JPS6089618A - 排ガス燃焼装置 - Google Patents
排ガス燃焼装置Info
- Publication number
- JPS6089618A JPS6089618A JP19589583A JP19589583A JPS6089618A JP S6089618 A JPS6089618 A JP S6089618A JP 19589583 A JP19589583 A JP 19589583A JP 19589583 A JP19589583 A JP 19589583A JP S6089618 A JPS6089618 A JP S6089618A
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- JP
- Japan
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- exhaust gas
- water
- pipe
- gas
- air
- Prior art date
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- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
- F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G2209/00—Specific waste
- F23G2209/14—Gaseous waste or fumes
- F23G2209/142—Halogen gases, e.g. silane
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Incineration Of Waste (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本願は半導体等の製造工場からでるシランガス等の有害
なガスを無害なガスにして排気することができるように
した排ガス燃焼装置に関する発明である。
なガスを無害なガスにして排気することができるように
した排ガス燃焼装置に関する発明である。
本願は又気密に形成された燃焼筒に排ガスを送るように
したウォーターベット槽内に排ガス噴射ノズルを挿入開
口すると共に、燃焼筒の下部に空気送気管を設けて成る
排ガス燃焼装置に関する発明である。
したウォーターベット槽内に排ガス噴射ノズルを挿入開
口すると共に、燃焼筒の下部に空気送気管を設けて成る
排ガス燃焼装置に関する発明である。
今、その実施例を図を追って説明すれば、第１図に示す
ものは、気密に形成された燃焼筒（１）の内部中間に数
枚のリブ（６）を内方に向けて放射状に取り付け、該リ
ブ（６）上に下面を閉塞した水槽（力を載置固定し、水
槽（力内に水を入れてウォ排ガス噴射ノズル（３）を内
挿し、噴射ノズル（３）の上部に排ガス送気管Ｃｌ０）
を連結開口し、該排ガス送気管００）を燃焼筒（１）の
側面に突出開口しておくものである。燃焼筒（１）のリ
ブ（６）を設けた箇所より下部に排水管（４）を連結開
口しておくものである。
ものは、気密に形成された燃焼筒（１）の内部中間に数
枚のリブ（６）を内方に向けて放射状に取り付け、該リ
ブ（６）上に下面を閉塞した水槽（力を載置固定し、水
槽（力内に水を入れてウォ排ガス噴射ノズル（３）を内
挿し、噴射ノズル（３）の上部に排ガス送気管Ｃｌ０）
を連結開口し、該排ガス送気管００）を燃焼筒（１）の
側面に突出開口しておくものである。燃焼筒（１）のリ
ブ（６）を設けた箇所より下部に排水管（４）を連結開
口しておくものである。
且つ又、燃焼筒（１）の上部に排気管（５）を連結開口
すると共に排気管（５）よりや−下部に水噴射ノズルα
υを設けて全体を形成するものである。
すると共に排気管（５）よりや−下部に水噴射ノズルα
υを設けて全体を形成するものである。
（１２１は燃焼筒（１）に設げたのぞき窓、（１３）は
給水管、α→は排出管を示すものである。
給水管、α→は排出管を示すものである。
前記構成よりして排ガス送気管ＧＯ）より排ガス（以下
シランガスで説明する）を送り噴射ノズル（３）の小孔
（９）より水中に排ガスを噴射させ、排水管（４）より
空気を送ると空気はリプ（６）、水槽（７）と燃焼筒（
１）との間を通過して上昇するとウォーターベット（２
）より噴射しているシランガスが空気にふれると燃焼す
るので燃焼し終った燃焼ガスは上部の水噴射ノズル（Ｉ
Ｉ）より噴射されている水によって冷却されて排気管（
５）より外部に排気されるものである。
シランガスで説明する）を送り噴射ノズル（３）の小孔
（９）より水中に排ガスを噴射させ、排水管（４）より
空気を送ると空気はリプ（６）、水槽（７）と燃焼筒（
１）との間を通過して上昇するとウォーターベット（２
）より噴射しているシランガスが空気にふれると燃焼す
るので燃焼し終った燃焼ガスは上部の水噴射ノズル（Ｉ
Ｉ）より噴射されている水によって冷却されて排気管（
５）より外部に排気されるものである。
燃焼筒（１）は水槽（７）の位置する中間部位いの所で
上下に二分割し、分割した端部にフランジ（１５１を取
