JPS6077140A - 光フアイバガラスの製造装置 - Google Patents
光フアイバガラスの製造装置Info
- Publication number
- JPS6077140A JPS6077140A JP18418384A JP18418384A JPS6077140A JP S6077140 A JPS6077140 A JP S6077140A JP 18418384 A JP18418384 A JP 18418384A JP 18418384 A JP18418384 A JP 18418384A JP S6077140 A JPS6077140 A JP S6077140A
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- JP
- Japan
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- glass
- pipe
- optical fiber
- light
- Prior art date
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
水元ＢＡは高品質な元ファイバを得ることができる元フ
ァイバガラスを製造する装置に関するものである。
ァイバガラスを製造する装置に関するものである。
従来技術とその問題点
元ファイバに要求される最も重要な特性として低損失性
と広帯域性が挙げられる。このような特性を満たす光フ
ァイバはガラス管の内壁忙ガラス膜を化学蒸着したシ、
中心素材の外壁に光フアイバガラスを化学蒸着したシし
て得られる光フアイバ素材を紡糸することによって得ら
れている。
と広帯域性が挙げられる。このような特性を満たす光フ
ァイバはガラス管の内壁忙ガラス膜を化学蒸着したシ、
中心素材の外壁に光フアイバガラスを化学蒸着したシし
て得られる光フアイバ素材を紡糸することによって得ら
れている。
しかしながら、化学蒸着法で得られる元ファイバは一般
に高性能ではあるが、その特性は大きくばらつき、安定
に再現性よく製造することが困難である。これは化学蒸
着法の制御性の困難さに依存している。
に高性能ではあるが、その特性は大きくばらつき、安定
に再現性よく製造することが困難である。これは化学蒸
着法の制御性の困難さに依存している。
発明の目的
本発明の目的は、元ファイバガラスを化学蒸着法によっ
て形成する際の不安定性を改善し、所望の高品質光フア
イバガラスを安定にかつ再現性よく製造できる装置を提
供することにある。
て形成する際の不安定性を改善し、所望の高品質光フア
イバガラスを安定にかつ再現性よく製造できる装置を提
供することにある。
発明の構成
本発明の製造装置は、キャリヤガスの供給源と、元ファ
イバガラスの液体原料を収納することができかつ内部に
前記キャリヤガスを流すことができる原料容器と、前記
液体原料の温度を制御する温度制御手段と、前記光フア
イバガラスを化学反応によって形成するため前記キャリ
ヤガスと前記液体原料から気化した気体との混合気体を
励起する手段と、前記原料容器に１収納された前記液体
原料の容量の減少量を検知し、検知信号を温度制御装置
に出力する検知手段とを設けた構成となっておシ、さら
に検知手段が少なくとも、単色性の良い第一の元を原料
容器内の液体原料の液面にほぼ垂直に照射し、その反射
光の一部を単色性の良い第二の光と干渉させて得られる
干渉光の強度を構成を備えている元ファイバガラスの製
造装置である。
イバガラスの液体原料を収納することができかつ内部に
前記キャリヤガスを流すことができる原料容器と、前記
液体原料の温度を制御する温度制御手段と、前記光フア
イバガラスを化学反応によって形成するため前記キャリ
ヤガスと前記液体原料から気化した気体との混合気体を
励起する手段と、前記原料容器に１収納された前記液体
原料の容量の減少量を検知し、検知信号を温度制御装置
に出力する検知手段とを設けた構成となっておシ、さら
に検知手段が少なくとも、単色性の良い第一の元を原料
容器内の液体原料の液面にほぼ垂直に照射し、その反射
光の一部を単色性の良い第二の光と干渉させて得られる
干渉光の強度を構成を備えている元ファイバガラスの製
造装置である。
実施例
次に図面を用いて本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例全示し、１および２は酸素供
給源、３および４はガラス容器、５および６はそれぞれ
