JP2001191241A - Polishing device - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、無端ベルトからな
る無端研磨ベルトを用いて、凹凸のある被研磨物、例え
ば、人造大理石や模様付き木製板等の被研磨面を研磨す
るために好適に用いることができる研磨装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is suitable for polishing an object to be polished having irregularities, for example, an artificial marble or a patterned wooden board, using an endless polishing belt composed of an endless belt. The present invention relates to a polishing apparatus that can be used.
【０００２】[0002]
【従来の技術】上記した用途に供される研磨装置の一例
として、従来、複数個のロール間に無端のサンディング
ベルトを、その研磨面が外側になるように掛け渡すと共
に、そのサンディングベルトの内周側に踏圧装置を配置
し、走行するサンディングベルトを踏圧装置によってワ
ークに押し付けて研磨を行う構成のものがある。しか
し、このような構成の研磨装置では、研磨すべき表面が
上、下に大きく波打つような曲面状となっている場合、
踏圧装置の踏圧パッド面が平坦であるので、サンディン
グベルトがワークの凸面の最上部にのみ押し付けられる
ことになる。そこで、このような問題を解決することが
できる研磨装置が特開平５−４２４７３号公報に提示さ
れており、その構造を図３に示す。2. Description of the Related Art As an example of a polishing apparatus used for the above-mentioned applications, an endless sanding belt is conventionally wound between a plurality of rolls so that a polishing surface thereof is on an outer side, and a sanding belt of the sanding belt is formed. There is a configuration in which a treading device is disposed on the circumferential side, and polishing is performed by pressing a traveling sanding belt against a workpiece by the treading device. However, in the polishing apparatus having such a configuration, when the surface to be polished has a curved surface that is greatly wavy upward and downward,
Since the stepping pad surface of the stepping device is flat, the sanding belt is pressed only to the uppermost part of the convex surface of the work. Therefore, a polishing apparatus capable of solving such a problem is proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-42473, and the structure is shown in FIG.
【０００３】図示するように、この研磨装置は、メイン
フレーム５０に設けた複数個のロール５１間に無端のサ
ンディングベルト５２を掛け渡して走行させると共に、
メーンフレーム５０にサンディングベルト５２の内周側
に位置するように踏圧装置５３を配置し、走行するサン
ディングベルト５２を踏圧装置５３によってワーク５４
に押し付けてワーク５４の研磨を行うようにしたもので
あり、踏圧装置５３が、サンディングベルト５２の走行
方向に沿って並べた複数の分割パッド５５を備えて構成
されており、各分割パッド５５にはこれらを独立して上
下動させるための昇降機構（図示せず）が連結されると
ともに、各昇降機構５６によって各分割パッド５５群を
ワーク５４の研磨面の各部に対応した高さ位置に移動さ
せた後に固定するロック機構（図示せず）を設けたこと
を特徴とする。[0003] As shown in the figure, this polishing apparatus runs by running an endless sanding belt 52 between a plurality of rolls 51 provided on a main frame 50.
A stepping device 53 is disposed on the main frame 50 so as to be located on the inner peripheral side of the sanding belt 52, and the traveling sanding belt 52 is moved by the stepping device 53 to a work 54.
The work 54 is polished by pressing the work piece 54. The treading device 53 includes a plurality of divided pads 55 arranged along the running direction of the sanding belt 52. The lifting / lowering mechanism (not shown) for vertically moving these components is connected, and each of the divided pads 55 is moved to a height position corresponding to each portion of the polishing surface of the work 54 by each of the lifting / lowering mechanisms 56. A lock mechanism (not shown) for fixing after the operation is provided.
【０００４】このような構成によって、この研磨装置
は、研磨面が大きな曲面状をなすワークでも局部的な過
剰研磨を生じることなく、均一に研磨できると考えられ
る。[0004] With such a configuration, it is considered that this polishing apparatus can uniformly polish a workpiece having a large curved polishing surface without causing local excessive polishing.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した研磨
装置においては、踏圧装置５３を構成する複数の分割パ
ッド５５に加えて、さらに、それぞれの分割パッド５５
を上下動させるための作動シリンダ等の複数の昇降機構
が必要であり、また、分割パッド５５の上下動を円滑な
ものにするための昇降案内機構も不可欠となる。従っ
て、装置構成が複雑化かつ大型化し、製造費が高くな
り、かつ、多大な設置空間を必要とする。そこで、本発
明は、上記問題点に鑑みなされたものであって、無端研
磨ベルトを被研磨物の被研磨面に容易かつ確実に追随さ
せることによって被研磨物を全面に亘って均一に研磨す
ることができると共に、安価に製作することができる研
磨装置を提供することを目的とする。However, in the above-described polishing apparatus, in addition to the plurality of divided pads 55 constituting the treading device 53, each divided pad 55 is further provided.
