JPS6066514A - 圧電装置 - Google Patents
圧電装置Info
- Publication number
- JPS6066514A JPS6066514A JP17560483A JP17560483A JPS6066514A JP S6066514 A JPS6066514 A JP S6066514A JP 17560483 A JP17560483 A JP 17560483A JP 17560483 A JP17560483 A JP 17560483A JP S6066514 A JPS6066514 A JP S6066514A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- electrode
- electrode group
- ceramic
- ceramic layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 54
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 8
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000003734 kidney Anatomy 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
- H03H9/562—Monolithic crystal filters comprising a ceramic piezoelectric layer
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の分野
この発明は、圧電セラミクス中に、相互に逆方向に変位
する部分を表面と平行な方向にかつ交互に連続するよう
に配置でることにより、しラミクス層の表面と平行な方
向にバルク波を発生させる構造を有する、圧電装置に関
づる。
する部分を表面と平行な方向にかつ交互に連続するよう
に配置でることにより、しラミクス層の表面と平行な方
向にバルク波を発生させる構造を有する、圧電装置に関
づる。
従来技術の説明
圧電共振子、圧電フィルタおよび遅延線などの圧電装置
にあつ゛（は、数Ｍ Ｈｚ以上の＾い周波数ｆｒＩ域で
使用するために、厚み縦振動が利用され−（いる。従来
、高い周波数領域での振動を１ｒ？るために、圧電セラ
ミクス内に複数の相互に中なり合う電極を配置した構造
が提案されている。相Ｈ１，：小なり合う電極方向に振
動を発生させるものむ−ある。
にあつ゛（は、数Ｍ Ｈｚ以上の＾い周波数ｆｒＩ域で
使用するために、厚み縦振動が利用され−（いる。従来
、高い周波数領域での振動を１ｒ？るために、圧電セラ
ミクス内に複数の相互に中なり合う電極を配置した構造
が提案されている。相Ｈ１，：小なり合う電極方向に振
動を発生させるものむ−ある。
しかしながら、各電極を並列接続づるものにあっては、
より高い周波数の振動を待るために電極間隔を小さくし
、圧電セラミクス層を簿クツるどインピーダンスが指数
関数的に低下し、他の回路どのインピーダンス整合が困
雑に４するという問題があった。また、従来より提案さ
れている種々の高周波用圧電装置では、振動の中心周波
数を変更あるいは調整したい場合には、重なり合った電
極間のセラミクス層の厚みを変更しなければならないこ
となどの極めて煩雑な作業を実施しなければならなかっ
た。したがって、中心周波数の変更に伴ない、圧電装置
の厚みまで変更せざるを得ない場合もあり、小形化がＨ
しいという問題があった。
より高い周波数の振動を待るために電極間隔を小さくし
、圧電セラミクス層を簿クツるどインピーダンスが指数
関数的に低下し、他の回路どのインピーダンス整合が困
雑に４するという問題があった。また、従来より提案さ
れている種々の高周波用圧電装置では、振動の中心周波
数を変更あるいは調整したい場合には、重なり合った電
極間のセラミクス層の厚みを変更しなければならないこ
となどの極めて煩雑な作業を実施しなければならなかっ
た。したがって、中心周波数の変更に伴ない、圧電装置
