JPS6065706A - 非晶質酸化物の製造方法 - Google Patents
非晶質酸化物の製造方法Info
- Publication number
- JPS6065706A JPS6065706A JP17218983A JP17218983A JPS6065706A JP S6065706 A JPS6065706 A JP S6065706A JP 17218983 A JP17218983 A JP 17218983A JP 17218983 A JP17218983 A JP 17218983A JP S6065706 A JPS6065706 A JP S6065706A
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- Japan
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- oxide
- amorphous oxide
- amorphous
- niobate
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- Pending
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明″は、圧電素子、焦電素子、電気光字素などの素
子材料に用いられる誘電体等の酸化物単結晶の製造に用
いられる非晶質酸化物の製造方法に関する。
子材料に用いられる誘電体等の酸化物単結晶の製造に用
いられる非晶質酸化物の製造方法に関する。
一般に薄板の誘電体酸化物単結晶は５弾性表面波ディバ
イスや超音波トランスデー−サなどの比電素子、赤外線
センサ、パイロビジコンなどの焦電素子あるいは、光変
調器や光導波路などの電気光学素子として広く使用され
ている。
イスや超音波トランスデー−サなどの比電素子、赤外線
センサ、パイロビジコンなどの焦電素子あるいは、光変
調器や光導波路などの電気光学素子として広く使用され
ている。
従来、このような薄板の誘電体酸化物単結晶け５チョク
ラルスキー法やプリラマン法などによって育成された大
型単結晶をスライシングや研摩などの加工工程を経て実
用に供されてきた。しかしながら、一般にクラックや欠
陥の少ない大型単結晶はチョクラルスキー法やブリラマ
ン法などによって得ることは離しく、また必要とする単
結晶の厚さが薄くなるほど加工による損失が大きく歩留
シが悪くなる。
ラルスキー法やプリラマン法などによって育成された大
型単結晶をスライシングや研摩などの加工工程を経て実
用に供されてきた。しかしながら、一般にクラックや欠
陥の少ない大型単結晶はチョクラルスキー法やブリラマ
ン法などによって得ることは離しく、また必要とする単
結晶の厚さが薄くなるほど加工による損失が大きく歩留
シが悪くなる。
コツタめ液相エピタキシャル法（ＬｇＰ法）。
気相エピタキシャル法（ｖｇｐ法）により、薄板単結晶
を作製する方法も従来試みられている。しかしながらこ
れらの方法でも組成の均一なもの力；得に＜＜、量産性
や大面積化が劣る上、多成分系の単結晶の成長が極めて
難しいなどの欠点がある。
を作製する方法も従来試みられている。しかしながらこ
れらの方法でも組成の均一なもの力；得に＜＜、量産性
や大面積化が劣る上、多成分系の単結晶の成長が極めて
難しいなどの欠点がある。
そこで双ロール法、単ロール法などの液体急冷法、蒸着
法、スパッタリング法などによって一旦薄板非晶質酸化
物を形成した後、再結晶化することにより薄板酸化物単
結晶を得る方法が試みられている。しかしながら上記の
ような従来の液体急冷法では、十分な冷却速度が得られ
ず、薄板非晶質酸化物の中に部分的に結晶質が含まれた
り、大面積の薄板非晶質酸化物が形成されにくいという
問題がある。また、スパッタリング法、蒸着法では１組
成の均一な薄板非晶質酸化物を形成することが難しいと
いう欠点があった。
法、スパッタリング法などによって一旦薄板非晶質酸化
物を形成した後、再結晶化することにより薄板酸化物単
結晶を得る方法が試みられている。しかしながら上記の
ような従来の液体急冷法では、十分な冷却速度が得られ
ず、薄板非晶質酸化物の中に部分的に結晶質が含まれた
り、大面積の薄板非晶質酸化物が形成されにくいという
問題がある。また、スパッタリング法、蒸着法では１組
成の均一な薄板非晶質酸化物を形成することが難しいと
いう欠点があった。
本発明はかかる点に鑑みされたもので大面積で欠陥がな
い厚さ１ｍｍ以下の薄板非晶質酸化物が容易に得られ、
しかも量産性に富むと共に低コストな薄板非晶質酸化物
の製造方法を提供するものである。
い厚さ１ｍｍ以下の薄板非晶質酸化物が容易に得られ、
しかも量産性に富むと共に低コストな薄板非晶質酸化物
の製造方法を提供するものである。
本発明の薄板非晶質酸化物の製造方法は単相又は固溶体
から成る結晶質酸化物の溶融体を金属製プレートと金属
