JPS6076954A - Magnetic disc polishing device - Google Patents

Magnetic disc polishing device

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Publication number
JPS6076954A
JPS6076954A JP18241683A JP18241683A JPS6076954A JP S6076954 A JPS6076954 A JP S6076954A JP 18241683 A JP18241683 A JP 18241683A JP 18241683 A JP18241683 A JP 18241683A JP S6076954 A JPS6076954 A JP S6076954A
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JP
Japan
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magnetic disk
polishing
pinch roller
magnetic
disc
Prior art date
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Pending
Application number
JP18241683A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Teramoto
寺本 浩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Victor Company of Japan Ltd
Nippon Victor KK
Original Assignee
Victor Company of Japan Ltd
Nippon Victor KK
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Filing date
Publication date
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Priority to JP18241683A priority Critical patent/JPS6076954A/en
Publication of JPS6076954A publication Critical patent/JPS6076954A/en
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B21/00Machines or devices using grinding or polishing belts; Accessories therefor
    • B24B21/004Machines or devices using grinding or polishing belts; Accessories therefor using abrasive rolled strips

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent excessive polishing at the start thus to achieve uniform polishing by controlling the speed through a moving speed controller upon reaching of pinch roller to a magnetic disc to contact the polishing tape against the magnetic face of disc. CONSTITUTION:Upon rotation of a magnetic disc 5 to exchange the valves 25, 30, air cylinders 22, 23 will function to move the pistons 22a, 23a with low speed to be set by speed controllers 26, 31. The pinch rollers 18, 20 will lift and lower with speed corresponding with those of pistons 22a, 23a to catch the polishing tapes 14, 15 and contact simultaneously against the upper and lower faces of disc 5 while clamping the magnetic disc 5 thus to contact side tapes 14, 15 without shock. Upon contact of pinch rollers 18, 20 against the disc 5 to restrict motion, the pistons 22a, 23a are applied with force to be determined by the dimension and hydraulic pressure of cylinders 22, 23 to maintain the rollers 18, 20 in such state as to press the surface of disc 5 with predetermined force resulting in uniform polishing.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は磁気ディスクの製造工程において磁気ディスク
の磁性面を研摩する磁気ディスク研摩装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk polishing apparatus for polishing the magnetic surface of a magnetic disk in a magnetic disk manufacturing process.

従来技術 ウィンチェスタ型ディスク装置に組込まれる磁気ディス
ク1は、第1図(A>乃至(C)に示す工程を経てrJ
J造される。まず、同図(△)に示す表面を研摩した特
殊アルミニウム製の基板2を用意し、この上下面に同図
(B)に示すように磁性塗料をコーティングして磁性膜
3,4を形成し、コーティング済磁気ディスク5を得る
。次いでこのコーティング済磁気ディスク5を研摩装置
に装着して研摩テープを使用して磁性膜3,4の表面(
磁性面)を研摩し、表面粗度及び膜厚をコントロールし
て同図(C)に示す磁性膜3A、4Aとし、最後に清剤
をコーティングして磁気ディスク1を得る。こ)で、研
摩は、■磁性膜の表面粗度を上げて0.02μm以下と
するため、及び■膜厚を1μm前後の所定の厚さとし且
つ全面に亘って一定とするために行なわれる。
A magnetic disk 1 incorporated into a conventional Winchester type disk device is rJ after going through the steps shown in FIGS.
J is built. First, a special aluminum substrate 2 with a polished surface as shown in the figure (△) is prepared, and magnetic films 3 and 4 are formed on the top and bottom surfaces by coating with magnetic paint as shown in the figure (B). , a coated magnetic disk 5 is obtained. Next, this coated magnetic disk 5 is mounted on a polishing device, and the surfaces of the magnetic films 3 and 4 are polished using a polishing tape.
The surface roughness and film thickness are controlled to form magnetic films 3A and 4A as shown in FIG. In this case, the polishing is performed in order to (1) increase the surface roughness of the magnetic film to 0.02 μm or less, and (2) make the film thickness a predetermined thickness of about 1 μm and constant over the entire surface.