の厚みまで変更せざるを得ない場合もあり、小形化がＨ
しいという問題があった。
発明の目的および構成
それゆえに、この発明の目的は、振動の中心周波数を簡
）１１に変更することができ、かつ高次モードの振動を
利用する場合であってもインピーダンス低下の小さな圧
電装置を提供することにある。
）１１に変更することができ、かつ高次モードの振動を
利用する場合であってもインピーダンス低下の小さな圧
電装置を提供することにある。
この発明は、要約づれば、複数のＷ１極からなる電極群
が両面に形成されており、かつ全体が同一方向に分極さ
れたセラミクス層を備え、各電極群の電極は、セラミク
ス層の表面上で所定距離を隔てて分散配置されてＪ３す
、かつ一方の電極群の電極は方の電極群の２個の電極に
重なるように配置されてｄ３す、一方の電極群の一方端
部に位置する電極と、他方の電極群の他方端部に位同ブ
る電ｔ〜とが外部に引出されている、圧電装置である。
が両面に形成されており、かつ全体が同一方向に分極さ
れたセラミクス層を備え、各電極群の電極は、セラミク
ス層の表面上で所定距離を隔てて分散配置されてＪ３す
、かつ一方の電極群の電極は方の電極群の２個の電極に
重なるように配置されてｄ３す、一方の電極群の一方端
部に位置する電極と、他方の電極群の他方端部に位同ブ
る電ｔ〜とが外部に引出されている、圧電装置である。
？１なわち、この発明の圧電装置は、ＪＩＥ電セラミク
ス中に、相互に逆方向に変位する部メ）を入面ど平行に
かつ交互に連続づるように形成づるこｌ−にＪ、す、圧
電セラミクスの表面と平行な方向にハルント［２発すさ
せるものである。
ス中に、相互に逆方向に変位する部メ）を入面ど平行に
かつ交互に連続づるように形成づるこｌ−にＪ、す、圧
電セラミクスの表面と平行な方向にハルント［２発すさ
せるものである。
セラミクス層は、複数個稍胸されていてもよく、その場
合には積層されたセラミクス層間に位置づるＴ４電極は
、該電極群を挾む両セラミクス層Ｃ共用されることにな
ろうまた隣接覆るセラミクス層は、相互に逆方向に分極
処理される。
合には積層されたセラミクス層間に位置づるＴ４電極は
、該電極群を挾む両セラミクス層Ｃ共用されることにな
ろうまた隣接覆るセラミクス層は、相互に逆方向に分極
処理される。
この発明のその他の特徴（コ１、Ｌスー［の実ｆ斤１例
の説明により明らかどなろう。
の説明により明らかどなろう。
実施例の説明
第１図は、この発明の一実施例のＤ？、理を説明りるた
めの略図的側面図てｉめる。ごこて（Ｊ、４囮のセラミ
クス層１，２，３．＝４が積層されＣいる。
めの略図的側面図てｉめる。ごこて（Ｊ、４囮のセラミ
クス層１，２，３．＝４が積層されＣいる。
各セラミクスＩ？５１．２，３．４の両１１１１には、
少数の電ｔｉｉ’ｌａ・・−ｉ １ｄ 、１２ａ＝１２
６．１３ａ・ １３ｄ 、１４ａ−１４ｄ 、１５ａ
−Ａ ５ｄからなる７１捗群１１，１２．１３，１４．
１５が形成されている。セラミクス層で挾まれる位置に
ある７ｆ極群１２，１３．１４は、それぞれの電極群を
挾むセラミクス層で共用されている。したがって、各セ
ラミクスＦｉ１，２．３．４から見れば、その両面にそ
れぞれ電極群が形成されていることになる。また、各は
ラミクスＮ１，２．３．４は、第１図に矢印で示ずよう
に相互に逆方向に分極されている。 ・ 各セラミクスｌ？！１，２，３．４における両面の電８
ｉ群の位置開鎖は同様であるため、図面上置も上側に位
置ツるセラミクスＨ１を取出して説明する。しラミクス
Ｉｉ’！１の両面には電極群１１．１２が形成されてい
る。、電１ｆｆｉ８￥１１．１２の電ｔｉｉ１１ａ・・
・１１ｄ、１２ａ・・・＋２６は、ぜラミクス層１の面
上で所定距離を隔てて分数配置されている。
少数の電ｔｉｉ’ｌａ・・−ｉ １ｄ 、１２ａ＝１２
６．１３ａ・ １３ｄ 、１４ａ−１４ｄ 、１５ａ
−Ａ ５ｄからなる７１捗群１１，１２．１３，１４．
１５が形成されている。セラミクス層で挾まれる位置に
ある７ｆ極群１２，１３．１４は、それぞれの電極群を
挾むセラミクス層で共用されている。したがって、各セ
ラミクスＦｉ１，２．３．４から見れば、その両面にそ