製ロールの間に流し込んで圧延急冷し薄板非晶質酸化物
を形成すること＋ｑ＋徴とするものである。以下１本発
明の詳細な説明する。
から成る結晶質酸化物の溶融体を金属製プレートと金属
製ロールの間に流し込んで圧延急冷し薄板非晶質酸化物
を形成すること＋ｑ＋徴とするものである。以下１本発
明の詳細な説明する。
本発明において用いられる非晶質酸化物としては１強誘
電体の他に磁性材料、心電材料、半導体材料あるいは絶
縁材料などケ挙げることができる。
電体の他に磁性材料、心電材料、半導体材料あるいは絶
縁材料などケ挙げることができる。
これらのうち強誹電体として用いられる材料としては１
例えば、チタン酸鉛（ＰｂＴｉ０３） 、チタン酸バリ
ウム（ＢａＴｉＯ３） 、チタン酸ストロンチウム（５
ｒＴｉ０３） 、チタン酸カルシウム（ＣａＴｉＯ３）
、チタン酸マグネシウム（ＭｇＴｉ０ａ ） 、ジル
コン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３） 、 スズ酸ツリウム（Ｂａ
ＳｎＯ３）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ５） 、
ニオブ酸ナトリウム（ＮａＮｂ０３ ） 、ニオブ酸カ
リウム（ＫＮｂＯ３）、ニオブ酸バリウム（ＢａＮｂ２
０６） 、 ニオブ酸鉛（ＰｂＮｂ２０６） 。
例えば、チタン酸鉛（ＰｂＴｉ０３） 、チタン酸バリ
ウム（ＢａＴｉＯ３） 、チタン酸ストロンチウム（５
ｒＴｉ０３） 、チタン酸カルシウム（ＣａＴｉＯ３）
、チタン酸マグネシウム（ＭｇＴｉ０ａ ） 、ジル
コン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３） 、 スズ酸ツリウム（Ｂａ
ＳｎＯ３）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ５） 、
ニオブ酸ナトリウム（ＮａＮｂ０３ ） 、ニオブ酸カ
リウム（ＫＮｂＯ３）、ニオブ酸バリウム（ＢａＮｂ２
０６） 、 ニオブ酸鉛（ＰｂＮｂ２０６） 。
タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ５）、タンタル酸ナト
リウム（ＮａＴａ０ａ ）、ゲルマン酸鉛（Ｐｂ５Ｇｅ
３Ｏ１１）。
リウム（ＮａＴａ０ａ ）、ゲルマン酸鉛（Ｐｂ５Ｇｅ
３Ｏ１１）。
ケイ酸ゲ）Ｌ、７７酸鉛（Ｐｂ５８ｉ２Ｇｅ０１１ ）
、酸化亜鉛（ＺｎＯ） 、酸化ビス−ｖ ス（Ｂｉ２
０３） 、酸化ケイ素（５ｉ０２ ） 、酸化ゲルマニ
ウム（ＧｅＯ２） 、ホウ酸リチウム（Ｌｉ ２Ｂ４０
７ ） のうちから選ばれ少なくとも一種以上のもので
ある。本発明においては例えば前記の単相又は固溶体の
結晶質酸化物を例えば図１に示すような白金ルツボ１で
一旦溶融し均一な組成の酸化物融体とし、これを金属製
プレート５上に流し込んだ後即座に金属製ロール６で圧
延急冷することにより、組成が均一でかつ表面性が良好
な大面積の薄板非晶質酸化物が得られる。この場合、金
属製ブｌノートとしてスチール、＠、ステンレスなどを
用い、また金属製ロールとしては。
、酸化亜鉛（ＺｎＯ） 、酸化ビス−ｖ ス（Ｂｉ２
０３） 、酸化ケイ素（５ｉ０２ ） 、酸化ゲルマニ
ウム（ＧｅＯ２） 、ホウ酸リチウム（Ｌｉ ２Ｂ４０
７ ） のうちから選ばれ少なくとも一種以上のもので
ある。本発明においては例えば前記の単相又は固溶体の
結晶質酸化物を例えば図１に示すような白金ルツボ１で
一旦溶融し均一な組成の酸化物融体とし、これを金属製
プレート５上に流し込んだ後即座に金属製ロール６で圧
延急冷することにより、組成が均一でかつ表面性が良好
な大面積の薄板非晶質酸化物が得られる。この場合、金
属製ブｌノートとしてスチール、＠、ステンレスなどを
用い、また金属製ロールとしては。
スチール、銅、ステンレスなどを用いることが好ましい
。本発明においては金属製プレートと金属製ロールとの
相対速度は１０ ｃｍＡ圓〜１０ｍ／ｓｅｅが好ましい
。金属製プ１／−トと金属製ロールとの相対速度が１０
ｍ／ｒ、ｘ以上になると形状は薄板になり表面性５組成
について均一ではあるが、接帥時間が短くなるため十分
に急冷されず非晶質にならず部分的に結晶質酸化物が発
生し均一な非晶質が得られない。−４ｒｃ、相対速度が
１０ｔｙｎ／ａｘ以下になると金属製プレートと金属製
ロールにて圧延急冷される以前に溶融した酸化物が金属
製プレート上で冷却され結晶化してくるため１ｒＲＭ以
下の厚さに圧延急冷されず均一な薄板非晶質酸化物が得
られない。
。本発明においては金属製プレートと金属製ロールとの
相対速度は１０ ｃｍＡ圓〜１０ｍ／ｓｅｅが好ましい
。金属製プ１／−トと金属製ロールとの相対速度が１０
ｍ／ｒ、ｘ以上になると形状は薄板になり表面性５組成
について均一ではあるが、接帥時間が短くなるため十分
に急冷されず非晶質にならず部分的に結晶質酸化物が発
