JPS6081753A - 荷電粒子照射電子顕微鏡 - Google Patents
荷電粒子照射電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6081753A JPS6081753A JP18925683A JP18925683A JPS6081753A JP S6081753 A JPS6081753 A JP S6081753A JP 18925683 A JP18925683 A JP 18925683A JP 18925683 A JP18925683 A JP 18925683A JP S6081753 A JPS6081753 A JP S6081753A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection electrode
- ion
- ion beam
- sample
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
- H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔究明の利用分野〕
本発明は荷電粒子照射電子顕微鏡に関する。
近年、核融合炉を中心とした原子炉の材料の中性子によ
る高温照射のシュミレーション実験として高加速電子線
を照射することが多く行われつつある。電子顕微鏡とし
ては加速電圧が１０００ｋＶ程丸のいわゆる超尚圧藏子
顕微鋭がしばしば利用されている。粒子加速器を用いた
亀子線照射の場合は、亀頭と同程度又は多くても１０倍
の粒子流をｃｒ！程度の面積に照射するため、原子のは
じき出し速度は少く、超高圧電子顕微鏡の場合は電子ビ
ームを数μ−程度に細く絞ることが可能であるため、粒
子加速器と比較して均−万倍以上効率が良いことが特徴
である。近年、”隠子線照射を行うと共に、イオンビー
ムの照射を並行して行い史に現実的な実験を行おうとす
る計画を実現されつつある。
る高温照射のシュミレーション実験として高加速電子線
を照射することが多く行われつつある。電子顕微鏡とし
ては加速電圧が１０００ｋＶ程丸のいわゆる超尚圧藏子
顕微鋭がしばしば利用されている。粒子加速器を用いた
亀子線照射の場合は、亀頭と同程度又は多くても１０倍
の粒子流をｃｒ！程度の面積に照射するため、原子のは
じき出し速度は少く、超高圧電子顕微鏡の場合は電子ビ
ームを数μ−程度に細く絞ることが可能であるため、粒
子加速器と比較して均−万倍以上効率が良いことが特徴
である。近年、”隠子線照射を行うと共に、イオンビー
ムの照射を並行して行い史に現実的な実験を行おうとす
る計画を実現されつつある。
すなわち、従来にあって、電子顕微鏡にイオン加速器を
付属させ′電子線照射とイオンビーム照射を同時に行う
装置は第１図の概略（、・Ｉ￥成図に示すようになって
いる。
付属させ′電子線照射とイオンビーム照射を同時に行う
装置は第１図の概略（、・Ｉ￥成図に示すようになって
いる。
照射レンズ１、および偏向コイル２によｐ高速電子ｌｌ
１ｌｊｉ３は集束、偏向てれ試料４に照射されるように
なっている。試料４を通過した電子線は結像系レンズ５
，６．７によって拡大され螢光板８に拡大像を結ぶよう
になっている。試料４へのイオンビームの照射は、イオ
ン加速器１２から集束コイル１１によって集束し、偏向
マグネット１０によって偏向してなされ、前記試料４に
対して斜め方向から照射を行うものである。
１ｌｊｉ３は集束、偏向てれ試料４に照射されるように
なっている。試料４を通過した電子線は結像系レンズ５
，６．７によって拡大され螢光板８に拡大像を結ぶよう
になっている。試料４へのイオンビームの照射は、イオ
ン加速器１２から集束コイル１１によって集束し、偏向
マグネット１０によって偏向してなされ、前記試料４に
対して斜め方向から照射を行うものである。
しかしながら、このような構成において、イオン加速器
１２は数１００ｋＶの加速電圧？有するものが用いられ
るため、装置は大型化され、かつ電子顕微鏡試料４の決
められた場所に正確にイオンビームを導入することがで
きないという欠点を有していた。
１２は数１００ｋＶの加速電圧？有するものが用いられ
るため、装置は大型化され、かつ電子顕微鏡試料４の決
められた場所に正確にイオンビームを導入することがで
きないという欠点を有していた。
本発明は、このような事情に基づいてなされたものでア
シ、試料４にイオンビームを正確に導入することのでき
る荷′？Ｍ、粒子照射電子顕微鏡を提供するにある。
シ、試料４にイオンビームを正確に導入することのでき
る荷′？Ｍ、粒子照射電子顕微鏡を提供するにある。
このような目的を達成するために、本先明は、イオンビ
ームの位置決めを行うため、試料４の直前に検出電極を
設けるようにし、検出電極が電子顕微鏡の基本動作に悪
影響を２よぼさないようにしたものである。
ームの位置決めを行うため、試料４の直前に検出電極を
設けるようにし、検出電極が電子顕微鏡の基本動作に悪
影響を２よぼさないようにしたものである。