従来の磁気ディスク研摩装置は、研摩テープの背面を係
止案内して研摩テープを磁気ディスクに当接さぜるピン
チローラをプランジャソレノイドのロッドの先端に設け
、ロッドの周囲に押圧用圧縮コイルばねを嵌装してなる
構成である。研摩を開始するに際してプランジャソレノ
イドがオフとされると、ピンチローラが圧縮コイルばね
のばね力により下動し、研摩テープを磁気ディスクに圧
着させる。研摩テープは磁気ディスクに一定の力で押圧
されたま)走行し、a摩が行なわれる。
A conventional magnetic disk polishing device is equipped with a pinch roller at the tip of a rod of a plunger solenoid that locks and guides the back side of the polishing tape to bring the polishing tape into contact with the magnetic disk, and a compression coil spring for pressing is installed around the rod. It has a structure in which it is fitted with When the plunger solenoid is turned off to start polishing, the pinch roller is moved downward by the spring force of the compression coil spring to press the polishing tape against the magnetic disk. The abrasive tape runs while being pressed against the magnetic disk with a constant force, and abrasion is performed.

発明が解決しようとする問題点 研S開始時に、ピンチローラは圧縮コイルばねのばね力
により勢いよく下動し、研摩テープが磁気ディスクに接
触するときに衝撃的な力が加わってしまう。このため、
研摩開始部分では過度に研摩されること)なり、磁性面
全体を良好に且つ均一に仕上げることが困難となる。
Problems to be Solved by the Invention At the start of polishing S, the pinch roller moves downward forcefully due to the spring force of the compression coil spring, and an impact force is applied when the polishing tape comes into contact with the magnetic disk. For this reason,
The part where the polishing starts will be excessively polished), making it difficult to finish the entire magnetic surface well and uniformly.

問題点を解決するだめの手段 そこで、本発明は上記問題点を解決した磁気ディスク研
摩装置を提供することを目的とするものであり、研摩テ
ープをピンチローラにより磁気ディスクの磁性面に押圧
させて該磁性面を研摩する磁気ディスク研摩装置におい
て、該ピンチローラが該磁気ディスクに近接して該研摩
テープを該磁気ディスクの該磁性面に接触させるとぎで
の移動速度を制御しうる移動速度制御手段を備えたビン
ヂローラ抑圧手段を設けてなる構成としたものである。
Means for Solving the Problems Therefore, an object of the present invention is to provide a magnetic disk polishing device that solves the above problems. In a magnetic disk polishing device for polishing the magnetic surface, a movement speed control means capable of controlling the speed at which the pinch roller approaches the magnetic disk and brings the polishing tape into contact with the magnetic surface of the magnetic disk. This configuration is provided with a binge roller suppressing means.

実施例 第2図は本発明になる磁気ディスクωI摩装置の一実施
例を示す。この磁気ディスク研摩装置10において、5
は研摩対象物である第1図(B)に示すコーティング演
磁気ディスクであり、中央孔部分をクランパ11により
クランプされてモータスピンドル12に固定されており
、モータ13により矢印へ方向に回転される。
Embodiment FIG. 2 shows an embodiment of a magnetic disk ωI polishing apparatus according to the present invention. In this magnetic disk polishing device 10, 5
1 (B), which is the object to be polished, is a coated magneto-rheic disk shown in FIG. .

14は上側研摩テープ、15は下側研摩テープであり、
モータスピンドル12に固定された磁気ディスク5の上
側及び下側に装架しである。14a。
14 is an upper abrasive tape, 15 is a lower abrasive tape,
It is mounted above and below the magnetic disk 5 fixed to the motor spindle 12. 14a.

15aは供給側研摩テープ巻回体、14b、15bは巻
取側研摩テープ巻回体である。16.17は夫々研摩テ
ープ14及び15を駆動走行させるための、ピンチロー
ラとキャプスタンとよりなる挟持駆動機構である。
15a is an abrasive tape winding on the supply side, and 14b and 15b are abrasive tape windings on the winding side. Reference numerals 16 and 17 designate pinching drive mechanisms consisting of pinch rollers and capstans for driving and running the abrasive tapes 14 and 15, respectively.

18はピンチローうであり、回転支持部19に回転自在
に支持されており、下動時に研摩テープ14を係止して
これを磁気ディスク5の上面に当接さゼる。20は別の
ピンチローラであり、回転支持部21に回転自在に支持
されており、上動時に研摩テープ15を係止してこれを
磁気ディスク5の下面に当接させる。なお、ピンチロー
ラ18及び20は、磁気ディスク5に−の直径を通る垂
直面内に、ディスク面と平行とされて配設しである。
Reference numeral 18 denotes a pinch row, which is rotatably supported by a rotary support portion 19, and locks the abrasive tape 14 during downward movement to bring it into contact with the upper surface of the magnetic disk 5. Reference numeral 20 designates another pinch roller, which is rotatably supported by a rotary support portion 21 and locks the abrasive tape 15 during upward movement to bring it into contact with the lower surface of the magnetic disk 5. The pinch rollers 18 and 20 are arranged in a vertical plane passing through the diameter of the magnetic disk 5 and parallel to the disk surface.