れぞれ電極群が形成されていることになる。また、各は
ラミクスＮ１，２．３．４は、第１図に矢印で示ずよう
に相互に逆方向に分極されている。 ・ 各セラミクスｌ？！１，２，３．４における両面の電８
ｉ群の位置開鎖は同様であるため、図面上置も上側に位
置ツるセラミクスＨ１を取出して説明する。しラミクス
Ｉｉ’！１の両面には電極群１１．１２が形成されてい
る。、電１ｆｆｉ８￥１１．１２の電ｔｉｉ１１ａ・・
・１１ｄ、１２ａ・・・＋２６は、ぜラミクス層１の面
上で所定距離を隔てて分数配置されている。
さらに、第１図から明らかなＪ：うに、一方の電ｔＭ群
１１の電（へ１１ａ・・・１１ｄと、他方の電橢釘１２
の電極１２ａ・・・１２ｄは、相互にずらされた状態で
配置されている。δい換えれば、電４？ｉ１群゛１１の
電極１１ａ・・・１１ｄの１個は、電極群１２の２個の
電極に重なるようにｔ！ｉ！置され−〔いる。
１１の電（へ１１ａ・・・１１ｄと、他方の電橢釘１２
の電極１２ａ・・・１２ｄは、相互にずらされた状態で
配置されている。δい換えれば、電４？ｉ１群゛１１の
電極１１ａ・・・１１ｄの１個は、電極群１２の２個の
電極に重なるようにｔ！ｉ！置され−〔いる。
今、第１図に示すように、一方の電（灸ｎＩ” ｌ １
の一方端部に位置する電極゛１１ａど、他方の電Ｉｆｉ
群１２の他７ｊ端部ニ位Ｆ’ｌ ’ｌルｍ極′１２ｄｅ
外？＋ＩＩ ニ引出し、図示のように電圧を印加する。
の一方端部に位置する電極゛１１ａど、他方の電Ｉｆｉ
群１２の他７ｊ端部ニ位Ｆ’ｌ ’ｌルｍ極′１２ｄｅ
外？＋ＩＩ ニ引出し、図示のように電圧を印加する。
この電圧の印加により、セラミクス層１は、第１図に「
の」および「ち」で示すように伸びおよび縮むことにな
る。電流は、電極′１２ｄから、電極１１ｄ、＋２ｃ、
１１ｃ、１２ｂ、Ｉｉｂ、１２ａを１１１７、電ｔｉ
１１ ａに流れるからである。したがって、セラミクス
層１では、図面上横方向に相互に逆方向に変位する部分
が交互に設けられていることになる。このような変位に
基づき、第１図に６３いてセラミクス層１の上方に示す
ような振動が発生される。なお、第１図に示すように？
１Ｋｉ１３ａ、’１５ａを電極１１ａと共通に引出し、
−他方？Ｉｉ極１／ｌｄを７１極１２ｄと共通に引出し
電圧を印加すれば、セラミクス層２．３．４も同様に振
動することが理解されるであろう。すなわち、上述のよ
うに各電極群１２・・・１５が配置されているため、セ
ラミクス層の積層だζを増加さｕ Ｔも、積層されたセ
ラミクスｆｆ１１，２，３．４の〃み方向に関し対応覆
る部分は同一方向に変位づる。したがって、セラミクス
層の積層数にかかわらず、セラミクス層の表面と平行な
方向にバルク波が発生ずることがわかる。
の」および「ち」で示すように伸びおよび縮むことにな
る。電流は、電極′１２ｄから、電極１１ｄ、＋２ｃ、
１１ｃ、１２ｂ、Ｉｉｂ、１２ａを１１１７、電ｔｉ
１１ ａに流れるからである。したがって、セラミクス
層１では、図面上横方向に相互に逆方向に変位する部分
が交互に設けられていることになる。このような変位に
基づき、第１図に６３いてセラミクス層１の上方に示す
ような振動が発生される。なお、第１図に示すように？
１Ｋｉ１３ａ、’１５ａを電極１１ａと共通に引出し、
−他方？Ｉｉ極１／ｌｄを７１極１２ｄと共通に引出し
電圧を印加すれば、セラミクス層２．３．４も同様に振
動することが理解されるであろう。すなわち、上述のよ
うに各電極群１２・・・１５が配置されているため、セ
ラミクス層の積層だζを増加さｕ Ｔも、積層されたセ
ラミクスｆｆ１１，２，３．４の〃み方向に関し対応覆
る部分は同一方向に変位づる。したがって、セラミクス
層の積層数にかかわらず、セラミクス層の表面と平行な
方向にバルク波が発生ずることがわかる。
なＪ３、この発明では発生Ｊるバルク波の周波数は、セ
ラミクス１ｍ１．２．３．４の厚みあるいはｆｉ！ｉ層
数ぐ決定されるものではない。振動は、上述のように各
セラミクス層１，２．３．４中に相互に逆方向に変）Ｃ
ｌする部分がセラミクス層の表面と平行な方向に交互に
設けられているために発生づるものである。したがって