以下本発明を実施例をもとに詳細に説明する。
第２図は、本発明の一実施例を示すもので、電子顕微鏡
における対物レンズおよび試料の近傍の構成を示すもの
である。同図において、対物磁路上部磁極２２、下部磁
極２１および励磁コイル２０から成る対物磁路中心部に
対物ポールピース１８゜１９が設けられている。試料４
はサイドエントリ一方式の試料ホルダー２３の先端部に
固定され、対物ポールピースの磁極中心部に導入される
ようになっている。試料４の微動は左微動２４とサイド
エントリホルダー２３の両者の移動によって行なわれる
ようになっている。電子線は磁路中心に集束、偏向され
規定された条件で試料４の中心に照射されるようになっ
ている。イオン加速器からのイオンビームは試料４に対
して成る角度を持って斜めに照射するようになっており
、イオン加速器は導入パイプ９によって真空接続されて
電子顕微鏡の試料室と一体化されている。
における対物レンズおよび試料の近傍の構成を示すもの
である。同図において、対物磁路上部磁極２２、下部磁
極２１および励磁コイル２０から成る対物磁路中心部に
対物ポールピース１８゜１９が設けられている。試料４
はサイドエントリ一方式の試料ホルダー２３の先端部に
固定され、対物ポールピースの磁極中心部に導入される
ようになっている。試料４の微動は左微動２４とサイド
エントリホルダー２３の両者の移動によって行なわれる
ようになっている。電子線は磁路中心に集束、偏向され
規定された条件で試料４の中心に照射されるようになっ
ている。イオン加速器からのイオンビームは試料４に対
して成る角度を持って斜めに照射するようになっており
、イオン加速器は導入パイプ９によって真空接続されて
電子顕微鏡の試料室と一体化されている。
この場合、イオンビームを試料４に照射する際あらかじ
め装置の軸調整を行なった状態でイオンビームを導入す
るが、正確に試料に照射されている状態を確認すること
は非常に困難であるため、検出電極１５が対物ポールピ
ース１８上部に設けられている。上記検出型＆１５は、
はぼ中心部に電子線通過を妨げないだめの数關φの貫通
穴１４が設けられ、イオンビームの通過用の穴１３は中
心部を離れた位置に斜めに設けられている。前記き 穴の太たはたとえば２〜３ＷＩＩφの大きさとなってい
る。上記の２種類の貫通穴を設けた検出電極１５は絶縁
スペーサ２５によって絶縁され、検出電極からはリード
線１６を介してノ・−メチツクシール１７を通して真窒
外に電流検出端子が取シ出されている。イオンビームを
試料４に照射する場合、あらかじめイオン加速器を動作
させ、イオンビームのアライメントを正確に行っておく
８装がある。検出電極１５のイオンビーム貫通穴１３に
ビームが通過しない状態ではイオン電流が流れ、完全に
中心を通過される状態では検出電極１５にイオンは肖ら
ず電流は流れない。□電流の検出測定は、ハーメチック
シール部に微少電流計を接続することによって行う。照
射継続中は上記の電流を常時測定することによってイオ
ンビームの軸のずれを知ることが出来る。電子顕微鏡の
電子線は検出電極１５の中心部の貫通穴を通過するため
何ら問題なく正常に動作する。又検出型＠１９は複数に
分離して、それぞれに電流検出端子を設けることも可能
であり、この場合は更にイオンビームの軸調整を厳密に
行うことも可能である。
め装置の軸調整を行なった状態でイオンビームを導入す
るが、正確に試料に照射されている状態を確認すること
は非常に困難であるため、検出電極１５が対物ポールピ
ース１８上部に設けられている。上記検出型＆１５は、
はぼ中心部に電子線通過を妨げないだめの数關φの貫通
穴１４が設けられ、イオンビームの通過用の穴１３は中
心部を離れた位置に斜めに設けられている。前記き 穴の太たはたとえば２〜３ＷＩＩφの大きさとなってい
る。上記の２種類の貫通穴を設けた検出電極１５は絶縁
スペーサ２５によって絶縁され、検出電極からはリード
線１６を介してノ・−メチツクシール１７を通して真窒
外に電流検出端子が取シ出されている。イオンビームを
試料４に照射する場合、あらかじめイオン加速器を動作
させ、イオンビームのアライメントを正確に行っておく
８装がある。検出電極１５のイオンビーム貫通穴１３に
ビームが通過しない状態ではイオン電流が流れ、完全に
中心を通過される状態では検出電極１５にイオンは肖ら
ず電流は流れない。□電流の検出測定は、ハーメチック
シール部に微少電流計を接続することによって行う。照
射継続中は上記の電流を常時測定することによってイオ
ンビームの軸のずれを知ることが出来る。電子顕微鏡の
電子線は検出電極１５の中心部の貫通穴を通過するため
何ら問題なく正常に動作する。又検出型＠１９は複数に
分離して、それぞれに電流検出端子を設けることも可能
であり、この場合は更にイオンビームの軸調整を厳密に
行うことも可能である。
以上記述した通シ、ｈＬ子）眞微鋭とイオン加速器を組
合せたイオン照射−子顕微鏡において、イオンビームの
軸調整を正確に笑施することか可能となシ、照射の効率
