JPS6085841A - 可動テ−ブルの支持装置 - Google Patents
可動テ−ブルの支持装置Info
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- JPS6085841A JPS6085841A JP58189984A JP18998483A JPS6085841A JP S6085841 A JPS6085841 A JP S6085841A JP 58189984 A JP58189984 A JP 58189984A JP 18998483 A JP18998483 A JP 18998483A JP S6085841 A JPS6085841 A JP S6085841A
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- Japan
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- fixed
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
- F16C2322/39—General buildup of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の利用分野）
本発明は可動テーブルの支持装置、特に空気浮動式の可
動テーブルの支持装置に関する。
動テーブルの支持装置に関する。
（従来技術）
最近、可動テーブルの支持装置は、摩耗の極小化、振動
の防止等の高性能が要求されてきた。特に半導体、電子
部品産業において用いられる可動テーブルの支持装置は
、その要求が厳しい。
の防止等の高性能が要求されてきた。特に半導体、電子
部品産業において用いられる可動テーブルの支持装置は
、その要求が厳しい。
このため、従来、第１図に示すように、矩形状の固定レ
ール１に若干の空隙２をもって箱型の可動テーブル３を
組合せてなる。前記可動テーブル３には前記空隙２に連
通ずる細い穴３ａを設け、パイプ４より細い穴３ａに圧
縮空気を吹き込み、固定レール１の四方に高圧をかけ、
この時の圧縮空気によって可動テーブル３は固定Ｖ−ル
１より完全に浮き、かつ相互の摩擦なしに可動テーブル
３を固定Ｖ−ル１に対して移動させることができるよう
になっている。
ール１に若干の空隙２をもって箱型の可動テーブル３を
組合せてなる。前記可動テーブル３には前記空隙２に連
通ずる細い穴３ａを設け、パイプ４より細い穴３ａに圧
縮空気を吹き込み、固定レール１の四方に高圧をかけ、
この時の圧縮空気によって可動テーブル３は固定Ｖ−ル
１より完全に浮き、かつ相互の摩擦なしに可動テーブル
３を固定Ｖ−ル１に対して移動させることができるよう
になっている。
しかしながら、かかる構造は、固定Ｖ−ル１に箱型の可
動テーブル３を挿入してなるので、固定レールｌ及び可
動テーブル３の加工に高精度が要求され、コスト高にな
る。また製作誤差による空ができないという欠点があっ
た。
動テーブル３を挿入してなるので、固定レールｌ及び可
動テーブル３の加工に高精度が要求され、コスト高にな
る。また製作誤差による空ができないという欠点があっ
た。
（発明の目的）
本発明の目的は、組立が容易で、コストダウン及び高精
度化が図れる可動テーブルの支持装置を提供することに
ある。
度化が図れる可動テーブルの支持装置を提供することに
ある。
（発明の実施例）
以下、本発明の一実施例を第２図〜第５図により説明す
る。
る。
まず、第２図、第４図により可動テーブルの支持装置に
ついて説明する。固定台１０上には、相対向面に■溝１
１ａ、１２ａがそれぞれ形成された２個の固定レール１
１．１２がそれぞれ固定ねじ１３．１４で固定されてい
る。前記一方の固定レール１１の前記固定ねじ１３が挿
通された穴１１ｂは、固定Ｖ−ル１１．１２間の幅が調
整できるように、■溝１１ａの形成方向と直角方向が長
い長穴に形成されている。そして、固定レール１１は固
定台１０に固定された支持板１５に螺合した調整ねじ１
６によって調整できるようになっている０ 前記固定Ｖ−ル１１．１２間には、固定レール１１．１
２の■溝１１ａ、１２ａへの対向面にそれぞれ逆■突部