A plurality of elevating mechanisms, such as an operation cylinder, for moving up and down are required, and an elevating guide mechanism for making up and down movement of the split pad 55 smooth is also indispensable. Therefore, the device configuration becomes complicated and large, the manufacturing cost increases, and a large installation space is required. In view of the above, the present invention has been made in view of the above problems, and uniformly and uniformly polishes an object to be polished by making an endless polishing belt easily and surely follow the surface to be polished of the object to be polished. It is an object of the present invention to provide a polishing apparatus which can be manufactured at a low cost.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記した問題を解決する
ために、本発明による研磨装置は、複数の巻き付けプー
リに巻き付けられると共に、外側周回研磨面の一部が被
研磨物の被研磨面に対向状態に配置される無端研磨ベル
トと、無端研磨ベルトを周回駆動させる周回駆動手段
と、無端研磨ベルトを挟んで被研磨物の被研磨面と対向
状態に配置され、かつ無端研磨ベルトの周回方向に配列
された複数のエア噴出ノズルとを具備し、エア噴出ノズ
ルから噴出されるエア噴出力によって、無端研磨ベルト
の外側周回研磨面の一部を被研磨物の被研磨面に押圧可
能に構成したことを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problem, a polishing apparatus according to the present invention is wound around a plurality of winding pulleys and a part of an outer circumferential polishing surface is formed on a surface to be polished of a workpiece. An endless polishing belt disposed in a facing state, a circulating drive means for driving the endless polishing belt to circulate, and a circulating direction of the endless polishing belt disposed in a state of facing the surface to be polished with the endless polishing belt interposed therebetween. A plurality of air ejection nozzles arranged in a row, and a part of the outer circumferential polishing surface of the endless polishing belt can be pressed against the surface to be polished of the object to be polished by the air injection power ejected from the air ejection nozzle. It is characterized by having done.
【０００７】また、上記した構成を有する研磨装置は、
好ましくは、以下の構成とすることもできる。 （１）複数のエア噴出ノズルはそれぞれ流量調整弁を介
して単一のエア源に接続されており、かつ、流量調整弁
は制御装置からの駆動信号に基づいてそれぞれ独立して
作動可能に構成されている。 （２）複数のエア噴出ノズルはそれぞれ圧力調整弁を介
して単一のエア源に接続されており、かつ圧力調整弁は
制御装置からの駆動信号に基づいてそれぞれ独立して作
動可能に構成されている。 （３）無端研磨ベルトは、無端研磨ベルトの周回方向と
直交する方向に移動自在に構成されている。 （４）無端研磨ベルトは、巻き付けプーリと共に、無端
研磨ベルトの周回方向と直交する方向に移動自在に構成
される。 （５）被研磨物はテーブル上に固定保持され、テーブル
は、無端研磨ベルトの周回方向と直交する方向に移動自
在に構成される。[0007] Further, the polishing apparatus having the above-described configuration includes:
Preferably, the following configuration can be adopted. (1) The plurality of air ejection nozzles are each connected to a single air source via a flow control valve, and the flow control valves are configured to be independently operable based on a drive signal from a control device. Have been. (2) Each of the plurality of air ejection nozzles is connected to a single air source via a pressure adjustment valve, and the pressure adjustment valves are configured to be independently operable based on a drive signal from a control device. ing. (3) The endless polishing belt is configured to be movable in a direction orthogonal to the direction in which the endless polishing belt rotates. (4) The endless polishing belt is configured to be movable together with the winding pulley in a direction perpendicular to the direction in which the endless polishing belt rotates. (5) The object to be polished is fixedly held on the table, and the table is configured to be movable in a direction orthogonal to the direction in which the endless polishing belt rotates.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面に基づいて具体的に説明する。図１及び図２
は、本発明による研磨装置ついて説明するために参照す
る図である。Embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings. 1 and 2
FIG. 1 is a diagram referred to for describing a polishing apparatus according to the present invention.