、バルク波の波長は、第１図に示した破線Ｘ−Ｘ間の距
離で決まることになる。すなわちバルク波の波長をλと
すれば、λ／２が破線Ｘ−Ｘ間のｖ［岨と一致する。そ
れゆえに、この破線ｘ−ｘ間の距離を変更づることによ
り、発生するバルク波の波長を極めて容易に変ミクス暦
１．２．３．４の厚みｄ）よσ偵響Ｚ々（よ発生ずるバ
ルク波の波長に影９！Ｉ’するもの−（はく・い。
ラミクス１ｍ１．２．３．４の厚みあるいはｆｉ！ｉ層
数ぐ決定されるものではない。振動は、上述のように各
セラミクス層１，２．３．４中に相互に逆方向に変）Ｃ
ｌする部分がセラミクス層の表面と平行な方向に交互に
設けられているために発生づるものである。したがって
、バルク波の波長は、第１図に示した破線Ｘ−Ｘ間の距
離で決まることになる。すなわちバルク波の波長をλと
すれば、λ／２が破線Ｘ−Ｘ間のｖ［岨と一致する。そ
れゆえに、この破線ｘ−ｘ間の距離を変更づることによ
り、発生するバルク波の波長を極めて容易に変ミクス暦
１．２．３．４の厚みｄ）よσ偵響Ｚ々（よ発生ずるバ
ルク波の波長に影９！Ｉ’するもの−（はく・い。
しかしな２Ｊ’ ラ、＆Ｗ４ｒｉｌｆｆ’７１ 、’ｉ
、”、、’Ｉ ）、１’＋１５のｍなり合っ（いる＆
腎ｉｆｉは容■を発生ηるので１セラミクス廚の積層数
を増加さｕれば全１６−の６酊は小さくなり、インピー
タンスがＩｕ １Ｊｉｌ ’！ｌることになる。それゆ
えに、この発明ｅは、（ｉＦＰｉ数を変化させることに
より、インピータンスの調整も行ない得ることか理解８
４′ＬるでＪ〕ろう、。
、”、、’Ｉ ）、１’＋１５のｍなり合っ（いる＆
腎ｉｆｉは容■を発生ηるので１セラミクス廚の積層数
を増加さｕれば全１６−の６酊は小さくなり、インピー
タンスがＩｕ １Ｊｉｌ ’！ｌることになる。それゆ
えに、この発明ｅは、（ｉＦＰｉ数を変化させることに
より、インピータンスの調整も行ない得ることか理解８
４′ＬるでＪ〕ろう、。
次に、第１図に示した実施例のＪｌｌ休的体−りにつき
説明する。第１図に示した実ｊ４１；例を得るにＬ（、
まイ躬２図８３ Ｊ：び第３回にか、すＪ、うなセラミ
ニ・、）層１，２を準ｔ１ｖυる。第２図が１５明りが
なＪ、う（−、セラミクス層′１の土面には複数の電極
１１ａ・・・′１１ｄか形１戊σれている。この電極１
１ａ・す１１ｄが、圭）止したＷ ｌｘ ｉｔ １ ’
ｉ ’Ｓ・４Ｍ ｆ（’４． ’ｊ Ｚ＋ ｉｌ トｌ
二’、ｊ−６゜電極ｉ１ａ・・・ｌｉｄの一部は、セラ
ミクス層ス中の一方Ｏ）長辺１８にり１出されてぃζ）
。同４１１！に、廿ラミ’／ ス１９２０）上ｎにもｍ
４４！１２ ｒ＋ ・−１２ｄが形成されている。電
極１２ａ・・・１２ｄは上述した電極８７１２を構成す
るもので必る。電極１２ａ・・・１２ｄもまたセラミク
ス層２の一方の長辺２ｂに引出されている。
説明する。第１図に示した実ｊ４１；例を得るにＬ（、
まイ躬２図８３ Ｊ：び第３回にか、すＪ、うなセラミ
ニ・、）層１，２を準ｔ１ｖυる。第２図が１５明りが
なＪ、う（−、セラミクス層′１の土面には複数の電極
１１ａ・・・′１１ｄか形１戊σれている。この電極１
１ａ・す１１ｄが、圭）止したＷ ｌｘ ｉｔ １ ’
ｉ ’Ｓ・４Ｍ ｆ（’４． ’ｊ Ｚ＋ ｉｌ トｌ
二’、ｊ−６゜電極ｉ１ａ・・・ｌｉｄの一部は、セラ
ミクス層ス中の一方Ｏ）長辺１８にり１出されてぃζ）
。同４１１！に、廿ラミ’／ ス１９２０）上ｎにもｍ
４４！１２ ｒ＋ ・−１２ｄが形成されている。電
極１２ａ・・・１２ｄは上述した電極８７１２を構成す
るもので必る。電極１２ａ・・・１２ｄもまたセラミク
ス層２の一方の長辺２ｂに引出されている。
第１図から明らかなように、電極群１３おＪ：び１５は
、ｍ１Ｕｒ！１’ １１ ）：：同一に、また′Ｆｉ極
群１４は電極群１２ど同一に構成されている。したがっ
て、第２図おにび第３図に示したセラミクス［１，２を
交互に５層重ねることにより第′１図に示したような溝
造を得ることができる。これを第４図に斜視図で示す。
、ｍ１Ｕｒ！１’ １１ ）：：同一に、また′Ｆｉ極
群１４は電極群１２ど同一に構成されている。したがっ