１７ａ、１７ｂが形成された可動テーブル１７が固定Ｖ
−ル１１．１２と若干の空隙を保って配設されている。
ついて説明する。固定台１０上には、相対向面に■溝１
１ａ、１２ａがそれぞれ形成された２個の固定レール１
１．１２がそれぞれ固定ねじ１３．１４で固定されてい
る。前記一方の固定レール１１の前記固定ねじ１３が挿
通された穴１１ｂは、固定Ｖ−ル１１．１２間の幅が調
整できるように、■溝１１ａの形成方向と直角方向が長
い長穴に形成されている。そして、固定レール１１は固
定台１０に固定された支持板１５に螺合した調整ねじ１
６によって調整できるようになっている０ 前記固定Ｖ−ル１１．１２間には、固定レール１１．１
２の■溝１１ａ、１２ａへの対向面にそれぞれ逆■突部
１７ａ、１７ｂが形成された可動テーブル１７が固定Ｖ
−ル１１．１２と若干の空隙を保って配設されている。
前記可動テーブル１７には、前記固定レール１１．１２
の■溝１１ａ、１２８面にそれぞれ垂直に圧縮空気を吹
き付ける空気孔１７ｃが形成されており、この空気孔１
７Ｃには図示しないコンプレッサに連結されたパイプ１
８を通して圧縮空気が送り込まれるようになっている。
の■溝１１ａ、１２８面にそれぞれ垂直に圧縮空気を吹
き付ける空気孔１７ｃが形成されており、この空気孔１
７Ｃには図示しないコンプレッサに連結されたパイプ１
８を通して圧縮空気が送り込まれるようになっている。
そこで、固定レール１１．１２及び可動テーブル１７の
調整は、固定ねじ１３を緩め、調整ねじ１６を前後させ
て可動テーブル１７と固定レール１１．１２間が適当な
空隙をもち、かつ平行になるように調整し、その後に固
定ねじ１３を締付ける。
調整は、固定ねじ１３を緩め、調整ねじ１６を前後させ
て可動テーブル１７と固定レール１１．１２間が適当な
空隙をもち、かつ平行になるように調整し、その後に固
定ねじ１３を締付ける。
そして、パイプ１８を通して可動テーブル１７の空気孔
１７ａに圧縮空気を送り込むと、固定レール１１．１２
のＶ溝１１ａ、１２ａに垂直に圧縮空気が作用する。今
、第５図に示すように、■溝１１ａ、１２ａに作用する
前記圧縮空気の力をＦ、Ｆとし、この力Ｆと水平方向の
角度をθとすると、前記力Ｆ、Ｆは上下（垂直）方向の
成分Ｆ、＝Ｆｓｉｎθ、Ｆｌと左右（水平）方向の成分
Ｆ２ ＝ ２ Ｆｃｏｓθに分けられ、可動テーブル１
７は固定レール１１．１２より浮上する。
１７ａに圧縮空気を送り込むと、固定レール１１．１２
のＶ溝１１ａ、１２ａに垂直に圧縮空気が作用する。今
、第５図に示すように、■溝１１ａ、１２ａに作用する
前記圧縮空気の力をＦ、Ｆとし、この力Ｆと水平方向の
角度をθとすると、前記力Ｆ、Ｆは上下（垂直）方向の
成分Ｆ、＝Ｆｓｉｎθ、Ｆｌと左右（水平）方向の成分
Ｆ２ ＝ ２ Ｆｃｏｓθに分けられ、可動テーブル１
７は固定レール１１．１２より浮上する。
このように、可動テーブル１７０両側に一定空隙を保っ
てそれぞれ固定Ｖ−ル１１．１２を配設し、前記可動テ
ーブル１７と前記固定レール１１゜１２との対向面をそ
れぞれＶ溝１１ａ、１２ａと逆Ｖ突起１７ａ、１７ｂの
組合せにより形成し、前記固定ンール１１．１２の■溝
１１ａ、１２８に前記可動テーブル１７より圧縮空気を
吹き付けるように前記可動テーブル１７に空気孔１７ｃ
を形成してなるので、前記固定Ｖ−ル１１．１２及び可
動テーブル１７の製作は容易でコストダウンが図れる。
てそれぞれ固定Ｖ−ル１１．１２を配設し、前記可動テ
ーブル１７と前記固定レール１１゜１２との対向面をそ
れぞれＶ溝１１ａ、１２ａと逆Ｖ突起１７ａ、１７ｂの
組合せにより形成し、前記固定ンール１１．１２の■溝
１１ａ、１２８に前記可動テーブル１７より圧縮空気を
吹き付けるように前記可動テーブル１７に空気孔１７ｃ
を形成してなるので、前記固定Ｖ−ル１１．１２及び可
動テーブル１７の製作は容易でコストダウンが図れる。
また前記一方の固定レール１１の位置調整を行うことに
より、容易に可動テーブル１７と固定レール１１．１２
間の空隙及び平行度が調整でき、高精度化が図れる。
より、容易に可動テーブル１７と固定レール１１．１２
間の空隙及び平行度が調整でき、高精度化が図れる。