５ｉｃｌ＜とＧｅＣｌ４．７および８は温度制御装置、
２１および２２は単色性のよい光を発する第−光源、２
３および２４は単色性のよい光を発する第二元源、２５
および２６は光強度検出器、１３は管、そして１４は加
熱体である。
給源、３および４はガラス容器、５および６はそれぞれ
５ｉｃｌ＜とＧｅＣｌ４．７および８は温度制御装置、
２１および２２は単色性のよい光を発する第−光源、２
３および２４は単色性のよい光を発する第二元源、２５
および２６は光強度検出器、１３は管、そして１４は加
熱体である。
以上の構成において、酸素供給源１および２の酸素はガ
ラス容器３および４にそれぞれ進み、この中から５ｉＣ
１４５およびＧｅＣ１ａ ６の気体をそれぞれ運び出す
。運び出された５ｉＣ１４とＧｅＣ６４の気体は途中で
混合されて管１３の内部に送られる。
ラス容器３および４にそれぞれ進み、この中から５ｉＣ
１４５およびＧｅＣ１ａ ６の気体をそれぞれ運び出す
。運び出された５ｉＣ１４とＧｅＣ６４の気体は途中で
混合されて管１３の内部に送られる。
管１３の内部の酸素５ｉＣ１，、ＧｅＣＪ！、の混合気
体は加熱体１４で加熱されて化学反応を起こし管１３の
内壁に元ファイバガラスとして堆積される。加熱体１４
を管１３の長さ方向に移動させると、管１３の内壁にそ
の長さ方向にそって一様に元ファイバガラスが堆積され
る。酸素供給源１および２からの酸素の供給量を変えて
やれば成分比の異なる多層の元７プイバガラス膜が形成
される。ところでこのような化学蒸着を行なっている間
、５ｉＣ１４５とＧｅＣ１，６は減少していくが、この
減少量は第−光源２１および２２から発せられた光の、
それぞれ５ｉＣＡ’４５とｃｅｃｚ、 ６の液面からの
反射光と、第二元源２３および２４の元とのそれぞれの
干渉光を検出器２５および２６でそれぞれ受光し、それ
らの光強度を検知する。液体原料の減少量はその液面の
低下量に対応するので干渉光の光強度も同時に変化する
。すなわち光強度の変化計を検出して、この量が一定に
なるように温度制御装置７および８を動作させて均一な
元ファイバガラス膜を得ることができる。さらに前もっ
て変化量を設定しておくことによシ成分比の異なる均一
な多Ｉ―の元ファイバガラス膜をも形成させることがで
きる。
体は加熱体１４で加熱されて化学反応を起こし管１３の
内壁に元ファイバガラスとして堆積される。加熱体１４
を管１３の長さ方向に移動させると、管１３の内壁にそ
の長さ方向にそって一様に元ファイバガラスが堆積され
る。酸素供給源１および２からの酸素の供給量を変えて
やれば成分比の異なる多層の元７プイバガラス膜が形成
される。ところでこのような化学蒸着を行なっている間
、５ｉＣ１４５とＧｅＣ１，６は減少していくが、この
減少量は第−光源２１および２２から発せられた光の、
それぞれ５ｉＣＡ’４５とｃｅｃｚ、 ６の液面からの
反射光と、第二元源２３および２４の元とのそれぞれの
干渉光を検出器２５および２６でそれぞれ受光し、それ
らの光強度を検知する。液体原料の減少量はその液面の
低下量に対応するので干渉光の光強度も同時に変化する
。すなわち光強度の変化計を検出して、この量が一定に
なるように温度制御装置７および８を動作させて均一な
元ファイバガラス膜を得ることができる。さらに前もっ
て変化量を設定しておくことによシ成分比の異なる均一
な多Ｉ―の元ファイバガラス膜をも形成させることがで
きる。
実施例において、元ファイバガラスを管の内壁に堆積さ
せたが、中心素材の外壁に元ファイバガラスを形成させ
たり、単に粉末状の光フアイバガラスを得ることもでき
ることは明らかである。
せたが、中心素材の外壁に元ファイバガラスを形成させ
たり、単に粉末状の光フアイバガラスを得ることもでき
ることは明らかである。
また上記実施例では、キャリヤガスの酸素１は液体原料
の表面を通過する方式につめて説明したが、キャリヤガ
スを液体原料の内部から押し出す方式の気体原料の発生
システムを用いてもよいことは当然である。
の表面を通過する方式につめて説明したが、キャリヤガ
スを液体原料の内部から押し出す方式の気体原料の発生
システムを用いてもよいことは当然である。
また本実施例では説明を簡単にするために、５ｉＣ１４
とＧｅＣ１１４の２種類の液体原料を用いたが、さらに
異なる多数の液体原料を用いてもよいことは明らかであ
る。
とＧｅＣ１１４の２種類の液体原料を用いたが、さらに
異なる多数の液体原料を用いてもよいことは明らかであ
る。
また光フアイバガラスを形成するための混合気体の励起
手段釦加熱体を用いたが、成界励起などの他の励起手段
