JPS6095985A - 折返し形炭酸ガスレ−ザ装置 - Google Patents
折返し形炭酸ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6095985A JPS6095985A JP20397183A JP20397183A JPS6095985A JP S6095985 A JPS6095985 A JP S6095985A JP 20397183 A JP20397183 A JP 20397183A JP 20397183 A JP20397183 A JP 20397183A JP S6095985 A JPS6095985 A JP S6095985A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- tube
- mirror
- laser beam
- output mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は折返Ｌ７形炭酸ガスレーザの構造に関する。
炭酸ガスレーザはＣＯメ３．Ｎｅの混合ガスを一定量レ
ーザ管に供給い他端からロータリポンプで真空排気して
レーザ管内を放電可能な真空度に継持させる。さらに、
レーザ管内に設けられたアノード電極及びカソードを極
に高電圧を印加してレーザ管内に放電現象を起こさせ、
レーザ管に相対向して設けられた全反射鏡と出力鏡の間
で九を増巾させて出力鏡から一部の光をレーザ光として
取シ出す。レーザ出力は放電の長さに比例し、出力の増
大をはかるため放電の長さを長くすることによって可能
であるが、レーザを小形にするため・二本のレーザ管を
二段あるいは並列に配置し、出力鏡および全反射鏡に対
向した折返し鏡を設ける構造が一般に用いられている〇 この様な折返しミラーを用いたレーザ光は、直線偏光し
ている。これは折返し鏡に平行な電気ベクトル成分は反
射のたびに大きなｔｎ失を受けてレーザ発振に至ること
がないためで、結果としてこのようなレーザ出力は折返
し鋳に直交する面にのみ電気ベクトルが存在する直線偏
光した’１’ＥＭ波となる。レーザ光が偏光していると
加工特性に方向性が生じ、互いに直交する２方向のレー
ザ光の電気ベクトル成分について加工結果に差が生じる
。
ーザ管に供給い他端からロータリポンプで真空排気して
レーザ管内を放電可能な真空度に継持させる。さらに、
レーザ管内に設けられたアノード電極及びカソードを極
に高電圧を印加してレーザ管内に放電現象を起こさせ、
レーザ管に相対向して設けられた全反射鏡と出力鏡の間
で九を増巾させて出力鏡から一部の光をレーザ光として
取シ出す。レーザ出力は放電の長さに比例し、出力の増
大をはかるため放電の長さを長くすることによって可能
であるが、レーザを小形にするため・二本のレーザ管を
二段あるいは並列に配置し、出力鏡および全反射鏡に対
向した折返し鏡を設ける構造が一般に用いられている〇 この様な折返しミラーを用いたレーザ光は、直線偏光し
ている。これは折返し鏡に平行な電気ベクトル成分は反
射のたびに大きなｔｎ失を受けてレーザ発振に至ること
がないためで、結果としてこのようなレーザ出力は折返
し鋳に直交する面にのみ電気ベクトルが存在する直線偏
光した’１’ＥＭ波となる。レーザ光が偏光していると
加工特性に方向性が生じ、互いに直交する２方向のレー
ザ光の電気ベクトル成分について加工結果に差が生じる
。
これは、加工がすすむ方向とレーザ光の電気ベクトルが
一致しているときと直交しているときとでは、溶融状態
となった被加工物のレーザ光に対する反射特性に差がで
るためである。第１図は被カ１工物２の加工方向４とレ
ーザ光１の電気ペクトｌし３の方向とが直交している状
態を示したものである。この場合、加工方向４と電気ベ
クトル１が１ａ交していない場合とくらべてレーザ光１
は反射されやすく、加工特性は悪く乃る。
一致しているときと直交しているときとでは、溶融状態
となった被加工物のレーザ光に対する反射特性に差がで
るためである。第１図は被カ１工物２の加工方向４とレ
ーザ光１の電気ペクトｌし３の方向とが直交している状
態を示したものである。この場合、加工方向４と電気ベ
クトル１が１ａ交していない場合とくらべてレーザ光１
は反射されやすく、加工特性は悪く乃る。
従っで、直線偏光しているレーーＶ光を円偏光に直す必
要がある。直線偏光しているレーザ光を円偏光にするに
は、１／４波長板を使用し、レーザ光の振動方向を１／
４波長板の光学軸に対して４５°傾けて通すと良い。炭
酸ガスレーザを加工機の光源として考える場合、水平に
出射したレーザ光を下方のワークに向ける反射鏡にこの
１／４波長板の特性を具備させたものが、市販されてい
