JPS6058512A - 角位置検出装置 - Google Patents

角位置検出装置

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JPS6058512A
JPS6058512A JP16651683A JP16651683A JPS6058512A JP S6058512 A JPS6058512 A JP S6058512A JP 16651683 A JP16651683 A JP 16651683A JP 16651683 A JP16651683 A JP 16651683A JP S6058512 A JPS6058512 A JP S6058512A
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JP
Japan
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polarizing plate
angular position
fixed
light
photoelectric conversion
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JP16651683A
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English (en)
Inventor
Yoshitaka Takekoshi
竹腰 吉考
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Fanuc Corp
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Fanuc Corp
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/344Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using polarisation
    • G01D5/345Polarising encoders

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (1)発明の技術分野 本発明は回転体の角位置、角速度、更には、回転方向等
を検出する角位置検出装置に関する。
(2)技術の背景 i」熱光はその進行方向に対称性を有する横波と考えら
れているが、光の進行方向に関して対称性を欠いた光、
すなわち、光の進行方向を含む多数の面を想定した場合
、各面の方向において振動状態を異にする光を偏光とい
い、反射、h+’、折1選択吸収、複屈折、散乱等の場
合に発生することが知られている。そして、その振動の
軌道が直線、円、楕円であるかに対応して、直線偏光、
円偏光、楕円偏光と呼ばれ、それぞれ、特定の結晶体に
特定の手法を適用することにより発生しうる。
また、直線偏光において、振動方向に爪直な平面を偏光
面と云い、光線及び振動方向を含む平面を振動面と云い
、偏光面と振動面とはIfいに取直である。
例えば、結晶主軸に平行に切り出した電気石の板は直線
偏光を発生し、この電気石板lを2枚第1図に示す如く
その振動面(矢印Aをもって示す)を平行にして併置し
、光りを照射すると相当程度の大きさの透過率をもって
2枚の電気石板lを透過するが、第2図に示す如くその
振動面(矢印Aをもって示す)を直交させて(Jl置し
光りを照射すると、第2の電気石板■を透過する光zI
シは殆ど零である。また、2枚の電気石板を90°では
ないある角度をもって交叉させて同様の実験をなすと第
2の電気石板lを透過する光ji)はその交叉角に対応
して決定する。すなわち、1−1記せる如き直線偏光性
結晶体板2枚を光の進11方向に対して改ねて配置し、
相互の角度を制御することにより第2の直線偏光性結晶
体板を透過する光j、)を制御することができる。本発
明はこの1o1然法則を利用したものである。
(3)従来技術と問題点 回転体の角位置、角速度、更には1回転方向等を検出す
る機能を有する従来技術における角位置検出装置にあっ
ては、回転板(コード板)に突起(ドグ)等を設けてお
き、同+H!rにこれに対接させてリミットスイッチ等
を設けておき、回転板の回転に対応して所望のリミット
スイッチを動作させる機械的方式の物や、回転板(コー
ド板)に開L1等の光通路を設けておき、同時にこれに
対接させて半導体受光素子等の光電変換手段を設けてお
