JPS6077972A - 高温特性にすぐれた多層被覆工具材料 - Google Patents
高温特性にすぐれた多層被覆工具材料Info
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/02—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
- C23C18/12—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
- C23C18/1204—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material inorganic material, e.g. non-oxide and non-metallic such as sulfides, nitrides based compounds
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、切削工具部品、耐摩耗工具部品に適する特に
高温における強度、闇″摩耗１１ミ及び耐別離性等の高
温４￥ ’ｉｎにすぐれた多層被覆工具．材料に関する
。
高温における強度、闇″摩耗１１ミ及び耐別離性等の高
温４￥ ’ｉｎにすぐれた多層被覆工具．材料に関する
。
従来、超硬合金、サーメット、セラミックス及び高速度
Ｍ等の基体表面に耐摩耗１１を有する被覆層を付与した
材料が種々提案されている。この内酸化アルミニウムの
高硬度性と化学的安定性から酸化アルミニウムを主体と
した被覆層を０与した被覆工具材料が開発されている。
Ｍ等の基体表面に耐摩耗１１を有する被覆層を付与した
材料が種々提案されている。この内酸化アルミニウムの
高硬度性と化学的安定性から酸化アルミニウムを主体と
した被覆層を０与した被覆工具材料が開発されている。
この酸化アルミニウムを主体とした被覆層を直接基体表
面に０着したものは付着性が悪く実用化できないという
問題があり、この問題を解決したものとして基体と主と
して酸化アルミニウムからなる外層どの間にＴｉ，Ｚｒ
，Ｈｆ，Ｔａの炭化物および／または窒化物の内ノ凶を
０着した被覆４Ａ料が特公昭５２−１３２０１に開示さ
れている。この特公昭５２−１３２０１による被覆材料
は、基体と外Ｅｌとの間に存在する内層が基体に含有し
ている結合剤金属上としてＣｏが酸化物からなる外Ｊ＋
ｆ中に拡散するのを阻止するのと基体に含有している炭
素が外層中に拡１１にするのを遅延させる効果によって
酸化物からなる外層のａ覆速度を遅くして酸化物からな
る外層を４；：’ｔＪ；＋１粒子にし、しかも基体と内
層及び内ノーと外層との結合強度を高めて実用化を可能
にしたものである。しかしこの特公昭５２−１３２０１
の被覆材料は、外層である酸化物の生成速度が遅く工業
生産していくためには問題があり、しかも切削工具部品
のように刃先に苛酷な負荷が加わり切刃近辺が高温にな
るような用途特に高速切削や高送り切削用の（υ削工具
部品として使用した場合は、すくい面に生じるクレータ
−摩耗が激しかったり、高温負荷により内層と外層間で
剥離が生じたり、被覆層の強度不足から生じると考えら
れる微少チッピングがり刃に発生して被削オＪの切削面
粗さが悪くなるという問題がある。
面に０着したものは付着性が悪く実用化できないという
問題があり、この問題を解決したものとして基体と主と
して酸化アルミニウムからなる外層どの間にＴｉ，Ｚｒ
，Ｈｆ，Ｔａの炭化物および／または窒化物の内ノ凶を
０着した被覆４Ａ料が特公昭５２−１３２０１に開示さ
れている。この特公昭５２−１３２０１による被覆材料
は、基体と外Ｅｌとの間に存在する内層が基体に含有し
ている結合剤金属上としてＣｏが酸化物からなる外Ｊ＋
ｆ中に拡散するのを阻止するのと基体に含有している炭
素が外層中に拡１１にするのを遅延させる効果によって
酸化物からなる外層のａ覆速度を遅くして酸化物からな
る外層を４；：’ｔＪ；＋１粒子にし、しかも基体と内
層及び内ノーと外層との結合強度を高めて実用化を可能
にしたものである。しかしこの特公昭５２−１３２０１
の被覆材料は、外層である酸化物の生成速度が遅く工業
生産していくためには問題があり、しかも切削工具部品
のように刃先に苛酷な負荷が加わり切刃近辺が高温にな
るような用途特に高速切削や高送り切削用の（υ削工具
部品として使用した場合は、すくい面に生じるクレータ
−摩耗が激しかったり、高温負荷により内層と外層間で
剥離が生じたり、被覆層の強度不足から生じると考えら
れる微少チッピングがり刃に発生して被削オＪの切削面
粗さが悪くなるという問題がある。
本発明は、上記のような問題点を解決したものでｎ化ア
ルミニウムや酸化ジルコニウムを弧む被覆層を基体の表
面に短時間で被覆でき、しかもこの被覆層の結晶粒子を
微細にして下地どの０着強度を向上させたもので、この
ために切削工具部品として使用した場合、特に高速切削
や高送り切削の領域まで使用可能なすぐれた高温特性を
有する多層被覆工具材料を提供するものである。即ち、
本発明の高温特性にすぐれた多層被覆工具材料は、超硬
合金、サーメット、セラミックス及び高速度口等の基体
の表面にＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ．Ｔａ。
ルミニウムや酸化ジルコニウムを弧む被覆層を基体の表
面に短時間で被覆でき、しかもこの被覆層の結晶粒子を
微細にして下地どの０着強度を向上させたもので、この
ために切削工具部品として使用した場合、特に高速切削
や高送り切削の領域まで使用可能なすぐれた高温特性を
有する多層被覆工具材料を提供するものである。即ち、
本発明の高温特性にすぐれた多層被覆工具材料は、超硬
合金、サーメット、セラミックス及び高速度口等の基体
の表面にＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ．Ｔａ。
Ｃｒ，ＭＯ，Ｗ，Ｓｉの炭化物、窒化物、酸化物、｛σ
ｊり化物又はこれらの複合化合物のうちの少なくとも１
屑からなる０．５〜１０μｍ厚さの内層を被覆し、この
内層の表面に窒化タンタル、窒化ニオブ、窒化バナジウ
ム又はこれらの複合化合物のうちの少なくとも１層から
なる０，１〜Ｉμｍ厚さの中間層を被覆し、この中間層
の表面に酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウム、酸化
ジルコニウム、酸窒化ジルコニウム又はこれらの複合化
合物のうちの少なくとも１層からなる１〜１５μｍ厚さ
の外層を被覆した多層被覆工具材料である。このような
本発明の高温特性にすぐれた多層被覆工具材料は、理論
的根拠は明らかではないが、外層である酸化アルミニウ
ム、酸窒化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸窒化ジ
ルコニウムを周期律表の５ａ族金属であるＴａ、Ｎｂ、
Ｖの窒化物又はこれらの複合化合物例えば（ＴａＮｂ）
Ｎ、（ＴａＶ）Ｎ、（ＮｂＶ）Ｎ。
ｊり化物又はこれらの複合化合物のうちの少なくとも１
屑からなる０．５〜１０μｍ厚さの内層を被覆し、この
内層の表面に窒化タンタル、窒化ニオブ、窒化バナジウ
ム又はこれらの複合化合物のうちの少なくとも１層から
なる０，１〜Ｉμｍ厚さの中間層を被覆し、この中間層
の表面に酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウム、酸化
ジルコニウム、酸窒化ジルコニウム又はこれらの複合化
合物のうちの少なくとも１層からなる１〜１５μｍ厚さ
の外層を被覆した多層被覆工具材料である。このような
本発明の高温特性にすぐれた多層被覆工具材料は、理論
的根拠は明らかではないが、外層である酸化アルミニウ
ム、酸窒化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸窒化ジ
