JPS606085A - クライオポンプ装置 - Google Patents
クライオポンプ装置Info
- Publication number
- JPS606085A JPS606085A JP11184683A JP11184683A JPS606085A JP S606085 A JPS606085 A JP S606085A JP 11184683 A JP11184683 A JP 11184683A JP 11184683 A JP11184683 A JP 11184683A JP S606085 A JPS606085 A JP S606085A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flange
- gas
- stage cylinder
- shield
- cryopanel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空排気用のクライオポンプ装置に関する。
従来この種装置として、例えば第１図示のように、ポン
プケース内に、冷凍機本体すから上方にのびる下側の１
段シリンダＣと、その上側の２段シリンダｄとを伺える
と共に、該２段シリンダｄの頂部から下方にのびる該シ
リンダｄの外周のクライオパネルｅと、該１段シリンダ
Ｃの頂部から上方にのびる該パネルθの外周のシールド
ｆとを備える式のものは知られるが、か＼るものではそ
の上側の真空装置１ｇ内に４０゜Ｋで蒸気圧が１：Ｘ：
１０ ）−ル以上のガス、例えばＡｒガスが多量に導入
されて該ポンプ内の上部の圧力が１０〜１０ トールに
なった場合を考えるに、該ガスは仝図に矢示のよ）に該
クライオパネルｅの外周下側の隙間通常数Ｕを介してそ
の内部に導かれてその下側の該シールドｆの底面上から
その上方にのびる該２段シリンダ改の周面に亘る中間温
度（２０°に〜４０°Ｋ）部分に凝縮する現象を生じ、
これは次で該ガスの導入全停止した状態においても再蒸
発し勝ちでアリ）これが全て該クライオパネルθに移動
する迄圧力上昇或は不安定を持続する不都合全件う。こ
れを換言すれば、力゛ス導入の停止によるも速かには所
定の具至反、汐り尺Ｑコ］Ｕ 〜１υに至らない不都合
を伴う。
プケース内に、冷凍機本体すから上方にのびる下側の１
段シリンダＣと、その上側の２段シリンダｄとを伺える
と共に、該２段シリンダｄの頂部から下方にのびる該シ
リンダｄの外周のクライオパネルｅと、該１段シリンダ
Ｃの頂部から上方にのびる該パネルθの外周のシールド
ｆとを備える式のものは知られるが、か＼るものではそ
の上側の真空装置１ｇ内に４０゜Ｋで蒸気圧が１：Ｘ：
１０ ）−ル以上のガス、例えばＡｒガスが多量に導入
されて該ポンプ内の上部の圧力が１０〜１０ トールに
なった場合を考えるに、該ガスは仝図に矢示のよ）に該
クライオパネルｅの外周下側の隙間通常数Ｕを介してそ
の内部に導かれてその下側の該シールドｆの底面上から
その上方にのびる該２段シリンダ改の周面に亘る中間温
度（２０°に〜４０°Ｋ）部分に凝縮する現象を生じ、
これは次で該ガスの導入全停止した状態においても再蒸
発し勝ちでアリ）これが全て該クライオパネルθに移動
する迄圧力上昇或は不安定を持続する不都合全件う。こ
れを換言すれば、力゛ス導入の停止によるも速かには所
定の具至反、汐り尺Ｑコ］Ｕ 〜１υに至らない不都合
を伴う。
本発明（はか＼る不都合のない装ｆｉ ｋ得ることをそ
の目的としたもので、ポンプナース内に、冷凍機本体か
ら上方にのびる下側の１段シリンダと、その上側の２段
シリンダとを備えると共に、該２段シリンダから下方に
のびる該シリンダの外周のクライオパネルと、該１段シ
リンダの頂部から上方にのびる該パネルの外周のシール
ドと全備える式のものにおいて、該クライオパネルの下
端にフランジを形成してその下側の該シールドの底板と
の間に比較的狭幅の長手の隙間をブ胆成させることを特
徴とする。
の目的としたもので、ポンプナース内に、冷凍機本体か
ら上方にのびる下側の１段シリンダと、その上側の２段
シリンダとを備えると共に、該２段シリンダから下方に
のびる該シリンダの外周のクライオパネルと、該１段シ
リンダの頂部から上方にのびる該パネルの外周のシール
ドと全備える式のものにおいて、該クライオパネルの下
端にフランジを形成してその下側の該シールドの底板と
の間に比較的狭幅の長手の隙間をブ胆成させることを特
徴とする。
本発明の実施例を別紙肉面に付説明する。
ｍ２１￥Ｉはその１例を示すもので、（１）はボンブタ
ース全示し、該クース（１）内にその下側の冷凍機本体
