JPS6069625A - 小形偏向器の鏡面追跡装置を用いたプリンタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産−深Ｊプリ団υυ咲　。

本発明は、回転する走査素子の鏡面に入射するビームを
追跡する鏡面追跡装置、より詳しく述べると、超小形偏
向器形式の改良型鏡面追跡装置及びこれを用いたプリン
タに関するものである。

−灸匪飢鰻抹しよ・うζ工立肌踵点 像形成部材、すなわち記録部材を横切って走査ビームを
掃引する多角形またはホログラフ式走査素子を有する高
解像度の高速ラスク出力走査装置（ＲＯ３）を設計、製
造するとき、システム設計者が直面する主な問題点は、
走査素子が高速で回転しなければならないということか
ら起る。このことは、走査素子自体の構造強度と関連部
品、すなわち走査素子駆動用モータと軸受組立の双方に
負担をかけ、この負担は走査素子の直径および速度の二
乗の関数で増大する。装置の設計パラメータは、通常走
査素子の速度を指定するから、もし走査素子にかかる荷
重を減少すべきであれば、設計者は走査素子の直径を減
らす余地があるだけである。

走査素子の大きさを縮小するために用いられる１つの方
法は、鏡面追跡である。鏡面追跡においては、走査サイ
クルを通じてビームが各鏡面を追跡するように、走査素
子が回転するにつれて走査素子の各鏡面上の入射ビーム
の位置が変更される。

このような状況では、走査素子の鏡面は入射ビームの大
きさより若干大きくするだけでよく、したがって、走査
素子の大きさは、たとえば、鏡面追跡が行なわれないと
きのアンダフィルド（ｕｎｄｅｒ−ｆｉｌｌｅｄ）鏡面
モードかオーバーフィルド（ｏｖｅｒ−ｆｉｌｌｅｄ）
鏡面モードのどちらかで使われる走査素子よりかなり小
さく作ることができる。

前述の問題点を克服する１つの試みとして、いくつかの
従来装置は入射ビームを変調し、かつ追跡する音響−光
学（Ａ１０）式変調器／偏向器の組合せユニットを用い
たが、単一ユニットに２つの機能を組み入れるには、通
常、Ａ１０変調器のバンド幅を倍にする必要あり、その
結果この部品の製作が複雑になり、高価になった。その
上、Ａ／０変調器／偏向器の組合せユニットは、最新の
ダイオード式レーザーや全内面反射（ＴＩＲ）式変調器
を使用することができない。

一間到メ惇λ解状ｙノ→ミ晩手段 本発明は、回転している走査素子の鏡面にビームが当た
る点をほぼ一定に維持するよう高い放射強度のビームを
追跡するために使う鏡面追跡装置を提供することにより
、上記の問題点を解決することを目的とする。鏡面追跡
装置は、（イ）支持部と、（ｒｌ）前記支持部に向う方
向および離れる方向に曲がることができる前記支持部上
の可撓フィンカー状の突起、より成っている。フィンガ
ー状の突起の外側表面には、ビームの通路内の鏡面追跡
装置の配置に基づいて走査素子の鏡面にビームを反射す
る反射材料が付いている。フィンガー状の突起は、加え
られた曲げ用電圧に応じてたわむようになっているので
、フィンガー状の突起に制御された曲げ用電圧を加える
ことにより、走査素子の鏡面に反射したビームが当る点
を制御してビームを追跡し、走査素子の鏡面にビームが
当る点をほぼ一定に維持することができる。

さらに、本発明は、（イ）可動記録媒体、（ｎ）像信号
入力に応じて前記記録媒体に像を記録する高い放射強度
のビーム、（ハ）ビームが連続して走査素子の鏡面に当
るようにビームの通路に配置された複数の鏡面を有し、
ビームが記録媒体を横に反復して走査するようになって
いる回転可能な走査素子、（ニ）支持部と、前記支持部
から離れている自由端を持つ細長い可撓フィンガーとか
ら成り、走査素子の鏡面にビームが当る点をほぼ一定に
維持するようビームを追跡する鏡面追跡装置、（ネ）ビ
ームの通路において走査素子の鏡面に向けてビームを反
射し、反射材料と支持部の間に電圧を加えると自由端が
たわむフィンガーの外側表面にある反射材料、および（
へ）フィンガーの自由端を制御してたわませることによ
りビームを変位させ、走査鏡面にビームを当る点をほぼ
一定に維持するよう、走査鏡面の動きに同期して前記電
圧を制御する手段、の組合せから成るプリンタを提供す
る。

