JPS6096833U - 半導体ウエ−ハ液処理用キヤリアハンガ− - Google Patents
半導体ウエ−ハ液処理用キヤリアハンガ−Info
- Publication number
- JPS6096833U JPS6096833U JP18965483U JP18965483U JPS6096833U JP S6096833 U JPS6096833 U JP S6096833U JP 18965483 U JP18965483 U JP 18965483U JP 18965483 U JP18965483 U JP 18965483U JP S6096833 U JPS6096833 U JP S6096833U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid processing
- semiconductor wafer
- carrier hanger
- wafer liquid
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Packaging For Recording Disks (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図のキャリアの側面図、第2図は第1図のA−A線
に沿う断面図、第3図は従来のキャリアハンガーを説明
するためのウェーハ液処理装置における側断面図、第4
図は本考案の一実施例を示す斜視図、第5図は第4図の
B−B線に沿う拡大断面図、第6図乃至第8図は第4図
のキャリアハンガーを使ったウェーハ液処理動作を説明
するための各工程でのキャリアハンガー正面図である。 1・・・・・・キャリア、5・・・・・・半導体ウェー
ハ、12・・・・・・キャリアハンガー、13・・・・
・・第1枠部、14・・・・・・第2枠部、15・・・
・・・連結部、16・・・・・・ウェーハ浮上防止手段
(横バー)。
に沿う断面図、第3図は従来のキャリアハンガーを説明
するためのウェーハ液処理装置における側断面図、第4
図は本考案の一実施例を示す斜視図、第5図は第4図の
B−B線に沿う拡大断面図、第6図乃至第8図は第4図
のキャリアハンガーを使ったウェーハ液処理動作を説明
するための各工程でのキャリアハンガー正面図である。 1・・・・・・キャリア、5・・・・・・半導体ウェー
ハ、12・・・・・・キャリアハンガー、13・・・・
・・第1枠部、14・・・・・・第2枠部、15・・・
・・・連結部、16・・・・・・ウェーハ浮上防止手段
(横バー)。
Claims (1)
- 半導体ウェーハを一定間隔で縦に整列収納するキャリア
を吊下支持する第1枠部と、前記キャリアの高さより少
し大きい間隔で前記第1枠部と上方で対向すると共に第
1枠部内のキャリアに収納された半導体ウェーハに対向
するウェーハ浮上防止手段を具えた第2枠部と、前記第
1、第2枠部を連結一体化する連結部とで構成したこと
を特徴とする半導体ウェーハ液処理用キャリアハンガー
X
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18965483U JPS6096833U (ja) | 1983-12-07 | 1983-12-07 | 半導体ウエ−ハ液処理用キヤリアハンガ− |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18965483U JPS6096833U (ja) | 1983-12-07 | 1983-12-07 | 半導体ウエ−ハ液処理用キヤリアハンガ− |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6096833U true JPS6096833U (ja) | 1985-07-02 |
JPS6311730Y2 JPS6311730Y2 (ja) | 1988-04-05 |
Family
ID=30408842
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18965483U Granted JPS6096833U (ja) | 1983-12-07 | 1983-12-07 | 半導体ウエ−ハ液処理用キヤリアハンガ− |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6096833U (ja) |
-
1983
- 1983-12-07 JP JP18965483U patent/JPS6096833U/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6311730Y2 (ja) | 1988-04-05 |
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