を利用してもよいことは当然である。
手段釦加熱体を用いたが、成界励起などの他の励起手段
を利用してもよいことは当然である。
発明の効果
最後に本発明が有する特徴を挙げれば、光フアイバガラ
スの原料となる気体の発生量を常に制御するので高品質
な元ファイバガラスを均一にかつ安定に形成することが
できる。また原料気体の発生量の精密が設定が可能であ
るので泊−な光フアイバガラスを再現性よく製造するこ
とができることである。
スの原料となる気体の発生量を常に制御するので高品質
な元ファイバガラスを均一にかつ安定に形成することが
できる。また原料気体の発生量の精密が設定が可能であ
るので泊−な光フアイバガラスを再現性よく製造するこ
とができることである。
第１図は本発明の一実施例を示す図であって、１および
２は酸素供給源、３および４はガラス容器、５は５ｉＣ
６＋、 ６はＧｅＣＩＪ４．７および８は温度制御装置
、１３１１−１：管、１４は加熱体、２１および２２は
単色元を発する第一の光源、２３および２４は単色元金
発する第二の光源、２５疑よび２６は光強度検出器であ
る。
２は酸素供給源、３および４はガラス容器、５は５ｉＣ
６＋、 ６はＧｅＣＩＪ４．７および８は温度制御装置
、１３１１−１：管、１４は加熱体、２１および２２は
単色元を発する第一の光源、２３および２４は単色元金
発する第二の光源、２５疑よび２６は光強度検出器であ
る。
Claims (1)
- １、 キャリ、ヤガスの供給源と、元ファイバガラスの
液体原料を収納することができかつ内部に前記キャリヤ
ガスを流すことができる原料容器と、前記液体原料の温
度を制御する温度制御手段と、前記元ファイバガラスを
化学反応忙よって形成するため前記キャリヤガスと前記
液体原料から気化した気体の混合気体を励起する手段と
、前記原料容器に収納される前記液体原料の容量の減少
量を検知し、その検知信号を前記温度制御装置へ出力す
る検知手段とを設けた構成とし、さらに前記検知手段が
、少なくとも単色性の良い第一の元を原料容器内の液体
原料の液面には埋垂直に照射し、その反射光と単色性の
良い第二の元と干渉させて得られる干渉光の強度を光検
出器により検出して液体原料の減少量を検知する構成と
なっていることを特徴とする元ファイバガラスの製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18418384A JPS6077140A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | 光フアイバガラスの製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18418384A JPS6077140A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | 光フアイバガラスの製造装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51096233A Division JPS5857372B2 (ja) | 1976-08-12 | 1976-08-12 | 光フアイバガラスの製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6077140A true JPS6077140A (ja) | 1985-05-01 |
| JPS623101B2 JPS623101B2 (ja) | 1987-01-23 |
Family
ID=16148809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18418384A Granted JPS6077140A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | 光フアイバガラスの製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6077140A (ja) |
-
1984
- 1984-09-03 JP JP18418384A patent/JPS6077140A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS623101B2 (ja) | 1987-01-23 |
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