JPS606068B2 - 電子光学式画像増幅器 - Google Patents
電子光学式画像増幅器Info
- Publication number
- JPS606068B2 JPS606068B2 JP49145480A JP14548074A JPS606068B2 JP S606068 B2 JPS606068 B2 JP S606068B2 JP 49145480 A JP49145480 A JP 49145480A JP 14548074 A JP14548074 A JP 14548074A JP S606068 B2 JPS606068 B2 JP S606068B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- light
- photocathode
- carbon
- electro
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
- H01J29/10—Screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored
- H01J29/36—Photoelectric screens; Charge-storage screens
- H01J29/38—Photoelectric screens; Charge-storage screens not using charge storage, e.g. photo-emissive screen, extended cathode
- H01J29/385—Photocathodes comprising a layer which modified the wave length of impinging radiation
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、基板上に発光層と光陰極層とが重ねて設け
られ、発光層と光陰極層の間に階色の中間層が置かれて
いる入力スクリーンを持ち電子光学系を使用する画像増
幅器を対象とする。
られ、発光層と光陰極層の間に階色の中間層が置かれて
いる入力スクリーンを持ち電子光学系を使用する画像増
幅器を対象とする。
この種の画像増幅器は例えば西独特許出願公開公報第１
９５７１５２号‘こ記載されている。このような装置は
例えばレントゲン診断においてＸ線像の直視装置として
使用されるが、その外にも画像を更に増幅するため或い
は例えばテレビジョン信号に変換するための入力段とし
て使用することができる。
９５７１５２号‘こ記載されている。このような装置は
例えばレントゲン診断においてＸ線像の直視装置として
使用されるが、その外にも画像を更に増幅するため或い
は例えばテレビジョン信号に変換するための入力段とし
て使用することができる。
この場合出力面は通常発光スクリーンとして構成され、
直接または光学的装置を通して観察することができる。
テレビジョン信号に変換する際には出力面をテレビジョ
ン装簿の走査ターゲットとして構成するのが普通である
。公知のＸ線像増幅器では、入力面は普通鞍光層と光陰
極層とを紙合せたものである。蟹光層は×線によって励
起されて発光する物質を含み、光陰極層は蟹光の作用を
受けてその強度に関係して電子を発生する物質を含む。
この電子は電子光学系で集東され、加速されて発光スク
リーン上に投射される。この発明の対象となる画像増幅
器の入力スクリーンは、長い間ほとんど例外なくガラス
板の一方の面に設けられた発光層とその反対面に設けら
れた光陰極層から構成されていた。然しガラスから成る
中間層をやめて別の中間層を使用するか、光陰極層を直
接発光層上に設けることが考えられている。この場合発
光物質は真空管の入口窓に内壁面をつけるかまたは特別
な支持板につける。この支持板は例えばＸ線像増幅器の
場合、光に対しては不透明であるがＸ線は透過する材料
例えばアルミニウムなどの金属から成る。特に光陰極の
面積が大きく強い光電子流が発生する場合には電子光学
系による桑東が行われる。前に挙げた西独特許出願公開
公報第１９５７１５２号に記載されている装置では、発
光物質と光陰極との間の交互作用を少なくするため、特
にＸ線照射量が大きく例えば毎分３０ミリレントゲンの
場合に認められる電子像の篤Ｖ点が次第に外れる現象を
軽減させるため、発光物質と光陰極の間に主として酸化
バナジウムから成る障壁が設けられている。
直接または光学的装置を通して観察することができる。
テレビジョン信号に変換する際には出力面をテレビジョ
ン装簿の走査ターゲットとして構成するのが普通である
。公知のＸ線像増幅器では、入力面は普通鞍光層と光陰
極層とを紙合せたものである。蟹光層は×線によって励
起されて発光する物質を含み、光陰極層は蟹光の作用を
受けてその強度に関係して電子を発生する物質を含む。
この電子は電子光学系で集東され、加速されて発光スク
リーン上に投射される。この発明の対象となる画像増幅