（２）から上方にのびる下側の１段シリンダ（３）と、
その上側の２段シリンダ（４）とを備えると共に、該２
段シリンダ（４）の頂部の２段ステージ（４ａ）から下
方にのびる該シリンダ（４）の外周のクライオパネル（
５）と、該１段シリンダ（，３）の頂部の１段ステージ
（３Ｌ）から上方にのびる該ノぐネル（５）の外周のシ
ールド（６）とを備える。（７）はその上側のバッフル
、（８）は該ヴース（１）内の上部に連るその上側の真
空装置、（９）は該クライオパネル（５）の内面の吸着
剤を示す。尚該冷凍機本体（２）の作動によれば該１段
ステージ（５幻の温度は最も下ったとき３５〜４ｏ０Ｋ
、ｐ ２ ｆ９ ステージ（４ＴＬ） （７） ｍ＋
Ｗ ｌ”ｊ２０°にとなるものとする。
ース全示し、該クース（１）内にその下側の冷凍機本体
（２）から上方にのびる下側の１段シリンダ（３）と、
その上側の２段シリンダ（４）とを備えると共に、該２
段シリンダ（４）の頂部の２段ステージ（４ａ）から下
方にのびる該シリンダ（４）の外周のクライオパネル（
５）と、該１段シリンダ（，３）の頂部の１段ステージ
（３Ｌ）から上方にのびる該ノぐネル（５）の外周のシ
ールド（６）とを備える。（７）はその上側のバッフル
、（８）は該ヴース（１）内の上部に連るその上側の真
空装置、（９）は該クライオパネル（５）の内面の吸着
剤を示す。尚該冷凍機本体（２）の作動によれば該１段
ステージ（５幻の温度は最も下ったとき３５〜４ｏ０Ｋ
、ｐ ２ ｆ９ ステージ（４ＴＬ） （７） ｍ＋
Ｗ ｌ”ｊ２０°にとなるものとする。
以上は従来のものと特に異らないが１本発明によれは該
クライオパネル（５）の下端にフランジ（５ａ）′！ｉ
ｌ−形成してその下側の該シールド（６）の底板（るり
との間に比較的狭幅の長手の隙間０（））を形成させる
ようにした。この場合、その」二下方向の幅、即ち高さ
は２ｍ未満とするもので、この２ｃｒＲは、２０℃のＡ
ｒの約２．５×１０）−ルでの平均自由行程である。
クライオパネル（５）の下端にフランジ（５ａ）′！ｉ
ｌ−形成してその下側の該シールド（６）の底板（るり
との間に比較的狭幅の長手の隙間０（））を形成させる
ようにした。この場合、その」二下方向の幅、即ち高さ
は２ｍ未満とするもので、この２ｃｒＲは、２０℃のＡ
ｒの約２．５×１０）−ルでの平均自由行程である。
該フランジ（５ａ）ｉｄ第２図示のように内方に屈曲し
てのひる型式に限ることなく、例えは第６図示のように
外方に屈曲してのひる型式、或は第４図示のように内外
にのびる型式、或は第５図示のような型式とする等任意
である。
てのひる型式に限ることなく、例えは第６図示のように
外方に屈曲してのひる型式、或は第４図示のように内外
にのびる型式、或は第５図示のような型式とする等任意
である。
その作動を説明するに、真空装置（８）内に蒸気圧が４
０°にでｌＸ１０ ）−ル以上のガス、例えばＡｒガス
が多猿に導入されて該ポンプナースになった場合を考え
るに、該ガスはその下（ｔｉｌｌに導かれて前記した工
つにクライオパネル（５）の外 、周上側の隙間を介し
てその内部に導かれて該シリンダの中間温度領域に凝縮
し勝ちであるが、本発明によれば前記しノξように該隙
間はフランジ（５ａ）により比較的狭幅の長手の隙間に
作られるもので、かくて該ガスの導入はこれにより阻＋
）−され、前記した再蒸発による不都合がない。
０°にでｌＸ１０ ）−ル以上のガス、例えばＡｒガス
が多猿に導入されて該ポンプナースになった場合を考え
るに、該ガスはその下（ｔｉｌｌに導かれて前記した工
つにクライオパネル（５）の外 、周上側の隙間を介し
てその内部に導かれて該シリンダの中間温度領域に凝縮
し勝ちであるが、本発明によれば前記しノξように該隙
間はフランジ（５ａ）により比較的狭幅の長手の隙間に
作られるもので、かくて該ガスの導入はこれにより阻＋
）−され、前記した再蒸発による不都合がない。
これ全換言すれば、ガス導入の停止によれば用力は速か
に減少して所定の真窒度、例えば１０〜１０ トールに
到達する。尚該ガスは前記したＡｒガスに限ることなく
、例えば０２ガス、Ｎ２ガス等についても略同様である
。
に減少して所定の真窒度、例えば１０〜１０ トールに
到達する。尚該ガスは前記したＡｒガスに限ることなく
、例えば０２ガス、Ｎ２ガス等についても略同様である
。
このように本発明によるとぎはクライオパネルの下端に
フランジを形成してその下（Ｈ，ｌｌのシールドの底板
との間に比較的狭幅の長手のｔｉｌｌ間を形成させるも
ので、これを介してガスが導入してその内部の中間温度