【０００９】まず、図１及び図２を参照して、一実施の
形態に係る研磨装置１０の構成について説明する。図示
するように、テーブル１１上には被研磨物１２が載置さ
れており、被研磨物１２の被研磨面１３は凹凸を有する
曲面状に形成されている。First, the configuration of a polishing apparatus 10 according to one embodiment will be described with reference to FIGS. As shown in the drawing, an object 12 to be polished is placed on a table 11, and a surface 13 to be polished of the object 12 to be polished is formed into a curved surface having irregularities.
【００１０】テーブル１１の上方には、４個の巻き付け
プーリ１４〜１７に巻き付けられた無端研磨ベルト１８
が配設されており、無端研磨ベルト１８の一部である下
部水平部１８ａはテーブル１１の上面と略平行に配設さ
れている。そして、下部水平部１８ａの外側周回研磨面
が被研磨物１２の被研磨面１３と対向状態に配置されて
いる。なお、無端研磨ベルト１８は、研磨程度、即ち、
粗研磨、中仕上げ研磨、仕上げ研磨に応じて砥粒の粒径
が異なるものを用いることができる。また、バフ研磨布
帯を用いることもできる。Above the table 11, an endless polishing belt 18 wound around four winding pulleys 14-17.
The lower horizontal portion 18 a, which is a part of the endless polishing belt 18, is disposed substantially parallel to the upper surface of the table 11. The outer circumferential polishing surface of the lower horizontal portion 18a is arranged so as to face the surface 13 to be polished of the object 12 to be polished. The endless polishing belt 18 has a polishing degree, that is,
Abrasive grains having different particle diameters depending on rough polishing, semi-finishing polishing, and finishing polishing can be used. Also, a buffing cloth band can be used.
【００１１】複数の巻き付けプーリ１４〜１７の内、巻
き付けプーリ１４は駆動プーリとして機能するものであ
り、巻き付けプーリ１４には周回駆動手段の一例である
回転モータ１９の出力軸が連動連結されている。この回
転モータ１９を駆動することによって、無端研磨ベルト
１８を所定の速度で周回させることができる。無端研磨
ベルト１８を挟んで、単数又は複数のエア噴出ノズル２
０が、被研磨物１２の被研磨面１３と対向状態に、か
つ、無端研磨ベルト１８の周回方向に間隔を開けて配設
されている。そして、これらのエア噴出ノズル２０から
噴出されるエア噴出力によって、無端研磨ベルト１８の
外側周回研磨面の一部を被研磨物１２の被研磨面１３に
押圧することができる。Of the plurality of winding pulleys 14 to 17, the winding pulley 14 functions as a driving pulley, and the winding pulley 14 is interlocked with an output shaft of a rotary motor 19 which is an example of a circulating driving means. . By driving the rotation motor 19, the endless polishing belt 18 can be rotated at a predetermined speed. One or more air ejection nozzles 2 sandwiching the endless polishing belt 18
Numerals 0 are arranged facing the surface 13 to be polished of the object 12 and spaced apart in the circumferential direction of the endless polishing belt 18. Then, a part of the outer circumferential polishing surface of the endless polishing belt 18 can be pressed against the surface 13 to be polished by the air jetting output from these air jetting nozzles 20.
【００１２】また、本実施の形態においては複数のエア
噴出ノズル２０を配設した場合を説明する。図示するよ
うに、複数のエア噴出ノズル２０はそれぞれ流量調整弁
２１を介して単一のエア源の一例であるブロワー２２
（出力は、例えば、７ｋｇ／ｃｍ２とする。）に接続さ
れており、かつ、流量調整弁２１はそれぞれ制御装置２
３からの駆動信号に基づいてそれぞれ独立して作動可能
に構成されている。これによって、各エア噴出ノズル２
０から被研磨物１２の被研磨面１３までの距離に対応し
て、各エア噴出ノズル２０から噴出されるエア噴出量を
調整して、無端研磨ベルト１８の押圧力を被研磨物１２
の被研磨面１３の全長にわたって均一にすることができ
る。なお、図示しないが、複数のエア噴出ノズル２０を
それぞれ圧力調整 弁を介してブロワー２２に接続し、
かつ圧力調整弁をそれぞれ制御装置２３からの駆動信号
に基づいてそれぞれ独立して作動可能に構成することに
よっても、無端研磨ベルト１８の押圧力を被研磨物１２
の被研磨面１３の全長にわたって均一にすることができ
る。In this embodiment, a case where a plurality of air ejection nozzles 20 are provided will be described. As shown in the drawing, a plurality of air ejection nozzles 20 are each connected to a blower 22 which is an example of a single air source through a flow rate control valve 21.
