JPS606086A - クライオポンプ装置 - Google Patents
クライオポンプ装置Info
- Publication number
- JPS606086A JPS606086A JP11184783A JP11184783A JPS606086A JP S606086 A JPS606086 A JP S606086A JP 11184783 A JP11184783 A JP 11184783A JP 11184783 A JP11184783 A JP 11184783A JP S606086 A JPS606086 A JP S606086A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- outer periphery
- stage cylinder
- cylinder
- room temperature
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空排気用のクライオポンプ装置に関する。
従来この種装置として、例えば第1図示のように、ボン
プクースa内に、冷凍機本体すがら上方にのびる下側の
1段シリンダCと、上側の2段シリンダdとを備えると
共に、該2段シリンダdの頂部から下方にのびる該シリ
ンダdの外周のクライオパネルeと、該1段シリンダC
の頂部から上方にのびる該パネルeの外周のシールドf
とを備える式のものは知られるが、か\るものではその
上側の真空装置g内のスパッタリング用その他のガス或
は更に水蒸気がこれに導かれるとき、その一部が仝図に
矢示のように該シールドfの外周の空間内を介してその
下側の空間内に導かれて該空間内の前記した1段シリン
ダCの周面に凝縮されるが、これは該シリンダCの温度
上昇によれば再蒸発し、かくて圧力上昇や圧力不安定を
生じ勝ちである不都合を伴う。更に説明すれば、前記し
た真空装置g内にfi、 OVD % ドライエツチン
グ、スパッタリング等の処理に備えて各種のガスが供給
されるが、これらのガスは蒸気圧が100°にで5X1
0−トール以下のものが多く、一方、前記した1段シリ
ンダCは下端の常温(例えば20°C)から上端の35
〜40°にの広い温度範囲に亘る温度勾配を有し、かく
て該ガスは該シリンダミK導かれるとさ、その蒸気圧に
対応する低温部に凝ん・Jし、上記した不都合を生ずる
ものである。
プクースa内に、冷凍機本体すがら上方にのびる下側の
1段シリンダCと、上側の2段シリンダdとを備えると
共に、該2段シリンダdの頂部から下方にのびる該シリ
ンダdの外周のクライオパネルeと、該1段シリンダC
の頂部から上方にのびる該パネルeの外周のシールドf
とを備える式のものは知られるが、か\るものではその
上側の真空装置g内のスパッタリング用その他のガス或
は更に水蒸気がこれに導かれるとき、その一部が仝図に
矢示のように該シールドfの外周の空間内を介してその
下側の空間内に導かれて該空間内の前記した1段シリン
ダCの周面に凝縮されるが、これは該シリンダCの温度
上昇によれば再蒸発し、かくて圧力上昇や圧力不安定を
生じ勝ちである不都合を伴う。更に説明すれば、前記し
た真空装置g内にfi、 OVD % ドライエツチン
グ、スパッタリング等の処理に備えて各種のガスが供給
されるが、これらのガスは蒸気圧が100°にで5X1
0−トール以下のものが多く、一方、前記した1段シリ
ンダCは下端の常温(例えば20°C)から上端の35
〜40°にの広い温度範囲に亘る温度勾配を有し、かく
て該ガスは該シリンダミK導かれるとさ、その蒸気圧に
対応する低温部に凝ん・Jし、上記した不都合を生ずる
ものである。
本発明はかkる不都合のない装置を(6ることをその目
的としたもので、ポンプう″−ス内に、冷凍機本体から
上方にのびる下側の1段シリンダと、上側の2段シリン
ダとを備えると共に\該2段シリンダの頂部から下方に
のびる該シリンダの外周のクライオパネルと、該1段シ
リンダの頂部から上方にのびる該クライオパネルの外周
のシールドとを備える式のものにおいて、該ケース内に
その底面壁から上方にのびる該1段シリンダの外周の室
温セ、たを備えることを特徴とする。
的としたもので、ポンプう″−ス内に、冷凍機本体から
上方にのびる下側の1段シリンダと、上側の2段シリン
ダとを備えると共に\該2段シリンダの頂部から下方に
のびる該シリンダの外周のクライオパネルと、該1段シ
リンダの頂部から上方にのびる該クライオパネルの外周
のシールドとを備える式のものにおいて、該ケース内に
その底面壁から上方にのびる該1段シリンダの外周の室
温セ、たを備えることを特徴とする。
本発明装置の1例を別紙図面に(q説明する。
第2図はその1例を示すもので、(1)はポンプケース
、(2)はその下側の冷凍機本体を示し、該ナースm内
には該本体(2)から上方にのびる下側の1段シリンダ
(3)と上側の2段シリンダ(4)とを備えると共に、
該2段シリンダ(4)の頂部から下方にのびる該シリン
ダ(4)の外周のクライオノぐネル(5)と該1段シリ
ンダ(3)の頂部から上方にのびる該パネル(5)の外
周のシールド(6)とを備えて全体としてクライオポン
プに構成烙れるようにした。
、(2)はその下側の冷凍機本体を示し、該ナースm内
には該本体(2)から上方にのびる下側の1段シリンダ
(3)と上側の2段シリンダ(4)とを備えると共に、
該2段シリンダ(4)の頂部から下方にのびる該シリン
ダ(4)の外周のクライオノぐネル(5)と該1段シリ
ンダ(3)の頂部から上方にのびる該パネル(5)の外
周のシールド(6)とを備えて全体としてクライオポン
プに構成烙れるようにした。
図面で(3a) (4’aJは該1段シリンダ(3)及
び該2段シリンダ(4)の頂部の各膨大する1 段スf
−シ及び2段ステージ、(7)はその上側のバッフル
