JPS6096597A - 液相エピタキシアル成長装置の操作棒封止装置 - Google Patents
液相エピタキシアル成長装置の操作棒封止装置Info
- Publication number
- JPS6096597A JPS6096597A JP20032783A JP20032783A JPS6096597A JP S6096597 A JPS6096597 A JP S6096597A JP 20032783 A JP20032783 A JP 20032783A JP 20032783 A JP20032783 A JP 20032783A JP S6096597 A JPS6096597 A JP S6096597A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- packing
- operation shaft
- operating rod
- shaft
- phase epitaxial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B19/00—Liquid-phase epitaxial-layer growth
- C30B19/06—Reaction chambers; Boats for supporting the melt; Substrate holders
- C30B19/062—Vertical dipping system
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
不発りＪは半尋体製造に用いられるスライド式液相エピ
タキシアル成長装置の操作棒封止装置に関するものであ
る。
タキシアル成長装置の操作棒封止装置に関するものであ
る。
従来例の構成とその問題点
従来、スライド式液相エピタキシアル成長装置のボート
操作棒の封１Ｆには０リングを使用している。以下に従
来の操作棒封止装置について説明する。
操作棒の封１Ｆには０リングを使用している。以下に従
来の操作棒封止装置について説明する。
第１図は従来の操作棒封止装置全示すものであり、１は
パツキン箱、２は操作棒、３は０リングである。
パツキン箱、２は操作棒、３は０リングである。
この装置の一方を雰囲気ガス、他方を人気中となるよう
な装置に取り付りて操作棒２を回転または軸方向に移動
させることができる。
な装置に取り付りて操作棒２を回転または軸方向に移動
させることができる。
しかしながら上記のような構成では、Ｏリング３の接触
圧力により操作棒２の運動は円滑さを欠き、特に手動で
操作棒２を動かすときは停止に位置を正確に設定するこ
とが極めて困難であるという問題点を有していた。
圧力により操作棒２の運動は円滑さを欠き、特に手動で
操作棒２を動かすときは停止に位置を正確に設定するこ
とが極めて困難であるという問題点を有していた。
発明の目的
本発明は上記問題点を解消するもので、特にスライド式
液相エピタキシアル成長装置のように停止位置を正確に
規制する必要がある装置に使用できる液相エピタキシア
ル成長装置の操作棒封止装置を提供することを目的とす
る。
液相エピタキシアル成長装置のように停止位置を正確に
規制する必要がある装置に使用できる液相エピタキシア
ル成長装置の操作棒封止装置を提供することを目的とす
る。
発明の構成
本発明の液相エピタキシアル成長装置の操作棒封止装置
はＶ形ゴムパツキンと、振れＩＬめリング全備えた操作
棒封止装置であり、Ｖ形ゴムバッキングで操作棒の接触
抵抗を軽減すると共に、振れ止めリングを配置して操作
棒の移動を円滑にすることができるものである。
はＶ形ゴムパツキンと、振れＩＬめリング全備えた操作
棒封止装置であり、Ｖ形ゴムバッキングで操作棒の接触
抵抗を軽減すると共に、振れ止めリングを配置して操作
棒の移動を円滑にすることができるものである。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。
明する。
第２図は本発明の一実施例における操作棒封止装置の・
４ツキン箱の内部構造を示すものである。
４ツキン箱の内部構造を示すものである。
第２図において１１はパツキン箱、１２は操作棒、１３
はＶ形ゴムパツキン、１４は振れ止めリング、１５はパ
ツキンの間隔を保持するだめのパツキン受け、１５は端
面部の蓋、１７は押えねじである。
はＶ形ゴムパツキン、１４は振れ止めリング、１５はパ
ツキンの間隔を保持するだめのパツキン受け、１５は端
面部の蓋、１７は押えねじである。
また、第３図は振れ止めリング１４の平面形状を示す。
以上のように構成された操作棒封止装置について、以下
その動作を説明する。
その動作を説明する。
第２図において、ゴムパツキン１３は操作棒１２との接
触部断面４ｖ形に成形し、その内径を操作棒１２の外径
よりもやや小さくして封止機能をもたせである。ゴムパ
ツキン１３の断面ｒ、 Ｖ形に成形したのは、封止機能
を有しながら操作棒１２との摩擦を最少限にするためで
ある。振れ止めリング１４は、ガス抜は効果と操作棒１
２との接触面積を減小させるため第３図のような形状と
し、その内径は操作棒１２と軽く摺動する程度に仕上げ
る。これらを第２図のように配列してパッキン箱１１全
構成する。
触部断面４ｖ形に成形し、その内径を操作棒１２の外径
よりもやや小さくして封止機能をもたせである。ゴムパ
ツキン１３の断面ｒ、 Ｖ形に成形したのは、封止機能
を有しながら操作棒１２との摩擦を最少限にするためで
ある。振れ止めリング１４は、ガス抜は効果と操作棒１
２との接触面積を減小させるため第３図のような形状と
し、その内径は操作棒１２と軽く摺動する程度に仕上げ
る。これらを第２図のように配列してパッキン箱１１全
構成する。
このパツキン箱１１の一方を雰囲気ガス側に、他方を大
気側になるように設置して操作棒１２を軸方向に操作す
る。
気側になるように設置して操作棒１２を軸方向に操作す
る。
以上のように本実施例によればＶ形のゴムパツキン１３
と振れ止めリング１４を設けることにより、操作棒１２
は芯振れを起すことなく、かつ滑らかに軸方向に移動す
る。また雰囲気ガスが洩れることもない。
と振れ止めリング１４を設けることにより、操作棒１２
は芯振れを起すことなく、かつ滑らかに軸方向に移動す
る。また雰囲気ガスが洩れることもない。