生し均一な非晶質が得られない。−４ｒｃ、相対速度が
１０ｔｙｎ／ａｘ以下になると金属製プレートと金属製
ロールにて圧延急冷される以前に溶融した酸化物が金属
製プレート上で冷却され結晶化してくるため１ｒＲＭ以
下の厚さに圧延急冷されず均一な薄板非晶質酸化物が得
られない。
よって以上のようなことから金属Ｘ１専プレートと金属
製ロールとの相対速度は１０ ｃｍｌ帛〜１０ｍ／豊の
範囲とした。
製ロールとの相対速度は１０ ｃｍｌ帛〜１０ｍ／豊の
範囲とした。
以下１本発明の実施例および比較例を第１図および第２
図を参照して説明する。
図を参照して説明する。
実施例
Ｐｂ５ｑｅａ０１１から成る組成の酸化物粉体２００？
を第１図に示すように白金ルツボ１に入れて電気炉２で
８００℃に溶融した後、これを第２図に示す如くステン
レス製プレート５の上に流してスチール製ロール６にて
相対速度４０ ｃａ／ｍで圧延急冷し。
を第１図に示すように白金ルツボ１に入れて電気炉２で
８００℃に溶融した後、これを第２図に示す如くステン
レス製プレート５の上に流してスチール製ロール６にて
相対速度４０ ｃａ／ｍで圧延急冷し。
幅約２０ ｃｍ 、長さ約６０ ｃｍ 、厚さ約２００
μｍの透明な薄板非晶質酸化物４を作製した。この一部
を取ってＸ線回折で調べたところ非晶質であることが確
認された。また光学顕微鏡および偏光顕微鏡で試料全域
を調べたところ全く空孔がなく光学的に等方的な非晶質
であった。またＸ線マイクロアナライザーおよび螢光Ｘ
線分析で組成偏析を調べたと仁ろ、 Ｐｂ、Ｇｅの元素
について全く元素変動がなかった。更にこの薄板非晶質
酸化物の一部を示差熱分析装置によシ、結晶化温度と結
晶転移点および融点を調べたところ夫々３８０℃、４８
４℃および７３６℃であった。この非晶質酸化物を６０
０℃で結晶化させて、Ｘ線回折および光学顕微鏡で調べ
たところ、結晶質のＰｂ５Ｇｅ３Ｏ１１の単相よりなる
ことが確認された。
μｍの透明な薄板非晶質酸化物４を作製した。この一部
を取ってＸ線回折で調べたところ非晶質であることが確
認された。また光学顕微鏡および偏光顕微鏡で試料全域
を調べたところ全く空孔がなく光学的に等方的な非晶質
であった。またＸ線マイクロアナライザーおよび螢光Ｘ
線分析で組成偏析を調べたと仁ろ、 Ｐｂ、Ｇｅの元素
について全く元素変動がなかった。更にこの薄板非晶質
酸化物の一部を示差熱分析装置によシ、結晶化温度と結
晶転移点および融点を調べたところ夫々３８０℃、４８
４℃および７３６℃であった。この非晶質酸化物を６０
０℃で結晶化させて、Ｘ線回折および光学顕微鏡で調べ
たところ、結晶質のＰｂ５Ｇｅ３Ｏ１１の単相よりなる
ことが確認された。
比較例
Ｐｂ５ＧｅａＯｘｔから成る組成の酸化物粉体１０（ｌ
全第３図に示すように白金ルツボ１に入れて電気炉２で
８００℃に溶融した後、これ全周速４０ｃｍ／ｓｅｃで
回転するスチール製の双ロール７間に流し込んで圧延急
冷し１幅約１０の、長さ約２０ ｃｍ 、厚さ５００μ
ｍの薄板非晶質酸化物４全作製した。この一部を取って
Ｘ線回折で調べたところ大部分は非晶質であったが、一
部活晶質（Ｐ ｂｓＧｅａＯｕ ）が確認された。また
、光学顕微鏡および偏光顕微鏡で試料全域を調べたとこ
ろ透明な非晶質部分の中に不透明な結晶質部分が散在し
ていた。
全第３図に示すように白金ルツボ１に入れて電気炉２で
８００℃に溶融した後、これ全周速４０ｃｍ／ｓｅｃで
回転するスチール製の双ロール７間に流し込んで圧延急
冷し１幅約１０の、長さ約２０ ｃｍ 、厚さ５００μ
ｍの薄板非晶質酸化物４全作製した。この一部を取って
Ｘ線回折で調べたところ大部分は非晶質であったが、一
部活晶質（Ｐ ｂｓＧｅａＯｕ ）が確認された。また
、光学顕微鏡および偏光顕微鏡で試料全域を調べたとこ
ろ透明な非晶質部分の中に不透明な結晶質部分が散在し
ていた。
〔発明の効果〕
以上説明した如く１本発面に係る薄板非晶質酸化物の製
造方法によって大面積で欠陥がなく１組成偏析もなく表
面が平滑な薄板非晶質酸化物が容易に得られるようにな
った。これにより大面積の薄板の誘電体酸化物単結晶の
作製が可能となシ。
造方法によって大面積で欠陥がなく１組成偏析もなく表
面が平滑な薄板非晶質酸化物が容易に得られるようにな
った。これにより大面積の薄板の誘電体酸化物単結晶の
作製が可能となシ。
該単結晶の作製におけるスライシグや研摩などの加工工
程が不要となることと相捷って量産性に優れ低フストで
製造することができるなどの顕著な効果を有するもので
ある。
程が不要となることと相捷って量産性に優れ低フストで
製造することができるなどの顕著な効果を有するもので
ある。
第１図及び第２図は本発明の実施例における薄板非晶質
酸化物を製造している状態を示す図である。第３図は比
較例における薄板非晶質酸化物を製造している状態を示
す斜視図である。 １・・・・白金ルツボ、２・・・・電気炉、３・・・・
