のままではコンデンサの小形化指向には答え得なかった
。
ルムコンデンサも例外にもれず小形化の要求が高くなっ
ている。しかしてこのような要求に対応するためプラス
チックフィルムの薄ｊｊＱ化が強くおし進められ、現在
ではフィルム単独として取シ扱うことのできる極限の値
で必る２〜３μ展厚のフィルムが製作されるまでになっ
てフィルムコンデンサの小形化に大きく貢献をしている
現状にある。しかしながらこれらはポリエステル・ポリ
プロピレンなどの熱可塑性フィルムであり薄膜化は延伸
することによって得られるものでありフィルムの耐熱性
に高いものではない。またコンデンサの小形化の要求と
ともにチップ化の要求も高い現状にある。チップ形のフ
ィルムコンデンサも一部発表されているが、そ７″Ｌは
りフロー半田イ」け用途のみでチップ半田付は用途のも
のけない。それはチップコンデンサを構成するフィルム
かチップ時の熱に耐えられない理由にもとづくものであ
る。しかして従来この用途に最適なフィルムとしてポリ
イミドフィルムがあるか該フィルム（’ｌ −７１没に
ボリアミンク戯溶液を溶成流延法でフィルムＶこ加熱閉
環してポリイミドフィルムにするもので加工性が悪く、
シかも延伸してフィルムを薄膜化することにできないた
めせいぜい０．５ ａｉｌ （１２，５μ→のＪ犀さ首
でのものしか得られず耐熱性の問題は解決できても現状
のままではコンデンサの小形化指向には答え得なかった
。
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので誘電体として
薄膜化されたポリイミドフィルムを用いた小形で耐熱性
にすぐｎｆｃフィルムコンデンサの製造方法を提供する
ことを目的とするものである。
薄膜化されたポリイミドフィルムを用いた小形で耐熱性
にすぐｎｆｃフィルムコンデンサの製造方法を提供する
ことを目的とするものである。
以下本発明の一実施例につき説明する。まず最初に誘電
体としてのポリイミドフィルムの製造方法について説明
する。すなわち基板として例えば第１図に示すようにロ
ール状のアルミニウム鳩（１）を走行する過程で該アル
ミニウム酒（１）面に感光性ポリイミド削）躯体〔東し
商品名＝フォトニースυＲ−３１００） （２＋を供給
し、ドクターナイフ（３１で均一塗布し、しかる後８０
℃×６０分加熱炉（４）ヲ通しグリ−ベークし握さ６μ
つポリイミドｔｉｌｌ換（５）全形成する。その後該湧
膜（５１ｆ １００ｗ／＋＋／ 高圧水銀灯（６）で２
５秒間露光しつき［ＤＶ−１４０の現象液（７）に佼漬
して現像し、イソプロパツール（８）で１０ 秒１ｉＡ
Ｊ ’）ンスしたのち、キュア炉（９）ヲ用いて１３５
℃ Ｘ３０分＋２００℃×３０分＋３００℃×３０分＋
４００℃Ｘ３０分でキュアし、しかる後１−ＩｉＪ記尚
膜（５１を前記アルミニウム池（１）からけがしＪｌさ
３μ札のポリイミドフィルム００を形成する。下表に示
１−％性は目ＩＪ記ポリイミドフィルム００）を適当な
太きでにカントしたのちアルミニウムを両面に蒸着さぜ
三電極をとり測定した特性値でろ９ポリイミドのもつす
ぐでした電気的特性と筒い耐熱性特性を示しコンデンサ
の誘電体材料として極めて有用である。
体としてのポリイミドフィルムの製造方法について説明
する。すなわち基板として例えば第１図に示すようにロ
ール状のアルミニウム鳩（１）を走行する過程で該アル
ミニウム酒（１）面に感光性ポリイミド削）躯体〔東し
商品名＝フォトニースυＲ−３１００） （２＋を供給
し、ドクターナイフ（３１で均一塗布し、しかる後８０
℃×６０分加熱炉（４）ヲ通しグリ−ベークし握さ６μ
つポリイミドｔｉｌｌ換（５）全形成する。その後該湧
膜（５１ｆ １００ｗ／＋＋／ 高圧水銀灯（６）で２
５秒間露光しつき［ＤＶ−１４０の現象液（７）に佼漬
して現像し、イソプロパツール（８）で１０ 秒１ｉＡ
Ｊ ’）ンスしたのち、キュア炉（９）ヲ用いて１３５
℃ Ｘ３０分＋２００℃×３０分＋３００℃×３０分＋
４００℃Ｘ３０分でキュアし、しかる後１−ＩｉＪ記尚
膜（５１を前記アルミニウム池（１）からけがしＪｌさ
３μ札のポリイミドフィルム００を形成する。下表に示