第４図は本発明のスライド式液相エピタキシアル装置反
応管への実装図である。
応管への実装図である。
同図において２１は反応管、２２は雰囲気ガスの出入口
、２３は加熱炉、２４は第２図で詳細を示したパツキン
箱、２６は０リング、２６はボート、２７は基板、２８
はソースタンク、２９は操作棒である。
、２３は加熱炉、２４は第２図で詳細を示したパツキン
箱、２６は０リング、２６はボート、２７は基板、２８
はソースタンク、２９は操作棒である。
上記のように構成されたスライド式液和エピタキシアル
装置について以下本発明関連部分の動作全説明するっ ソースタンク２８には数種類のソースを用意しており、
このソースを基板２７上に順次移動して多層の結晶成長
を行なう。このソースタンク２８の移動は外部から操作
棒２９により行うが、その移動はスムーズで基板２７と
ソースの対面位置は正確でなければならない。なお反応
管２１内部は雰囲気ガスで保護され人気と遮断されてい
る。
装置について以下本発明関連部分の動作全説明するっ ソースタンク２８には数種類のソースを用意しており、
このソースを基板２７上に順次移動して多層の結晶成長
を行なう。このソースタンク２８の移動は外部から操作
棒２９により行うが、その移動はスムーズで基板２７と
ソースの対面位置は正確でなければならない。なお反応
管２１内部は雰囲気ガスで保護され人気と遮断されてい
る。
この反工し、菅２１と操作棒２９挿入部分の封止手段と
して第２図のパツキン箱２４ｆ：装備している。
して第２図のパツキン箱２４ｆ：装備している。
発明の効果
以上のように本発明はＶ形ゴムパツキンと振れ止めリン
グを配列することにより、スライド式液イ１１エピタキ
シアル装置の操作棒の移動を円滑かつ正確に行なうこと
ができ、その実用的効果は太きい。
グを配列することにより、スライド式液イ１１エピタキ
シアル装置の操作棒の移動を円滑かつ正確に行なうこと
ができ、その実用的効果は太きい。
第１図は従来のスライド式液相エピタキシアル成艮装置
操作棒の封止部断面図、第２図は本発明の実施例におけ
る操作棒封止部断面図、第３図は第２図の中に使用する
振れ止めリングの平面図、第４図はスライド式液相エビ
タキ７アル成長装置の反応管内部を示す断面図である。 １１．２４・川・・パツキン箱、１２，２９・・・・・
・操作棒、１３・・・・・・Ｖ形ゴムパツキン、１４・
川・・振れ止メリング、１６・・印・パッキン受、１６
・・・・・・蓋、１７・・・・・・押えねじ、２１・・
・・・・反応管、２２・・・・・・ガス出入口、２３・
・・・・・加熱炉、２６・川・・０リング、２６・・・
・・・ホー１−１２７・旧・・Ｊａｎ、２８・・・・・
・ソースタンク。
操作棒の封止部断面図、第２図は本発明の実施例におけ
る操作棒封止部断面図、第３図は第２図の中に使用する
振れ止めリングの平面図、第４図はスライド式液相エビ
タキ７アル成長装置の反応管内部を示す断面図である。 １１．２４・川・・パツキン箱、１２，２９・・・・・
・操作棒、１３・・・・・・Ｖ形ゴムパツキン、１４・
川・・振れ止メリング、１６・・印・パッキン受、１６
・・・・・・蓋、１７・・・・・・押えねじ、２１・・
・・・・反応管、２２・・・・・・ガス出入口、２３・
・・・・・加熱炉、２６・川・・０リング、２６・・・
・・・ホー１−１２７・旧・・Ｊａｎ、２８・・・・・
・ソースタンク。
Claims (1)
- 操作棒の外周面に断面がＶ形のゴムバッキングが、前記
Ｖ形の先端部が接触するように設けられるとともに、前
記Ｖ形ゴムバッキングに隣接して振れ止めリングが前記
操作棒の外周面に設けられテイルコとを特徴とする液相
エピタキシアル成長装置の操作棒封止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20032783A JPS6096597A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 液相エピタキシアル成長装置の操作棒封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20032783A JPS6096597A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 液相エピタキシアル成長装置の操作棒封止装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6096597A true JPS6096597A (ja) | 1985-05-30 |
Family
ID=16422449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20032783A Pending JPS6096597A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 液相エピタキシアル成長装置の操作棒封止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6096597A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7204689B2 (en) | 2003-02-05 | 2007-04-17 | Kobe Steel, Ltd. | Seal structure of solid feeding screw, and method of manufacturing reduced metal using the seal structure |
-
1983
- 1983-10-26 JP JP20032783A patent/JPS6096597A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7204689B2 (en) | 2003-02-05 | 2007-04-17 | Kobe Steel, Ltd. | Seal structure of solid feeding screw, and method of manufacturing reduced metal using the seal structure |
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