酸化物融体。 ４・・・薄板非晶質酸化物、５・・・・金属製プレート
、６・・・金属製ロール、７・・・・双ロール。 代理人弁理士 則近憲佑（他１名）
酸化物を製造している状態を示す図である。第３図は比
較例における薄板非晶質酸化物を製造している状態を示
す斜視図である。 １・・・・白金ルツボ、２・・・・電気炉、３・・・・
酸化物融体。 ４・・・薄板非晶質酸化物、５・・・・金属製プレート
、６・・・金属製ロール、７・・・・双ロール。 代理人弁理士 則近憲佑（他１名）
Claims (4)
- （１）単相又は固溶体からなる結晶質酸化物を溶融した
後、その溶融体を金属製プレートと金属製ロールの間に
流して、圧延急冷することによシ薄板非晶質を形成する
ことを特徴とする非晶質酸化物の製造方法。 - （２）非晶質酸化物を形成せしめる金属製プレートと金
属製ロールとの相対速度が１０ ｃｍ／ｓｅｅ〜１０
ｍ／ｓｅｅであることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の非晶質酸化物の製造方法。 - （３）結晶質酸化物として強誘電体を用いたことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の非晶質酸化物の製造
方法。 - （４）強誘電体がチタン酸鉛、チタン酸バリウム。 チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム。 チタン酸マグネシウム、ジルコン酸鉛、スズ酸バリウム
、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸ナトリウム。 ニオブ酸カリウム、ニオブ酸バリウム、ニオブ酸鉛、タ
ンタル酸リチウム、タンタル酸ナトリウム。 ゲルマン酸鉛、ケイ酸ゲルマン酸鉛、酸化亜鉛。 酸化ビスマス、酸化ケイ素、酸化ゲルマニウム、ホウ酸
リチウムの内少なくとも一ワｉｉからなることを特徴と
する特許請求の範囲第３項記載の非晶り′」酸化物の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17218983A JPS6065706A (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | 非晶質酸化物の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17218983A JPS6065706A (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | 非晶質酸化物の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6065706A true JPS6065706A (ja) | 1985-04-15 |
Family
ID=15937223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17218983A Pending JPS6065706A (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | 非晶質酸化物の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6065706A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63176307A (ja) * | 1987-01-12 | 1988-07-20 | Agency Of Ind Science & Technol | 光伝導性薄膜材料及びその製造方法 |
| US5496528A (en) * | 1987-06-17 | 1996-03-05 | Rhone-Poulenc Chimie | Rare earth oxides |
-
1983
- 1983-09-20 JP JP17218983A patent/JPS6065706A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63176307A (ja) * | 1987-01-12 | 1988-07-20 | Agency Of Ind Science & Technol | 光伝導性薄膜材料及びその製造方法 |
| JPH0366251B2 (ja) * | 1987-01-12 | 1991-10-16 | Kogyo Gijutsuin | |
| US5496528A (en) * | 1987-06-17 | 1996-03-05 | Rhone-Poulenc Chimie | Rare earth oxides |
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