実施例 第１図〜第３図を参照して、本発明の趙小形偏向器を組
み入れた典型的なラスク走査装置１０を詳細に説明する
。ラスク走査装置１０は、像信号にしたがって変調され
た高い放射強度のビーム１５、すなわち光が感光性記録
媒体１３を横に走査し、記録媒体を像の形状に露光する
ラスク出力走査装置すなわちＲＯ３式走査装置より成っ
ている。

記録媒体１３は、矢印１６の方向に回転する（手段は図
示せず）感光性被膜付きのゼログラフィ一方式のドラム
１４として描いであるが、代りに、感光性被膜付きのゼ
ログラフィ一方式のベルトやプレートのほか、ウェブま
たはカット紙形式の感光性フィルムや塗工紙を含め、他
のゼログラフィ一方式や非ゼログラフィ一方式の記録媒
体を使・うごとができることはわかるであろう。したが
って、記録媒体Ｉ３は、−最北されたケースでは、走査
ビーム１５−２に対し交差線、すなわち行ピンチの方向
に進行しながら露光される感光性媒体と想像されたい。

ビーム１５は、適当な電磁放射光束源、たとえばレーザ
ー２１から得られる。レーザー２１で発生した単一波長
放射の平行ビーム１５は、あとで明らかになるように、
像信号入力に含まれている情報にしたがってビーム１５
を修正する変調器１２に当てられる。変調されたビーム
１５−１はテレセンドリンク望遠鏡式ビーム拡大器１８
を通って鏡面追跡装置２０へ進み、鏡面追跡装置２゜か
ら第２のテレセンドリンク望遠鏡式ビーム拡大器２２を
通ってホログラフ式走査偏向器２４へ進む。偏向器２４
から出たビームは、結像レンズ２６によって記録媒体１
３に焦点が合わされる。

変調器１２は、電子光学素子２７を有する全内面反射（
ＴＴＲ）式変調器であって、ビーム１５の有効ザイズに
相応する電子光学素子２７の部分の端から端まで複数の
アドレス可能な電極２８．２８゛が連続して配置されて
いる。一般に電極２８．２８′は、幅が１−３０ミクロ
ンであり、１−３０ミクロンのほぼ一様な電極間のすき
まが得られるようほぼ等距離離れている中心線」二にあ
電子光学素子２７は、たとえば両端に光学的に研磨され
た入力面と出力面３１．３２、および光学的に研磨され
た中間反射表面３３ヲ有するＬｉＮｂ０゜のｙカット結
晶でできている。手指のように組まれた電極２８．２８
゛は、発件した周辺電界を電子光学素子２７内に結合す
るため、反射表面３３に接触しているか、少なくともそ
れに近接している、電極２８．２８゛に乙Ｊ、リード線
２９．３０を介して適当な電圧Ｖ′が加えられ、電極２
８．２８゛に力ｌえる電圧Ｖ′は像信号の内容に応じて
制御される。

図かられかるように、レーザー２１からの並行ビーム１
５は、入力面３１を通って反射表面をかすめるような入
射角で電子光学素子２７に入る。

ビーム１５は、反射表面３３のほぼ１（Ｋ中心線におい
てくさび形に焦点が合わされ（手段は図示せず）、ここ
でビーム１５は全内面反則され、出力面３２を通って電
子光学素子２７から出る。ビーム１５は電子光学素子２
７を通過する間に、像信号の内容にしたがって空間的に
同位相波面が変調される。

電極２８．２８゛間の電圧差で局部周辺電界が生じるが
、この局部周辺電界は電子光学素子２７の相互作用領域
３９内に広がって、相互作用領域３９の横の方に素子の
屈折率に変化を生じさせる。

この結果、ビーム１５が相互作用領域３９を通過すると
き、その同位相波面が像信号人力にしたがって順次空間
的に変調される。

位相交番がないブラッグ（Ｒｒａｇｇ）方式（第３図参
照）で作動させると、電子光学素子２７にブラッグ角θ
□で入る光は、回折せず、０次ビーム１、５−０として
現れる。図示例において、０次ビーム１５−Ｏは、適当
なストップ３７に当って像が形成される。電極２８．２
８゛に電圧Ｖ′が加わると、位相変化が起り、光は、あ
とで明らかになるように、記録媒体１３を露光するため
に用いられる１次ビーム１５−１に散乱する。

