JPS6088300A - 流水システムの配管系及び配管系の滞留防止法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、例えば半導体産業などにおいて利用されてい
る超純水製造システムのような各種の流水システムにお
ける配管系本管から分岐した枝管の内部に有害なバクテ
リア１ηが増殖することを防ぐため、該枝管内に水の滞
留を生しさＩＩないようにしたことを目的とする流水シ
ス７ム＋７．＋配管系かびその滞留防止法に関するもの
である。

最近では半導体産業、食品工業、医薬品に業などの広範
囲の分野において、製品の精ＩＱを高めるなどの用途に
使用する微粒子、有機物、生１′青、零の少ない超純水
を得るための超純水製Ｉ；’、１システムが利用される
ようになっている。また′１旨こ最近では、製品の精度
、収率を高度化すめるためにほこの超純水の純度をいか
にして高めるかといン方向に努力がはられれるようにな
っている。

超純水製造システムはそれ自体高価／ｉ設何１１費用を
必要とするので、この製造システムか稼動さｈるに際し
てはできるだけ効率よく純度＋１）晶い超純水が得られ
るようにすることがΦ夛で、ＩＩＩる。ところでこの超
純水製造システムにおりる白点ともいえる問題点は、配
管の継手、弁なとの部分からの配管系内に対してバクテ
リアが侵入するこ２二や、超純水に微量含有するバクテ
リアが増イ１することである。

一般的に超純水製造システムにおいては、第１図に示す
ように製造システムＡから送出された超純水が利用系本
管ｌに送られ、その状態で本管ｌから分岐した多数の枝
管２より流出して利用され、過剰の水は木管１によって
再び製造システムＡに戻るような糸路になっている。製
造システム八が稼動状態にあって利用系本管１に通常連
続して超純水が流動し、また多数の枝管２からも連続的
に水が流出しているときには配管系内に対するハクテリ
／の侵入及び増殖はあまり問題とはならない。

しかしながら、Ｓｉｔ記のような超純水製造システム配
管系においては、多数の枝管のうち一部でも弁機構３が
閉じられて利用されない状！爪が継続した枝管があると
、その使用されない枝省内においては水か１：１シ留状
態となって弁機構３などの部分からバクテリアが侵入し
、滞留した水が媒体となって繁殖するため枝管の部分が
最もバクテリアの増殖原因となりやすいという問題点を
有している。

本発明は、超純水製造システムのような流水システムの
配管系における前記のような問題点を解消するために、
本管から分岐した枝管の１ｆｆ１分に本管側一端より他
端が枝管の弁機構に接ｉ１ｉ　Ｌだ部分に位置している
ようなバイパス管を併１；９さ１ｔ、枝管に設けられた
弁機構が閉じられて枝ｒ６内の水の流動が停止した場合
でも、本管内を流動する水が枝管もしくはバイパス管と
の間に導入循環されて枝管の水に常時流動性が与えられ
、枝省内に水の滞留が生じないようにした流水システＬ
、の配管系及びその滞留防止法を提供しようとするもの
である。

本発明を図面に示す実施例についで説１１りす、ｈば、
第１図は超純水製造システムへの１５′、管糸路を示し
ており、同図に示すように該配管、？・路の超純水利用
県木ｖｌには夫々自動弁もしくはｒ動弁などの弁機構３
を備えた多数の枝管２が分岐され、木管１内を流動する
超純水が夫々の枝ｉ１’ｉ　２より各種の用途に供給利
用される。第２図は１ノシ管の一実施例としての構成を
示している。前記Ｕ〕枝′（τ２には夫々バイパス管４
が併設されている。これらのバイパス管４は基本的には
一端５が木管１より岐出され、他端６が枝管２における
弁機構３にできるだけ接１尾した部分に位置するように
してバイパス管４と１打設されるようになっている。ま
た枝管２もしくはバイパス管４には、木管ｌとの接続部
に木管内に流動する水をいずれか一方の管に導入するた
めの導入手段Ｇが設けられている。　、第２図に示す実
施例の枝管２において、バイパス管４は全体が枝管２内
に水の流動を許すような状態で挿入されており、また木
管１側の一端５には木？ｌ′ｔ＋１内の水を導入するた
めの導入「段ＧとしてのＬ字形に折れ曲った導入■７が
本’Ｒｌ内においてＩ−流を向くような形で配置され、
その状１ｉ；でバイパス／Ｉ↑４自体が枝管２内に一体
に保持されるように構成されている。なおバイパス管４
の他端６はゴを機構３の近くの部分に位置して開１」シ
ている。

第３図は／ヘイバス管４が枝管２と分離して（７１設さ
れている場合の実施例を示している。バイパス管４は同
図のように枝管２からみて木管１のＬ流側であってもま
た図示しないが木ｆｉｌの下流側であってもよい。ただ
しバイパス管４のｆ１１１端６は前記のように弁機構３
の近くの部分を、゛位置しするように枝管２に接続され
、る。またこの実施例の場合にはバイパス管４もしくは
枝管２の本望；１の接続部分に、両管のうちいずれか一
方の管内に木ｔ（ｊ　１内の水を導入するための導入手
段Ｇが設けられるようになっている。