ルコニウムを周期律表の５ａ族金属であるＴａ、Ｎｂ、
Ｖの窒化物又はこれらの複合化合物例えば（ＴａＮｂ）
Ｎ、（ＴａＶ）Ｎ、（ＮｂＶ）Ｎ。
（ＴａＮｂＶ）Ｎのような化合物からなる中間層の表面
に被覆すると外層の被覆速度が促進されるために外層の
被覆時間が短時間で可能となり、しかも外層の結晶粒子
が従来よりも非常に微第１（１になって中間層との付着
強度が高くなることを確認し、この事実に基いて本発明
を完成したものである。このような外層と中間層との関
係に加えて外層は、耐摩耗性を高めるために高硬度であ
る酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウムが好ましく、
特に酸窒化アルミニウムは酸化アルミニウムに比較して
熱膨張係数が小さく中間層に含有している侵入型元素で
ある窒素と酸窒化アルミニウム中の窒素の相互拡散によ
って外層と中間層の封着強度を高める傾向にあるために
外層と中間層との境界部分は少なくとも酸窒化アルミニ
ウムを含む外層であることが好ましい。又、中間層は、
外層である酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウムの結
晶措造が六方晶であることから中間層も六方晶の窒化タ
ンクル、窒化ニオブ又はタンクルおよび／またはニオブ
を含む４ａ族金属の複合窒化物にすることが外層と中間
層との付着強度から好ましい。このような外層と中間層
の関係に対して中間層と基体との付着強度を高めるのに
基体と中間層とのｌ１ｔｌ＋こ内層としてＴｉ、Ｚｒ、
Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ。
に被覆すると外層の被覆速度が促進されるために外層の
被覆時間が短時間で可能となり、しかも外層の結晶粒子
が従来よりも非常に微第１（１になって中間層との付着
強度が高くなることを確認し、この事実に基いて本発明
を完成したものである。このような外層と中間層との関
係に加えて外層は、耐摩耗性を高めるために高硬度であ
る酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウムが好ましく、
特に酸窒化アルミニウムは酸化アルミニウムに比較して
熱膨張係数が小さく中間層に含有している侵入型元素で
ある窒素と酸窒化アルミニウム中の窒素の相互拡散によ
って外層と中間層の封着強度を高める傾向にあるために
外層と中間層との境界部分は少なくとも酸窒化アルミニ
ウムを含む外層であることが好ましい。又、中間層は、
外層である酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウムの結
晶措造が六方晶であることから中間層も六方晶の窒化タ
ンクル、窒化ニオブ又はタンクルおよび／またはニオブ
を含む４ａ族金属の複合窒化物にすることが外層と中間
層との付着強度から好ましい。このような外層と中間層
の関係に対して中間層と基体との付着強度を高めるのに
基体と中間層とのｌ１ｔｌ＋こ内層としてＴｉ、Ｚｒ、
Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ。
Ｓｉの炭化物、窒化物、酸化物、硼化物又はこれらの複
合化合物の少なくともＩＭを付着したもので、この内層
は基体の種類、成分組成及び用途によって使い分ける必
要があり、基体が超硬合金の場合には４ａ族金属である
Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆの炭化物、僧化物、酸化物、硼化物又
はこれらの複合化合物の中の少なくとも１層からなるこ
と力傾Ｉましく、超硬合金からなる基体と内層との付着
強度及び内層と中間層との付着強度並びに高温における
被覆工具材料の特性更には製造コストから内層は、炭化
チタン、窒化チタン、窒炭化チタン、酸炭化チタン、酸
窒化チタン、酸室炭化チタンのうちの少なくともＩＮか
らなることが好ましく、特に基体がＪＩＳＯ類のＭ又は
Ｐ系列に相当する組成範囲の超硬合金であるときは基体
の表面に接する内層近辺にＴｉの炭化物を含有している
ことが基体と内層との付着強度から好ましく、中間層が
接する内層の近辺にはＴｉの窒化物、窒炭化物又は酸窒
化物を含有していることが中間層と内層との付着強度か
ら好ましい。基体としては超硬合金、サーメット、セラ
ミックス、高速度鋼等にも応用できるが特に高速切削、
高送り切削の切削領域に適する多層被覆工具材料にする
には基体が周期律表の４ａ 、５ａ族金属の炭化物、窒
化物、炭窒化物又はこれらの複合化合物のうちの少なく
とも１種を１〜２０重量％とＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒ、
Ｍｏ又はこれらの合金のうちの少なくとも１種を２〜Ｉ
Ｏ重量％と残りＷＣと不可避不純物からなる超硬合金で
あることが好ましい。
合化合物の少なくともＩＭを付着したもので、この内層
は基体の種類、成分組成及び用途によって使い分ける必
要があり、基体が超硬合金の場合には４ａ族金属である
Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆの炭化物、僧化物、酸化物、硼化物又
はこれらの複合化合物の中の少なくとも１層からなるこ
と力傾Ｉましく、超硬合金からなる基体と内層との付着
強度及び内層と中間層との付着強度並びに高温における
被覆工具材料の特性更には製造コストから内層は、炭化
チタン、窒化チタン、窒炭化チタン、酸炭化チタン、酸
窒化チタン、酸室炭化チタンのうちの少なくともＩＮか
らなることが好ましく、特に基体がＪＩＳＯ類のＭ又は
Ｐ系列に相当する組成範囲の超硬合金であるときは基体
の表面に接する内層近辺にＴｉの炭化物を含有している
ことが基体と内層との付着強度から好ましく、中間層が
接する内層の近辺にはＴｉの窒化物、窒炭化物又は酸窒
化物を含有していることが中間層と内層との付着強度か
ら好ましい。基体としては超硬合金、サーメット、セラ
ミックス、高速度鋼等にも応用できるが特に高速切削、
高送り切削の切削領域に適する多層被覆工具材料にする
には基体が周期律表の４ａ 、５ａ族金属の炭化物、窒
化物、炭窒化物又はこれらの複合化合物のうちの少なく
とも１種を１〜２０重量％とＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｃｒ、
Ｍｏ又はこれらの合金のうちの少なくとも１種を２〜Ｉ
Ｏ重量％と残りＷＣと不可避不純物からなる超硬合金で
あることが好ましい。
本発明の高温特性にすぐれた多層被覆工具材料は、超硬
合金、サーメット、セラミックス及び高速度鋼等の基体
の表面にＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ。
合金、サーメット、セラミックス及び高速度鋼等の基体
の表面にＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ。
Ｔａ 、 Ｃｒ 、Ｍｏ 、Ｗ、 Ｓ ｉの炭化物、窒
化物、酸化物、硼化物又はこれらの複合化合物のうちの
少なくとも１層からなる０、５〜１０μｍ厚さ゛の内層
を被覆し、この内層の表面に窒化タンタル、窒化ニオブ
、窒化バナジウム又はこれらの複合化合物のうちの少な
くとも１層からなる０、１〜１月ｎ厚さの中間層を被覆
し、この中間層の表面に酸化アルミニウム、酸窒化アル
ミニウム、酸化ジルコニウム、酸窒化ジルコニウム又は
これらの複合化合物のうちの少なくとも１層からなる１
〜１５μｍ厚さの外層を被覆し、この外層の表面に炭化
チタン、窒化チタン、窒炭化チタン、酸化チタペ酸窒化
チタン、酸炭化チタン、酸室炭化チタンのうちの少なく
とも１層からなる０、１〜２μｍ厚さの最外層を被覆し
た多層被覆工具材料にすることもできる。
化物、酸化物、硼化物又はこれらの複合化合物のうちの