ブラッグ回折方式について説明したが、この分野の専門
家ならば、電子光学素子２７をラーマン・ナス（Ｒａｍ
ａｎ−Ｎａｔｈ）方式で作動させてもよいことば、わか
るであろう。代わりに、別の変調器形式、たとえば音響
・光学式や電子光学式のほか、レーザー・ダイオードを
想像することができる。１次ビーム１５−１は走査ビー
ム１５−２のソースとして使われるが、代りに０次ビー
ム１５−０を用いることができる。その場合には、１次
ビーム１５−１がストップ３７に当てられよう。

偏向器２４は、はぼ平らな走査円板４６の外周まわりに
複数の回折格子面、すなわち鏡面４７を有するホログラ
フ式偏向器でできている。走査円板４６は、ガラスで作
られたものが好ましく、モータ４８によってドラム１４
の動きに同１υ１して回転する。円板４６は、１次ビー
ム１５−１が鏡面４７に約４５６の角度で入射するよう
に配置することが好ましい。円板４６から出力される回
折された走査ビーム１５−２は、補角で出てくる。

ここでは、ボログラフ式走査素子について説明したが１
．別の走査素子形式、たとえば多角形を想像することが
できる。

１次ビーム１５−１はビーム拡大器１８．２２と鏡面追
跡装置２０とを通って偏向器２４−＼進み、ビーム拡大
器１８．２２は、ビーム１５−１に対し制′４′ＪＩｌ
された拡大を与えて所定のスポットサイズのビームを走
査円板４６の鏡面４７に当てる役目をする。あとで詳細
に説明するが、鏡面追跡装置２０は、走査円板４６の鏡
面４７に当る１次ビーム１５−１を追跡してビーノ、の
スポットを走査円板４６の鏡面４７の所定の位置に維持
する役目をする。走査円板４６の鏡面４７で反射した１
次ビーム１５−１　（ここては、走査ビーム１５−２と
呼ぶ）は、結像レンズ２６によって、ドラム１４の表面
に近い焦点面の選択された地点に焦点が合わされる。

次に、第４図と第５図を参照して、可撓フィンガー５０
をもつ超小型偏向器形式である鏡面追跡装置２０を詳細
に説明する。可撓フィンガー５０は、析出、熱酸化など
によりシリコン・ウェーハ５４の表面に適当に設けられ
た二酸化シリコン５１より成るものが好ましい。代りに
、他の材料、たとえばシリコン、窒化シリコン等を想像
することができる。フィンガー５０の外側表面には、ク
ロムなどの導電性高反射性鏡状反射被膜５３が付いてい
る。フィンガー５０より下のウヱーノＸ５４の部分は除
去さていて、第４図のように、フィンガー５０の自由端
がたわむことができるように空間５５が作られている。

フィンガー５０上の導電層５３に電圧を加えるためにリ
ード線６０が付いており、ウェーハ５４には、共通リー
ド線すなわち戻りリード線６１が接続されており、曲げ
用電圧（以下、■（たわみ）と呼ぶ）が加わると、フィ
ンガー５０をたわませる、すなわち曲げる静電気力が生
じることはわかるであろう。

可撓フィンガー５０が偏向器２４の鏡面４７を追跡する
のに必要な角変位θは、次式で与えられる。

（１）　θ−Ｄ／２Ｆ ここで、Ｄは鏡面の幅、Ｆは望遠鏡の対物レンズ２２の
焦点距離である。

回折限定装置の場合には、Ｄは、像面におけるスポット
直径Ｓと関係があり、次式で与えられる。

（２）Ｄ−λＦ／Ｓ ここで、λ−光の波長、Ｆ゛は焦点合せ］／アズ２６の
焦点距離、Ｓはスポット直径である。

式（１）に式（２）を代入すると、次式が得られる。

（３）　φ−２θ−λＦ’／ＳＦ ここでは、φは追跡角である。

式（３）は、ビーム１５−１を追跡するために必要なシ
ステム動作パラメータをめるために使うことができる、
追跡角φ、鏡面４７の大きさ、システムの焦点距離、お
よび像スポットの大きさの間の相互関係を与える。