22.23は、本体内部のピストン22a。22.23 is a piston 22a inside the main body.

23aが圧縮空気により往復移動する構成のエアシリン
ダであり、垂直に取付けられており、ロッド22bの下
端に回転支持部19.ロッド23bの上端に回転支持部
21が固定しである。
23a is an air cylinder configured to reciprocate using compressed air, and is installed vertically, with a rotary support portion 19.23a at the lower end of the rod 22b. The rotation support part 21 is fixed to the upper end of the rod 23b.

エアシリンダ22に関して、圧縮空気源24゜切換弁2
5.スピードコントローラ26.配管27.28等が設
けである。スピードコントローラ26は、可変絞り弁2
6aを内蔵してなる構造であり、配管27の途中に設け
てあり、シリンダ上部室内への圧縮空気の流入量を制御
してピストン22aの下方への移動速度を制御するもの
であり、適当に調整されている。別のエアシリンダ23
に関しても、上記と同様に、圧縮空気源2つ。
Regarding the air cylinder 22, the compressed air source 24° switching valve 2
5. Speed controller 26. Piping 27, 28, etc. are provided. The speed controller 26 is the variable throttle valve 2
6a is installed in the middle of the piping 27, and controls the amount of compressed air flowing into the upper chamber of the cylinder to control the downward movement speed of the piston 22a. It has been adjusted. Another air cylinder 23
Similarly to the above, there are two compressed air sources.

切換弁30.スピードコントローラ31.配管32.3
3等が設けである。スピードコントローラ31ば上記と
同様に可変絞り弁31aを内蔵してなる構造であり、配
管32の途中に設けてあり、シリンダ下部室内への圧縮
空気の流入量を制御してピストン23aの上方へ移動速
度を制御するものであり、適当に調整されている。
Switching valve 30. Speed controller 31. Piping 32.3
3rd prize is provided. The speed controller 31 has a built-in variable throttle valve 31a similar to the above, and is installed in the middle of the piping 32 to control the amount of compressed air flowing into the lower chamber of the cylinder and move it above the piston 23a. It controls the speed and is adjusted appropriately.

また上記のエアシリンダ22.23は、全ストローク移
動する前の段階、即ちピストン22a。
Further, the air cylinders 22 and 23 mentioned above are at a stage before moving through a full stroke, that is, the piston 22a.

23aがストッパに係止される以前の段階で、ピンチロ
ーラ18.19が磁気ディスク5に圧着されるように、
取付位置を調整されて取付けられている。
The pinch rollers 18 and 19 are pressed against the magnetic disk 5 before the stopper 23a is locked.
The mounting position has been adjusted and installed.

次に上記構成の装M10の動作について説明する。Next, the operation of the device M10 having the above configuration will be explained.

磁気ディスク5をモータスピンドル12に装着する前の
段用では、エアシリンダ22.23内のピストン22a
、23aは夫々上動及び下動しており、ピンチローラ1
8は二点鎖線で示す上昇位置に位置し、ピンチローラ2
oは下降位置に位置している。研摩テープ1’4.15
は垂直方法に互いに離れている。この状態で、磁気ディ
スク5がモータスピンドル12に装着され、矢印爪方向
に回転される。
For the stage before mounting the magnetic disk 5 on the motor spindle 12, the piston 22a in the air cylinder 22.23
, 23a are moving upward and downward, respectively, and the pinch roller 1
8 is located at the raised position shown by the two-dot chain line, and the pinch roller 2
o is located in the lowered position. Abrasive tape 1'4.15
are separated from each other in a vertical manner. In this state, the magnetic disk 5 is mounted on the motor spindle 12 and rotated in the direction of the arrow.