少なくとも１層からなる０、５〜１０μｍ厚さ゛の内層
を被覆し、この内層の表面に窒化タンタル、窒化ニオブ
、窒化バナジウム又はこれらの複合化合物のうちの少な
くとも１層からなる０、１〜１月ｎ厚さの中間層を被覆
し、この中間層の表面に酸化アルミニウム、酸窒化アル
ミニウム、酸化ジルコニウム、酸窒化ジルコニウム又は
これらの複合化合物のうちの少なくとも１層からなる１
〜１５μｍ厚さの外層を被覆し、この外層の表面に炭化
チタン、窒化チタン、窒炭化チタン、酸化チタペ酸窒化
チタン、酸炭化チタン、酸室炭化チタンのうちの少なく
とも１層からなる０、１〜２μｍ厚さの最外層を被覆し
た多層被覆工具材料にすることもできる。
このように外層の表面に炭化チタン、窒化チタン、窒炭
化チタン、酸化チタン、酸窒化チタン、酸炭化チタン、
酸室炭化チタンのうちの少なくとも１層からなる最外層
を被覆した多層被覆工具イ・イ料は、相手材との摩擦係
数を低下させる傾向があるために一層耐摩耗性が向上し
、切削工具部品として使用した場合に耐クレーター摩耗
性、耐逃げ面摩耗性、耐境界摩耗性に優れた効果を発揮
する。又本発明の多層被覆工具材料における被覆ｍｊｊ
ｌｊ造によって従来よりも非常に微細な結晶粒子の外層
になって外層内の結晶の結合強度が向上するものの酸化
アルミニウム、酸窒化アルミニウム、酸化ジルコニウム
、酸窒化ジルコニウム又はこれらの複合化合物のうちの
少なくとも１ｍからなる外層が直接被削材と高温条件で
接触するような、特に断続切削のように高温冷却が繰り
返される条件及び高硬度な鋼の切削で負荷が加わるよう
な条件では切刃である外層に微少チッピングが生じる場
合があるのに対して外層の表面に炭化チタン、窒化チタ
ン、窒炭化チタン、酸化チタン、酸窒化チタン、酸炭化
チタン、酸室炭化チタンのうちの少なくとも１層からな
る最外Ｍｌを被覆すると切刃の微少チッピングの発生が
非常に少なくなって高信頼性の多層被覆工具１料になる
。更に最外層の表面が窒化チタン、窒炭化チタン、酸蒙
化チタン、酸炭化チタン、酸室炭化チタンのうちのｌｈ
ａからなっているときは、使用前と使用後との区別が容
易になり、しかも外層の色むらをなくして製品としての
価値も高くなる。本発明の高温特性にすぐれた多層被覆
工具材料において最外層は、外層との付着強度の関係か
ら酸化物を含有したチタン化合物がよく、特に外層が酸
化物のときはその境界近辺の最外層には酸素を多く含ん
だチタン化合物が好ましく、外層が酸窒化物のときはそ
の境界近辺の最外層には酸素および／または窒素を多く
含んだチタン化合物が好ましい。これらの本発明の高温
特性にすぐれた多層被覆工具材料は、基体と被覆層の各
層内に侵入型元素である炭素、窒素、酸素が存在してい
ると基体と内層、内層と中間層、中間層と外層、外ｌ（
りと最外層の相互界面に炭素、窒素、酸素の相互拡散が
生じて各相互界面の付着強度をすぐれたものにしている
。
化チタン、酸化チタン、酸窒化チタン、酸炭化チタン、
酸室炭化チタンのうちの少なくとも１層からなる最外層
を被覆した多層被覆工具イ・イ料は、相手材との摩擦係
数を低下させる傾向があるために一層耐摩耗性が向上し
、切削工具部品として使用した場合に耐クレーター摩耗
性、耐逃げ面摩耗性、耐境界摩耗性に優れた効果を発揮
する。又本発明の多層被覆工具材料における被覆ｍｊｊ
ｌｊ造によって従来よりも非常に微細な結晶粒子の外層
になって外層内の結晶の結合強度が向上するものの酸化
アルミニウム、酸窒化アルミニウム、酸化ジルコニウム
、酸窒化ジルコニウム又はこれらの複合化合物のうちの
少なくとも１ｍからなる外層が直接被削材と高温条件で
接触するような、特に断続切削のように高温冷却が繰り
返される条件及び高硬度な鋼の切削で負荷が加わるよう
な条件では切刃である外層に微少チッピングが生じる場
合があるのに対して外層の表面に炭化チタン、窒化チタ
ン、窒炭化チタン、酸化チタン、酸窒化チタン、酸炭化
チタン、酸室炭化チタンのうちの少なくとも１層からな
る最外Ｍｌを被覆すると切刃の微少チッピングの発生が
非常に少なくなって高信頼性の多層被覆工具１料になる
。更に最外層の表面が窒化チタン、窒炭化チタン、酸蒙
化チタン、酸炭化チタン、酸室炭化チタンのうちのｌｈ
ａからなっているときは、使用前と使用後との区別が容
易になり、しかも外層の色むらをなくして製品としての
価値も高くなる。本発明の高温特性にすぐれた多層被覆
工具材料において最外層は、外層との付着強度の関係か
ら酸化物を含有したチタン化合物がよく、特に外層が酸
化物のときはその境界近辺の最外層には酸素を多く含ん
だチタン化合物が好ましく、外層が酸窒化物のときはそ
の境界近辺の最外層には酸素および／または窒素を多く
含んだチタン化合物が好ましい。これらの本発明の高温
特性にすぐれた多層被覆工具材料は、基体と被覆層の各
層内に侵入型元素である炭素、窒素、酸素が存在してい
ると基体と内層、内層と中間層、中間層と外層、外ｌ（
りと最外層の相互界面に炭素、窒素、酸素の相互拡散が
生じて各相互界面の付着強度をすぐれたものにしている
。
本発明の高温特性をこすぐれた多層被覆工具材料の製造
方法は、化学蒸着法および、／または物理蒸着法によっ
て多層被覆層の措成を基体のＪ、ト面に形成させること
かできる。例えばＴＩ Ｃ−’！’ ＋ ＴａＣｔ５ｒ
ＷＣ１６のようなハロゲン化物又は５ｉＩ（４とＣｌＩ
４゜Ｉ２．Ｎ２．ＮＯ，ＣＯ，ＣＯ２等のガスを形成し
ようとする目的の被覆層をこ従って各種組合せた混合ガ
ス気流中、８００〜１２００℃程度の温度範囲で化学蒸
着処理したり、Ｔｉ、Ｔａ、Ｗ、Ａｔ、Ｓｉ？の金属又
はＴｉＣ，ＴｉＮ、ＴａＮ、ＷＣ，Ｓｉ３Ｎ４ 、Ａｔ
２０３ 、ΔｔＮ等の化合物を真空又は各種のガス雰囲
気中で電子ビーム蒸発、レーザー蒸発、イオンブレーテ
ィング又はスパッタリング処理によって被覆屑を形成す
ることができる。基体が超硬合金、サーメット又はセラ
ミックスのときは、化学蒸着法が被覆層の付着強度から
望ましいが他の方法とを組合せることもよい。
方法は、化学蒸着法および、／または物理蒸着法によっ
て多層被覆層の措成を基体のＪ、ト面に形成させること
かできる。例えばＴＩ Ｃ−’！’ ＋ ＴａＣｔ５ｒ
ＷＣ１６のようなハロゲン化物又は５ｉＩ（４とＣｌＩ
４゜Ｉ２．Ｎ２．ＮＯ，ＣＯ，ＣＯ２等のガスを形成し
ようとする目的の被覆層をこ従って各種組合せた混合ガ
ス気流中、８００〜１２００℃程度の温度範囲で化学蒸
着処理したり、Ｔｉ、Ｔａ、Ｗ、Ａｔ、Ｓｉ？の金属又
はＴｉＣ，ＴｉＮ、ＴａＮ、ＷＣ，Ｓｉ３Ｎ４ 、Ａｔ
２０３ 、ΔｔＮ等の化合物を真空又は各種のガス雰囲
気中で電子ビーム蒸発、レーザー蒸発、イオンブレーテ
ィング又はスパッタリング処理によって被覆屑を形成す
ることができる。基体が超硬合金、サーメット又はセラ
ミックスのときは、化学蒸着法が被覆層の付着強度から
望ましいが他の方法とを組合せることもよい。
ここで本発明の高温特性にすぐれた多層被覆工具材料で
数値限定した理由について述べる。
数値限定した理由について述べる。
内層について
基体の表面に被覆するＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ。
Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｓｉの炭化物、窒化物、酸化物
、硼化物又はこれらの複合化合物のうちの少なくとも１
ｍからなる内層が、０，５μＩｎ未満の厚さでは基体に
含有している金属又は非金属元素が外層個迄拡散するの
を阻止する作用が弱く、特にＣｏ。
、硼化物又はこれらの複合化合物のうちの少なくとも１
ｍからなる内層が、０，５μＩｎ未満の厚さでは基体に
含有している金属又は非金属元素が外層個迄拡散するの
を阻止する作用が弱く、特にＣｏ。
Ｎｉ、Ｆｅ等の金属が内層に拡散して含有していると内
層の強度向」二の作用となるが金属が外層個迄拡散する