次に第６図を参照して制御回路６５を説明する。

制御回路６５は、走査円板４６の回転および感光性記録
媒体１３を横切る走査ビーム１５−２の掃引に同期して
、リード綿６０を介して、超小型偏向器式鏡面追跡装置
２０のフィンガー５０にたわみ用、すなわち曲げ用電圧
を加える。適当な像信号源６７、たとえば記憶装置、通
信回線等とともに、適当なりロック（ここでは、画素ク
ロック６９と呼ぶ）が設けられており、後者は、像信号
源６７から変調器１２に対する像信号を刻時するための
刻時パルスを発生する。

走査ビーム１５−２の光路には、感光性記録媒体１３−
■−の像線の開始と終了を識別するため、それぞれ走査
開始（ＳＯ３）センサ７ｏと走査終了（Ｆ、Ｏ３）セン
サ７１と表示された１対のフォトセル式センサが設けら
れている。

クロック６９の刻時パルス出力は、クロック・リード線
７２を介して像信号現６７へ、そして÷Ｎカウンタ７４
を介して適当な持久記憶装置（ここでは、ＲＯＭ記憶装
置７６で例示する）用のアト１／ス・カウンタ７５へ送
られる。前述のように、像信＋Ｊ−ｓ　６　”ｒに対す
る画素クロック６９の刻時パルス出力は、変調器１２に
対する像信号を刻時する。そこで変調器１２は、走査偏
向器２４により記録媒体１３を横に走査するビーム１５
−２に同期して、ビーム１５を変調する。次の走査線の
開始の準備としてカウンタ７５をリセットするため、リ
ード線９８を介してカウンタ７５のリセットゲートにＥ
ＯＳセンセン１の信号出力が加えられる。

走査を通じて、１次ビーム１５−１が走査円板４６の鏡
面４７に当たるスボソＩ・位置を制御することができる
ように、超小型偏向器式鏡面追跡装置２０のフィンガー
５０は、電圧が加わると、制？ｆｆｌされて曲がる１、
すなはちたわむようになっている。このために、ＲＯＭ
記４ａ装置７６の出力が適当なデジタル・アナログ変換
器８０へ送られる。

変換器８０のアナログ信号出力は増幅器８１へ送られ、
ここで信冒は、フィンガー５０を制御して曲げる、１な
わちたわませる十分な電圧Ｖ（たわみ）が得られるよう
に適当に増幅される。増幅器８１の信−号出力乙Ｊ１、
鏡面追跡装置２０のリード線６０に接続されている。電
圧■（たわみ）の発ｄ―前に変換器８０に対するデータ
入力を安定させるために、適当な遅延回路８５が設ＣＪ
られでいる。

ここては、デジタルソｊ式の装置について説明したが、
代わりＱこ純アナログ制御機能を用いてフィンガー５０
に制御された電圧を加えてもよいことはわかるであろう
。

ＲＯＭ記４ａ装置７６の内容は、走査を通じて１次ビー
ム１５−１を走査円板４６の鏡面４７の中央に維持する
ために必要な量だけ、フィンガー５０を曲げるのに必要
な電圧■（たわみ）を決めるために行う１回またはそれ
以上の校正すなわちテスト実施を通じて得られる。第２
図に、鏡面追跡装置２０のフィンガー５０のたわみに対
する走査開始（ＳＯ３）　、走査中央（ＣＯ３）、およ
び走査終了（ＥＯ３）における１次ビーム１５−１の相
対的位置を示す。図示の位置は、例に過ぎず、ビーム１
５−１の真の位置を表すものでないことはわかるであろ
う。

リード線６０の曲げ用電圧（たわみ）が鏡面追跡装置２
０のフィンガー５０から除かれると、フィンガー５０　
（説明のため、片持ちはりと見なすことができる）は、
次の走査線の準備のため、第４図の点線で示す非たわみ
静止状態に戻る。

−例として、前述した形式のフィンガー５０は、長さＬ
＝１６０．ｃ＋ｍ、幅Ｗ＝　１００　ｐｍ、厚さｂ−２
μｍ、深さｄ＝５μｍを有し、フィンガーの固有振動数
は約７３ＫＨｚで、Ｑファクタは１．３７である。５１
Ｖの曲げ用電圧■（たわみ）で、約５°　（すなわち、
第４図に示した実線位置に対し）の最大向げが得られた
。