るので・これを用いると便利である。例えば、米国の■
−■インコーボレーテッド社から発売されているリフレ
クチイブ・フェーズ１リターダは第２図に示すように、
入射面に対して空間的に４５°の方向に偏光方向（矢印
６０で示す）をもつ直線偏光レーザ光６を入射角４５°
で入射させ下方に反射させたとき、レーザ光を円偏光の
レーザ光７に変換することができる。
要がある。直線偏光しているレーザ光を円偏光にするに
は、１／４波長板を使用し、レーザ光の振動方向を１／
４波長板の光学軸に対して４５°傾けて通すと良い。炭
酸ガスレーザを加工機の光源として考える場合、水平に
出射したレーザ光を下方のワークに向ける反射鏡にこの
１／４波長板の特性を具備させたものが、市販されてい
るので・これを用いると便利である。例えば、米国の■
−■インコーボレーテッド社から発売されているリフレ
クチイブ・フェーズ１リターダは第２図に示すように、
入射面に対して空間的に４５°の方向に偏光方向（矢印
６０で示す）をもつ直線偏光レーザ光６を入射角４５°
で入射させ下方に反射させたとき、レーザ光を円偏光の
レーザ光７に変換することができる。
従って、このり７レクテイプ・フェーズのリターダのよ
うに１／４波長板と反射鏡の両方の特性を有するものを
有効に用いたいとき、空間的に４５″方向−に偏光方向
を有するレーザ発振器があると便利である。
うに１／４波長板と反射鏡の両方の特性を有するものを
有効に用いたいとき、空間的に４５″方向−に偏光方向
を有するレーザ発振器があると便利である。
本発明の目的は、このようなレーザ発振器を提供するこ
とにある。
とにある。
本発明によれば、互いに並列に配置された二本のレーザ
管と、前記−万のレーザ管の光路と他方のレーザ管の光
路とを結合する折返し鏡とを含む折返し形炭酸ガスレー
ザ装置において、前記二本のレーザ管はその管軸を含む
平面が水平面に対して４５°傾くよう配置されたことを
特徴とする折返し形炭酸ガスレーザ装置が得られる。
管と、前記−万のレーザ管の光路と他方のレーザ管の光
路とを結合する折返し鏡とを含む折返し形炭酸ガスレー
ザ装置において、前記二本のレーザ管はその管軸を含む
平面が水平面に対して４５°傾くよう配置されたことを
特徴とする折返し形炭酸ガスレーザ装置が得られる。
本発明では、水平面に対して４５６傾いた釣線偏光のレ
ーザ光が得られる。次に本発明の実施例−を図面を参照
しで説明する。
ーザ光が得られる。次に本発明の実施例−を図面を参照
しで説明する。
第３図を参照すると本発明の実施例は平行な二本のレー
ザ管８，８′の一端に出力鏡９および全反射鏡１０がそ
れぞれ気密を保って固定されている。
ザ管８，８′の一端に出力鏡９および全反射鏡１０がそ
れぞれ気密を保って固定されている。
このレーザ管８．８′にはＣＯｘ、Ｎ２．Ｈｅの混合ガ
スが供給され（供給機構は省略する）、炭酸ガスレーザ
を構成する。レーザ管８，８′の他端には放電路を変え
るためのコーナブロック１１が出力鏡９、全反射鏡ｌＯ
と同様に気密を保持して固定され、コーナブロン２１１
０反射面１２．１２’にはレーザ管軸に対して４５°傾
いた折返し鏡１３ 、１３’が取付けられてレーザ共振
器を構成している０２０Ｉ２１はそれぞれアノード電極
、カソード電極である。第４図は第３のＡ−Ａ断面図を
示し、レーザ管８および８′は、２つのレーザ管の管軸
を含む面がレーザ装置のベース面（水平面）１４に対し
て４５″の角度をなすよう支持されている（支持構造は
図示せず）。したがって電極２０ 、２１に高電圧を印
加して放電させると、出力鏡９からベース面（水平面）
１４に対して４５°偏った直線偏光のレーザ光６を得る
ことが出来る。
スが供給され（供給機構は省略する）、炭酸ガスレーザ
を構成する。レーザ管８，８′の他端には放電路を変え
るためのコーナブロック１１が出力鏡９、全反射鏡ｌＯ
と同様に気密を保持して固定され、コーナブロン２１１
０反射面１２．１２’にはレーザ管軸に対して４５°傾
いた折返し鏡１３ 、１３’が取付けられてレーザ共振
器を構成している０２０Ｉ２１はそれぞれアノード電極
、カソード電極である。第４図は第３のＡ−Ａ断面図を
示し、レーザ管８および８′は、２つのレーザ管の管軸
を含む面がレーザ装置のベース面（水平面）１４に対し
て４５″の角度をなすよう支持されている（支持構造は
図示せず）。したがって電極２０ 、２１に高電圧を印
加して放電させると、出力鏡９からベース面（水平面）
１４に対して４５°偏った直線偏光のレーザ光６を得る
ことが出来る。
この結果前述の第２図に示すように４５６の入射角でリ
フレクチイブ中フェーズ・リターダ５に入射し、かつ４
５°偏った直線偏光のレーザ出力光６が入射するので、