と中間層と外層の付着強度を低下させるために耐摩耗性
１．耐チッピング性が低下し、内層が１０μｍ ｆ！：
越えて厚くなると本発明を措成する被覆層全体の厚さが
厚くなりすぎて被覆層の剥離やチッピングが生じる。こ
のために内層は０．５〜１０μｍと定めた。基体からの
各元素の拡散にバリヤーとして有利に作用する条件及び
被覆層の耐剥離性耐チッピング性に有効な条件としては
内層が２〜６μｍ厚さが好ましい。
層の強度向」二の作用となるが金属が外層個迄拡散する
と中間層と外層の付着強度を低下させるために耐摩耗性
１．耐チッピング性が低下し、内層が１０μｍ ｆ！：
越えて厚くなると本発明を措成する被覆層全体の厚さが
厚くなりすぎて被覆層の剥離やチッピングが生じる。こ
のために内層は０．５〜１０μｍと定めた。基体からの
各元素の拡散にバリヤーとして有利に作用する条件及び
被覆層の耐剥離性耐チッピング性に有効な条件としては
内層が２〜６μｍ厚さが好ましい。
中間層について
内層の表面に被覆する窒化タンタル、窒化ニオブ、窒化
バナジウム又はこれらの複合化合物のうちの少なくとも
１層からなる中間層が０．１μｍ未満の厚さでは耐熱的
強度の向」ユに作用している１１１間層の効果が弱くな
るのと外層の結晶粒子の微イ１■化作用も弱くなる傾向
があり、中間層が１μｍを越えて厚くなると中間層内で
塑性変形が生じて剥離やチッピングとなる。このために
中間層は０．１〜１μｍと定めた。耐熱的強度向上と外
層の結晶粒子微細化効果及び耐塑性変形性を考慮すると
中間層が０．３〜０．６μｍ厚さが好ましい。
バナジウム又はこれらの複合化合物のうちの少なくとも
１層からなる中間層が０．１μｍ未満の厚さでは耐熱的
強度の向」ユに作用している１１１間層の効果が弱くな
るのと外層の結晶粒子の微イ１■化作用も弱くなる傾向
があり、中間層が１μｍを越えて厚くなると中間層内で
塑性変形が生じて剥離やチッピングとなる。このために
中間層は０．１〜１μｍと定めた。耐熱的強度向上と外
層の結晶粒子微細化効果及び耐塑性変形性を考慮すると
中間層が０．３〜０．６μｍ厚さが好ましい。
外層について
中間層の表面に被覆する酸化アルミニウム、酸窒化アル
ミニウム、酸化ジルコニウム、酸窒化ジルコニウム又は
これらの複合化合物のうちの少なくとも１層からなる外
層が１μｍ未満の厚さでは耐摩耗性、耐酸化性、熱的安
定性、耐溶着性及び相手材との耐相互反応性が劣り、外
層が１５μｍを越えて厚くなると本発明の被覆層全体の
厚さが厚くなりすぎて特に外層内での耐剥離性及び耐チ
ッピング性が低下する。このために外層は１〜１５μｍ
と定めた。耐摩耗性、耐酸化ｔｌＥ 、熱的安定性、耐
溶着性、相手材との耐相互反応性並びに耐剥離性、耐チ
ッピング性を考慮すると外層は２〜８μｍ厚さが好まし
い。
ミニウム、酸化ジルコニウム、酸窒化ジルコニウム又は
これらの複合化合物のうちの少なくとも１層からなる外
層が１μｍ未満の厚さでは耐摩耗性、耐酸化性、熱的安
定性、耐溶着性及び相手材との耐相互反応性が劣り、外
層が１５μｍを越えて厚くなると本発明の被覆層全体の
厚さが厚くなりすぎて特に外層内での耐剥離性及び耐チ
ッピング性が低下する。このために外層は１〜１５μｍ
と定めた。耐摩耗性、耐酸化ｔｌＥ 、熱的安定性、耐
溶着性、相手材との耐相互反応性並びに耐剥離性、耐チ
ッピング性を考慮すると外層は２〜８μｍ厚さが好まし
い。
最外層について
外層の表面に被覆する炭化チタン、窒化チタン、空炊化
チタン、酸化チタン、酸窒化′チタン、酸炭化チタン、
酸室炭化チタンのうちの少なくとも１層からなる最外層
が０．１μｍ未満の厚さでは相手オｊとの摩擦抵抗を低
下させるための持続性が弱く、外層を保護してチッピン
グの発生を防ぐ作用も弱くなるために切刃の信頼性が低
下するのと工具材料の使用前及び使用後の区別がし介く
なり、最外層が２μｍを越えて厚くなると外層の有して
いる高硬度性を特とする特性値を有効に作用できなくな
る。このために最外層は０．１〜２μｍと定めた。外層
の諸特性値を有効に利用しズしかも外層の脆性をカバー
できる最外層は、０．３〜１１１ｍが好ましい。
チタン、酸化チタン、酸窒化′チタン、酸炭化チタン、
酸室炭化チタンのうちの少なくとも１層からなる最外層
が０．１μｍ未満の厚さでは相手オｊとの摩擦抵抗を低
下させるための持続性が弱く、外層を保護してチッピン
グの発生を防ぐ作用も弱くなるために切刃の信頼性が低
下するのと工具材料の使用前及び使用後の区別がし介く
なり、最外層が２μｍを越えて厚くなると外層の有して
いる高硬度性を特とする特性値を有効に作用できなくな
る。このために最外層は０．１〜２μｍと定めた。外層
の諸特性値を有効に利用しズしかも外層の脆性をカバー
できる最外層は、０．３〜１１１ｍが好ましい。
以下に実施例に従って具体的に本発明の高温特性にすぐ
れた多層被覆工具材料について詳述する。
れた多層被覆工具材料について詳述する。
実施例１
重量％で８９夕ｔ、ＷＣ−ｓ％（ＴｉＴａ）Ｃ−０％Ｃ
ｏ組成の超硬合金をＪＩＳＩ２Ｏ３ＮＰ４３２に成形し
、これを１０００個反応容器中に設置し９０％）ｆ２−
７％ＣＨ４−３％ＴｉＣｔ４雰囲気で圧力を１００Ｔｏ
ｒｒにして温度１０５０℃で５０分間保持し、次に６７
％ｌＩ２−３０兄Ｎ２−３％Ｔｉ（、ｔ１雰囲気で圧力
を１００Ｔ’ｏｒｒにして温度１０５０℃で３０分間保
持し、反応容器内のガスを真空ポンプで吸い出した後７
５％ｌＩ２−５％’Ｉ”ａＣｔｓ−＝２０％Ｎ２雰囲気
で圧力を１ｏＯＴｏｒｒにして温度１０５０℃で１０分
間保持し、又反応容器内のガスを真空ポンプで吸い出し
たイ圭８２％Ｈ２−８％ＣＯ２−１０％ＡｔＣｌ３雰囲
気で圧力を１００Ｔｏｒｒにして温度１０５０℃で２時
間保持した。常温後反応容器から取り出した本発明の試
料は基体の表面に内層としてＴｉＣが２μｍと次にＴｉ
Ｎが２μｍ１ このＴｉＮの次に中間層としてＴ ａ
Ｎが０．５／ｚｍ、 このＴａＮの次に外層としてＡｔ
２０３が４μｍからなる被覆層が基体である超硬合金に
強固に封着した多層↑皮覆工只、第４料が得られた。こ
の本発明の多層被覆工具材料の性能を比較するために中
間層であるＴａＮ被覆層を被覆する工程のみ省いた被覆
層が表面から基体に向かって４ ｐ ｍ Ａｔ２ｏ３
（外Ｍ ） −２ｚｚｍ’ｌ’ｉＮ（内層）−２μｍ’
ｌ’ｉｃ（内層）からなる比較用多層被覆工具材料を作
製した。この本発明の多層被覆工具材料と比較用多層被
覆工具材料を使用して被削材ＦＣ３５、切削速度２００
ｍ／ｍｉｎ、送り速度０．３ ｍｙ／ｒｅｖ、切込み量
１．５繭、切削時間３０分で旋削試験をした結果、本発
明の多層被覆工具＋」料は平均逃げ面摩耗量ＶＢ＝Ｏ８
０９門ですくい面におけるクレータ−摩耗が発生してい
ないのに対して比較用多層被覆工具材料は平均逃げ面摩
耗量ＶＢ＝ ０．２８ｍｍでりｖ−クー摩１ＫＴ＝０．
１６＋ｕであった。
ｏ組成の超硬合金をＪＩＳＩ２Ｏ３ＮＰ４３２に成形し
、これを１０００個反応容器中に設置し９０％）ｆ２−
７％ＣＨ４−３％ＴｉＣｔ４雰囲気で圧力を１００Ｔｏ
ｒｒにして温度１０５０℃で５０分間保持し、次に６７
％ｌＩ２−３０兄Ｎ２−３％Ｔｉ（、ｔ１雰囲気で圧力
を１００Ｔ’ｏｒｒにして温度１０５０℃で３０分間保
持し、反応容器内のガスを真空ポンプで吸い出した後７
５％ｌＩ２−５％’Ｉ”ａＣｔｓ−＝２０％Ｎ２雰囲気
で圧力を１ｏＯＴｏｒｒにして温度１０５０℃で１０分
間保持し、又反応容器内のガスを真空ポンプで吸い出し
たイ圭８２％Ｈ２−８％ＣＯ２−１０％ＡｔＣｌ３雰囲
気で圧力を１００Ｔｏｒｒにして温度１０５０℃で２時
間保持した。常温後反応容器から取り出した本発明の試
料は基体の表面に内層としてＴｉＣが２μｍと次にＴｉ
Ｎが２μｍ１ このＴｉＮの次に中間層としてＴ ａ
Ｎが０．５／ｚｍ、 このＴａＮの次に外層としてＡｔ
２０３が４μｍからなる被覆層が基体である超硬合金に
強固に封着した多層↑皮覆工只、第４料が得られた。こ
の本発明の多層被覆工具材料の性能を比較するために中