器の入力スクリーンは、長い間ほとんど例外なくガラス
板の一方の面に設けられた発光層とその反対面に設けら
れた光陰極層から構成されていた。然しガラスから成る
中間層をやめて別の中間層を使用するか、光陰極層を直
接発光層上に設けることが考えられている。この場合発
光物質は真空管の入口窓に内壁面をつけるかまたは特別
な支持板につける。この支持板は例えばＸ線像増幅器の
場合、光に対しては不透明であるがＸ線は透過する材料
例えばアルミニウムなどの金属から成る。特に光陰極の
面積が大きく強い光電子流が発生する場合には電子光学
系による桑東が行われる。前に挙げた西独特許出願公開
公報第１９５７１５２号に記載されている装置では、発
光物質と光陰極との間の交互作用を少なくするため、特
にＸ線照射量が大きく例えば毎分３０ミリレントゲンの
場合に認められる電子像の篤Ｖ点が次第に外れる現象を
軽減させるため、発光物質と光陰極の間に主として酸化
バナジウムから成る障壁が設けられている。
この場合ハロゲン化アルカリ、シンチレーターとアンチ
モン化アルカリ光陰極の間に設けられた障壁は、感度を
低下させることなく焦点の外れを充分阻止するものでな
ければならない。白金またはアルミニウムのような金属
は所望の効果を示さない。また五酸化バナジウムの発光
は赤黄色であるから、障壁の透過度が許容限度以下に低
下しないためには約２乃至３仇ｍという極めて薄い層と
しなければならない。この発明は画像増幅器、特にＸ線
像増幅器において特にＸ線照射量の高い場合の電子線の
焦点外れを改良することを目的とする。
モン化アルカリ光陰極の間に設けられた障壁は、感度を
低下させることなく焦点の外れを充分阻止するものでな
ければならない。白金またはアルミニウムのような金属
は所望の効果を示さない。また五酸化バナジウムの発光
は赤黄色であるから、障壁の透過度が許容限度以下に低
下しないためには約２乃至３仇ｍという極めて薄い層と
しなければならない。この発明は画像増幅器、特にＸ線
像増幅器において特にＸ線照射量の高い場合の電子線の
焦点外れを改良することを目的とする。
この目的はこの発明により、発光層と光陰極層の間に設
けられる階色に着色された層を炭素から形成し、発光層
の光に対してそのほぼ全面に亘つて少くとも近似的に一
様に５０％から８５％の間の透過率となる厚さとするこ
とによって達成される。
けられる階色に着色された層を炭素から形成し、発光層
の光に対してそのほぼ全面に亘つて少くとも近似的に一
様に５０％から８５％の間の透過率となる厚さとするこ
とによって達成される。
この発明は、入力スクリーンから電子像が放出されると
きヱミッタ層の充電を阻止することができれば焦点外れ
が避けられるとの考えに基く。このためには光陰極層に
充分な量の電子を供給しなければならない。入力スクリ
ーンの光陰極層をつける前に発光層の上に透過性の金属
層をつけることは既に提案されている。
きヱミッタ層の充電を阻止することができれば焦点外れ
が避けられるとの考えに基く。このためには光陰極層に
充分な量の電子を供給しなければならない。入力スクリ
ーンの光陰極層をつける前に発光層の上に透過性の金属
層をつけることは既に提案されている。
薄い金属中間層を設けることにより横方向の電気伝導度
が大きくなって電子の補充が増大し、同時に光電子発生
効率が改良されることが実証された。この発明によれば
金属の代りに炭素を使用することにより金属層の持つ利
点が得られると同時に、入力スクリーンから発光する光
に対する透過率が７０乃至８０％であるので、吸収率を
２０乃至３０％に低下させることができる。
が大きくなって電子の補充が増大し、同時に光電子発生
効率が改良されることが実証された。この発明によれば
金属の代りに炭素を使用することにより金属層の持つ利
点が得られると同時に、入力スクリーンから発光する光
に対する透過率が７０乃至８０％であるので、吸収率を
２０乃至３０％に低下させることができる。
金属中間層の場合この吸収率は３０乃至７０％に達する
。この発明の一つの実施例においては、発光物質として
ョウ化セシウム（ＣｓＪ）、光陰極物質としてアンチモ
ン化セシウム（Ｃｓ３Ｓｂ）が使用され、この場合中間
の炭素層の光吸収率は２０乃至３０％に過ぎない。
。この発明の一つの実施例においては、発光物質として
ョウ化セシウム（ＣｓＪ）、光陰極物質としてアンチモ
ン化セシウム（Ｃｓ３Ｓｂ）が使用され、この場合中間
の炭素層の光吸収率は２０乃至３０％に過ぎない。
炭素層の厚さはそれ程臨界的ではなく「 この発明の目
的を達成する点においては吸収率が約１５％となる厚さ
でもそれが約５０％となる厚さのものと同程度に効果的
であった。中間層は光の損失を余り大きくすることなく
充分な量の電子が補充されるようにすればよい。これに
より従来の装置において毎秒２乃至３ミリレントゲンの
×線照射の場合に得られた分解能が毎秒１６ミリレント
ゲンの場合においても得られる。中間に薄い炭素層をは
さんだ発光層と光陰極層の組合せ構造は、例えば蒸着に
よって充分高い精度で製作することができる。