領域に凝縮を生ずるようなことがなく、かくて該凝縮の
再蒸発に伴う前記した不都合をなくシ得られ、その構成
は簡単で廉価に得られる等の効果を有する。
フランジを形成してその下（Ｈ，ｌｌのシールドの底板
との間に比較的狭幅の長手のｔｉｌｌ間を形成させるも
ので、これを介してガスが導入してその内部の中間温度
領域に凝縮を生ずるようなことがなく、かくて該凝縮の
再蒸発に伴う前記した不都合をなくシ得られ、その構成
は簡単で廉価に得られる等の効果を有する。
第１図（・」：従来例の裁断正面図、第２図は本発明装
置の１例の裁断側面図、第３図乃至第５図はその各変形
例の一部の截〜［正面図である。 （１）・・・ポンプナース （２）・・・冷凍機本体（
３）・・・１段シリンダ （４）・・・２帳゛シリンダ
（５）・・・クライオパネル （６）・・・シールド（
５ａ）・・・フランジ （６ａ）・・・底板０］ト・・
１１４ ｒ（６
置の１例の裁断側面図、第３図乃至第５図はその各変形
例の一部の截〜［正面図である。 （１）・・・ポンプナース （２）・・・冷凍機本体（
３）・・・１段シリンダ （４）・・・２帳゛シリンダ
（５）・・・クライオパネル （６）・・・シールド（
５ａ）・・・フランジ （６ａ）・・・底板０］ト・・
１１４ ｒ（６
Claims (1)
- ポンプケース内に、冷凍機本体から上方にのびる下側の
１段シリンダと、その上側の２段シリンダとを備えると
共に、該２段シリンダから下方にのびる該シリンダの外
周のクライオパネルと、該１段シリンダの頂部から上方
にのびる該パネルの外周のシールドと全備える式のもの
において、該クライオパネルの下端にフランジを形成し
てその下側の該シールドの底板との１７（１に比較的狭
幅の長手の隙間金形成略せること全特徴とするクライオ
ポンプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11184683A JPS606085A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | クライオポンプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11184683A JPS606085A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | クライオポンプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS606085A true JPS606085A (ja) | 1985-01-12 |
Family
ID=14571627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11184683A Pending JPS606085A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | クライオポンプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS606085A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0294381U (ja) * | 1989-01-11 | 1990-07-26 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59180083A (ja) * | 1983-03-21 | 1984-10-12 | エア・プロダクツ・アンド・ケミカルズ・インコ−ポレイテツド | 焼出し可能なクライオポンプ |
-
1983
- 1983-06-23 JP JP11184683A patent/JPS606085A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59180083A (ja) * | 1983-03-21 | 1984-10-12 | エア・プロダクツ・アンド・ケミカルズ・インコ−ポレイテツド | 焼出し可能なクライオポンプ |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0294381U (ja) * | 1989-01-11 | 1990-07-26 | ||
| JPH0415992Y2 (ja) * | 1989-01-11 | 1992-04-09 |
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