間層であるＴａＮ被覆層を被覆する工程のみ省いた被覆
層が表面から基体に向かって４ ｐ ｍ Ａｔ２ｏ３
（外Ｍ ） −２ｚｚｍ’ｌ’ｉＮ（内層）−２μｍ’
ｌ’ｉｃ（内層）からなる比較用多層被覆工具材料を作
製した。この本発明の多層被覆工具材料と比較用多層被
覆工具材料を使用して被削材ＦＣ３５、切削速度２００
ｍ／ｍｉｎ、送り速度０．３ ｍｙ／ｒｅｖ、切込み量
１．５繭、切削時間３０分で旋削試験をした結果、本発
明の多層被覆工具＋」料は平均逃げ面摩耗量ＶＢ＝Ｏ８
０９門ですくい面におけるクレータ−摩耗が発生してい
ないのに対して比較用多層被覆工具材料は平均逃げ面摩
耗量ＶＢ＝ ０．２８ｍｍでりｖ−クー摩１ＫＴ＝０．
１６＋ｕであった。
実施例２
重量％で７９％ＷＣ−１６％（ＴｉＴａ）Ｃ−５％Ｃｏ
組成の超硬合金を実施例１と同様にして９０％■（２
−７％ＣＨ４−３％ＴｉＣｔ４雰囲気で圧力を３６０Ｔ
ｏ ｒ ｒにして温度１０５０℃で６０分間保持し、反
応容器内のガスを真空ポンプで吸い出した後７５％Ｈ２
−５％ＮｂＣＡｓ−２０％Ｎ２雰囲気で圧力３６０Ｔｈ
ｒｒにして温度１０５０℃で５分間保持し、又反応容器
内のガスを真空ポンプで吸い出した後５ｏｘＨ２−１０
％ＣＯ２−１０％ＡｔＣｌ３雰囲気で圧力３６０ Ｔｏ
ｒ ｒにして温度１０５０℃で２時間保持した。常温
後反応容器から取り出した本発明の試料は基体の表面に
内層としてＴｉＣが４μｍ１このＴ ｉ Ｃの次に中間
層′としてＮｂＮが０．３μｍ、このＮｂＮの次に外層
としてＡｔ２０３が５μｍからなる被覆層が基体である
超硬合金に強固に０着した多層被覆工具材料が得られた
。この本発明の多層被覆工具材料の性能を比較するため
に中間層であるＮｂＮ被覆層を被覆する工程のみ省いた
。被覆層が表面から基体に向かって５ μｍＡｔ２０３
（外層）−４μｍＴｉＣ（内層）からなる比較用多層
被覆工具材料を作製した。この本発明の多層被覆工具材
料と比較用多層被覆工具材料を使用して被削材ＳＣＭ４
、切削速度３００ｍ／ｌＴ１１ｎ゛、送り速度０．３
ｍｍ、／ｒｅｖ 、切り込み量１．５開、切削時間１５
分で旋削試験をした結果、本発明の多層被覆工具材料は
最大逃げ面摩耗ｌ７１Ｖ’１１ ＝ ０．１７ ｍｍで
すくい面のクレータ−摩耗量Ｉ（Ｔ ＝ ０．０１ Ｆ
Ｊであったのに対して比較用多層被覆工具材料は５分切
削した所ですくい面の被覆層が剥離してクレータ−摩耗
が急激に進行し、ノーズ部脱落でスを命となった。
組成の超硬合金を実施例１と同様にして９０％■（２
−７％ＣＨ４−３％ＴｉＣｔ４雰囲気で圧力を３６０Ｔ
ｏ ｒ ｒにして温度１０５０℃で６０分間保持し、反
応容器内のガスを真空ポンプで吸い出した後７５％Ｈ２
−５％ＮｂＣＡｓ−２０％Ｎ２雰囲気で圧力３６０Ｔｈ
ｒｒにして温度１０５０℃で５分間保持し、又反応容器
内のガスを真空ポンプで吸い出した後５ｏｘＨ２−１０
％ＣＯ２−１０％ＡｔＣｌ３雰囲気で圧力３６０ Ｔｏ
ｒ ｒにして温度１０５０℃で２時間保持した。常温
後反応容器から取り出した本発明の試料は基体の表面に
内層としてＴｉＣが４μｍ１このＴ ｉ Ｃの次に中間
層′としてＮｂＮが０．３μｍ、このＮｂＮの次に外層
としてＡｔ２０３が５μｍからなる被覆層が基体である
超硬合金に強固に０着した多層被覆工具材料が得られた
。この本発明の多層被覆工具材料の性能を比較するため
に中間層であるＮｂＮ被覆層を被覆する工程のみ省いた
。被覆層が表面から基体に向かって５ μｍＡｔ２０３
（外層）−４μｍＴｉＣ（内層）からなる比較用多層
被覆工具材料を作製した。この本発明の多層被覆工具材
料と比較用多層被覆工具材料を使用して被削材ＳＣＭ４
、切削速度３００ｍ／ｌＴ１１ｎ゛、送り速度０．３
ｍｍ、／ｒｅｖ 、切り込み量１．５開、切削時間１５
分で旋削試験をした結果、本発明の多層被覆工具材料は
最大逃げ面摩耗ｌ７１Ｖ’１１ ＝ ０．１７ ｍｍで
すくい面のクレータ−摩耗量Ｉ（Ｔ ＝ ０．０１ Ｆ
Ｊであったのに対して比較用多層被覆工具材料は５分切
削した所ですくい面の被覆層が剥離してクレータ−摩耗
が急激に進行し、ノーズ部脱落でスを命となった。
実施例３
重量％で８４％ＷＣ−Ｓ％”Ｉ”１ＣＮ−５％（、Ｔａ
Ｎｂ）Ｃ−６９イＣｏ組成の超硬合金を実ｊｊ：Ｕ例１
と同４］ηにして８９％Ｈ２−７％ＣＨ４−４％ＴｉＣ
ｔ４雰囲気で圧力を３６０Ｔｏｒｒにして温度１０００
℃で３０分間保持し、次に４９％Ｈ２−７ｙ６′ｃｒ−
ｒ ４−４０％Ｎ２−４％ＴｉＣｔ４雰囲気で圧力を３
６０Ｔｏｒｒ ＆こして温度１０００℃で６０分間保持
し、反応容器内のガスを真空ポンプで吸い出した後５５
％Ｈ２−４０％Ｎ ２ａ ２ＫＴ ａ ＣＺ ｓ 雰囲
気で圧力を３６０Ｔｏｒｒにして温度ｉ ｏ ｏ、ｏ℃
で１５分間保持し、又反応容器内のガスを真空ポンプで
吸い出した後７２％Ｈ２−８％ＣＯ２−１０％ＡｔＣｔ
３−］００％Ｎ２雰囲で圧力３６０ Ｔｏ ｒ ｒにし
て温度１０００℃で４時間保持した。常温後反応容器か
ら取り出した本発明の試料は基体の表面に内Ｒｉとして
’Ｉ’ ｉ Ｃが１μＩｎと次にＴ１ＣＮが２μｍ１こ
のＴ ｉ ＣＮの次に中間層としてＴａＮが１μｍ１こ
のＴａＮの次に外層としてＡｔ（ＯＮ）ｘが４μＩｎか
らなる被覆層が基体である超硬合金に強固にｆ＝Ｊ着し
た多層被覆工具材料が得られた。この本発明の多層被覆
工具材料の性能を比較するために中間層である’Ｉ’
ａ Ｎ被覆層を被覆する工程のみ省いた被覆屑が表面か
ら基体に向かって４μｍＡ？（ＯＮ）ｘ（外Ｒ２） −
２ｔｔｌｎＴ ｉ ＣＮ（内層）−］μｍＴｉＣ（内層
）からなる比較用多層被覆工具材料を作製した。この本
発明の多層被覆工具材料と比較用多層被覆工具材１”ｌ
を使用して被剛材ＳＣＭ４、切削速度１５０ｍａｎ ｉ
ｎ 、送り速度０．３ｍｍ／ ｒｅｖ、切込み量１．
５間、切削時間４０分で旋削試験をした結果、本発明の
多層被覆工具材料は平均逃げ面摩耗量ＶＢ＝０．１ｍｓ
ですくい而にはクレータ−が発生していなかったのに対
して比較用多層被覆工具材料は平均逃げ面摩耗量Ｖ Ｂ
” ０．２ ｍｍですくい面にはクレータ−摩耗量Ｋ
Ｔ ＝０．０８ ｍｖｒであつた。
Ｎｂ）Ｃ−６９イＣｏ組成の超硬合金を実ｊｊ：Ｕ例１
と同４］ηにして８９％Ｈ２−７％ＣＨ４−４％ＴｉＣ
ｔ４雰囲気で圧力を３６０Ｔｏｒｒにして温度１０００
℃で３０分間保持し、次に４９％Ｈ２−７ｙ６′ｃｒ−
ｒ ４−４０％Ｎ２−４％ＴｉＣｔ４雰囲気で圧力を３
６０Ｔｏｒｒ ＆こして温度１０００℃で６０分間保持
し、反応容器内のガスを真空ポンプで吸い出した後５５
％Ｈ２−４０％Ｎ ２ａ ２ＫＴ ａ ＣＺ ｓ 雰囲
気で圧力を３６０Ｔｏｒｒにして温度ｉ ｏ ｏ、ｏ℃
で１５分間保持し、又反応容器内のガスを真空ポンプで
吸い出した後７２％Ｈ２−８％ＣＯ２−１０％ＡｔＣｔ
３−］００％Ｎ２雰囲で圧力３６０ Ｔｏ ｒ ｒにし
て温度１０００℃で４時間保持した。常温後反応容器か
ら取り出した本発明の試料は基体の表面に内Ｒｉとして
’Ｉ’ ｉ Ｃが１μＩｎと次にＴ１ＣＮが２μｍ１こ
のＴ ｉ ＣＮの次に中間層としてＴａＮが１μｍ１こ
のＴａＮの次に外層としてＡｔ（ＯＮ）ｘが４μＩｎか
らなる被覆層が基体である超硬合金に強固にｆ＝Ｊ着し
た多層被覆工具材料が得られた。この本発明の多層被覆
工具材料の性能を比較するために中間層である’Ｉ’
ａ Ｎ被覆層を被覆する工程のみ省いた被覆屑が表面か
ら基体に向かって４μｍＡ？（ＯＮ）ｘ（外Ｒ２） −
２ｔｔｌｎＴ ｉ ＣＮ（内層）−］μｍＴｉＣ（内層
）からなる比較用多層被覆工具材料を作製した。この本
発明の多層被覆工具材料と比較用多層被覆工具材１”ｌ
を使用して被剛材ＳＣＭ４、切削速度１５０ｍａｎ ｉ
ｎ 、送り速度０．３ｍｍ／ ｒｅｖ、切込み量１．
５間、切削時間４０分で旋削試験をした結果、本発明の
多層被覆工具材料は平均逃げ面摩耗量ＶＢ＝０．１ｍｓ
ですくい而にはクレータ−が発生していなかったのに対