なお、上記実施例においては、固定Ｖ−ル１１．１２に
■溝１１ａ、１２ａを形成し、可動チー、プル１７に逆
■突起１７Ｃを形成したが、逆に固定Ｖ−ル１１．１２
に逆■突起を、可動テーブル１７にＶ溝を形成してもよ
い。
■溝１１ａ、１２ａを形成し、可動チー、プル１７に逆
■突起１７Ｃを形成したが、逆に固定Ｖ−ル１１．１２
に逆■突起を、可動テーブル１７にＶ溝を形成してもよ
い。
次に第２図、第３図により可動テーブルの移動装置につ
いて説明する。可動テーブル１７の重心を通る送り方向
に沿って可動テーブル１７に細いワイヤ２０．２１を張
り、図示しない固定部に回転自在に支承されたローラ２
２．２３にワイヤ２０．２１を適当数巻回し、ワイヤ２
０．２１が緩まないようをこワイヤ２０．２１の一端を
スプリング２４で接続してエンドレスループに形成して
なる。また前記一方のローラ２３にはＤ Ｃ’ （直流
）サーボモータ２５が接続されている。
いて説明する。可動テーブル１７の重心を通る送り方向
に沿って可動テーブル１７に細いワイヤ２０．２１を張
り、図示しない固定部に回転自在に支承されたローラ２
２．２３にワイヤ２０．２１を適当数巻回し、ワイヤ２
０．２１が緩まないようをこワイヤ２０．２１の一端を
スプリング２４で接続してエンドレスループに形成して
なる。また前記一方のローラ２３にはＤ Ｃ’ （直流
）サーボモータ２５が接続されている。
なお、ワイヤ２０．２１はエンドレスループでなくても
よい。例えばワイヤ２０の一端にスプリング２４を固定
し、このスプリング２４の一端をローラ２２又は固定台
１０に固定し、ワイヤ２１の一端はローラ２３に巻回し
て直接ローラ２３に固定してもよい。
よい。例えばワイヤ２０の一端にスプリング２４を固定
し、このスプリング２４の一端をローラ２２又は固定台
１０に固定し、ワイヤ２１の一端はローラ２３に巻回し
て直接ローラ２３に固定してもよい。
従って、前記のようにパイプ１８（第４図参照）に圧縮
空気を送り込んで可動テーブル１７を浮上させた状態で
ＤＣサーボモータ２５を正又は逆転させると、ローラ２
３も同方向に回転し、ワイヤ２０．２１を介して可動テ
ーブル１７は固定し−ル１１．１２に沿って所定位置ま
で移動する。
空気を送り込んで可動テーブル１７を浮上させた状態で
ＤＣサーボモータ２５を正又は逆転させると、ローラ２
３も同方向に回転し、ワイヤ２０．２１を介して可動テ
ーブル１７は固定し−ル１１．１２に沿って所定位置ま
で移動する。
この場合、可動テーブル１７の位置精度を高めるため、
第４図に示すように、可動テーブル１７の下端にはリニ
ヤスタンダードスケール３０が固定され、固定台１０に
はリニヤスタンダードスケール３０の目盛を無接触で読
み取る光学読取り器３１が固定されている。そして、Ｄ
Ｃサーボモータ２５を例えば第６図に示すようなりＣサ
ーボモータ制御回路で制御させる。
第４図に示すように、可動テーブル１７の下端にはリニ
ヤスタンダードスケール３０が固定され、固定台１０に
はリニヤスタンダードスケール３０の目盛を無接触で読
み取る光学読取り器３１が固定されている。そして、Ｄ
Ｃサーボモータ２５を例えば第６図に示すようなりＣサ
ーボモータ制御回路で制御させる。
第６図に示すように、可動テーブル１７の停止位置指令
信号４０は比較器４１に入力され、比較器４１の出力信
号は増幅器４２、比較器４３、増幅器４４を経てＤＣサ
ーボモータ２５に入力され、タコジェネレータ４５が発
電してＤＣサーボモータ２５が回転する。これにより、
可動テーブル１７が移動する。可動テーブル１７の移動
量はリニヤスタンダードスケール３０を光学読取り器３
１が読取ることによりめられる。前記光学読取り器３１
のパルス信号ハマイクロコンピュータ４６によってデー
タ処理信号変換４７され、アナログ領域に入ったら、パ
ルスとパルスの間にアナログ的なデータ処理が行われる
。前記データ処理信号変換４７の出力は補償回路４８を
経て前記比較回路４１に入力され、前記停止位置指令信
号４０が減算される。そして、比較器４１の出力信号が
零になるまで可動テーブル１７は駆動される。また前記
タコジェネレータ４５の出力は補償回路４９を経て比較
器４３ζこ入力されるようになっており、安定回路を形
成している。