て、第２図おにび第３図に示したセラミクス［１，２を
交互に５層重ねることにより第′１図に示したような溝
造を得ることができる。これを第４図に斜視図で示す。
次に、第４図から明らかなように、ｖ４層された椙造体
の長辺側側面に分極用型ｔＭ２１ａ、２１ｂを形成づる
。分極用電極２１ａ、２１ｂはそれぞれ、各電極群１１
・・・１５を偶成づる電極がセラミクス層１．２の長辺
側に引出された部分に形成される。分極用型ｔｒｔ ２
１ ａと２１ｂとの間に電圧を印加ツれば、各セラミク
ス薯を第１図に矢印で示したような分極方向に分極させ
ることができる。
の長辺側側面に分極用型ｔＭ２１ａ、２１ｂを形成づる
。分極用電極２１ａ、２１ｂはそれぞれ、各電極群１１
・・・１５を偶成づる電極がセラミクス層１．２の長辺
側に引出された部分に形成される。分極用型ｔｒｔ ２
１ ａと２１ｂとの間に電圧を印加ツれば、各セラミク
ス薯を第１図に矢印で示したような分極方向に分極させ
ることができる。
次に、分極用電極２１８．２１ｂを切断あるいは研磨に
より削除し、第４図に示したＩＭ Ｆｔ体の短辺側側ｔ
ｉｉ２２．２３に外部電植２４．，２５を形成する。、
電極パターンは第２ ｆ’ｌ ｄ３よび第３図に示し！
、：Ｊ、うに構成されているため、外部１’１ｆｆＩＩ
２４は、１ｇ４’ｆ＋Ｈ１−ｌ 、 １３．１５のＮ
ｔ’Ｘ＋’の１ｔ４１１ａ、１３ａ、’１５ａとＪｎ
ｋされ、他方外ｔ′ＸＩＴｘＷ２５は電極群１２．’
＋４の端部に位［づろ電極１２ｄ、＋４ｄに接続される
。し１ζがって外部電仲２４，２５より電圧をｃｐ ｈ
ｎすれば、第１図に「のｊ６よび「ち」で示１’ Ｊ：
うな変位が得られる。
より削除し、第４図に示したＩＭ Ｆｔ体の短辺側側ｔ
ｉｉ２２．２３に外部電植２４．，２５を形成する。、
電極パターンは第２ ｆ’ｌ ｄ３よび第３図に示し！
、：Ｊ、うに構成されているため、外部１’１ｆｆＩＩ
２４は、１ｇ４’ｆ＋Ｈ１−ｌ 、 １３．１５のＮ
ｔ’Ｘ＋’の１ｔ４１１ａ、１３ａ、’１５ａとＪｎ
ｋされ、他方外ｔ′ＸＩＴｘＷ２５は電極群１２．’
＋４の端部に位［づろ電極１２ｄ、＋４ｄに接続される
。し１ζがって外部電仲２４，２５より電圧をｃｐ ｈ
ｎすれば、第１図に「のｊ６よび「ち」で示１’ Ｊ：
うな変位が得られる。
以上のようにして、この発明の一実ｆ布例とし−（の圧
電共振子を得ることができる。Ｊ−述したように、この
共振子で発生される振動の波長は、第１図の？１１１ｍ
Ｘ−Ｘ間の距離にＪ、り変わるため、この実施例を製造
するのに用いた第２図Ａ３ Ｊ、び１００図に示したセ
ラミクス層１，２土の電１〜パターンを変えることによ
り、波長を湊め′Ｃ簡甲に変えることが可能となる。
電共振子を得ることができる。Ｊ−述したように、この
共振子で発生される振動の波長は、第１図の？１１１ｍ
Ｘ−Ｘ間の距離にＪ、り変わるため、この実施例を製造
するのに用いた第２図Ａ３ Ｊ、び１００図に示したセ
ラミクス層１，２土の電１〜パターンを変えることによ
り、波長を湊め′Ｃ簡甲に変えることが可能となる。
上述のようにして得られた圧電共振子の特性を第７図に
示す。第７図から明らかなように、インピーダンスの高
い共振子が実現されている。
示す。第７図から明らかなように、インピーダンスの高
い共振子が実現されている。
上述した実施例は、圧電共振子につい（のものであった
が、この発明はこれに限られるものではない。づなわら
、たとえば第６図に示づように積層セラミクス３１の両
端部分に電極群１．１．１２゜１３．１４．１５を形成
すれば、−力を入力側、他方を出力側としてフィルタを
椙成づることもできる。このとき、発生される振動はセ
ラミクスの表面に平行に伝播づるため、振動の方向が変
換されることがなく、したがって高能率のフィルタとす
ることもできる。、さらに、入）ｊ側および出力側のＴ
ｉ極群間の距Ｉ′ｌｌ＃を増大させることにより、遅延
線どして用いる口ども可能である。
が、この発明はこれに限られるものではない。づなわら
、たとえば第６図に示づように積層セラミクス３１の両
端部分に電極群１．１．１２゜１３．１４．１５を形成
すれば、−力を入力側、他方を出力側としてフィルタを