して比較用多層被覆工具材料は平均逃げ面摩耗量Ｖ Ｂ
” ０．２ ｍｍですくい面にはクレータ−摩耗量Ｋ
Ｔ ＝０．０８ ｍｖｒであつた。
実施例４
重量％で７９ＳＷＣ−１６％（ＴｉＴａ）Ｃ−５％Ｃｏ
組成の超硬合金を実施例１と同様にして９０％ＬＩ ２
−７％ＣＨ４−３％ＴｉＣｔ４雰囲気で圧力をｌ００Ｔ
ｏｒｒにして温度１０５０℃で７５分間保持し、次に６
２％Ｈ２−５％ＣＨ４−３０％Ｎ２−３’ＸＴｉＣｔａ
雰囲気で圧力を１００Ｔｏｒｒにして温度１０５０℃で
１５分間保持し、反応容器内のガスを真空ポンプで吸い
出した後７５％Ｈ２−５％Ｔａｃｋｓ−２０％Ｎ２雰囲
気で圧力をＩ Ｏ’ＯＴｏ ｒ ｒにして温度１０５０
℃で６分間保持し、又反応容器内のガスを真空ポンプで
吸い出した後７２Ｘｆ（２−ｓ％Ｃ０２−１０％１ｔＣ
ｔ３−１０％Ｎ２雰囲気で圧力を１００Ｔｏｒｒにして
温度１０５０℃で２．５時間保持し、再度反応容器内の
ガスを真空ポンプで吸い出した後６６．５％Ｈ２−３０
％Ｎ Ｚ −０，５％ＮＯ−３％ＴｉＣ／−４雰囲気で
圧力を１００Ｔｏｒｒにして温度１０５０℃で１０分間
１呆持した。常温後反応容器から取り出した本発明の試
料は、基体の表面に内層としてＴｉＣが３μｍとこのＴ
ｉＣの次にＴ１ＣＮがＩｐｍ、このＴ１ＣＮの次に中間
層としてＴａＮが０．３μｍ１ このＴａＮの次に外層
としてＡｔ（ＯＮ）ｘが４ｐｍ、このＡｚ（ＯＮ）ｘの
次に最外層としてＴｉＮ０が０．５μｍからなる被覆層
が基体である超硬合金に強固に付着した多層被覆工具材
料が得られた。この本発明の多層被覆工具材料の性能を
比較するために実施例２で使用した被覆層が表面から基
体に向かって５μｍＡｔ２０３（外層）−４μｍＴ ｉ
Ｃ（内層）からなる比較用多層被覆工具月１）を準備
した。この本発明の多層被覆工具材料と比較用多層被覆
工具材料を使用して被剛材ＦＣ３５、切削速度３００ｒ
Ｖｍｉｎ 、送り速度０．３ｒｙ、ｍ／ｒｅｖ。
組成の超硬合金を実施例１と同様にして９０％ＬＩ ２
−７％ＣＨ４−３％ＴｉＣｔ４雰囲気で圧力をｌ００Ｔ
ｏｒｒにして温度１０５０℃で７５分間保持し、次に６
２％Ｈ２−５％ＣＨ４−３０％Ｎ２−３’ＸＴｉＣｔａ
雰囲気で圧力を１００Ｔｏｒｒにして温度１０５０℃で
１５分間保持し、反応容器内のガスを真空ポンプで吸い
出した後７５％Ｈ２−５％Ｔａｃｋｓ−２０％Ｎ２雰囲
気で圧力をＩ Ｏ’ＯＴｏ ｒ ｒにして温度１０５０
℃で６分間保持し、又反応容器内のガスを真空ポンプで
吸い出した後７２Ｘｆ（２−ｓ％Ｃ０２−１０％１ｔＣ
ｔ３−１０％Ｎ２雰囲気で圧力を１００Ｔｏｒｒにして
温度１０５０℃で２．５時間保持し、再度反応容器内の
ガスを真空ポンプで吸い出した後６６．５％Ｈ２−３０
％Ｎ Ｚ −０，５％ＮＯ−３％ＴｉＣ／−４雰囲気で
圧力を１００Ｔｏｒｒにして温度１０５０℃で１０分間
１呆持した。常温後反応容器から取り出した本発明の試
料は、基体の表面に内層としてＴｉＣが３μｍとこのＴ
ｉＣの次にＴ１ＣＮがＩｐｍ、このＴ１ＣＮの次に中間
層としてＴａＮが０．３μｍ１ このＴａＮの次に外層
としてＡｔ（ＯＮ）ｘが４ｐｍ、このＡｚ（ＯＮ）ｘの
次に最外層としてＴｉＮ０が０．５μｍからなる被覆層
が基体である超硬合金に強固に付着した多層被覆工具材
料が得られた。この本発明の多層被覆工具材料の性能を
比較するために実施例２で使用した被覆層が表面から基
体に向かって５μｍＡｔ２０３（外層）−４μｍＴ ｉ
Ｃ（内層）からなる比較用多層被覆工具月１）を準備
した。この本発明の多層被覆工具材料と比較用多層被覆
工具材料を使用して被剛材ＦＣ３５、切削速度３００ｒ
Ｖｍｉｎ 、送り速度０．３ｒｙ、ｍ／ｒｅｖ。
切込み量１．５市、切削時間２０分で湿式による旋削試
験をした結果、本発明の多層被覆工具材料はノーズ部の
最大摩耗量が０．２ ｍｍであったのに対して比較の多
層被覆工具材料は５分切削後ノーズ部の最大摩耗量が０
．６ ｍｍで昨今となった。
験をした結果、本発明の多層被覆工具材料はノーズ部の
最大摩耗量が０．２ ｍｍであったのに対して比較の多
層被覆工具材料は５分切削後ノーズ部の最大摩耗量が０
．６ ｍｍで昨今となった。
実施例５
重量％で８０％ＷＣ−５％ＴｉＣＮ−１０％（ＴａＮｂ
）Ｃ−５％Ｃｏ組成の超硬合金を実施例Ｉと同様にして
８９％Ｈ２−７％ＣＨ４−４％ＴｉＣ４４雰囲気で圧力
を３６０Ｔｏｒｒにして温度１０００℃で１５分間保持
し、次に６０．５％Ｈ２−３０％Ｎ２−６％ＣＨ４−０
，５，９６’ＣＯ−３％Ｔｉｃ７４３％囲気で圧力を３
６０’ｒｏｒｒにして温度１０００℃で６０分間保持し
、反応容器内のガスを真空ポンプで吸い出した後７５％
Ｈ２−５％’Ｉ’ａＣｔ５−２０％Ｎ２雰囲気で圧力を
３ＧＯＴｏｒｒにして温度１０００℃で１０分間保持し
、又反応容器内のガスを真空ポンプで吸い出した後７２
％Ｈ２−８％ＣＯ２−１０％ＡｔＣ１３−１０％Ｎ２請
叱は圧力を３６０Ｔｏｒｒにして温度１０００℃で４時
間保持し、更に反応容器内のガスを真空ポンプで吸い出
した後８８．５％Ｈ２−８％ＣＩ（４−０，５％Ｃ０−
３％Ｔｉｃｔ４雰囲気で圧力を３６０Ｔｏｒｒにして温
度１０００℃で１０分間保持した。
）Ｃ−５％Ｃｏ組成の超硬合金を実施例Ｉと同様にして
８９％Ｈ２−７％ＣＨ４−４％ＴｉＣ４４雰囲気で圧力
を３６０Ｔｏｒｒにして温度１０００℃で１５分間保持
し、次に６０．５％Ｈ２−３０％Ｎ２−６％ＣＨ４−０
，５，９６’ＣＯ−３％Ｔｉｃ７４３％囲気で圧力を３
６０’ｒｏｒｒにして温度１０００℃で６０分間保持し
、反応容器内のガスを真空ポンプで吸い出した後７５％
Ｈ２−５％’Ｉ’ａＣｔ５−２０％Ｎ２雰囲気で圧力を
３ＧＯＴｏｒｒにして温度１０００℃で１０分間保持し
、又反応容器内のガスを真空ポンプで吸い出した後７２
％Ｈ２−８％ＣＯ２−１０％ＡｔＣ１３−１０％Ｎ２請
叱は圧力を３６０Ｔｏｒｒにして温度１０００℃で４時
間保持し、更に反応容器内のガスを真空ポンプで吸い出
した後８８．５％Ｈ２−８％ＣＩ（４−０，５％Ｃ０−
３％Ｔｉｃｔ４雰囲気で圧力を３６０Ｔｏｒｒにして温
度１０００℃で１０分間保持した。
常温後反応容器から取り出した本発明の試料は、基体の
表面に内層としてＴｉＣが０．５ｔｔｔｎとこのＴｉＣ
の次にＴｉＣＮ０が’ｌ、 ５ ／’ ｍ ｓ このＴ
ｉＣＮ０の次に中間層としてＴａＮが０．５μｍ１この
ＴａＮの次に外層としてＡｚ（ＯＮ）ｘが５μｍ、この
Ａ７（ＯＮ）Ｘの次に最外層としてＴｉＣ０が０．５μ
ｍからなる被覆層が基体である超硬合金に強固に（１着
した多層被覆工具材料が得られた。この本発明の多層被
覆工具材料の性能を比較するために実施例３で使用した
被覆屑が表面から基体に向かって４μ＋ｎＡＡ （ＯＮ
） ｘ（外層）−２／１ｍＴｉＣＮ（内ＷＪ ） −
１μｍ’ｒ ｉｃ（内層）からなる比較用多層被覆工具
材料をｆｊ、ＩＸ備した。この本発明の多層被覆工具材
料と比較用の多層ｔ：′Ｊ、覆二［具材料を使用して被
剛材ＳＮＣＭ８、切削速度１８０ｍ／ｎ１ｉｎ、送り速
度０．８ ｒ、ｑｍ ／ｒ ｃ ｖ、切込７景０、 Ｉ
ｍ１！Ｌ、切削時間１０分で旋削試験をした結果、本
発明の多層被覆工具材料は平均逃げ面摩耗楢ＶＢ＝Ｏ，
１５ｍｍですくい面にはクレータ−が発生していなかっ
たのＯこ対して比較用多Ｍ 被Ｎ工４１−旧料は平均逃
げ面摩耗量Ｖ Ｂ ＝ ０．４３ 間ですくい面は被・
復層の剥離が生じて大きなりレータ−摩耗になっていた
。
表面に内層としてＴｉＣが０．５ｔｔｔｎとこのＴｉＣ
の次にＴｉＣＮ０が’ｌ、 ５ ／’ ｍ ｓ このＴ
ｉＣＮ０の次に中間層としてＴａＮが０．５μｍ１この
ＴａＮの次に外層としてＡｚ（ＯＮ）ｘが５μｍ、この
Ａ７（ＯＮ）Ｘの次に最外層としてＴｉＣ０が０．５μ
ｍからなる被覆層が基体である超硬合金に強固に（１着
した多層被覆工具材料が得られた。この本発明の多層被
覆工具材料の性能を比較するために実施例３で使用した
被覆屑が表面から基体に向かって４μ＋ｎＡＡ （ＯＮ