特に、第１図、第２図、および第４図〜第６図を参照す
ると、画素クロック６９はｓｏｓセンセン０による走査
ビーム１５−２の検知に応じて作動する。クロック６９
の刻時パルス出力は、像信号源６７作動させ一連の像信
号を変調器１２へ出力させる。変調器１２は、一連の像
信号にしたがって、感光性配位媒体１３を横切って像線
を書き込むため、ビーム１５を変調する。同時に、画素
クロック６９の刻時パルス出力は、カウンタ７５を駆動
し、カウンタ７５は所定の計数レベルに達すると、ＲＯ
Ｍ７６内のプリセット記憶位置をアドレスする。この結
果性じたＲＯＭ７６の制御信号出力はデジタル・アナロ
グ変換器８ｏへ送られ、所定のわん曲用電圧■（たわみ
）が鏡面追跡装置２０（７）フィンガー５０に加えられ
る。フィンガー５０に加えられた所定の各曲げ用電圧に
より、フィンガー５０は所定の量だけ曲がる、す・なゎ
ちたわむ（第２図にその例を示す）。

前述のように、フィンガー５０は、１次ビーム１５−１
をビーム拡大器２２を通して回転している走査円板４６
の鏡面４７に向けて反射する。フィンガー５０が曲がる
、すなわちたわむと、走査円板４６の鏡面４７にビーム
１５−１が当たる点が変わるので、鏡面が動くとき走査
円板の鏡面に当たるビーム１５−１の位置は鏡面に沿っ
て有効に追跡され、１次ビーム１５−１が鏡面に当たる
点はほぼ中央に維持される。

走査ビーム１５−２が走査線の端に達すると、ＥＯＳセ
ンサ７１がビームを検知し、ＥＯＳセンサ７１からの信
号で画素クロック６９の動作と、像信号源６７から変調
器１２に対する像信号の入力が止められる。同時に、リ
ード線９８にあるＥＯＳセンサ７１からの信号で、カウ
ンタ７５がリセットされ、増幅器８１からフィンガー５
０に対する曲げ用電圧Ｖ（たわみ）の入力が止められる
。

曲げ用電圧が止められると、フィンガー５０は非たわみ
位置へ戻る。

以上、開示した構造について発明を説明したが、発明は
説明した細部構造に限定されるものでなく、特許請求の
範囲に入れることができるすべての修正および変更を包
含するものと考える。

【図面の簡単な説明】

第１図は、全内面反射（Ｔ　Ｔ　Ｒ）変調器とホログラ
フ式走査円板をもつ形式のラスク走査装置に具体化され
た本発明の超小形偏向器式鏡面追跡装置の略図、 第２図は、第１図の鏡面追跡装置によって鏡面追跡が行
われる様子を示す略図、 第３図は、第１図の走査装置用のＴＩＲ変調器の細部構
造を示す拡大底面図、 第４図は、鏡面追跡装置の細部構造を示す本発明の超小
形偏向器式鏡面追跡装置の拡大断面側面図・ 第５図は、第４図の鏡面追跡装置の平面図、および 第６図は、本発明の超小形偏向器式鏡面追跡装置を操作
するための制御装置を示す論理図である。 １０・・・ラスク走査装置、１２・・・変調器、１３・
・・記録媒体、１４・・・感光性被膜付きゼログラフィ
一式ドラム、１５・・・ビーム、１５−０・・・０次ビ
ーム、１５−１・・・１次ビーム、１５−２・・・走査
ビーム、１６・・・回転方向、１８・・・ビーム拡大器
、２０・・・鏡面追跡装置、２１・・・レーザー、２２
・・・ビーム拡大器、２４・・・ホログラフ式走査偏向
器、２６・・・結像レンズ、２７・・・電子光学素子、
２８．２８゛　・・・アドレス可能な電極、２９．３０
・・・リード線、３１・・・入力面、３２・・・出力面
、３３・・・中間反射表面、３７・・・ストップ、３９
・・・相互作用領域、４６・・・走査円板、４７・・・
鏡面、４８・・モータ５０・・・可撓フィンガー、５１
・・・−酸シリコン、５３・・・導電性鏡状反射被膜、
５４・・・シリコン・ウェーハ、５５・・・空間、６０
．６１・・・リード線、６５・・・制御回路、６７・・
・像信号源、６９・・・画素クロック、７０・・・ＳＯ
Ｓセンサ、７１・・・ＥＯＳセンサ、７２・・・リード
線、７４−−−＋Ｎカウンク、７５・・・アドレス・カ
ウンタ、７６・・・ＲＯＭ記憶素子、８０・・・デジタ
ル・アナログ変換器、８１・・・増幅器、８５・・・遅
延回路。 Ｈθ２ ７ Ｆ／６．３ ＦＩ６．６