１−％性は目ＩＪ記ポリイミドフィルム００）を適当な
太きでにカントしたのちアルミニウムを両面に蒸着さぜ
三電極をとり測定した特性値でろ９ポリイミドのもつす
ぐでした電気的特性と筒い耐熱性特性を示しコンデンサ
の誘電体材料として極めて有用である。
表
しかして上記第１図に示すような手段によって形成した
ポリイミドフィルム（１ｏ）の幅方向の一端部にマージ
ン部を設は該マージン部を除いた全面にアルミニウム・
亜鉛などの金属粉末を蒸着し片面捷たは両面に蒸着電極
を形成し金属化フィルムを構成する。つきに該金属化フ
ィルム一対を例えば大口径巻芯に巻取シ両端面にメタリ
コン電極を形成し母素子を形成した後、該母素子をｈ１
ｊ記巻芯から取ジげずし鋸刃で半径方向に切断しチップ
フィルムコンデンサを得る。ｌ：うにするものである。
ポリイミドフィルム（１ｏ）の幅方向の一端部にマージ
ン部を設は該マージン部を除いた全面にアルミニウム・
亜鉛などの金属粉末を蒸着し片面捷たは両面に蒸着電極
を形成し金属化フィルムを構成する。つきに該金属化フ
ィルム一対を例えば大口径巻芯に巻取シ両端面にメタリ
コン電極を形成し母素子を形成した後、該母素子をｈ１
ｊ記巻芯から取ジげずし鋸刃で半径方向に切断しチップ
フィルムコンデンサを得る。ｌ：うにするものである。
以上のように構成してなるコンデンサの製造方法によ７
′Ｌは塗布にょクポリマー薄膜層形成手段によってポリ
イミドフィルムｋ ３０るものであるため従来手段では
イ勾ることので＠ない２μ九〜３μ島の４Ｊｚ ＜ 薄
いポリイミドフィルム形成が可能となｐ１ポリイミドの
もつ極めてすぐ′ｉ″した１ｉｌｉ４熱性を最大限生か
し、ディップ半田側用途に適したチップコンデンサでし
かも成形外装が不要で装造の１ハ゛」略化はもとより小
形化に犬きく頁献できるフィルムコンデンサを容易に得
ることができる独特な効果を准する。
′Ｌは塗布にょクポリマー薄膜層形成手段によってポリ
イミドフィルムｋ ３０るものであるため従来手段では
イ勾ることので＠ない２μ九〜３μ島の４Ｊｚ ＜ 薄
いポリイミドフィルム形成が可能となｐ１ポリイミドの
もつ極めてすぐ′ｉ″した１ｉｌｉ４熱性を最大限生か
し、ディップ半田側用途に適したチップコンデンサでし
かも成形外装が不要で装造の１ハ゛」略化はもとより小
形化に犬きく頁献できるフィルムコンデンサを容易に得
ることができる独特な効果を准する。
つぎに実験結果をもとに本発明のすぐれた効果につき具
体的に述べる。すなわち第１図に示１−ような手段によ
って形成した幅４．５龍埋さ３μ札のポリイミドフィル
ムの片面にマージン幅Ｑ、 ５ 萬ｍ ｆ除いてアルミ
ニウム蒸着電極を設けた金属化ポリイミドフィルムを大
口径巻芯に巻回し両端面にメタリコン電極を形成してな
る母素子を鋸刃で半径方向に切断して０．０３３μＦの
チップコンデンサとした本発明品囚と延伸することによ
って形成した幅４．５ｍ）＝ｉ３μ幅ポリエステルフィ
ルムの片面にマージン幅０．５朋を除いてアルミニウム
蒸着′１ｂ、）Ｊｌ誕を設げた金属化ポリエステルフイ
ルムヲ同じく大口径巻芯に巻回し両☆１１＾曲メタリコ
ン電極を形成してなる母累子を、鋸刃で半径方向に切１
０ｆして０．０３３Ｐｒのチップコンデンサとし１ζ参
４例品（１３１との）１１吸に対するｌｌｌ化上下ｔａ
ｌｌδ、１１＜１（ｚ下の谷句没化率および１００ＶＤ
Ｃ印加下の絶縁抵抗の各特性を比較した結果第２図〜第
４図に示すようにな９本発明品囚のすぐれた耐熱特性を
実証した。
体的に述べる。すなわち第１図に示１−ような手段によ
って形成した幅４．５龍埋さ３μ札のポリイミドフィル
ムの片面にマージン幅Ｑ、 ５ 萬ｍ ｆ除いてアルミ
ニウム蒸着電極を設けた金属化ポリイミドフィルムを大
口径巻芯に巻回し両端面にメタリコン電極を形成してな
る母素子を鋸刃で半径方向に切断して０．０３３μＦの
チップコンデンサとした本発明品囚と延伸することによ
って形成した幅４．５ｍ）＝ｉ３μ幅ポリエステルフィ
ルムの片面にマージン幅０．５朋を除いてアルミニウム
蒸着′１ｂ、）Ｊｌ誕を設げた金属化ポリエステルフイ
ルムヲ同じく大口径巻芯に巻回し両☆１１＾曲メタリコ