き、回転板の回転に対応して上記の受光素f−等の光電
変換手段に正弦波状の光を受光する光学的方式の物等種
々あるが、いづれの方式においても、上記の突起や光通
路等に重みづけがなされておらず、この数をカウントす
る方式のインクリメンタル型と、」;記の突起や光通路
等に毛みづけがなされているアブソリュート型とがある
が、前者にあっては、構成が簡単であるという利点はあ
るが、そのままでは絶対位置の検出が困難であるから、
コード板の少なくとも1点に基準点信号発生装置を設け
ることが必要であり、又、ミスカウントをチェックする
適当な手段がないという欠点があり、後者においては、
絶対位置の検出が可能であるが、重みづけを可能とする
ため、ビット数の増加とともにコード板が大型になり信
号線の数も多くならざるを得す、高い分解能を心霊とす
る場合は、構造が複雑になるという欠点があった。
そのため、この両者を同一のコート板に設ける手法もあ
るが(円周部をインクリメングルコ−1:゛板とし、内
周部以外をアブソリュートコ−1・根とする。)、ます
ます構造が複雑となり現天的利益に乏しい。
そこで、構造が簡単で、しかも、絶対位置の検出が可能
な角位置検出1段の開発が111まれ(l/また。
(4)発明のl]的 本発明の目的はこの要請にこたえることにおり、構造が
簡単で、しかも、絶対位置の検出がol能な角位置検出
装置を提供することにある。
(5)発明の構成 本発明の構成は、第3図、第4図に示すJ、うに、振動
面と偏光面との双方に直交する面にそって切り出された
直線偏光性結晶体板よりなるN +7、偏光板2と、該
回転偏光板2に対接して設りられ前記回転偏光板2の切
り出し面と同一・の面にそつて切り出された直線偏光性
結晶体板より、なる固定偏光板3と、該固定偏光板3と
対接して設けられた光電変換手段4と、前+’/、!固
定偏光板3を挟んで前記回転偏光板2と対接する位置に
設られた発光手段7とを有する角位置検出装置にある。
第3図に示すように、回転偏光板2の振動面Aと固定偏
光板3の振動面Aとが一致していると光電変換手段4は
最大の光量を受け、その端子5.5′から最高電圧を出
力する。第4図に示すように、回転偏光板2の振動面A
と固定偏光板3の振動面Aとが直交すると光電変換手段
4は殆ど光を受けずその端子5.5“からの出力は殆ど
零となる。すなわち、光電変換手段4の出力は被検出回
転体(図示せず)の回転角度180.、’を周期として
増減を繰り返すことになり、しかも、実験の結果によれ
ば、その出力電圧波形はおおむね正弦波に近いことが確
認されている。
よって、光電変換手段4の出力電圧Vは、V=Vcos
2θ+■。
但し、Voは出力電圧の振幅であり、 Vo゛は漏洩光による出力を含む直流 成分であり、 0は、被検出回転体(図示せず)と 同一の回転運動をなす回転偏光板2 の振動面Aが固定偏光板3の振動面 Aとなす角である。
と表すことができる。この出力の状態でも、Vo゛を除
去することにより上記光電変換手段4の出力電圧Vの中
心電位をほり零にすることができ、回転位置検出器とし
て利用できるが、回転角と出力との直線性がなく、又、
%回転を越えると回転方向の判別ができなくなり回転位
置検出器としては不十分である。
特許請求の範囲第2項の実施態様は、この欠点を解消す
るものであり、固定偏光板を複数個設けることにより、
多相の出力を得しめ、回転方向の判別、および、坏回転
の間で絶対位置検出を可能にしたもである。
以下固定偏光板を2個設けた場合(特、11請求の範囲
第3項記載の実施態様)について説明する。
第5図に示すように、1個の回転偏光板2に対接して、
振動面Aの方向がたがいにπ/2N(但し、N=2)す
なわち45°異なる固定偏光板3.31と、それぞれの
固定偏光板3.31に対応して光電変換素子4.41を
設ける。回転偏光板の回転にともない、前記光電変換素
子4.41が発する出力は、次式のように変化すること
になる。
vl−VoCO320+■o′ ■2=vos1n 2θ+vo゛ 但し、Voは出力電圧の振幅であり、 Vo゛は漏洩光による出力を含む直流 成分であり、 0は、被検出回転体(図示せず)と 同一の回転連動をなす回転偏光板2 の振動面Aが固定偏光板3の振動面 Aとなす角である。
すなわち、第6図に示すように、電気的に90°位相を
異にする2相信号が得られるから、ベクトル的に位相角
をめることにより回転角の検出と回転方向の判別が可能
となり、特に坏回転の範囲においては絶対回転角の検出
がII)能となる。
又、第7図に示した特許請求の範囲i4項記載の角位置