、(8)はその上側のこれに連る真空装置を示す。尚該
真空装置(8)内にはOVD 、ドライエツチング、ス
パッタリング等の真空処理に備えて各種のガスが供給さ
れるものとし、更にこれらのガスは前記したようにその
蒸気圧が1000にで5X10 ”トール以下のものか
多く、更に該1段シリンダ(3)はその下端の常温、例
えば20’Cからその上端の35〜40°にの広い温度
範囲に亘る温度勾配を有するものとする。
び該2段シリンダ(4)の頂部の各膨大する1 段スf
−シ及び2段ステージ、(7)はその上側のバッフル
、(8)はその上側のこれに連る真空装置を示す。尚該
真空装置(8)内にはOVD 、ドライエツチング、ス
パッタリング等の真空処理に備えて各種のガスが供給さ
れるものとし、更にこれらのガスは前記したようにその
蒸気圧が1000にで5X10 ”トール以下のものか
多く、更に該1段シリンダ(3)はその下端の常温、例
えば20’Cからその上端の35〜40°にの広い温度
範囲に亘る温度勾配を有するものとする。
以上は従来のものと特に異らないが、本発明によれば、
該ケース(1)内にその底面壁(1a)から上方にのび
て該1段シリンダ(3)を囲繞するその外周の室温壁(
9)を備えるようにした。該室温壁(91Fi、例えば
該1段シリンダ(3)の150°に以下の部分を完全に
握う長さと、該シリンダ(3)の頂部(3りより多少と
も大きな直径とを有するものとする。該室温壁(9)は
例えば第3図示のように上下にフランジ(9a) (9
りを備える型式とすることも可能である。
該ケース(1)内にその底面壁(1a)から上方にのび
て該1段シリンダ(3)を囲繞するその外周の室温壁(
9)を備えるようにした。該室温壁(91Fi、例えば
該1段シリンダ(3)の150°に以下の部分を完全に
握う長さと、該シリンダ(3)の頂部(3りより多少と
も大きな直径とを有するものとする。該室温壁(9)は
例えば第3図示のように上下にフランジ(9a) (9
りを備える型式とすることも可能である。
その作uJを説明するに、前記したように真空装置(8
)内のガス或は更に水蒸気がポンプケース(11内に導
かれたとき、その一部は該シールド(6)の外周の空間
を介してその下側の空間に導かれ、該空間内の1段シリ
ンダ(3)に凝縮される傾向を」二するが、この場合該
シリンダ(3)はその外周に室温壁(9)全有し、かく
て腺凝aを生じない。これを換言すれば、該凝縮に伴う
再蒸発が防止される。
)内のガス或は更に水蒸気がポンプケース(11内に導
かれたとき、その一部は該シールド(6)の外周の空間
を介してその下側の空間に導かれ、該空間内の1段シリ
ンダ(3)に凝縮される傾向を」二するが、この場合該
シリンダ(3)はその外周に室温壁(9)全有し、かく
て腺凝aを生じない。これを換言すれば、該凝縮に伴う
再蒸発が防止される。
このように本発明によるときは1段シリンダの外周にこ
れを囲繞する室温壁を備えるもので、該シリンダの外周
に導かれるガスがこれに一旦凝縮し・次で再蒸発するこ
とによる圧力上昇或は圧力不安定等の発生がなく、その
構成は簡単で廉価に得られる等の効果を有する。
れを囲繞する室温壁を備えるもので、該シリンダの外周
に導かれるガスがこれに一旦凝縮し・次で再蒸発するこ
とによる圧力上昇或は圧力不安定等の発生がなく、その
構成は簡単で廉価に得られる等の効果を有する。
第1図は従来例の截断正r111図、第2図は本発明装
置の1例の裁断正面図、第3図はその変形例の仝断面図
である。 (月・・・ポンプケース f21・・・冷凍機本体(3
)・・・1段シリンダ (4)・・・2段シリンダ(5
)・・・クライオパネル (6)・・・シールド(8)
・・・真?ノシ装fit (9ン・・・聾つ夏 名ti
ft Fkぐ外2名
置の1例の裁断正面図、第3図はその変形例の仝断面図
である。 (月・・・ポンプケース f21・・・冷凍機本体(3
)・・・1段シリンダ (4)・・・2段シリンダ(5
)・・・クライオパネル (6)・・・シールド(8)
・・・真?ノシ装fit (9ン・・・聾つ夏 名ti
ft Fkぐ外2名
Claims (1)
- ポンプナース内に、冷凍機本体から上方にのびる下側の
1段シリンダと、上側の2段シリンダと全備えると共に
、該2段シリンダの頂部から下方にのびる該シリンダの
外周のクライオパネルと、該1段シリンダの頂部から上
方にのびる該クライオパネルの外周のシールドとをkえ
る式のものにおいて、該′r−ス内にそのJ角面壁から
上方にのびて該1段シリンダの外周の室搗櫓を備えるこ
とを特徴とするクライオポンプ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11184783A JPS606086A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | クライオポンプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11184783A JPS606086A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | クライオポンプ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS606086A true JPS606086A (ja) | 1985-01-12 |
JPH0380992B2 JPH0380992B2 (ja) | 1991-12-26 |
Family
ID=14571654