第３図の実施例におけるこの導入ｎ　１３ｋ　Ｇは、バ
イパス管４の本管ｌ側接続端５における流軟上流側に木
管１内の流水をバイパスｖ４内−１導入しゃすくするよ
うに設けられた曲面７ｂもＬ〈は＃ｌ斜而面らなってい
る。この場合接続端５σｌ　Ｆ　ＩＱ側は直角に近い形
となっている。

第４図は前記導入手段Ｇの別の例を小１ものであり、こ
の場合はバイパス管の木’１′ｌ’　ｌ側１寝続端５に
おける流水ド流側に木管ｌ内へ突１］旨４るような導入
片７ｃを設けて、本管ｌ内の流水がこの導入片７ｃによ
りバイパス管４内へ導入されるようになっている。なお
前記実施例において；り人［段Ｇはいずれもバイパス管
４と木管ｌとの接続部に設けるように説明したが、この
らの導入手段Ｇは枝管２と本管１との接続部に設けられ
るようにしてもよい。

本発明においては上記のように枝管２にバイパスｖ４を
併設したので、弁機構３が開らかれている時には本管ｌ
内の水は木管１から枝管２及びバイパス管４を通り、弁
機構３内を通過して必要な部分に供給される。また弁機
構３が閉じられた時には枝管２内の水は流れが停止して
停滞するが、この枝管２には木管１との接続端に導入手
段Ｇを有し、かつ枝管２との接続端が弁機構３に接近し
た位置にあるようなバイパス管４が（Ｊｌ設されている
ため、本管ｌ内の水はバイパス管４を通って枝Ｉｉ′ｉ
：　２のｙｆ機構３の近くに導入され、枝／ｉ′ｉ′２
内を逆ｌｅｔ　して本′ｒ↑ｌに戻ってくるような流れ
を枝管２内にり°、える。

従って本発明においては、枝管２内の水はブｒ機構３が
閉じられた場合でも常に置換されて管内に停滞すること
なく、その結果ブｒ機構３の部分から枝管２内にバクテ
リアが侵入したとしても該枝上２内の水がたえず流動し
ているので侵入したバクテリアが管内において増殖する
ことを確実に防１１でき、常に純度の高い純水が得られ
る〕いう効ツ１、を有する。

【図面の簡単な説明】 第１図は流水システムとして例示する超純水製造システ
ムの配管系を示すフローチャー１・１第２１Ａは本発明
に係る一実施例としての配管余技／ｎの構成を示す部分
側面図、第３図は別の稟施１※りとしての配管系枝管の
構成を示す部分側面図、第４図は更に別の実施例として
の配管系枝管σ）構成を４、す部分側面図である。図に
おいて。 １：利用系木管、２：枝管、３ニブ「律構。 ４：バイパス管、５・木管側接わｔｌ、端。 ６：枝管側接続端　Ａ　：　ｉｑ人手段、特許出願人 伸和コントロールズ株人会汁

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、配管系の木管から分岐する枝１１の部分に、木管側
   一端より他端が枝管の弁機構に１宴近した部分に位置し
   ているようなバイパスｔ６を併設させ、枝管もしくはバ
   イパス管の木管ｆｌｌｌ＋端部には管内流水の導入手段
   を有していることをｉ’Ｆ徴とする流水システムの配管
   系。 ２、配管系の本管から分岐する枝管内部分に。 木管側一端より他端が枝管の弁機構にｔａ　ｉ７Ｅ　Ｌ
   だ部分に位置しているようなバイパス’ｌｌを併設させ
   、枝管もしくはバイパス管の木管側端１：Ｂに１１ジけ
   た本管内流水の導入手段により木′１ｉ内ｌｔｔ水を前
   記バイパス管と枝管との間にｊｒＪ入鉛」：′５させる
   ことにより枝省内の水に常時流動性か１ｊ２、しられる
   ようにした゛ことを特徴とする／４し水７スとム配管系
   の滞留防止法。 ３、木管側一端に木管内へ突出する１４ｉ、水取り入れ
   口を設けたバイパス管が枝管内に配置されている特許請
   求の範囲第１項記載の流水システムの配管系。 ４、枝管もしくはバイパス管の木管側端部に設けられる
   本管内流水の導入手段が、木管と枝管もしくはバイパス
   管との接続部における本管内流水の上流側に設けられた
   曲面もしくは傾斜面であることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の流水システムの配管系。 ５、枝管もしくはバイパス管の木管側端部に設けられる
   本管内流水の導入手段が、木管と枝管もしくはバイパス
   管との接続部における本管内流水の下流側に木管内に突
   出すように設けられた導入列であることを特徴とする特
   許請求の範囲第１ダ（記載の流水システムの配管系。