椙成づることもできる。このとき、発生される振動はセ
ラミクスの表面に平行に伝播づるため、振動の方向が変
換されることがなく、したがって高能率のフィルタとす
ることもできる。、さらに、入）ｊ側および出力側のＴ
ｉ極群間の距Ｉ′ｌｌ＃を増大させることにより、遅延
線どして用いる口ども可能である。
また、上述した第１図ないし第５図を参照して説明した
実施例では、複数のセラミクス層が積層されて信バセさ
れ（いたが、この発明は１層のセラミクス層の両面に電
ＶＦＡＩｌｌＹを形成したものであってもよいことを指
摘しておく。
実施例では、複数のセラミクス層が積層されて信バセさ
れ（いたが、この発明は１層のセラミクス層の両面に電
ＶＦＡＩｌｌＹを形成したものであってもよいことを指
摘しておく。
発明の効果
以上のように、この発明にＪ：れば、複ｔ−（の′ｔｒ
ｉ＜？ｉ＝からなる電ＷｚＹｆか両面に形成されており
、かつ全体が同一方向に分相された１？ラミ／７ス府を
備え、前記８電槽ｆｌＹ （１）電極（Ａ、セラミクス
層１の表面」−Ｃ所定間ド５を円てて分散配＠８れｊＪ
、：、’？ Ｉ）、かつ−プｉの？ｖ４々ＭＹの電々
や【」他方の電恢群の２個の冒（１５に貢なるよ゛うに
配置さねており、一方の７３極Ｃ）の−ノ）端部に（イ
装置づる電１ψと、他方の電極群の＋ｌ！！、方々ＪＩ
部に位閘する電極とが外部に引出され（いるＩｆｉＪ
ｉじをｈづるｌ、：め、相互に逆方向に変位ダる部分が
ヒラミクス層の表面に平行に交亙に配列さ（するごどに
なり、したがってセラミクス層の表面に平１テな方向に
伝播する１に勤を発生し同るＩｔ＋ｒｉ貼四を得ること
ができる。よって、発生する振動の中心周波ｔｔを電極
構造の変更ににす、（ｔめて容易に変更あるいは調整づ
ることができ、か゛つセラミクスの積層数を増大さゼる
ことにＪ：リインピータンス台’ ＋Ｆ−Ａ （づるこ
とも容易になし１１！７る。
ｉ＜？ｉ＝からなる電ＷｚＹｆか両面に形成されており
、かつ全体が同一方向に分相された１？ラミ／７ス府を
備え、前記８電槽ｆｌＹ （１）電極（Ａ、セラミクス
層１の表面」−Ｃ所定間ド５を円てて分散配＠８れｊＪ
、：、’？ Ｉ）、かつ−プｉの？ｖ４々ＭＹの電々
や【」他方の電恢群の２個の冒（１５に貢なるよ゛うに
配置さねており、一方の７３極Ｃ）の−ノ）端部に（イ
装置づる電１ψと、他方の電極群の＋ｌ！！、方々ＪＩ
部に位閘する電極とが外部に引出され（いるＩｆｉＪ
ｉじをｈづるｌ、：め、相互に逆方向に変位ダる部分が
ヒラミクス層の表面に平行に交亙に配列さ（するごどに
なり、したがってセラミクス層の表面に平１テな方向に
伝播する１に勤を発生し同るＩｔ＋ｒｉ貼四を得ること
ができる。よって、発生する振動の中心周波ｔｔを電極
構造の変更ににす、（ｔめて容易に変更あるいは調整づ
ることができ、か゛つセラミクスの積層数を増大さゼる
ことにＪ：リインピータンス台’ ＋Ｆ−Ａ （づるこ
とも容易になし１１！７る。
第１図は、この発明の一実施例の阿１理を置ＩＬ１４づ
るための略図的側面図てＣりる。第２しｌおよＵメｉ’
＋ ３図は、第１図に示した実施四を９成するためのセ
ラミクス層８３ Ｊ：び電極Ｉ！Ｙを４δ成する電極パ
ターンを示り−・Ｖ面図である。第４１ｉ！ｌは、第２
図および第３図に示したソートを用いて形成した積層構
造体を示す略図的側面図Ｃある。第５図は、第４図に示
した構造体に外部電極を取付け−Ｃ１ｑられたこの発明
の一実施例を承り斜視図である。第６図は、この発明の
他の実施例としての圧電フィルタを示づ略図的側面図で
ある。第７図は、第１図ないし第５図を１セ、照して説
明した実施例のインピーダンス−周波敵性↑１を示づ図
である。 １．２．３．／ｌ・・・セラミクス層、１１，１２゜１
３、’＋ ４ 、’＋ ５ ＝−７Ｆ、析１１’、１１
ａ・１１ｄ 、 １２ａ−１２ｄ 、１３ａ−１３ｄ
、１４ａ−Ａｄｄ 。 １５ａ・・・１５ｃｌ・・・電↑η。 名４図 第６図 篤７０ ８−／反数−（ＭＬｉｚ）
るための略図的側面図てＣりる。第２しｌおよＵメｉ’
＋ ３図は、第１図に示した実施四を９成するためのセ
ラミクス層８３ Ｊ：び電極Ｉ！Ｙを４δ成する電極パ