り付け、該フランジαωをボルトナツトで固定するよう
にしたものであって、このように形成すれば燃焼筒（１
）の補修等が容易にできる。
上下に二分割し、分割した端部にフランジ（１５１を取
り付け、該フランジαωをボルトナツトで固定するよう
にしたものであって、このように形成すれば燃焼筒（１
）の補修等が容易にできる。
第２図の場合は気密に形成された燃焼筒（１）の下部近
くに排水管（４）を連結開口し、排水管（４）の下部線
造水を入れてウォーターベット（２）を形成すると共に
ウォーターベット（２）内に排ガス噴射ノズル（３）を
挿入開口し排ガスの噴射ノズル（３）に連結した排ガス
送気管α〔を燃焼筒（１）の上部より突出させると共に
燃焼筒（１）の上部より内方に向けて空気送気管叫を内
挿し、空気挿気管（ｌｅ）の下端にデミスタ−αＤを取
り付けておくものである。
くに排水管（４）を連結開口し、排水管（４）の下部線
造水を入れてウォーターベット（２）を形成すると共に
ウォーターベット（２）内に排ガス噴射ノズル（３）を
挿入開口し排ガスの噴射ノズル（３）に連結した排ガス
送気管α〔を燃焼筒（１）の上部より突出させると共に
燃焼筒（１）の上部より内方に向けて空気送気管叫を内
挿し、空気挿気管（ｌｅ）の下端にデミスタ−αＤを取
り付けておくものである。
更に燃焼筒（１）の上部に排気管（５）を連結開口して
おくものである。
おくものである。
α２は窓、α相は水噴射ノズルを示すものである。
前記構成より、排ガス送気管１．ＩＯ）を介して噴射ノ
ズル（３）よりウォーターベット（２）の水中に排ガス
を噴射させ水面上に排ガスを送り出し排水管（４）より
空気を送ると、シランガス（排ガス）は空気にふれて燃
焼し、空気送気管α６）より送られデミスタ−α力より
噴射される水によって冷却されて排気管（５）より外部
に排気されるものである。
ズル（３）よりウォーターベット（２）の水中に排ガス
を噴射させ水面上に排ガスを送り出し排水管（４）より
空気を送ると、シランガス（排ガス）は空気にふれて燃
焼し、空気送気管α６）より送られデミスタ−α力より
噴射される水によって冷却されて排気管（５）より外部
に排気されるものである。
第３図のものは前記第１図及び第２図に示すものと基本
は同じであるが構造が多少異なるので今それを説明すれ
ば、上部に煙突状の排気筒＜１＆ｌを連結開口した燃焼
筒（１）の下部に排ガス送気管（１９を連結開口し、排
ガス送気管（１９１が燃焼筒（１）の底面に連結された
や瓦下部に排水管（４）を連結開口する。排ガス送気管
α９の下端は気密形成された水封槽−の上部中央に連結
開口させ、水封槽（至）内に水を入れてウォーターベッ
ト（２）を形成し、ウォーターベット（２）内に排ガス
噴射ノズル（３）を挿入し、噴射ノズル（３）に連結さ
れた排ガス送気管Ｑ（ｊを水封槽−の外部に突出してお
くものである。
は同じであるが構造が多少異なるので今それを説明すれ
ば、上部に煙突状の排気筒＜１＆ｌを連結開口した燃焼
筒（１）の下部に排ガス送気管（１９を連結開口し、排
ガス送気管（１９１が燃焼筒（１）の底面に連結された
や瓦下部に排水管（４）を連結開口する。排ガス送気管
α９の下端は気密形成された水封槽−の上部中央に連結
開口させ、水封槽（至）内に水を入れてウォーターベッ
ト（２）を形成し、ウォーターベット（２）内に排ガス
噴射ノズル（３）を挿入し、噴射ノズル（３）に連結さ
れた排ガス送気管Ｑ（ｊを水封槽−の外部に突出してお
くものである。
Ｉ２１）は安全器で気密に形成された円筒状であって水
封槽（２０）に設けた排ガス管（２′ＩＪを内挿し下端
部近くで開口させ、安全器（２１Ｊ内には水（財）が注
入され前記排ガス管（２りを水中に開口させ、更に安全
器（２Ｉ）の側部中央に排管＠が開口連結されると共に
排管（至）の一端は下方向に曲折されているものである
。
封槽（２０）に設けた排ガス管（２′ＩＪを内挿し下端
部近くで開口させ、安全器（２１Ｊ内には水（財）が注
入され前記排ガス管（２りを水中に開口させ、更に安全
器（２Ｉ）の側部中央に排管＠が開口連結されると共に
排管（至）の一端は下方向に曲折されているものである
。
（ハ）はパルプで排ガス量を調整するものである。
Ｑ６）はパイロットバーナーで排ガスと空気とが混合燃
焼する附近に発火部が位置されているものである。
焼する附近に発火部が位置されているものである。
（２７）は燃焼筒（１）を囲む断熱層、（至）は断熱層
シηを囲む外筒である。田は排気筒０秒の上端に設けた
傘を示すものである。
シηを囲む外筒である。田は排気筒０秒の上端に設けた
傘を示すものである。
前記構成より排ガス送気管００）を介してウォーターベ
ットＱＤ内にシランガスを送り噴射ノズル（３）より小
孔等を介して噴射させ、水面上に噴射されたシランガス
は排ガス送気管Ｈを介して燃焼筒（１）の下部に噴射さ
れるが、この時排ガス送気管α９の上端近くにポンプを
介して排水管（４）より空気が送られ、シランガスは空
気にふれて燃焼し、排気筒０上り排気される。
ットＱＤ内にシランガスを送り噴射ノズル（３）より小
孔等を介して噴射させ、水面上に噴射されたシランガス
は排ガス送気管Ｈを介して燃焼筒（１）の下部に噴射さ
れるが、この時排ガス送気管α９の上端近くにポンプを