ン電極を形成してなる母累子を、鋸刃で半径方向に切１
０ｆして０．０３３Ｐｒのチップコンデンサとし１ζ参
４例品（１３１との）１１吸に対するｌｌｌ化上下ｔａ
ｌｌδ、１１＜１（ｚ下の谷句没化率および１００ＶＤ
Ｃ印加下の絶縁抵抗の各特性を比較した結果第２図〜第
４図に示すようにな９本発明品囚のすぐれた耐熱特性を
実証した。
捷た、本発明品（５）と参考例品（Ｂｌとも上記実験例
で用いたものと同じ試料を用い２６０ Ｃの半田デンプ
槽に１０秒間浸漬した後における目視観察を用いたとこ
ろ参考例［Ｂｌのものは熱劣化が激しくもちろん特性的
にもコンデンサとしての機能は喪失してしまったのに対
し本発明（５）のものは熱劣化がほとんど？ ＜ 特性
の劣化も極く小さく外装を施すことなくすぐれた耐熱性
を発揮しディップ半田付用途に適する効果を実証した。
で用いたものと同じ試料を用い２６０ Ｃの半田デンプ
槽に１０秒間浸漬した後における目視観察を用いたとこ
ろ参考例［Ｂｌのものは熱劣化が激しくもちろん特性的
にもコンデンサとしての機能は喪失してしまったのに対
し本発明（５）のものは熱劣化がほとんど？ ＜ 特性
の劣化も極く小さく外装を施すことなくすぐれた耐熱性
を発揮しディップ半田付用途に適する効果を実証した。
なお、上記実施例では積層形コンデンサを例示して説明
°したが巻回形コンデンサに適用できることは言うまで
もない。また、上記実施例では基板への感光性ポリイミ
ド前駆体塗布手段としてドクターナイフを用いるドクタ
ーブレンドコーテング法を例示して説明したが、例えば
リバースロールコーテング法またはグラビアロールコー
テング法を用いても同効である。
°したが巻回形コンデンサに適用できることは言うまで
もない。また、上記実施例では基板への感光性ポリイミ
ド前駆体塗布手段としてドクターナイフを用いるドクタ
ーブレンドコーテング法を例示して説明したが、例えば
リバースロールコーテング法またはグラビアロールコー
テング法を用いても同効である。
以上述べたように本発明によれば感光性ポリイミドＭＩ
Ｊ躯体を基板に塗布し紫外馴を照射後加熱してポリイミ
ド薄膜を形成し、しがる後Ｍ記基板がら前記ポリイミド
薄膜をはがし形成したポリイミドフィルムに蒸着電極を
形成してなる金属化ポリイミドフィルムを用いることに
よって小形で極めてすぐれた耐熱特性を有するフィルム
コンデンサの製造方法を提供できる。
Ｊ躯体を基板に塗布し紫外馴を照射後加熱してポリイミ
ド薄膜を形成し、しがる後Ｍ記基板がら前記ポリイミド
薄膜をはがし形成したポリイミドフィルムに蒸着電極を
形成してなる金属化ポリイミドフィルムを用いることに
よって小形で極めてすぐれた耐熱特性を有するフィルム
コンデンサの製造方法を提供できる。
第１図に本発明を構成するポリイミドフィルムの形成手
段を示す概略説明図、第２図は温度−ｔａｎδ特性曲線
図、第３図は温度−静電容量変化率特性曲線図、第４図
（は温度−絶縁抵抗特性図でめる０ （１１・・・アルミニウム２Ｌ（２１・・・感光性ポリ
イミド前駆体、（３１・ ・・ドクターナイフ。 （４）・・・加熱炉、（５）・・・ポリイミド薄膜。 ｉ６１・・・高圧水銀灯、００・・・ポリイミドフィル
ム特許出願人 マルコン篭子株式会社 第２図 第３図 一シ苗 激 （・Ｃ） 第４図 古Ｏ１００１５０２ＤＯ訪Ｏシρ 県蔑（Ｃ）
段を示す概略説明図、第２図は温度−ｔａｎδ特性曲線
図、第３図は温度−静電容量変化率特性曲線図、第４図
（は温度−絶縁抵抗特性図でめる０ （１１・・・アルミニウム２Ｌ（２１・・・感光性ポリ
イミド前駆体、（３１・ ・・ドクターナイフ。 （４）・・・加熱炉、（５）・・・ポリイミド薄膜。 ｉ６１・・・高圧水銀灯、００・・・ポリイミドフィル
ム特許出願人 マルコン篭子株式会社 第２図 第３図 一シ苗 激 （・Ｃ） 第４図 古Ｏ１００１５０２ＤＯ訪Ｏシρ 県蔑（Ｃ）
Claims (1)
- ロール状基板に感光性ポリイミド前駆体を塗布する手段
と、前−己ポリイミド前駆体塗布面に紫外線を照射した
後加熱しポリイミド薄膜を形成する手段と、該ポリイミ
ド薄ｊ摸を前記基板からはがしポリイミドフィルムを形