的を達成する点においては吸収率が約１５％となる厚さ
でもそれが約５０％となる厚さのものと同程度に効果的
であった。中間層は光の損失を余り大きくすることなく
充分な量の電子が補充されるようにすればよい。これに
より従来の装置において毎秒２乃至３ミリレントゲンの
×線照射の場合に得られた分解能が毎秒１６ミリレント
ゲンの場合においても得られる。中間に薄い炭素層をは
さんだ発光層と光陰極層の組合せ構造は、例えば蒸着に
よって充分高い精度で製作することができる。
慣用の蒸着装置中での炭素の蒸着は例えば固いグラフア
ィト粒子に電子をあてることによって実施される。炭素
の蒸発点を黍着すべき発光スクリーンから約３０物吻の
距離に置き、蒸着中スクリーンを回転することにより、
蒸着炭素の分布を充分均一にすることができる。発光ス
クリーンと同時に試験用のガラス板に蒸着することによ
り、黍着の経過を追跡し、場合によってはそれを制御す
ることが可能である。蒸着量の測定には試験ガラス板に
設けた二つのアルミニウム帯の間の電気伝導率をオーム
計によって測定する。試験ガラス板の透光率も蒸着層の
厚さとその電気伝導率の目安として追跡し制御すること
ができる。更に特定の蒸着条件と黍着時間を守ることに
より反復可能の結果が得られる。金属特にアルミニウム
製の導電性基板上の発光スクリーンに対しては、炭素の
蒸着を５×１０‐５Ｔｃｒｒのアルゴン中で行うことに
より特に良好な結果が得られた。
ィト粒子に電子をあてることによって実施される。炭素
の蒸発点を黍着すべき発光スクリーンから約３０物吻の
距離に置き、蒸着中スクリーンを回転することにより、
蒸着炭素の分布を充分均一にすることができる。発光ス
クリーンと同時に試験用のガラス板に蒸着することによ
り、黍着の経過を追跡し、場合によってはそれを制御す
ることが可能である。蒸着量の測定には試験ガラス板に
設けた二つのアルミニウム帯の間の電気伝導率をオーム
計によって測定する。試験ガラス板の透光率も蒸着層の
厚さとその電気伝導率の目安として追跡し制御すること
ができる。更に特定の蒸着条件と黍着時間を守ることに
より反復可能の結果が得られる。金属特にアルミニウム
製の導電性基板上の発光スクリーンに対しては、炭素の
蒸着を５×１０‐５Ｔｃｒｒのアルゴン中で行うことに
より特に良好な結果が得られた。
この場合炭素から成る導電層が発光層に存在する亀裂等
を通して金属基板との電気接触を形成するため、光陰極
層への電子の補充が特に良好になるものと考えられる。
次に図面に示した実施例についてこの発明を更に詳細に
説明する。
を通して金属基板との電気接触を形成するため、光陰極
層への電子の補充が特に良好になるものと考えられる。
次に図面に示した実施例についてこの発明を更に詳細に
説明する。
第１図に示した画像増幅器、たとえば×像増幅器におい
て１は真空管であり、その一方の端壁２の後に発光板−
光陰極装置３が入力スクリーンとして設けられている。
て１は真空管であり、その一方の端壁２の後に発光板−
光陰極装置３が入力スクリーンとして設けられている。
それに続いて電極４，５，６および７が管１と装置３に
対して同軸に配置されている。電極７の一端を閉鎖する
出力スクリーン８は管１の第二の端整の窓９の前に置か
れている。部分３乃至８には導線１０乃至１４を通して
それぞれ所定の電圧が印加され、装置３から出た電子が
スクリーン８上に投射されて光像を作る。この光像は窓
９を通して見ることができる。第２図の部分断面図に示
すように、入力スクリーン３は０．５柳厚のアルミニウ
ム板で作られ、凹面を管１内部に向けた支持板１５を備
える。支持板１５はほぼ球面の一部を形成するように湾
曲し、その内凹面に０．１５柵厚のョウ化セシウム（Ｃ
ｓＪ）発光層１６がある。この層は炭素たとえばグラフ
アィト層１７で覆われ、その上に大電子放出物質である
アンチモン化セシウム（Ｃｓぶｂ）から成る厚さ約３倣
ｍの層１８がある。層１７の作用は、導線１０を通して
装置３に到達した電子を層１８に導く際の助けとなるこ
とにある。
対して同軸に配置されている。電極７の一端を閉鎖する
出力スクリーン８は管１の第二の端整の窓９の前に置か
れている。部分３乃至８には導線１０乃至１４を通して
それぞれ所定の電圧が印加され、装置３から出た電子が
スクリーン８上に投射されて光像を作る。この光像は窓
９を通して見ることができる。第２図の部分断面図に示
すように、入力スクリーン３は０．５柳厚のアルミニウ
ム板で作られ、凹面を管１内部に向けた支持板１５を備
える。支持板１５はほぼ球面の一部を形成するように湾
曲し、その内凹面に０．１５柵厚のョウ化セシウム（Ｃ
ｓＪ）発光層１６がある。この層は炭素たとえばグラフ
アィト層１７で覆われ、その上に大電子放出物質である
アンチモン化セシウム（Ｃｓぶｂ）から成る厚さ約３倣
ｍの層１８がある。層１７の作用は、導線１０を通して
装置３に到達した電子を層１８に導く際の助けとなるこ
とにある。
この発明の装置を作る際グラフアィトの蒸着が気圧１×