） ｘ（外層）−２／１ｍＴｉＣＮ（内ＷＪ ） −
１μｍ’ｒ ｉｃ（内層）からなる比較用多層被覆工具
材料をｆｊ、ＩＸ備した。この本発明の多層被覆工具材
料と比較用の多層ｔ：′Ｊ、覆二［具材料を使用して被
剛材ＳＮＣＭ８、切削速度１８０ｍ／ｎ１ｉｎ、送り速
度０．８ ｒ、ｑｍ ／ｒ ｃ ｖ、切込７景０、 Ｉ
ｍ１！Ｌ、切削時間１０分で旋削試験をした結果、本
発明の多層被覆工具材料は平均逃げ面摩耗楢ＶＢ＝Ｏ，
１５ｍｍですくい面にはクレータ−が発生していなかっ
たのＯこ対して比較用多Ｍ 被Ｎ工４１−旧料は平均逃
げ面摩耗量Ｖ Ｂ ＝ ０．４３ 間ですくい面は被・
復層の剥離が生じて大きなりレータ−摩耗になっていた
。
なお、中間層であるＴａＮは、Ｘ線回折の結果六方晶の
ＴａＮであることを羅認し、外層であるＡｚ（ＯＮ）ｘ
は、比較品のＡｔ（ＯＮ）ｘ外層よりも本発明品のＡｔ
（ＯＮ）ｘ外層の方が微細な結晶粒子であることを歇認
した。
ＴａＮであることを羅認し、外層であるＡｚ（ＯＮ）ｘ
は、比較品のＡｔ（ＯＮ）ｘ外層よりも本発明品のＡｔ
（ＯＮ）ｘ外層の方が微細な結晶粒子であることを歇認
した。
実施例６
重量％で８９９ＱＶＣ−５％（ＴｉＴａ）ＣＩ３％ＣＯ
組成の超硬合金を実施例５と同１：ηにして基体の表面
に内Ｍ を被ｍＬ た後７ｏ５′ｇｘ■２−５％ＮｂＣ
ｌ５−２５°（、’Ｎ ２霧囲気で圧力を３６０Ｔｏｒ
ｒにして温度１０００℃で１０分間保持し、その他の夕
Ｉ２層及び最外層も実施例５と同様にして基体の表面に
内層としてＴｉＣが０．５μｍとこのＴｉＣの次にＴｉ
ＣＮ０が２．５ ｔｔｒｎ、このＴｉＣＮ０の次に中間
層としてＮｂＮが０．５ ｔｔｒｎ、このＮｂＮの次に
外層としてＡ７（ＯＮ’）ｘが５ｐｍ、このＡ７（ＯＮ
）ｘの次に最外層としてＴ ｉ ＣＯが０．５ ｌ１ｍ
からなる被覆層を付与した本発明の多層被覆工具材料を
得た。この本発明の多層被覆工具材料の１＝１＝能を比
較するために実施例３で使用した被覆層が表面から基体
）こ向かって４μｍＡｔ（ＯＮ）ｘ（外Ｐｎ ） −２
ｔｔｍＴ ｉ ＣＮ（内Ｍ ） −１１ｚ＋ｎＴｉｃ（
内層）からなる比較用多層被覆工具材料を準備した。こ
の本発明の多層被覆工具材料と比較用の多層被覆工具材
料を使用して被ｎＩＩ材ＦＣ３５、Ｌ］削速度１５０ｒ
ｎ／ｍ ｉｎ、送り速度０．７２ｍｒｕ／ ｒｅｖ、切
込み量０．１ｍ−切削時間３０分で旋削試験をした結果
、本発明の多層被覆工具材料は平均逃げ面摩耗量ＶＢ＝
Ｑ、ｌ ５ ＋ｕですくい而におけるクレータ−摩耗Ｋ
Ｔ ＝ ０．０７ ｍｍであったのに対して比較用多
層被覆工具材料は平均逃げ面摩耗量Ｖ Ｂ ＝ ０．３
７ ｒＷｍでクレータ−摩耗ｒ＜Ｔ＝＝ｏ、ｚｔ間であ
った。
組成の超硬合金を実施例５と同１：ηにして基体の表面
に内Ｍ を被ｍＬ た後７ｏ５′ｇｘ■２−５％ＮｂＣ
ｌ５−２５°（、’Ｎ ２霧囲気で圧力を３６０Ｔｏｒ
ｒにして温度１０００℃で１０分間保持し、その他の夕
Ｉ２層及び最外層も実施例５と同様にして基体の表面に
内層としてＴｉＣが０．５μｍとこのＴｉＣの次にＴｉ
ＣＮ０が２．５ ｔｔｒｎ、このＴｉＣＮ０の次に中間
層としてＮｂＮが０．５ ｔｔｒｎ、このＮｂＮの次に
外層としてＡ７（ＯＮ’）ｘが５ｐｍ、このＡ７（ＯＮ
）ｘの次に最外層としてＴ ｉ ＣＯが０．５ ｌ１ｍ
からなる被覆層を付与した本発明の多層被覆工具材料を
得た。この本発明の多層被覆工具材料の１＝１＝能を比
較するために実施例３で使用した被覆層が表面から基体
）こ向かって４μｍＡｔ（ＯＮ）ｘ（外Ｐｎ ） −２
ｔｔｍＴ ｉ ＣＮ（内Ｍ ） −１１ｚ＋ｎＴｉｃ（
内層）からなる比較用多層被覆工具材料を準備した。こ
の本発明の多層被覆工具材料と比較用の多層被覆工具材
料を使用して被ｎＩＩ材ＦＣ３５、Ｌ］削速度１５０ｒ
ｎ／ｍ ｉｎ、送り速度０．７２ｍｒｕ／ ｒｅｖ、切
込み量０．１ｍ−切削時間３０分で旋削試験をした結果
、本発明の多層被覆工具材料は平均逃げ面摩耗量ＶＢ＝
Ｑ、ｌ ５ ＋ｕですくい而におけるクレータ−摩耗Ｋ
Ｔ ＝ ０．０７ ｍｍであったのに対して比較用多
層被覆工具材料は平均逃げ面摩耗量Ｖ Ｂ ＝ ０．３
７ ｒＷｍでクレータ−摩耗ｒ＜Ｔ＝＝ｏ、ｚｔ間であ
った。
実施例７
重量％で８９ＸＷＣ−５％（ＴｉＴａＮｂ）Ｃ−６％Ｃ
Ｏ組成の超硬合金を実施例５と同様にして基体の表面に
内層を被覆した後６ｓ２ｇＩ（２−５％ＶＣｔ５−３０
％Ｎ２雰囲気で圧力を３６０Ｔｏｒｒにして温度１００
０℃で１０分間保持し、外層の被覆工程も実施例５と同
様にした後４９％Ｈ２−７％ＣＨ４−４０％Ｎ２−４％
ＴｉＣｔ４雰囲気で圧力を３６０Ｔｏｒｒにして温度１
０００℃で２０分間保持して基体の表面に内層としてＴ
ｉＣが０．５μｍとこのＴｉＣの次にＴ ｉ ＣＮＯカ
２．５μｍ１このＴｉＣＮ０の次に中間層としてＶＮが
０．５μｍ１このＶＮの次に外層としてＡｚ（ＯＮ）ｘ
が５μｍ、このＡｚ（ＯＮ）ｘの次に最外層としてＴ１
ＣＮが０．５μｍからなる被覆層を付与した本発明の多
層被覆工具材料を得た。この本発明の多層被覆工具材料
の性能を比較するために実施例３で使用した被覆屑が表
面から基体に向かって４ｚ１ｍＡｔ（ＯＮ）ｘ（外ｆＪ
）−２μｍＴｉｃＮ（内層）−１ｔｔｍＴ ｉ Ｃ（内
層）からなる比較用多層被覆工具材料を準備した。この
本発明の多層被覆工具（・」料と比較用多層被覆工具材
料を使用して被削材ＳＫ５、切削速度１５０ｍＡｎ ｉ
ｎ、送り速度０．７２＊ｍ、／ ｒｃｖ ｓ量ｖＢ＝
ｏ、１３ ｍｍですくい而にはクレータ−が発生してい
なかったのに対して比較用多層被覆工具材料は平均逃げ
面摩耗量Ｖ Ｂ＝ ０．３８ ｍｍでクレータ−摩耗量
ｒ＜Ｔ＝ｏ、］ ８ ｒｘｍで切刃に微少チッピングを
生じ被削材の切削面粗さが粗Ｘなっていた。
Ｏ組成の超硬合金を実施例５と同様にして基体の表面に
内層を被覆した後６ｓ２ｇＩ（２−５％ＶＣｔ５−３０
％Ｎ２雰囲気で圧力を３６０Ｔｏｒｒにして温度１００
０℃で１０分間保持し、外層の被覆工程も実施例５と同
様にした後４９％Ｈ２−７％ＣＨ４−４０％Ｎ２−４％
ＴｉＣｔ４雰囲気で圧力を３６０Ｔｏｒｒにして温度１
０００℃で２０分間保持して基体の表面に内層としてＴ
ｉＣが０．５μｍとこのＴｉＣの次にＴ ｉ ＣＮＯカ
２．５μｍ１このＴｉＣＮ０の次に中間層としてＶＮが
０．５μｍ１このＶＮの次に外層としてＡｚ（ＯＮ）ｘ
が５μｍ、このＡｚ（ＯＮ）ｘの次に最外層としてＴ１
ＣＮが０．５μｍからなる被覆層を付与した本発明の多
層被覆工具材料を得た。この本発明の多層被覆工具材料
の性能を比較するために実施例３で使用した被覆屑が表
面から基体に向かって４ｚ１ｍＡｔ（ＯＮ）ｘ（外ｆＪ
）−２μｍＴｉｃＮ（内層）−１ｔｔｍＴ ｉ Ｃ（内
層）からなる比較用多層被覆工具材料を準備した。この
本発明の多層被覆工具（・」料と比較用多層被覆工具材
料を使用して被削材ＳＫ５、切削速度１５０ｍＡｎ ｉ
ｎ、送り速度０．７２＊ｍ、／ ｒｃｖ ｓ量ｖＢ＝
ｏ、１３ ｍｍですくい而にはクレータ−が発生してい
なかったのに対して比較用多層被覆工具材料は平均逃げ
面摩耗量Ｖ Ｂ＝ ０．３８ ｍｍでクレータ−摩耗量
ｒ＜Ｔ＝ｏ、］ ８ ｒｘｍで切刃に微少チッピングを
生じ被削材の切削面粗さが粗Ｘなっていた。
特許出願人 東芝タンガロイ株式会社
Claims (8)
- （１）基体の表面にＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ
、Ｃｒ。 Ｍｏ 、Ｗ、 Ｓ ｉの炭化物、窒化物、酸化物、硼化
物又はこれらの複合化合物のうちの少なくとも１層から
なる０、５〜１０μｍ厚さの内層と該内層の表面に窒化
タンタル、窒化ニオブ、窒化バナジウム又はこれらの複
合化合物のうちの少なくとも１層からなる０、１〜１μ
ｍ厚さの中間層と該中間層の表面に酸化アルミニウム、
酸窒化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸窒化ジルコ