切換弁25.30を第2図に示すように切り換えると、
エアシリンダ22.23は夫々スピードコントローラ2
5.31を介1して圧縮空気を供給されて動作し、ピス
トン22a、23aはスピードコントローラ26.31
により設定された遅い速度で移動する。ピンチローラ1
8及び2oは夫々ピストン22a、23aに対応した速
度で下降し及び上昇して、磁気テープ14.15を間に
挾んで磁気ディスク5をクランプする格好で磁気ディス
ク5の上面及び下面に同時に当接する。研摩テープ14
.15は、磁気ディスク5の上面及び下面に衝撃を殆ど
伴なわずに接触する。 ′ビンチロ−う18,20が磁
気ディスク5に当接して移動を制限されると(スビトン
22a。
When the switching valves 25 and 30 are switched as shown in Fig. 2,
Air cylinders 22 and 23 each have a speed controller 2
The pistons 22a and 23a operate by being supplied with compressed air through the speed controller 26.31.
Move at a slow speed set by . pinch roller 1
8 and 2o descend and rise at speeds corresponding to the pistons 22a and 23a, respectively, and simultaneously contact the upper and lower surfaces of the magnetic disk 5 in such a way as to clamp the magnetic disk 5 with the magnetic tape 14, 15 in between. . Polishing tape 14
.. 15 contacts the upper and lower surfaces of the magnetic disk 5 with almost no impact. 'When the vinyl rows 18 and 20 come into contact with the magnetic disk 5 and their movement is restricted (Subiton 22a).

23aの移動が停止すると)、ピストン22a。23a stops moving), the piston 22a.

23aにはエアシリンダ22.23の径寸法及び圧縮空
気の圧力により定まる力が作用し、ピンチローラ18.
20は以後磁気ディスク5の表面を一定の力で押圧する
状態に維持される。
A force determined by the diameter dimensions of the air cylinders 22, 23 and the pressure of compressed air acts on the pinch rollers 18.23a.
Thereafter, the magnetic disk 20 is maintained in a state where it presses the surface of the magnetic disk 5 with a constant force.

研摩テープ14.−15は、磁気ディスク5の表面に接
触した後はピンチローラ18,20の個所で一定の力で
磁気ディスク表面に押圧される。なお、研摩テープ14
..15は夫々挾持駆動機構16.17により矢印B、
C方向に走行され、常に新しい研摩面が磁気ディスク5
の表面に作用する。
Abrasive tape 14. -15, after contacting the surface of the magnetic disk 5, is pressed against the surface of the magnetic disk by the pinch rollers 18, 20 with a constant force. In addition, the polishing tape 14
.. .. 15 are arrows B,
The magnetic disk 5 is moved in the C direction, and a new polished surface is always provided on the magnetic disk 5.
acts on the surface of

磁気ディスク5の磁性膜3,4の表面(磁性面)の研摩
は、上記のように、磁気ディスク5が矢印爪方向に回転
している状態で、走行する研摩テープ14.15をビチ
ンローラ18.19により磁性膜3,4の表面に押圧さ
せて、且つピンチローラ18.20及び研摩テープ14
.15を磁気ディスク5の径方向に移動させることによ
り行なわれる。研摩は切換弁25.30を切り換えてエ
アシリンダ22.23を上記とは逆方向に作動させ、ピ
ンチローラ18を上昇、ピンチローラ20を下降させ、
研摩テープ14.15を磁気ディスク5の表面より離す
ことにより終了する。
To polish the surfaces (magnetic surfaces) of the magnetic films 3 and 4 of the magnetic disk 5, as described above, while the magnetic disk 5 is rotating in the direction of the arrow claw, the running polishing tape 14, 15 is moved by the biting roller 18. 19 to press the surfaces of the magnetic films 3 and 4, and the pinch rollers 18 and 20 and the abrasive tape 14
.. 15 in the radial direction of the magnetic disk 5. For polishing, the switching valves 25 and 30 are switched to operate the air cylinders 22 and 23 in the opposite direction to the above, raising the pinch roller 18 and lowering the pinch roller 20.
The process is finished by separating the polishing tape 14, 15 from the surface of the magnetic disk 5.

本実施例の研摩装置10の場合には、研摩テープ14.
15は衝撃なく磁性膜3.4の表面に接触するため、研
摩開始時に過度に研摩されることはなく、しかも接触後
の研摩テープ14.15の押圧力は一定に保たれるため
、・磁気ディスク5の磁性膜3,4の表面は全体に亘っ
て均一に研摩されて、目的とする良好な磁性膜3A、4
Δが得られる。
In the case of the polishing apparatus 10 of this embodiment, the polishing tape 14.
Since the tape 15 contacts the surface of the magnetic film 3.4 without impact, it is not polished excessively at the start of polishing, and the pressing force of the polishing tape 14.15 is kept constant after contact. The surfaces of the magnetic films 3 and 4 of the disk 5 are uniformly polished over the entire surface to obtain the desired good magnetic films 3A and 4.
Δ is obtained.