ターンを示り−・Ｖ面図である。第４１ｉ！ｌは、第２
図および第３図に示したソートを用いて形成した積層構
造体を示す略図的側面図Ｃある。第５図は、第４図に示
した構造体に外部電極を取付け−Ｃ１ｑられたこの発明
の一実施例を承り斜視図である。第６図は、この発明の
他の実施例としての圧電フィルタを示づ略図的側面図で
ある。第７図は、第１図ないし第５図を１セ、照して説
明した実施例のインピーダンス−周波敵性↑１を示づ図
である。 １．２．３．／ｌ・・・セラミクス層、１１，１２゜１
３、’＋ ４ 、’＋ ５ ＝−７Ｆ、析１１’、１１
ａ・１１ｄ 、 １２ａ−１２ｄ 、１３ａ−１３ｄ
、１４ａ−Ａｄｄ 。 １５ａ・・・１５ｃｌ・・・電↑η。 名４図 第６図 篤７０ ８−／反数−（ＭＬｉｚ）
Claims (2)
- （１） 複数の電極からなる電極群が両面に形成されて
おり、かつ全体が同一方向に分極されたセラミクス層を
備え、 前記各電極群の電極は、セラミクス層の表面上で所定間
隔を隔てて分散配置されており、かつ一方の電極群の電
極は他方の電極群の２個の電極に重なるように配置され
ており、 一方の電極群の一方端部に位＠づる電極と、他方のＴｉ
極ｌ！Ｔの他方端部に位首するＷｉｔｔとが外部に引き
出されている、圧ＮＰｉ置。 - （２） 前記セラミクス層は複数個積層されており、前
記積層されたセラミクス層間では電極群は該電極群を挾
むセラミクス層で共用されており、かつ隣接するセラミ
クス層が相互に逆方向に分極処理されている、特許請求
の範囲第１項記載の圧電装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17560483A JPS6066514A (ja) | 1983-09-21 | 1983-09-21 | 圧電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17560483A JPS6066514A (ja) | 1983-09-21 | 1983-09-21 | 圧電装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6066514A true JPS6066514A (ja) | 1985-04-16 |
| JPH0374850B2 JPH0374850B2 (ja) | 1991-11-28 |
Family
ID=15998994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17560483A Granted JPS6066514A (ja) | 1983-09-21 | 1983-09-21 | 圧電装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6066514A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5394123A (en) * | 1991-03-13 | 1995-02-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ladder type filter comprised of stacked tuning fork type resonators |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5518189A (en) * | 1978-07-27 | 1980-02-08 | Nec Corp | Ceramic filter and its manufacture |
| JPS5885613A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-23 | Nec Corp | モノリシツク圧電磁器フイルタ |
-
1983
- 1983-09-21 JP JP17560483A patent/JPS6066514A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5518189A (en) * | 1978-07-27 | 1980-02-08 | Nec Corp | Ceramic filter and its manufacture |