１０‐４Ｔｏｎのアルゴンガス中で行なわれるから、１
９で示したような発光層１６中の亀裂内にグラフアィト
から成る導電路が形成され、光陰極層１８に達する補助
的の通路となるから電子の補充が改善される。第３図に
は炭素の真空黍着装暦を示す。
１０‐４Ｔｏｎのアルゴンガス中で行なわれるから、１
９で示したような発光層１６中の亀裂内にグラフアィト
から成る導電路が形成され、光陰極層１８に達する補助
的の通路となるから電子の補充が改善される。第３図に
は炭素の真空黍着装暦を示す。
この装置は合板２１上に乗せられた排気鐘２０を備え、
合板を通して設けられた排気管２２によって排気される
。排気鐘の中央底部には炭素蒸発源２３があり、発光層
１６の支持板１５がそれに向い合って置かれる。支持板
１５は円筒形の台脚２４上に保持され、台脚２４の下に
は車２７がとりつけられているから、モータ２６を使用
し摩擦車２７を介して回転させることができる。蒸看経
週を追跡するため合板２１に設けた柱脚２８に鏡２９を
とりつけ、光源３０からの光を反射して試験用のガラス
板３１を通し測定器３２に入れて測定する。従って蒸着
の経過は試験ガラス板の光の吸収の変化によって追跡す
ることができる。試験ガラス板にはその両側面に導電層
３３，３３′を設け、導線３４，３５を通してオーム計
３６に接続することができる。これにより発光層と同時
に試験板３１に沈着した炭素層の電気伝導度を追跡する
ことができる。蒸発源２３から出た炭素葵着は０．５側
厚のアルミニウム板で作られた支持板の凹面上の１５０
仏ｍ厚のョウ化セシウム層の上に付着して炭素層として
それを覆う。オーム計３６に示される炭素層の抵抗が約
２０皿Ｑに達しとき黍着を終了し、発光スクリンは蒸着
装層から取り出して、光像増幅装置に組みこむことがで
きる。その後は公知の方法により適当な物質を蒸着して
光陰極層１８を作り、光陰極を完成させる。
合板を通して設けられた排気管２２によって排気される
。排気鐘の中央底部には炭素蒸発源２３があり、発光層
１６の支持板１５がそれに向い合って置かれる。支持板
１５は円筒形の台脚２４上に保持され、台脚２４の下に
は車２７がとりつけられているから、モータ２６を使用
し摩擦車２７を介して回転させることができる。蒸看経
週を追跡するため合板２１に設けた柱脚２８に鏡２９を
とりつけ、光源３０からの光を反射して試験用のガラス
板３１を通し測定器３２に入れて測定する。従って蒸着
の経過は試験ガラス板の光の吸収の変化によって追跡す
ることができる。試験ガラス板にはその両側面に導電層
３３，３３′を設け、導線３４，３５を通してオーム計
３６に接続することができる。これにより発光層と同時
に試験板３１に沈着した炭素層の電気伝導度を追跡する
ことができる。蒸発源２３から出た炭素葵着は０．５側
厚のアルミニウム板で作られた支持板の凹面上の１５０
仏ｍ厚のョウ化セシウム層の上に付着して炭素層として
それを覆う。オーム計３６に示される炭素層の抵抗が約
２０皿Ｑに達しとき黍着を終了し、発光スクリンは蒸着
装層から取り出して、光像増幅装置に組みこむことがで
きる。その後は公知の方法により適当な物質を蒸着して
光陰極層１８を作り、光陰極を完成させる。
第１図はこの発明の実施例の概略断面図、第２図は第１
図の一部の拡大断面図、第３図はこの発明の装置の製造
に利用される真空蒸着装層の断面図であつて、１は真空
管、３は発光板−光陰極装置（入力スクリーン）、１５
は発光層支持板、１６は発光層、１７は炭素層、１８は
光陰極層である。 Ｆｉｇ．Ｉ Ｆ；９．２ Ｆｉｇ．３
図の一部の拡大断面図、第３図はこの発明の装置の製造
に利用される真空蒸着装層の断面図であつて、１は真空
管、３は発光板−光陰極装置（入力スクリーン）、１５
は発光層支持板、１６は発光層、１７は炭素層、１８は
光陰極層である。 Ｆｉｇ．Ｉ Ｆ；９．２ Ｆｉｇ．３
Claims (1)
- １ 基板上に発光層と光陰極層とが重ねて設けられ、発
光層と光陰極層の間に暗色の中間層が置かれている入力
スクリーンを備えた電子光学式画像増幅器において、暗
色中間色が発光層からの光に対してそのほぼ全面に亘っ
て少くとも近以的に一様に５０％から８５％の間の透過
率を示す炭素層であることを特徴とする電子光学式画像
増幅器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2362761.4 | 1973-12-17 | ||
| DE2362761A DE2362761A1 (de) | 1973-12-17 | 1973-12-17 | Roentgenbildverstaerker |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5093563A JPS5093563A (ja) | 1975-07-25 |
| JPS606068B2 true JPS606068B2 (ja) | 1985-02-15 |
Family