(The output is, for example, 7 kg / cm 2. )
3 are configured to be independently operable based on the drive signals from the control signals 3. Thereby, each air ejection nozzle 2
The amount of air jetted from each air jet nozzle 20 is adjusted in accordance with the distance from 0 to the polished surface 13 of the polished object 12, and the pressing force of the endless polishing belt 18 is reduced.
Can be made uniform over the entire length of the surface 13 to be polished. Although not shown, a plurality of air ejection nozzles 20 are connected to a blower 22 via pressure adjusting valves, respectively.
Also, the pressure of the endless polishing belt 18 can be reduced by arranging the pressure regulating valves to be independently operable based on the drive signal from the control device 23.
Can be made uniform over the entire length of the surface 13 to be polished.
【００１３】さらに、本実施の形態では、図示するよう
に、被研磨物１２を固定保持するテーブル１１は、無端
研磨ベルト１８の周回方向と直交する方向に移動自在に
構成されている。即ち、テーブル１１は車輪２４を介し
て床面２５上に移動自在に載置されており、駆動シリン
ダ２６を駆動することによって、テーブル１１及び被研
磨物１２を一対のガイド軸２７に沿って、無端研磨ベル
ト１８の周回方向と直交する方向に移動する。従って、
被研磨物１２の被研磨面１３が、長さ方向に凹凸を有す
るのみならず、幅方向にも凹凸を有する曲面状になって
いる場合でも、無端研磨ベルト１８の押圧力を被研磨物
１２の被研磨面１３の全幅にわたって均一にすることが
できる。なお、テーブル１１を移動する代わりに、テー
ブル１１を固定すると共に、無端研磨ベルト１８のみ
を、無端研磨ベルト１８の周回方向と直交する方向に移
動する、又は、無端研磨ベルト１８を、巻き付けプーリ
１４〜１７と共に、無端研磨ベルト１８の周回方向と直
交する方向に移動自在に構成することによっても、無端
研磨ベルト１８の押圧力を被研磨物１２の被研磨面１３
の全幅にわたって均一にすることができる。Further, in the present embodiment, as shown in the figure, the table 11 for fixing and holding the object to be polished 12 is configured to be movable in a direction orthogonal to the direction in which the endless polishing belt 18 rotates. That is, the table 11 is movably mounted on the floor surface 25 via the wheels 24, and by driving the drive cylinder 26, the table 11 and the workpiece 12 are moved along the pair of guide shafts 27. It moves in a direction perpendicular to the direction in which the endless polishing belt 18 rotates. Therefore,
Even when the polished surface 13 of the polished object 12 has not only the unevenness in the length direction but also the curved surface having the unevenness in the width direction, the pressing force of the endless polishing belt 18 is applied to the polished object 12. Can be made uniform over the entire width of the surface 13 to be polished. Instead of moving the table 11, the table 11 is fixed, and only the endless polishing belt 18 is moved in a direction perpendicular to the circumferential direction of the endless polishing belt 18, or the endless polishing belt 18 is wound around the pulley 14. 17 to 17, the pressing force of the endless polishing belt 18 can be adjusted so that the pressing force of the endless polishing belt 18 can be moved in the direction orthogonal to the rotation direction of the endless polishing belt 18.
Can be uniform over the entire width of the
【００１４】次に上記した研磨装置１０を用いた被研磨
物の研磨方法について説明する。まず、駆動シリンダ２
６を駆動して研磨装置１０の横側方に位置する被研磨物
搭載位置で被研磨物１２を搭載固定し、駆動シリンダ２
６を駆動してテーブル１１を横移動して、被研磨物１２
が無端研磨ベルト１８の下部水平部１８ａの直下に位置
するようにする。次に、回転モータ１９を駆動して無端
研磨ベルト１８を周回させると共に、ブロワー２２を駆
動して、各エア噴出ノズル２０から圧搾エアを噴出し、
そのエア噴出力によって、無端研磨ベルト１８の外側周
回研磨面を被研磨物１２の被研磨面１３に押圧して、被
研磨物１２の被研磨面１３を研磨する。Next, a method of polishing an object to be polished using the above-described polishing apparatus 10 will be described. First, drive cylinder 2
6 is driven to fix the object 12 to be mounted at the object mounting position located on the lateral side of the polishing apparatus 10.