なお、上記のディスク研摩装置10には、センサ、例え
ばピンチローラのディスクへの当接等を検出するための
センサ等は全く設けられていず、構成は簡単となる。
Note that the disk polishing apparatus 10 described above is not provided with any sensor, such as a sensor for detecting the contact of the pinch roller with the disk, and thus has a simple configuration.

次に本発明装置の別の実施例について、第3図及び第4
図を参照して説明する。各図中、第2図に示す構成部分
と対応する部分には同一符号を付し、その説明は省略す
る。この磁気ディスク研摩装置140は、モータ41,
42により夫々ビニオ゛ン43,44を回転させて、ラ
ック45.46を移動させ、ピンチロー518.20を
上下動させる構成としである。またモータ4.1.42
よりピニオン43.44に到る回転伝達経路内に制動用
Nliクラツヂ47.48が設けである。
Next, regarding another embodiment of the device of the present invention, FIGS.
This will be explained with reference to the figures. In each figure, parts corresponding to those shown in FIG. 2 are designated by the same reference numerals, and their explanations will be omitted. This magnetic disk polishing device 140 includes a motor 41,
42 rotates binions 43 and 44, respectively, to move racks 45 and 46, and move pinch rows 518 and 20 up and down. Also motor 4.1.42
Braking Nli clutches 47 and 48 are provided in the rotation transmission path leading to the pinions 43 and 44.

制動用電磁クラッチ47は、第4図に示すように、モー
タ軸41aに固定しであるフランジ49と、ビニオン軸
43aに固定しであるフランジ50と、フランジ50に
固定してありフランジ4つを囲繞する電磁コイル51と
よりなり、電磁コイル51が電圧と印加されて発生する
磁界によりモータ軸41aとピニオン軸i4.3 aと
を磁気的に結合し、所定トルク以下ではピニオン軸43
aがスリップを起こすことなくモータ軸41aと一体的
に回転し、所定トルクを越えるとスリップを起こす構成
である。こ1でスリップを起こすトルクは、ピンチロー
ラ18による研摩テープ14の磁気ディスク5への押圧
力を付与するものであり、電圧制御回路52より電磁コ
イル51に印加される電圧により定まれ、この電圧はピ
ンチローラ18が所定の押圧力を付与しうるように調整
しである。
As shown in FIG. 4, the braking electromagnetic clutch 47 has four flanges: a flange 49 fixed to the motor shaft 41a, a flange 50 fixed to the binion shaft 43a, and a flange 50 fixed to the flange 50. The motor shaft 41a and the pinion shaft i4.3a are magnetically coupled by the magnetic field generated when the electromagnetic coil 51 is applied with a voltage, and when the torque is below a predetermined torque, the pinion shaft 43
The motor shaft 41a rotates integrally with the motor shaft 41a without slipping, and slips when a predetermined torque is exceeded. The torque that causes the slip in this step 1 applies the pressing force of the abrasive tape 14 to the magnetic disk 5 by the pinch roller 18, and is determined by the voltage applied to the electromagnetic coil 51 by the voltage control circuit 52. is adjusted so that the pinch roller 18 can apply a predetermined pressing force.

また、モータ41はモータ制御回路53により回転速度
を制御される。モータの回転速度がピンチローラ18の
下降速度を決定する。そこで、モータ41は、ピンチロ
ーラ18の磁気ディスク5への当接が衝撃を殆んど伴な
わずに行なわれるような回転速度にモータ制御回・路5
3により制御されている。
Further, the rotational speed of the motor 41 is controlled by a motor control circuit 53. The rotational speed of the motor determines the speed at which the pinch roller 18 descends. Therefore, the motor control circuit 5 sets the motor 41 to a rotational speed such that the pinch roller 18 comes into contact with the magnetic disk 5 with almost no impact.
3.