反射光７は円偏光に変換され、加工に最適なレーザ光を
容易に得ることが可能となる。
フレクチイブ中フェーズ・リターダ５に入射し、かつ４
５°偏った直線偏光のレーザ出力光６が入射するので、
反射光７は円偏光に変換され、加工に最適なレーザ光を
容易に得ることが可能となる。
第１図はレーザ光が被加工物に照射する状態を示す断面
図、第２図は直線偏光を円偏光に変換する状態を示す側
面口、第３図は本発明の実施例を示す断面図、第４図は
第３図のＡ−Ａ断面図であるＯ １・・・・・レーザ光、２・・・・・被加工物、５・・
・・・°リフ ゛レクチイブ−フェーズ・リターダ、８
．８’ ・・・レーザ管、９・・・・・・出力鏡、１０
・・・ ・全反射鏡、１１・・・・・・コーナブロック
、１２．１２’ ・反射面、１３゜１３′・・・・・・
折返し鏡 粥ｌ圀 カ２閃
図、第２図は直線偏光を円偏光に変換する状態を示す側
面口、第３図は本発明の実施例を示す断面図、第４図は
第３図のＡ−Ａ断面図であるＯ １・・・・・レーザ光、２・・・・・被加工物、５・・
・・・°リフ ゛レクチイブ−フェーズ・リターダ、８
．８’ ・・・レーザ管、９・・・・・・出力鏡、１０
・・・ ・全反射鏡、１１・・・・・・コーナブロック
、１２．１２’ ・反射面、１３゜１３′・・・・・・
折返し鏡 粥ｌ圀 カ２閃
Claims (1)
- 互いに並列に配置された二本のレーザ管と、前記−万の
レーザ管の光路と他方のレーザ管の光路とを結合する折
返し反射鏡とを含む折返し形炭酸ガスレーザ装置におい
て、前記二本のレーザ管はその管軸を含む平面が水平面
に対して４５６傾くよう配置されることを特徴とする折
返し形成酸ガ、スレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20397183A JPS6095985A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 折返し形炭酸ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20397183A JPS6095985A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 折返し形炭酸ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6095985A true JPS6095985A (ja) | 1985-05-29 |
Family
ID=16482663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20397183A Pending JPS6095985A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 折返し形炭酸ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6095985A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991020114A1 (en) * | 1990-06-11 | 1991-12-26 | Fanuc Ltd | Laser oscillating device |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59205780A (ja) * | 1983-02-15 | 1984-11-21 | ロフイン−ジナ−ル・レ−ザ−・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | レ−ザ−装置 |
-
1983
- 1983-10-31 JP JP20397183A patent/JPS6095985A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59205780A (ja) * | 1983-02-15 | 1984-11-21 | ロフイン−ジナ−ル・レ−ザ−・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | レ−ザ−装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991020114A1 (en) * | 1990-06-11 | 1991-12-26 | Fanuc Ltd | Laser oscillating device |
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