成する手段と、該ポリイミドフィルムに蒸着電極を形成
し金属化ポリイミドフィルムを形成する手段と、該金属
化ポリイミドフィルムを稙層捷たは巻回しコンデンサ素
子を形成１−る手段とを具備したことを特徴とするフィ
ルムコンデンサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20541683A JPS6097614A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | フイルムコンデンサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20541683A JPS6097614A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | フイルムコンデンサの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6097614A true JPS6097614A (ja) | 1985-05-31 |
| JPH0232773B2 JPH0232773B2 (ja) | 1990-07-23 |
Family
ID=16506483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20541683A Granted JPS6097614A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | フイルムコンデンサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6097614A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01200609A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-11 | Nippon Chemicon Corp | 積層フィルムコンデンサ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5191860A (en) * | 1975-02-10 | 1976-08-12 | Atsuenki no itaatsuseigyosochi | |
| JPS5797814A (en) * | 1980-12-11 | 1982-06-17 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | Thickness controlling method for strip |
-
1983
- 1983-10-31 JP JP20541683A patent/JPS6097614A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5191860A (en) * | 1975-02-10 | 1976-08-12 | Atsuenki no itaatsuseigyosochi | |
| JPS5797814A (en) * | 1980-12-11 | 1982-06-17 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | Thickness controlling method for strip |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01200609A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-11 | Nippon Chemicon Corp | 積層フィルムコンデンサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0232773B2 (ja) | 1990-07-23 |
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