研摩時には、モータ41がモータ制御回路53により制
御されて回転し、この回転が制動用電磁クラッチ47を
介して伝達され、ビニオン43゜ラック45により直線
運動に変換されピンチローラ18が低速度で下降して研
摩テープ14が磁気ディスク5にvItJ撃を伴なわず
に接触する。モータ41はその後も回転を維持し、制動
用電磁クラッチ47がスリップし、ピンチローラ18(
研摩テープ14)は制動用電磁クラッチ47の伝達可能
トルクにより定まる押圧力を付与されたま)とされ、こ
の状態で前記の場合と同様に研摩がムラなく行なわれ、
良好な研摩面が得られる。研摩終了後は、モータ41を
逆転されることにより、ピンチローラ18が上昇して、
研摩テープ14が磁気ディスク5より離れる。
During polishing, the motor 41 rotates under the control of the motor control circuit 53, and this rotation is transmitted via the braking electromagnetic clutch 47, converted into linear motion by the pinion 43° rack 45, and the pinch roller 18 is lowered at a low speed. Then, the abrasive tape 14 contacts the magnetic disk 5 without any impact. The motor 41 continues to rotate after that, the braking electromagnetic clutch 47 slips, and the pinch roller 18 (
The polishing tape 14) is applied with a pressing force determined by the transmittable torque of the braking electromagnetic clutch 47), and in this state, polishing is performed evenly as in the above case,
A good polished surface can be obtained. After polishing is completed, the motor 41 is rotated in the reverse direction, and the pinch roller 18 is raised.
The polishing tape 14 is separated from the magnetic disk 5.

下側のモータ42及び制動用電磁クラッチ48も、制御
回路(図示せず)により制御されて、上□記のモータ4
1及び制動用電磁クラッチ48と同様に動作し、下側の
研摩テープ15もピンチローラ20により係止されて磁
気ディスク5の下面にti撃なく接触してこれを所定の
圧力で押圧して、研摩がムラなく行なわれ、良好な研摩
面が得られる。
The lower motor 42 and the braking electromagnetic clutch 48 are also controlled by a control circuit (not shown), and the motor 4 described above is controlled by a control circuit (not shown).
1 and the braking electromagnetic clutch 48, the lower abrasive tape 15 is also held by the pinch roller 20, contacts the lower surface of the magnetic disk 5 without any shock, and presses it with a predetermined pressure. Polishing is performed evenly and a well-polished surface is obtained.

効果 上述の如く、本発明になる磁気ディスクω1摩装置によ
れば、rllI摩テープは磁気ディスクの磁性面に衝撃
を行なわずに接触し、一定の力で押圧されるため、研摩
開始時での研摩量が過度になることがなくなり、研摩開
始部分を含めて全体を均一にムラなく研摩することが出
来、然して良好な研摩面を得ることが出来、またピンチ
ローラ押圧手段をエアシリンダ機構、ピンチローラ移動
速度制御手段をエア流量調整機構、或いはピンチローラ
抑圧手段を制動型電磁クラッチ、ピンチローラ移動速度
制御手段をモータの回転速度を制御する手段により構成
することにより、小弟に措成し得るという等の特長を有
する。
Effects As described above, according to the magnetic disk ω1 polishing device of the present invention, the rllI polishing tape contacts the magnetic surface of the magnetic disk without impacting it and is pressed with a constant force, so that The amount of polishing does not become excessive, and the entire area including the polishing start area can be polished evenly and evenly, and a good polished surface can be obtained. By configuring the roller movement speed control means with an air flow rate adjustment mechanism, the pinch roller suppression means with a braking type electromagnetic clutch, and the pinch roller movement speed control means with means for controlling the rotational speed of the motor, it is possible to achieve a smaller solution. It has the following features.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図(A)乃至(C)は夫々磁気ディスクの製造工程
を表わす図、第2図は本発明になる磁気ディスク研摩装
置の一実施例の斜視図、第3図は本発明装置の別の実施
例の斜視図、第4図は第3図中制動用電磁クラッチの構
造を示す断面図である。 1・・・磁気ディスク、2・・・基板、3.4.3A。 4A・・・磁性膜、5・・・コーティング済磁気ディス
ク、10.40・・・磁気ディスク研摩装置、11・・
・クラシバ、12・・・モータスピンドル、13・・・
モータ、14.15・・・研摩テープ、14a、15a
・・・供給側研摩テープ巻回体、14.b、15b・・
・巻取側研摩テープ巻回体、16.17・・・挟持駆動
機構、18.20・・・ピンチローラ、19.21・・
・回転支持部、22.23・・・エアシリンダ、22a
、23a・・・ピストン、22b、23b・・・ロッド
、24゜29・・・圧縮空気源、25.30・・・切換
弁、26゜31・・・スピードコントローラ、26a、
31a・・・可変絞り弁、27.28,32.33・・
・配管、41.42・・・モータ、43.44・・・ピ
ニオン、45.46・・・ラック、47.48・・・制
動用電磁りラッチ、49.50・・・フランジ、51・
・・電磁コイル、52・・・電圧制御回路、53・・・
モータ制御回路。 ′!s3図
Figures 1 (A) to (C) are diagrams each showing the manufacturing process of a magnetic disk, Figure 2 is a perspective view of an embodiment of the magnetic disk polishing apparatus of the present invention, and Figure 3 is another example of the apparatus of the present invention. FIG. 4 is a sectional view showing the structure of the braking electromagnetic clutch in FIG. 3. 1... Magnetic disk, 2... Substrate, 3.4.3A. 4A...Magnetic film, 5...Coated magnetic disk, 10.40...Magnetic disk polishing device, 11...
・Clasiva, 12...Motor spindle, 13...
Motor, 14.15... Abrasive tape, 14a, 15a
...supply side abrasive tape winding body, 14. b, 15b...
- Winding side abrasive tape winding body, 16.17... pinching drive mechanism, 18.20... pinch roller, 19.21...
・Rotation support part, 22.23...Air cylinder, 22a
, 23a... Piston, 22b, 23b... Rod, 24° 29... Compressed air source, 25.30... Switching valve, 26° 31... Speed controller, 26a,
31a...variable throttle valve, 27.28, 32.33...
・Piping, 41.42...Motor, 43.44...Pinion, 45.46...Rack, 47.48...Braking electromagnetic latch, 49.50...Flange, 51.
...Electromagnetic coil, 52...Voltage control circuit, 53...
Motor control circuit. ′! s3 diagram