| JPS5885613A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-23 | Nec Corp | モノリシツク圧電磁器フイルタ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5394123A (en) * | 1991-03-13 | 1995-02-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ladder type filter comprised of stacked tuning fork type resonators |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0374850B2 (ja) | 1991-11-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5942958A (en) | Symmetrical piezoelectric resonator filter | |
| JP2002217676A (ja) | 圧電フィルタ | |
| DE112005002645T5 (de) | Komplexer Resonanzkreis und Schwingkreis, der denselben Verwendet | |
| JP2017526202A (ja) | フィルタチップおよびフィルタチップを製造するための方法 | |
| US3490056A (en) | Electromechanical resonator for integrated circuits | |
| JP3838024B2 (ja) | 縦結合型マルチモード圧電フィルタ | |
| US7548139B2 (en) | Coupled resonator filter and fabrication method thereof | |
| JP2017034667A (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
| US3697788A (en) | Piezoelectric resonating device | |
| JPS6066514A (ja) | 圧電装置 | |
| JPS5923908A (ja) | 圧電素子 | |
| JP2009290372A (ja) | Ｂａｗフィルタ | |
| JPH11112260A (ja) | 圧電共振子の製造方法 | |
| US2240306A (en) | Electromechanical filter | |
| US2281778A (en) | Piezoelectric crystal apparatus | |
| JPH0567943A (ja) | 圧電共振子 | |
| US2270906A (en) | Piezoelectric crystal apparatus | |
| US3486136A (en) | Mechanical vibrator with electrostrictive excitation | |
| US2169301A (en) | Wave filter | |
| US3378794A (en) | Electromechanical transducer and filter | |
| EP2237416A1 (en) | Device comprising an electroacoustic balun | |
| JP2001308682A (ja) | 水晶フィルタ | |
| JPS5885614A (ja) | モノリシツクセラミツクフイルタ | |
| JPH03128501A (ja) | 低域通過フィルタ | |
| JP2002314160A (ja) | 積層型圧電トランス |