JPS6086747A - 極高真空排気方法 - Google Patents

極高真空排気方法

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JPS6086747A
JPS6086747A JP19570583A JP19570583A JPS6086747A JP S6086747 A JPS6086747 A JP S6086747A JP 19570583 A JP19570583 A JP 19570583A JP 19570583 A JP19570583 A JP 19570583A JP S6086747 A JPS6086747 A JP S6086747A
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JP
Japan
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vacuum
liquid nitrogen
degree
pump
cooled
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JP19570583A
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English (en)
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JPH0255898B2 (ja
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Chuhei Oshima
忠平 大島
Yoshio Ishizawa
石沢　芳夫
▲そ▼右田　龍太郎
Ryutaro Soda
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Institute for Research in Inorganic Material
Original Assignee
National Institute for Research in Inorganic Material
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Publication date
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は極高真空排気方法、更に詳しくは１０−１０＋
ａ以下の極高真空に容易に排気することができる極高真
空排気方法に関する。
蛎子加速器、核融合炉、電界放射電子銃等においては、
極高真空が要求される。
従来、このような極高真空に排気するには、イオンポン
プ、サブリメーションポンプ、ターボモレキュラーポン
プ、クライオポンプ及び油拡散ポンプの単独または幾つ
かの組合せによって行ってきた。これらによる方法では
その到達真空度は１０−６〜１０８ａであった。
これには次の２つの原因が考えられる。
１０　Ｊｐａ以下の超高真空を得るためには、１５０〜
２５．０℃の装置の焼出しを行っているが、それが十分
でなかった。例えば、イオンポンプの場合、焼出し時ポ
ンプを止めるために圧力が悪い状態で行われている。首
だクライオポンプも同様である。
ターボポンプは精密機械であり、焼出し温度を２００℃
に上げることができず、焼出しが不十分である。
油拡散ポンプは唯一の２００〜２５０℃の焼出れに油の
逆流を徹底的に止めたトラップを゛使、用して初めてｉ
　ｏ−’　ｐａまで到達可能である。
２）、１０−９ｐａにおける残留ガスの主成分は水素で
あシ、この状態の水素は、ターボポンプやイオンポンプ
を併用しても取除くことができない。
３０００〜５０００１のイオンポンプで排気を行ってい
た。
本発明の目的は真空容器の内壁を金で覆うことなく、１
だ大型のイオンポンプを必要としないで、１０”ｐａ以
下の極高真空に排気する方法を提供するにある。
本発明者らはこの目的を達成すべく研究の結果、液体窒
素で冷却した油拡散ポンプと、液体窒素で冷却したサブ
リメーションポンプを組合せ使用すれば容易に１０””
’　ｐａ以下の真空度となし得ることを知見し本発明を
完成した。
本発明の要旨は、液体窒素冷却トランプ付の油拡散ポン
プと液体窒素冷却可能なサブリメーションポンプを組合
せ使用することを特徴とする極高真空排気方法にある。
本発明の方法では、２００ｔの液体窒素冷却トラップ付
の油拡散ポンプとｓｏｏ　ｔの液体窒素冷却可能なサブ
リメーションポンプを組合せ使用で１０”ｐａ以下の真
空圧することが可能であシ、１だサブリメーションポン
プは構造もＦｍ単で、焼出しが２５０度まで行えるので
、全体の装置が小型である。
本発明の方法を図面に基いて説明すると、第１図は本発
明の排気の方法の概略図である。
１は８００１７　ｓｅｃのサブリメーションポンプで、
２は液体窒素の出し入れ口である。３は油拡散ポンプ９
のトラップで、４は液体窒素の出し入れ口である。５は
焼出し用のヒーターであり、６は排気される極高真空電
子放射測定装置である。７は油拡散ポンプと前記測定装
置６とを分ける真空バルブである。また極高真空電子放
射測定装′ｌｔ、’！、　６には真空を測定するための
変調電極をもったベヤード・：・アルバート電離真空計
が取付けられている。
８は焼出し用オーブンで、ヒーター５との組合せで極高
真空電子放射測定装置６全体を均一な温度で焼出しする
。
この装置を２００℃で１０時間焼出した後の排気過程を
示すと第２図の通りである。焼出し直後１０ｐａであっ
た真空は装置が冷えるにつれてよくなシ、７時間後には
１Ｏ−８ｐａ台に入る。ここで前拡散ポンプのトラップ
を液体窒素で冷却し初め１、軟・Ｘ線の効果を除去する
ために真空計に変調をかけて測定する。
１０−８ｐａ台の下になった時、サブリメーション・ポ
ンプに液体窒素を入れて排気し始めると、約２４時間後
に１Ｏ−１０ｐａ台の真空に到達する。更に数日排気を
続けると、５　Ｘ　１０””１０ｐａの真空度まで到達
する。
以上のように本発明の排気方法によると、従来法におけ
るように、真空容器の内壁を金で覆う必要がなく、従来
より小容量のポンプで容易に１０−．１０ｐａの真空度
となし得る効果を有する。
工４、図面の簡単な説明 第１図は本発明の排気方法の概略図、第２図は本発明の
方法における焼出し後の排気過程を示す図である。
１：サブリメーションポンプ、 ２：液体窒素の出し入れ口、 ３：拡散ポンプのトラップ、 ４：液体窒素の出し入れ口、 ５：焼出し用ヒーター、 ・、６−：ｉ極高真空電子放射測定装置、７：油拡散ポ
ンプと測定装ｆＭ　６と、分ける真空パル特許出願人　
科学技術庁無杉材質研椀所長後　膠　優 ：ノ１゜ ゛′ノー゛、゛

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 液体窒素冷却トラップ付の油拡散ポンプと液体窒素冷却
    可能なサブリメーションポンプを組合せ使用することを
    特徴とする極高真空排気方法。
JP19570583A 1983-10-19 1983-10-19 極高真空排気方法 Granted JPS6086747A (ja)

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JP19570583A JPS6086747A (ja) 1983-10-19 1983-10-19 極高真空排気方法

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JP19570583A JPS6086747A (ja) 1983-10-19 1983-10-19 極高真空排気方法

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Publication Number Publication Date
JPS6086747A true JPS6086747A (ja) 1985-05-16
JPH0255898B2 JPH0255898B2 (ja) 1990-11-28

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0451998A (ja) * 1990-06-19 1992-02-20 Yozo Maejima 布類投入装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54124966A (en) * 1978-03-23 1979-09-28 Jeol Ltd Exhasut system of particle-beam equipment
JPS58135558A (ja) * 1982-02-06 1983-08-12 Jeol Ltd 電子顕微鏡等の真空排気システム

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JPS54124966A (en) * 1978-03-23 1979-09-28 Jeol Ltd Exhasut system of particle-beam equipment
JPS58135558A (ja) * 1982-02-06 1983-08-12 Jeol Ltd 電子顕微鏡等の真空排気システム

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JPH0255898B2 (ja) 1990-11-28

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