6 to drive the table 11 to move the table 11
Is positioned directly below the lower horizontal portion 18a of the endless polishing belt 18. Next, the rotating motor 19 is driven to rotate the endless polishing belt 18, and the blower 22 is driven to eject compressed air from each air ejection nozzle 20.
The outer lapping surface of the endless polishing belt 18 is pressed against the polished surface 13 of the polished object 12 by the air jetting power, and the polished surface 13 of the polished object 12 is polished.
【００１５】この際、無端研磨ベルト１８の押圧力を被
研磨物１２の被研磨面１３の全長にわたって均一にする
ことができるので、被研磨物１２の被研磨面１３の全長
にわたって均一厚みで研磨することができる。また、テ
ーブル１１を横方向に移動させることによって、被研磨
物１２の被研磨面１３の全幅にわたって均一厚みで研磨
することができる。また、本実施の形態では、エア噴出
ノズル２０は上下動させる必要がないので昇降機構や昇
降ガイド機構を必要としないので、研磨装置１０の全体
構成をコンパクトにすることができ、安価に製作するこ
とができると共に、設置スペースも狭くすることができ
る。さらに、複数のエア噴出ノズル２０の内、一部のエ
ア噴出ノズル２０のみを作動して、局部的に被研磨面１
３を有する被研磨物１２を効果的に研磨することができ
る。At this time, the pressing force of the endless polishing belt 18 can be made uniform over the entire length of the polished surface 13 of the polished object 12, so that the polishing is performed with a uniform thickness over the entire length of the polished surface 13 of the polished object 12. can do. In addition, by moving the table 11 in the horizontal direction, the polishing can be performed with a uniform thickness over the entire width of the polished surface 13 of the polished object 12. Further, in the present embodiment, since the air ejection nozzle 20 does not need to be moved up and down, there is no need for an elevating mechanism or an elevating guide mechanism, so that the overall configuration of the polishing apparatus 10 can be made compact and manufactured at low cost. And the installation space can be reduced. Further, only a part of the plurality of air ejection nozzles 20 is operated to locally operate the polishing target surface 1.
3 can be polished effectively.
【００１６】[0016]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数のエア噴出ノズルを用いて、エア噴出力によって無
端研磨ベルトを被研磨物の被研磨面に容易かつ確実に追
随させるようにしたので、被研磨物を全面に亘って均一
に研磨することができると共に、研磨装置を安価に製作
することができる。As described above, according to the present invention,
By using a plurality of air ejection nozzles, the endless polishing belt is made to easily and surely follow the surface to be polished of the object to be polished by the air injection power, so that the object to be polished can be uniformly polished over the entire surface. In addition, the polishing apparatus can be manufactured at low cost.
【図１】圧搾エアを噴出していない状態における本発明
の一実施の形態に係る研磨装置の概念的正面図である。FIG. 1 is a conceptual front view of a polishing apparatus according to an embodiment of the present invention in a state where compressed air is not ejected.
【図２】圧搾エアを噴出している状態における本発明の
一実施の形態に係る研磨装置の概念的正面図である。FIG. 2 is a conceptual front view of the polishing apparatus according to the embodiment of the present invention in a state where compressed air is being jetted.
【図３】従来の研磨装置の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a conventional polishing apparatus.