ID=5901053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP49145480A Expired JPS606068B2 (ja) | 1973-12-17 | 1974-12-17 | 電子光学式画像増幅器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US3962582A (ja) |
| JP (1) | JPS606068B2 (ja) |
| DE (1) | DE2362761A1 (ja) |
| FR (1) | FR2254875B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02130973U (ja) * | 1989-04-05 | 1990-10-30 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5228284A (en) * | 1975-08-28 | 1977-03-03 | Dainippon Toryo Co Ltd | Antistatic radioactive ray intensifier screen |
| JPS5916701B2 (ja) * | 1977-03-14 | 1984-04-17 | 株式会社東芝 | 像増倍管の入力スクリ−ン及びその製造方法 |
| JPS5478074A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-21 | Toshiba Corp | Production of input screen for image increasing tube |
| FR2644931A1 (fr) * | 1989-03-24 | 1990-09-28 | Gen Electric Cgr | Tube a rayons x a balayage avec plaques de deflexion |
| DE4342219C2 (de) * | 1993-12-10 | 1996-02-22 | Siemens Ag | Röntgenbildverstärker |
| CN108276638A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-07-13 | 深圳职业技术学院 | 一种具有x射线显影功能的管材及其制备方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2700116A (en) * | 1950-02-11 | 1955-01-18 | Edward E Sheldon | Device for intensification of X-ray images |
| US3443104A (en) * | 1966-02-17 | 1969-05-06 | Rauland Corp | Image intensifier tube with shading compensation |
| US3697795A (en) * | 1970-11-20 | 1972-10-10 | Machlett Lab Inc | Image intensifier tube having a multi-radius photocathode |
| US3838273A (en) * | 1972-05-30 | 1974-09-24 | Gen Electric | X-ray image intensifier input |
-
1973
- 1973-12-17 DE DE2362761A patent/DE2362761A1/de active Pending
-
1974
- 1974-11-14 US US05/523,796 patent/US3962582A/en not_active Expired - Lifetime
- 1974-12-16 FR FR7441327A patent/FR2254875B1/fr not_active Expired
- 1974-12-17 JP JP49145480A patent/JPS606068B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02130973U (ja) * | 1989-04-05 | 1990-10-30 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2362761A1 (de) | 1975-06-26 |
| FR2254875B1 (ja) | 1978-12-22 |
| FR2254875A1 (ja) | 1975-07-11 |
| JPS5093563A (ja) | 1975-07-25 |
| US3962582A (en) | 1976-06-08 |
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