検出装置のように、回転偏光板2に対接して、振動面A
の方向がたがいに60°(又は120 °)異なる、3
個の固定偏光板3.30I。
302を設け、又、それぞれの固定偏光板に対応して光
電変換素子4,401 、402を設けると、回転偏光
板の回転に伴って下記のような3相交流信壮を得ること
ができる。
vl =vo CO520+vol V =V cos(20−120°) 十V o’10
1 0 V =V cos(20−240° )+v o’02
0 但し、Voは出力゛電圧の振幅であり、Vo”は漏洩光
による出力を含む直流 成分であり、 Oは、被検出回転体(図示せず)と 同一の回転躍動をなす回転偏尤板2 の振動商人が固)il偏光板3の振動面Aとなす角であ
る。
この3相信号は、第8図に示したように、位相がたがい
に120°づつ異なる3相侶5)であり、3相交流電動
機の制御、特に3相同期電動機の制御には極めて有効で
あることは周知である。
特許請求の範囲第5項記載の実施態様は、第9図に示し
たように、たがいに振動面Aの方向がSOoずれた、2
つの固定偏光板3.3′を組とし、それぞれの固定偏光
板に対応して設けられた光電変換素子4.4′をその出
力が差動的に合成するように接続し、′出力の直流分を
除去するように一■二夫したものである。
原理的には、■相の出力を得るために1個の固′Aで偏
光板を設ければたりるが、漏洩光を含む直流Ji分か必
ず存在するため、回転角を検出する際、この直流分を除
去する必要がある。通常は、信号処理回路(図示せず)
においてこの直流分を電気的に取り除くが、光源の光量
が変化した場合には、これに応じて補正を加えなければ
ならない。
この実施態様は、振動面Aの方向がたがいに直交した固
定偏光板を組にすることにより180 °位相のずれた
信吟を得、これを差動的に合成することにより、直流分
を除去し、光?ン(の光1りが変化しても常に直流成分
を除去できるようにしたものである。
第10図(a)、(b)は光市変摸索fと1. テフォ
トタイオードを使用し、出力が差動的に合成されるよう
に接続した例である。図において、9はフォ[・タイオ
ートであり10は抵抗である。又、第11図は、その出
力波形を示す。出力波形(+、 )は充電変換手段4の
出力であり、(2)は光’ii、変換手段4′の出力で
あり、(3)は光電変換「一段4′の出力の反転出力で
あり、(4)は合成後の出力である。図からも明らかな
ように直流分が除去される他、出力振幅も2倍に逓倍さ
れることになり、波形処理」−有利である。
又、振動面Aの方向をたがいに直交させた固>j:′偏
光板の組を複数組(M組)設け、それぞれの振動面の方
向を π/ 2 M±−@m(但し、m = 0 、1. 、
2’、 ・・’)ずらして配置し、それぞれのMlの光
電変換素子の出力を差動的に合成することにより直流成
分の無い多相の出力をイ1)ることができる( 41f
in請求の範囲第6項)。
第12図は、固定偏光板の組が2組(M=2)の場合(
特許請求の範囲第7項)の固定偏光板の配置を示したも
のである。固定偏光板の位置は回転偏光板2の内円であ
ればよく、固定偏光板配置−にのFI71限はない。又
、光電変摸索fは、固定偏光板3と301 に対応する
素子と302 と303に対応する素r−とが、それぞ
れ差動的に合成されるように接続すればよい。
更に固定偏光板の組を3組とすれば、第7.8図を参照
して説明した機能と第9,10.11図を参照して説明
した機能とが相加される(特許請求の範囲第8項)。
(6)発明の実施例 第13図は本発明の実施例に係る角位置検出装置の側断
面図である。
図において、2は振動面と偏光面との双方側こ直交する
面にそってνJり出された市気石結晶体板よりなる回転
偏光板であり、3はこの回転偏光板2と同一の切り出し
面にそって切り出された゛IE気イi結晶体板よりなる
固定偏光板であり回転偏光板2に対接して設けられる。
7はj1偏光型の光を発ノ1−する発光手段であり、白
熱iト幻)゛でもより)カー、ノf命等の関係で半導体
発光素r−が望ましし\。4 Iiフォトダイオード等
の光iT[換[段であり、ll11中Ik偏光板2と固
定偏光板3を透過した光を受光(2うる位置に設けられ
る。6は軸であり、回転(M X、板と直結しており、
被検出回転体と機械(白に1pli b’r ;される
(7)発明の効果 以」二説明せるとおり、本発明によれif、4iζ1聞
力)簡単で、しかも、絶対位置の検出力く可f旧なfi
t 4:を置検出装置を提供することができる6
【図面の簡単な説明】