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11184783A Granted JPS606086A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | クライオポンプ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS606086A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62147056A (ja) * | 1985-12-20 | 1987-07-01 | Anelva Corp | クライオポンプ |
US5156007A (en) * | 1991-01-30 | 1992-10-20 | Helix Technology Corporation | Cryopump with improved second stage passageway |
GB2337207A (en) * | 1997-03-13 | 1999-11-17 | Acushnet Co | Golf balls comprising blends of polyamides and ionomers |
JP2011153629A (ja) * | 2011-05-17 | 2011-08-11 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59180083A (ja) * | 1983-03-21 | 1984-10-12 | エア・プロダクツ・アンド・ケミカルズ・インコ−ポレイテツド | 焼出し可能なクライオポンプ |
-
1983
- 1983-06-23 JP JP11184783A patent/JPS606086A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59180083A (ja) * | 1983-03-21 | 1984-10-12 | エア・プロダクツ・アンド・ケミカルズ・インコ−ポレイテツド | 焼出し可能なクライオポンプ |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62147056A (ja) * | 1985-12-20 | 1987-07-01 | Anelva Corp | クライオポンプ |
US5156007A (en) * | 1991-01-30 | 1992-10-20 | Helix Technology Corporation | Cryopump with improved second stage passageway |
GB2337207A (en) * | 1997-03-13 | 1999-11-17 | Acushnet Co | Golf balls comprising blends of polyamides and ionomers |
JP2011153629A (ja) * | 2011-05-17 | 2011-08-11 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0380992B2 (ja) | 1991-12-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0079960B1 (en) | Improved cryopump | |
EP0038185B1 (en) | Cryopumping apparatus | |
US4311018A (en) | Cryogenic pump | |
US4966016A (en) | Cryopump with multiple refrigerators | |
JPS606086A (ja) | クライオポンプ装置 | |
US4815303A (en) | Vacuum cryopump with improved first stage | |
JP2001510523A (ja) | 改良型シールド付きクライオポンプ | |
JPH0192591A (ja) | クライオポンプ | |
US3625019A (en) | Vacuum pump with demountable cold trap and getter pump | |
JPS58131381A (ja) | クライオポンプ及びクライオポンプ用冷凍機 | |
JP3062706B2 (ja) | 低温トラップ付クライオポンプ | |
EP0126909B1 (en) | Cryopump with rapid cooldown and increased pressure stability | |
US3296810A (en) | High conductance cold trap for vacuum systems | |
JPH0235873B2 (ja) | Kuraiohonpu | |
JPS6220463B2 (ja) | ||
US4364235A (en) | Helium-cooled cold surface, especially for a cryopump | |
JPS606085A (ja) | クライオポンプ装置 | |
JPS60228779A (ja) | クライオジエネレ−タポンプの改良 | |
JPH10131858A (ja) | クライオポンプおよび真空排気方法 | |
US3258193A (en) | Vacuum method | |
JP2721601B2 (ja) | クライオポンプによる水素排気方法及び装置 | |
JPH09209932A (ja) | 真空排気装置 | |
JPS62203981A (ja) | 凝縮させるべき気体をクライオポンプのクライオパネルにのみ凝縮させる方法 | |
SU140123A1 (ru) | Сорбционно-конденсационно-ионный сверхвысоковакуумный насос | |
JP2022117029A (ja) | クライオポンプ |