信号４０は比較器４１に入力され、比較器４１の出力信
号は増幅器４２、比較器４３、増幅器４４を経てＤＣサ
ーボモータ２５に入力され、タコジェネレータ４５が発
電してＤＣサーボモータ２５が回転する。これにより、
可動テーブル１７が移動する。可動テーブル１７の移動
量はリニヤスタンダードスケール３０を光学読取り器３
１が読取ることによりめられる。前記光学読取り器３１
のパルス信号ハマイクロコンピュータ４６によってデー
タ処理信号変換４７され、アナログ領域に入ったら、パ
ルスとパルスの間にアナログ的なデータ処理が行われる
。前記データ処理信号変換４７の出力は補償回路４８を
経て前記比較回路４１に入力され、前記停止位置指令信
号４０が減算される。そして、比較器４１の出力信号が
零になるまで可動テーブル１７は駆動される。また前記
タコジェネレータ４５の出力は補償回路４９を経て比較
器４３ζこ入力されるようになっており、安定回路を形
成している。
このように、高価なボールねじ、ナツト及びクロスロー
ラ等を使用しないので、コストダウンが図れると共に、
バックラッシュもなく高精度の駆動ができ、更に組立、
芯合せも容易である。またワイヤ２０．２１を引張るこ
とにより可動テーブル１７は移動するので、可動テーブ
ル１７は無摩擦で駆動され、超高速の移動ができる。ま
たローラ２３、ＤＣサーボモータ２５に振動があっても
、その振動はワイヤ２０．２１で吸収されるので、可動
テーブル１７に影響を及ぼすことはなく、可動テーブル
１７は無振動で駆動される。ここで、圧縮空気を固定レ
ール１１．１２に吹き付けることによる乱流、渦流が可
動テーブル１７に及ぼす振動振幅は、実験によれば０．
１μｍ以下であり無視できる。またかのする空気浮動式
の可動テーブル１７では、可動テーブル１７の慣性が大
きく、急発振、急停止は非常に難しいが、ＤＣサーボモ
ータ２５の制御回路を閉ループとし、適当な補償回路４
８．４９を設けることで、これらの問題は解決される。
ラ等を使用しないので、コストダウンが図れると共に、
バックラッシュもなく高精度の駆動ができ、更に組立、
芯合せも容易である。またワイヤ２０．２１を引張るこ
とにより可動テーブル１７は移動するので、可動テーブ
ル１７は無摩擦で駆動され、超高速の移動ができる。ま
たローラ２３、ＤＣサーボモータ２５に振動があっても
、その振動はワイヤ２０．２１で吸収されるので、可動
テーブル１７に影響を及ぼすことはなく、可動テーブル
１７は無振動で駆動される。ここで、圧縮空気を固定レ
ール１１．１２に吹き付けることによる乱流、渦流が可
動テーブル１７に及ぼす振動振幅は、実験によれば０．
１μｍ以下であり無視できる。またかのする空気浮動式
の可動テーブル１７では、可動テーブル１７の慣性が大
きく、急発振、急停止は非常に難しいが、ＤＣサーボモ
ータ２５の制御回路を閉ループとし、適当な補償回路４
８．４９を設けることで、これらの問題は解決される。
更にＤＣサーボモータ２５に加わる入力信号もパルス系
列とアナログ式の組合せが併用でき、アナログ領域に入
ったら、その波形は適当な関数波形として発進、停止さ
せることができる。
列とアナログ式の組合せが併用でき、アナログ領域に入
ったら、その波形は適当な関数波形として発進、停止さ
せることができる。
（発明の効果）
本発明によれば、可動テーブルの両側に一定空隙を保っ
てそれぞれ固定レールを配設し、前記可動テーブルと前
記固定レールとの対向面をそれぞれＶ溝と逆■突起の組
合せにより形成し、前記固定レールの対向面に前記可動
テーブルより圧縮空気を吹き付けるように前記可動テー
ブルに空気孔を形成してなるので、組立が容易で、コス
トダウン及び高精度化が図れる。
てそれぞれ固定レールを配設し、前記可動テーブルと前
記固定レールとの対向面をそれぞれＶ溝と逆■突起の組
合せにより形成し、前記固定レールの対向面に前記可動
テーブルより圧縮空気を吹き付けるように前記可動テー
ブルに空気孔を形成してなるので、組立が容易で、コス
トダウン及び高精度化が図れる。
第１図は従来例の原理を示し、（２車ま斜視図、ｆｂｌ
は断面図、第２図は本発明の一実施例を示す斜視図、第
３図は第２図の概略正面図、第４図は第２図の断面図、