ニウム又はこれらの複合化合物のうちの少なくともＩＭ
からなる１〜１５μｍ厚さの外層とを被覆してなること
を特徴とする特許 - （２）上記基体が周期律表の４ａ 、５ａ族金属の炭化
物、窒化物、炭窒化物又はこれらの複合化合物のうちの
少なくとも１種を１〜２０重量％とＦｅ。 Ｎｉ，Ｃｏ，Ｃｒ，Ｍｏ又はこれらの合金のうちの少な
くとも１種２〜１０重量％と残りＷＣと不可避不純物か
らなる超硬合金であることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の高温特性にすぐれた多層被覆工具材料。 - （３）上記内層が炭化チタン、窒化チタン、窒炭化チタ
ン、酸窒化チタン、酸室炭化チタンのうちの少なくとも
１層からなることを特徴とする特許請求の範囲第１項及
び第２項記載の高温特性にすぐれた多層被覆工具材料。 - （４）上記外層が酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウ
ムの少なくとも１層からなることを特徴とする特許請求
の範囲第１項、第２項及び第３項記載の高温特性にすぐ
れた多層被覆工具材料。 - （５）基体の表面にＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ
，Ｃｒ。 Ｍｏ，Ｗ，Ｓｉの炭化物、窒化物、酸化物、硼化物又は
これらの複合化合物のうちの少なくとも１層からなる０
．５〜１０μｍ厚さの内層と該内層の表面に窒化タンタ
ル、窒化ニオブ、窒化バブージゲム又はこれらの複合化
合物のうちの少なくともＨ’２ＦからなるＯ．Ｉ−１μ
ｍ厚さの中間層と該中間層の表面に酸化アルミニウム、
酸窒化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸窒化ジルコ
ニウム又はこれらの複合化合物のうちの少なくとも１８
からなる１〜１５μｍｌ’Ｊさの外層と該外層の表面に
炭化チタン、窒化チタン、窒炭化チタペ酸化チタン、酸
窒化チタン、酸炭化チタン、酸室炭化チタンのうちの少
なくともＩＩからなる０、１〜２μｍ７１厚さの最外層
とを被覆してなることを特徴とする特許性にすぐれた多
層被覆工具材料。 - （６） １記基体が周期律表の４ａ 、５ａ族金属の炭
化物、窒化物、戻窒化物又はこれらの複合化合物のうち
の少なくとも１種を１〜２０重量％とＦｅ。 Ｎｉ．Ｃｏ，Ｃｒ，Ｍｏ又はこれらの合金のうちの少な
くとも１種２〜１０重景％と残りｗｃと不可避不純物か
らなる超硬合金であることを特徴とする特許請求の範囲
第５項記載の高温特性にすぐれた多層被覆工具拐料。 - （７） 、ＪＺ記内層が炭化チタン、窒化チタン、窒炭
化チタン、酸炭化チタン、酸窒化チタン、酸室炭化チタ
ンのうちの少なくとも】層がらなることを特徴とする特
許請求の範囲第５項及び第６項記載の高温４′？性にす
ぐれた多層被覆工只．材ｊ′゛ト。 - （８）上記外層が酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウ
ムの少なくとも１ｍからなることを特徴とする特許請求
の範囲第５項、第６項及び第７項記載の高温特１ｔにす
ぐれた多層被覆工具拐料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18628783A JPS6077972A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 高温特性にすぐれた多層被覆工具材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18628783A JPS6077972A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 高温特性にすぐれた多層被覆工具材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6077972A true JPS6077972A (ja) | 1985-05-02 |
Family
ID=16185664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18628783A Pending JPS6077972A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 高温特性にすぐれた多層被覆工具材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6077972A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994028191A1 (fr) * | 1993-05-31 | 1994-12-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Outil coupant revetu et son procede de production |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52100376A (en) * | 1976-02-20 | 1977-08-23 | Mitsubishi Metal Corp | Coated cutting tip of sintered hard alloy |
| JPS5325282A (en) * | 1976-08-20 | 1978-03-08 | Mitsubishi Metal Corp | Covered super hard alloy product |
| JPS5465717A (en) * | 1977-11-04 | 1979-05-26 | Sumitomo Electric Industries | Coated super hard alloy member |
-
1983
- 1983-10-05 JP JP18628783A patent/JPS6077972A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52100376A (en) * | 1976-02-20 | 1977-08-23 | Mitsubishi Metal Corp | Coated cutting tip of sintered hard alloy |
| JPS5325282A (en) * | 1976-08-20 | 1978-03-08 | Mitsubishi Metal Corp | Covered super hard alloy product |
| JPS5465717A (en) * | 1977-11-04 | 1979-05-26 | Sumitomo Electric Industries | Coated super hard alloy member |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994028191A1 (fr) * | 1993-05-31 | 1994-12-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Outil coupant revetu et son procede de production |
| US5915162A (en) * | 1993-05-31 | 1999-06-22 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Coated cutting tool and a process for the production of the same |
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