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　１−ｉＪ動記録部祠と、像信号に応し前記記録部
   材に像を記録する高い放射強度のビーム源と、前記ビー
   ムが走査素子の鏡面に連続して当るように前記ビームの
   通路に配置され前記ビームが反復して記録部＋４を走査
   するようになっている複数の鏡面を有する回転可能な走
   査素子とを備えているプリンタ乙こおいて、支持部と、
   該支持部上にあって自由、５ｊ：ｊか支持部に対し離れ
   て片持ちばりのように突き出ている細長い可撓フィンガ
   ーとから成り、該フィンガーの外側表面が反射材料より
   成っていて、前記反射材料と前記支持部とＧこ電圧が加
   えられると前記フィンガーの自由端がたわむようになっ
   ており、前記走査素子の鏡面に前記ビーＪ、か当たる点
   をほぼ一定に細長するよう前記ビームを追跡する鏡面追
   跡装置と；前記ビーＪ、を変位させ、前記ビームが前記
   走査素子の鏡面に当る点をほぼ一定に維持するように、
   各連続する走査素子の鏡面の動きに同期して前記フィン
   ガーの自由端をたわませる前記電圧を制御する手段と；
   を備え、前記鏡面追跡装置は、前記フィンガーの反射材
   料が前記ビームを前記回転可能な走査素子の鏡面に向け
   て反射するように前記フィンガーの外側表面が前記Ｌ−
   ムの通路内にあるように配置さねていることを特徴とす
   るプリンタ。 ２、前記制御手段は、次の走査の前に前記フィンガーの
   自由端が非たわ力位置に戻ることができるよ・う、走査
   と走査の間、前記電圧を除く手段を有していることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載のプリンタ。 ３、前記制御手段は、前記フィンガーの自由端の曲がり
   を次第に増すため前記電圧を次第に増すことを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載のプリンタ。 ４、　前記制御手段は、次の走査の前に前記フィンガー
   の自由端が非たわみ位置に戻ることができるよう、走査
   と走査の間は前記電圧を除く手段を有していることを特
   徴とする特許請求の範囲第３項記載のプリンタ。 ５、回転している走査素子の鏡面にビームが当たる点を
   ほぼ一定に維持するよう高い放射強度のビームを追跡さ
   せるために使う鏡面追跡装置において、支持部と、前記
   支持部上にあって、前記支持部に近づく方向及び離れる
   方向に曲がることが可能な可撓フィンガー状の突起から
   成り、前記フィンガー状の突起の外側表面は走査素子の
   上流のビームの通路内の鏡面追跡装置の配置に基づき走
   査素子の鏡面に向けてビームを反射する反射材料を有し
   ており、前記フィンガー状の突起は加えられた曲げ用電
   圧に応じて曲がるようになっていて前記フィンガー状の
   突起に制御された曲げ用電圧を加えることによって、反
   射したビームが走査素子の鏡面に当たる点を制御し、ビ
   ームを追跡して、走査素子の鏡面にビームが当る点をほ
   ぼ一定に維持することができることを特徴とする鏡面追
   跡装置。 ６、　前記反射材料は導電性被膜でできており、前記支
   持部は比較的導電性の悪い材料でできていて、両者に電
   圧を加えると、静電気力が生じて、前記フィンガー状の
   突起を曲げることを特徴とする特許請求の範囲第５項記
   載の鏡面追跡装置。 ７、　回転している走査素子の鏡面にビームが当る点を
   ほぼ一定に維持する高い放射強度のビームを追跡させる
   ために使う鏡面追跡装置において、凹部を持つほぼ直方
   体の支持部と、前記凹部の上方にあってビームを反射す
   るため突き出ている細長い可撓反射部材とから成ってお
   り、前記凹部は電圧が加えられたとき前記反射部材を曲
   げて反射部材に、制御された電圧を加えることによって
   、走査素子の鏡面にビームが当たる点を、鏡面の動きに
   合わせて変位させてビームを追跡し、走査素子の鏡面上
   のほぼ一定の地点に維持できることを特徴とする鏡面追
   跡装置。