第５図は空気浮動力のベクトル成分の説明図、第６図は
ＤＣサーボモータ制御回路の説明図である。 １１．１２・・・固定Ｖ−ル、ｌｌａ、１２ ａ −・
・■溝、 １７・・・可動テーブル、 １７ａ、１７ｂ
・・・逆Ｖ突起、 １７Ｃ・・・空気孔。 第１図 （Ｑ） （ｂ） 第２図 第３図 第４Ｗ！Ｊ
は断面図、第２図は本発明の一実施例を示す斜視図、第
３図は第２図の概略正面図、第４図は第２図の断面図、
第５図は空気浮動力のベクトル成分の説明図、第６図は
ＤＣサーボモータ制御回路の説明図である。 １１．１２・・・固定Ｖ−ル、ｌｌａ、１２ ａ −・
・■溝、 １７・・・可動テーブル、 １７ａ、１７ｂ
・・・逆Ｖ突起、 １７Ｃ・・・空気孔。 第１図 （Ｑ） （ｂ） 第２図 第３図 第４Ｗ！Ｊ
Claims (1)
- 可動テーブルの両側に一定空隙を保ってそれぞれ固定Ｖ
−ルを配設し、前記可動テーブルと前記固定Ｖ−ルとの
対向面をそれぞれＶ溝と逆Ｖ突起の組合せにより形成し
、前μ己固定Ｖ−ルの対向面に前記可動テーブルより圧
縮空気を吹き付けるように前記可動テーブルに空気孔を
形成してなる可動テーブルの支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58189984A JPS6085841A (ja) | 1983-10-13 | 1983-10-13 | 可動テ−ブルの支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58189984A JPS6085841A (ja) | 1983-10-13 | 1983-10-13 | 可動テ−ブルの支持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6085841A true JPS6085841A (ja) | 1985-05-15 |
Family
ID=16250452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58189984A Pending JPS6085841A (ja) | 1983-10-13 | 1983-10-13 | 可動テ−ブルの支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6085841A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102672695A (zh) * | 2011-12-25 | 2012-09-19 | 河南科技大学 | 一种精密工作台 |
| CN102950468A (zh) * | 2012-10-19 | 2013-03-06 | 北京海普瑞森科技发展有限公司 | 一种高精密空气静压导轨 |
| CN104828498A (zh) * | 2015-04-22 | 2015-08-12 | 徐大林 | 一种输送装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49704A (ja) * | 1972-04-19 | 1974-01-07 |
-
1983
- 1983-10-13 JP JP58189984A patent/JPS6085841A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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| JPS49704A (ja) * | 1972-04-19 | 1974-01-07 |
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| CN102950468A (zh) * | 2012-10-19 | 2013-03-06 | 北京海普瑞森科技发展有限公司 | 一种高精密空气静压导轨 |
| CN104828498A (zh) * | 2015-04-22 | 2015-08-12 | 徐大林 | 一种输送装置 |
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