１０…研磨装置、 １１…テーブル、 １２…被研磨物、 １３…被研磨面、 １４…巻き付けプーリ、 １５…巻き付けプーリ、 １６…巻き付けプーリ、 １７…巻き付けプーリ、 １８…無端研磨ベルト、 １８ａ…下部水平部、 １９…回転モータ、 ２０…エア噴出ノズル、 ２１…流量調整弁、 ２２…ブロワー、 ２３…制御装置、 ２４…車輪、 ２５…床面、 ２６…駆動シリンダ、 ２７…ガイド軸 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Polishing apparatus, 11 ... Table, 12 ... Polished object, 13 ... Polished surface, 14 ... Winding pulley, 15 ... Winding pulley, 16 ... Winding pulley, 17 ... Winding pulley, 18 ... Endless polishing belt, 18a ... Lower part Horizontal section, 19: Rotary motor, 20: Air ejection nozzle, 21: Flow control valve, 22: Blower, 23: Control device, 24: Wheel, 25: Floor surface, 26: Drive cylinder, 27: Guide shaft
Claims (7)
共に、外側周回研磨面の一部が被研磨物の被研磨面に対
向状態に配置される無端研磨ベルトと、 前記無端研磨ベルトを周回駆動させる周回駆動手段と、 前記無端研磨ベルトを挟んで前記被研磨物の被研磨面と
対向状態に配置されたエア噴出ノズルとを具備し、 前記エア噴出ノズルから噴出されるエア噴出力によっ
て、前記無端研磨ベルト外側周回研磨面の一部を前記被
研磨物の被研磨面に押圧可能に構成したことを特徴とす
る研磨装置。An endless polishing belt wound around a plurality of winding pulleys and having a part of an outer circumferential polishing surface opposed to a surface to be polished of an object to be polished; A drive means, and an air ejection nozzle arranged opposite to a surface to be polished of the object to be polished with the endless polishing belt interposed therebetween, wherein the endless polishing is performed by an air ejection output ejected from the air ejection nozzle. A polishing apparatus, wherein a part of a belt outer circumferential polishing surface is configured to be able to press against a surface to be polished of the object to be polished.
トの周回方向に配列され、かつ前記無端研磨ベルトの周
回方向に配列された複数のエア噴出ノズルである請求項
１記載の研磨装置。2. The polishing apparatus according to claim 1, wherein the air ejection nozzles are a plurality of air ejection nozzles arranged in a circumferential direction of the endless polishing belt and arranged in a circumferential direction of the endless polishing belt.
調整弁を介して単一のエア源に接続されており、かつ、
前記流量調整弁は制御装置からの駆動信号に基づいてそ
れぞれ独立して作動可能に構成されていることを特徴と
する請求項２記載の研磨装置。3. The plurality of air ejection nozzles are respectively connected to a single air source via a flow control valve, and
The polishing apparatus according to claim 2, wherein the flow rate control valves are configured to be independently operable based on a drive signal from a control device.
調整弁を介して単一のエア源に接続されており、かつ、
前記圧力調整弁は制御装置からの駆動信号に基づいてそ
れぞれ独立して作動可能に構成されていることを特徴と
する請求項２記載の研磨装置。4. A plurality of air ejection nozzles are respectively connected to a single air source via a pressure regulating valve, and
The polishing apparatus according to claim 2, wherein the pressure regulating valves are configured to be independently operable based on a drive signal from a control device.
の周回方向と直交する方向に移動自在に構成されている
ことを特徴とする請求項１ないし請求項４のうちいずれ
かの請求項記載の研磨装置。5. The endless polishing belt according to claim 1, wherein the endless polishing belt is configured to be movable in a direction perpendicular to a circumferential direction of the endless polishing belt. Polishing equipment.
リと共に、該無端研磨ベルトの周回方向と直交する方向
に移動自在に構成されていることを特徴とする請求項１
ないし請求項４のうちいずれかの請求項記載の研磨装
置。6. The endless polishing belt is configured to be movable together with the winding pulley in a direction orthogonal to a direction in which the endless polishing belt rotates.
The polishing apparatus according to any one of claims 4 to 4.
れ、該テーブルは、前記無端研磨ベルトの周回方向と直
交する方向に移動自在に構成されていることを特徴とす
る請求項１ないし請求項４のうちいずれかの請求項記載
の研磨装置。7. The object to be polished is fixedly held on a table, and the table is configured to be movable in a direction orthogonal to a circumferential direction of the endless polishing belt. The polishing apparatus according to claim 4.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37712799A JP2001191241A (en) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | Polishing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37712799A JP2001191241A (en) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | Polishing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001191241A true JP2001191241A (en) | 2001-07-17 |
Family
ID=18508294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37712799A Pending JP2001191241A (en) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | Polishing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001191241A (en) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN113386029A (en) * | 2021-07-28 | 2021-09-14 | 刘夏林 | Square pump sleeve wire drawing machine with changeable rotating speed |
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1999
- 1999-12-28 JP JP37712799A patent/JP2001191241A/en active Pending
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