憤I固 げ[9r71斗 侃−’W: 10缶を説明す
る図である。第3図、第4図は、本発明の詳細な説明す
る概念的斜視図である。第5図、第6図は特許請求の範
囲第2項、第3項の実施jム様の構成を説明するための
、それぞれ、概念的斜視図と出力信号の波形図とである
。第7図、fit a図は特許請求の範囲第4項の実施
態様の構成を説(」するための、それぞれ、概念的斜視
図と出力信りの波形図とである。第9図、第1θ図、第
11図は特許請求の範囲第5項の実施態様の、それぞれ
、概念的斜視図と接続図と出力信号の波形図とである。 第12、特許請求の範囲第7項の角位置検出装置の固定
偏光板の配置図である。第13図は本発明の実施例に係
る角位置検出装置の側断面図である。 l・・・電気石板、 A・・・廠動面、 L・・・光、
2・・・回転偏光板、3.3″、31.301 、30
2 、303 ・・・固定偏光板、44’、41.40
1.402− e−光電変換手段、6・・・軸、 7・
・・発光手段、 ■ ・・・光電変換手段の出力電圧の
振幅、 ■ ゛・s−光電変換手段の、漏洩光による出
力を含む直流成分出力。 代理人 弁理士 寒 川 誠 − 第1図 第3図 第4図 第5図 第6図 第7図 第9rjIj 第10図 す 第11図

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)振動面と偏光面との双方に直交する面にそって切
    り出された直線偏光性結晶体板よりなる回転偏光板と、
    該回転偏光板に対接して設けられ前記回転偏光板の切り
    出し面と回−の而にそって切り出された直線偏光性結晶
    体板よりなる固定偏光板と、該固定偏光板と対接して設
    けられた光電変換手段と、前記固定偏光板を挟んで前記
    回転偏光板と対接する位置に設られた発光手段とを有す
    る角位置検出装置。
  2. (2)前記固定偏光板の個数はN個であり、該N個の固
    定偏光板のそれぞれは振動方向が互いにx / 2 N
    ±−9m(但し、m=o 、 l 、 2、−)異なる
    ように配設されてなる特許請求の範囲第1項記載の角位
    置検出装置。
  3. (3)前記固定偏光板の個数は2個である特許請求の範
    囲:52項記載の角位置検出装置。
  4. (4)前記固定偏光板の個数は3個である特許請求の範
    囲第2項記載の角位置検出装yi。
  5. (5)前記固定偏光板は、それぞれ振動面の方向がたか
    いに直交する2個の偏光板の組をもって構成され、該組
    をなす固定偏光板のそれぞれに対接して設けられた光電
    変検素−rはその出力かたがいに差動的に合成されるよ
    うに接わCされてなる特1.1請求の範囲第1項記載の
    角位置検出装置。
  6. (6)前記偏光板の組はM組であり、名相の固ノ」偏光
    板の振動面の方向はたがいに π/ 2 M±−・m(但し、m=0 、 I 、 7
    、−=)異なるよう配設されてなる4!r +!’l’
     +、請求の範囲第5 ssr記載の角位置検出装置。
  7. (7) +iij記固定偏光板の組の数は2個である特
    111iif’j求の範囲第6項記載の角位置検出装6
    %。
  8. (8)前記固定偏光板の組の数は3個である4旨、1請
    求の範囲第6項記載の角位置検出装置。
JP16651683A 1983-09-12 1983-09-12 角位置検出装置 Pending JPS6058512A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008241453A (ja) * 2007-03-27 2008-10-09 Nidec Copal Corp 光学式エンコーダ
JP2013242304A (ja) * 2012-04-27 2013-12-05 Nsk Ltd 光学式エンコーダ
JP2016053562A (ja) * 2014-09-03 2016-04-14 日本精工株式会社 光学式エンコーダユニット、複合偏光層の製造方法及び複合偏光層の製造装置
JP2016080461A (ja) * 2014-10-15 2016-05-16 日油株式会社 砲腔内の弾丸の速度測定装置
JP2017198652A (ja) * 2016-04-25 2017-11-02 セイコーエプソン株式会社 エンコーダーおよびロボット

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