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1) ?1lllliテープをピンチローラにより磁
気ディスクの磁性面に押圧させて該磁性面を研摩する磁
気ディスク研摩装置において、該ピンチローラが該磁気
ディスクに近接して該研摩テープを該磁気ディスクの該
磁性面に接触させるときでの移動速度を制御しうる移動
速度制御手段を備えたピンチローラ押圧手段を設けてな
る構成としたことを特徴とする磁気ディスク研摩装置。
(1)? In a magnetic disk polishing device that polishes the magnetic surface of a magnetic disk by pressing a 1lllli tape against the magnetic surface of the magnetic disk using a pinch roller, the pinch roller approaches the magnetic disk and presses the polishing tape against the magnetic surface of the magnetic disk. What is claimed is: 1. A magnetic disk polishing apparatus characterized in that the magnetic disk polishing apparatus is configured to include a pinch roller pressing means provided with a moving speed control means capable of controlling the moving speed when making contact.
(2)該ピンチローラ抑圧手段はピンチローラ移動機構
を動作させるエアシリンダ機構であり、該移動速度制御
手段は、エア流量調整amであることを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載の磁気ディスク研摩!i装置。
(2) The magnetic field according to claim 1, wherein the pinch roller suppressing means is an air cylinder mechanism for operating the pinch roller moving mechanism, and the moving speed controlling means is an air flow rate adjustment am. Disc polishing! i device.
(3) 該ピンチローラ押圧手段は、モータと、該モー
タの回転をピンチローラ移動i構に伝達する経路に設け
た制動型電磁クラッチとよりなり、該移動速度制御手段
は、該モータの回転速度を制御する手段であることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の磁気ディスク研摩
装置。
(3) The pinch roller pressing means includes a motor and a braking type electromagnetic clutch provided on a path for transmitting the rotation of the motor to the pinch roller movement mechanism, and the movement speed control means controls the rotational speed of the motor. 2. The magnetic disk polishing apparatus according to claim 1, wherein the magnetic disk polishing apparatus is a means for controlling.
JP18241683A 1983-09-30 1983-09-30 Magnetic disc polishing device Pending JPS6076954A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6362656A (en) * 1986-09-02 1988-03-18 Fuji Photo Film Co Ltd Manufacture of magnetic recording medium
JPS6344753U (en) * 1986-09-09 1988-03-25
JPH03256660A (en) * 1990-03-02 1991-11-15 Sanshin:Kk Work polishing machine

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JPS6344753U (en) * 1986-09-09 1988-03-25
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