介して排水管（４）より空気が送られ、シランガスは空
気にふれて燃焼し、排気筒０上り排気される。
シランガスの噴射量はバルブ（ハ）を調整して送られて
来る空気によって確実且つ完全に燃焼するようにし、更
にパイロットバーナー（至）を点火することにより確実
に燃焼させることができるようにしたものである。
来る空気によって確実且つ完全に燃焼するようにし、更
にパイロットバーナー（至）を点火することにより確実
に燃焼させることができるようにしたものである。
（３０）は燃焼筒（１）の下底面に断熱層（５）を貫通
して設けた小径の空気取り入れ管であって下底面に数本
設は燃焼した排ガスが排気筒（Ｉ８）より確実に送り出
されるようにしたものである。
して設けた小径の空気取り入れ管であって下底面に数本
設は燃焼した排ガスが排気筒（Ｉ８）より確実に送り出
されるようにしたものである。
本願は叙上のように気密に形成された燃焼筒に排ガスを
送るようにしたウォーターベット槽内に排ガス噴射ノズ
ルを挿入開口すると共に、燃焼筒の中間部に空気送気管
を連結開口し、燃焼筒上部に排気管を設けて成るので良
く所期の目的を達することができるものである。
送るようにしたウォーターベット槽内に排ガス噴射ノズ
ルを挿入開口すると共に、燃焼筒の中間部に空気送気管
を連結開口し、燃焼筒上部に排気管を設けて成るので良
く所期の目的を達することができるものである。
第１図乃至第３図は本願の実施例を示す断面図である。
特許出願人 東洋酸素株式会社
第１図
手続補正書（方式）
昭和５９年２月Ｊ１日
３ 補正をする者
４代 理 人
６ 補正により増加する発明の数
７補正の対象図 面
Claims (1)
- （１）気密に形成された燃焼筒に排ガスを送るようにし
たウォーターベット槽内に排ガス噴射ノズルを挿入開口
すると共に、燃焼筒の中間部に空気送気管を連結開口し
、燃焼筒上部に排気管を設けて成ることを特徴とする排
ガス燃焼装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19589583A JPS6089618A (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | 排ガス燃焼装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19589583A JPS6089618A (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | 排ガス燃焼装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6089618A true JPS6089618A (ja) | 1985-05-20 |
| JPH0212327B2 JPH0212327B2 (ja) | 1990-03-20 |
Family
ID=16348770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19589583A Granted JPS6089618A (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | 排ガス燃焼装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6089618A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6193310A (ja) * | 1984-10-15 | 1986-05-12 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 廃ガスの処理方法 |
| CN102705842A (zh) * | 2012-01-12 | 2012-10-03 | 无锡湖光工业炉有限公司 | 排烟净化燃烧装置 |
| CN103047661A (zh) * | 2013-01-30 | 2013-04-17 | 中煤科工集团重庆研究院 | 地面火炬型燃烧处理系统 |
-
1983
- 1983-10-19 JP JP19589583A patent/JPS6089618A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6193310A (ja) * | 1984-10-15 | 1986-05-12 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 廃ガスの処理方法 |
| CN102705842A (zh) * | 2012-01-12 | 2012-10-03 | 无锡湖光工业炉有限公司 | 排烟净化燃烧装置 |
| CN103047661A (zh) * | 2013-01-30 | 2013-04-17 | 中煤科工集团重庆研究院 | 地面火炬型燃烧处理系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0212327B2 (ja) | 1990-03-20 |
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