が著しく向上させることができる。又電子顕微鏡の基本
動作に何ら悪影響を及はす小は無い。
合せたイオン照射−子顕微鏡において、イオンビームの
軸調整を正確に笑施することか可能となシ、照射の効率
が著しく向上させることができる。又電子顕微鏡の基本
動作に何ら悪影響を及はす小は無い。
第１図は電子顕微鏡とイオン加速器を組合せたイオン照
射電子顕微鏡の構成を示す概略図、第２図は上記装置の
試料近傍の構成を示すもので本発明の検出電極を構成す
る■（（１射電子顕微鏡の一実施例を示す。 ｌ・・・集束レンズ、２・・・偏向コイル、３・・・電
子線、４・・・試料、５，６．７・・・粕像レンズ、８
・・・螢光板、９・・・導入パイプ、１０・・・偏向マ
グネット、１１・・・集束コイル、１２・・・イオン加
Ｍ６．１３・・・イオンビーム通過穴、１４・・・電子
紛迎逸穴、１５・・・検出電極、１６・・・リード線、
１７・・・ハーメチックシール、１８．１９・・・対物
ポールピース、２０・・・励磁コイル、２１・・・磁路
、２２・・・磁路、２３・・・サイドエントリー試料ホ
ルダー、２４・・・サイドエントリー左倣動、２５・・
・納経スペーサ。 代理人 弁理士 高橋明夫 第１ 口
射電子顕微鏡の構成を示す概略図、第２図は上記装置の
試料近傍の構成を示すもので本発明の検出電極を構成す
る■（（１射電子顕微鏡の一実施例を示す。 ｌ・・・集束レンズ、２・・・偏向コイル、３・・・電
子線、４・・・試料、５，６．７・・・粕像レンズ、８
・・・螢光板、９・・・導入パイプ、１０・・・偏向マ
グネット、１１・・・集束コイル、１２・・・イオン加
Ｍ６．１３・・・イオンビーム通過穴、１４・・・電子
紛迎逸穴、１５・・・検出電極、１６・・・リード線、
１７・・・ハーメチックシール、１８．１９・・・対物
ポールピース、２０・・・励磁コイル、２１・・・磁路
、２２・・・磁路、２３・・・サイドエントリー試料ホ
ルダー、２４・・・サイドエントリー左倣動、２５・・
・納経スペーサ。 代理人 弁理士 高橋明夫 第１ 口
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、照射系レンズ系と拡大系レンズで構成された電子顕
微鏡の試料にイオンビームの照射を同時に行うイオン照
射電子顕微鏡において、試料の前方にイオンビームの検
出を行う電極を備えた荷電粒子照射電子顕微鏡。 ２ 前記イオンビーム検出′電極の中心に電子線の通過
を妨げない貫通穴を設け、中心を離れた位置にイオンビ
ーム通過用貫通穴を備えた特許請求の範囲第１項記載の
荷電粒子照射電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18925683A JPS6081753A (ja) | 1983-10-12 | 1983-10-12 | 荷電粒子照射電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18925683A JPS6081753A (ja) | 1983-10-12 | 1983-10-12 | 荷電粒子照射電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6081753A true JPS6081753A (ja) | 1985-05-09 |
Family
ID=16238246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18925683A Pending JPS6081753A (ja) | 1983-10-12 | 1983-10-12 | 荷電粒子照射電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6081753A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6231930A (ja) * | 1985-08-02 | 1987-02-10 | Hitachi Ltd | 加速器結合透過型電子顕微鏡 |
| JPS6484557A (en) * | 1987-09-28 | 1989-03-29 | Origin Electric | Charged particle irradiator |
-
1983
- 1983-10-12 JP JP18925683A patent/JPS6081753A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6231930A (ja) * | 1985-08-02 | 1987-02-10 | Hitachi Ltd | 加速器結合透過型電子顕微鏡 |
| JPS6484557A (en) * | 1987-09-28 | 1989-03-29 | Origin Electric | Charged particle irradiator |
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